JPH0426889Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0426889Y2 JPH0426889Y2 JP1985048872U JP4887285U JPH0426889Y2 JP H0426889 Y2 JPH0426889 Y2 JP H0426889Y2 JP 1985048872 U JP1985048872 U JP 1985048872U JP 4887285 U JP4887285 U JP 4887285U JP H0426889 Y2 JPH0426889 Y2 JP H0426889Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure reducing
- reducing valve
- diaphragm
- protrusion
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 claims description 49
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 9
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 9
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 22
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 8
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 3
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
- G05D16/06—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule
- G05D16/063—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane
- G05D16/0644—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator
- G05D16/0663—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator using a spring-loaded membrane with a spring-loaded slideable obturator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Safety Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は減圧弁に関し、一層詳細には、クリー
ンルーム内において、供給されるクリーンエア
ー、純水、溶剤等に不純物を混在させることなく
所定圧に減圧して導出するように構成した減圧弁
に関する。
ンルーム内において、供給されるクリーンエア
ー、純水、溶剤等に不純物を混在させることなく
所定圧に減圧して導出するように構成した減圧弁
に関する。
コンピユーター技術の発展と相俟つてICある
いはLSI産業の躍進が著しい。LSIの製造では、
例えば、シリコンウエハからなる基板に回路パタ
ーンにより微少なサイズの回路を得る。このた
め、一個のチツプ上に形成される互いに相隣る回
路間隔は1μm乃至5μmと極めて小さい。従つて、
塵埃等がこのチツプ上に存在すれば、容易に回路
を短絡させてしまい、この結果、製品不良となら
ざるを得ない。このために、LSIの製造では塵埃
等の混入を回避すべくクリーンルームを活用し、
可及的にその内部では塵埃の発生を阻止すると共
にその除去に努めている。
いはLSI産業の躍進が著しい。LSIの製造では、
例えば、シリコンウエハからなる基板に回路パタ
ーンにより微少なサイズの回路を得る。このた
め、一個のチツプ上に形成される互いに相隣る回
路間隔は1μm乃至5μmと極めて小さい。従つて、
塵埃等がこのチツプ上に存在すれば、容易に回路
を短絡させてしまい、この結果、製品不良となら
ざるを得ない。このために、LSIの製造では塵埃
等の混入を回避すべくクリーンルームを活用し、
可及的にその内部では塵埃の発生を阻止すると共
にその除去に努めている。
また、前記クリーンルーム内で用いられるクリ
ーンエアー、薬品処理用溶剤、前記溶剤を洗浄す
るための純水の供給系にも塵埃等が含まれること
のないような配慮がなされることが望ましい。
ーンエアー、薬品処理用溶剤、前記溶剤を洗浄す
るための純水の供給系にも塵埃等が含まれること
のないような配慮がなされることが望ましい。
そこで、係る認識に立脚して、クリーンルーム
内において従来から用いられている溶剤用減圧弁
を第1図に示す。
内において従来から用いられている溶剤用減圧弁
を第1図に示す。
この従来技術に係る減圧弁はボデイ2とこのボ
デイ2の上部開孔部に嵌合するボンネツト4とか
ら基本的に構成される。ボデイ2には、一方の端
部に供給ポート6が画成され、また、その反対側
には排出ポート8が画成されている。そして、こ
の供給ポート6と排出ポート8との間には弁室1
0が形成され、この弁室10の内部にはコイルス
プリング12によつて上方へと押圧される減圧弁
14が設けられている。このコイルスプリング1
2は前記弁室10を閉塞する嵌合部材13によつ
て保持されている。なお、減圧弁14の本体部分
にはリング状にゴム部材16が嵌着される。この
ゴム部材16にはボデイ2に形成されたリング状
の突起部18が係合するように構成されている。
一方、前記減圧弁14の先端部に形成された砲弾
型の突部14aはボデイ2によつて画成される第
1の室20に臨み、且つこの第1室20を閉塞す
るように橋架されたダイヤフラム22の略中央部
を貫通する係合部材24の下端部に係合してい
る。なお、この場合、ダイヤフラム22は外周部
から中心部に至るまで略同等の厚さで構成されて
いる。
デイ2の上部開孔部に嵌合するボンネツト4とか
ら基本的に構成される。ボデイ2には、一方の端
部に供給ポート6が画成され、また、その反対側
には排出ポート8が画成されている。そして、こ
の供給ポート6と排出ポート8との間には弁室1
0が形成され、この弁室10の内部にはコイルス
プリング12によつて上方へと押圧される減圧弁
14が設けられている。このコイルスプリング1
2は前記弁室10を閉塞する嵌合部材13によつ
て保持されている。なお、減圧弁14の本体部分
にはリング状にゴム部材16が嵌着される。この
ゴム部材16にはボデイ2に形成されたリング状
の突起部18が係合するように構成されている。
一方、前記減圧弁14の先端部に形成された砲弾
型の突部14aはボデイ2によつて画成される第
1の室20に臨み、且つこの第1室20を閉塞す
るように橋架されたダイヤフラム22の略中央部
を貫通する係合部材24の下端部に係合してい
る。なお、この場合、ダイヤフラム22は外周部
から中心部に至るまで略同等の厚さで構成されて
いる。
ところで、ボンネツト4とダイヤフラム22と
によつて画成される第2の室23の内部には、前
記係合部材24に係合するようにコイルスプリン
グ26が配設され、このコイルスプリング26は
前記ボンネツト4を貫通して下方に延在するロツ
ド25の回動作用のもとに上下するナツト27に
係合している。ロツド25の先端部分は前記ボン
ネツト4から外部へ露呈し、その先端部分にボル
ト28が係着され、さらに、前記ボルト28には
ハンドル30が係合している。
によつて画成される第2の室23の内部には、前
記係合部材24に係合するようにコイルスプリン
グ26が配設され、このコイルスプリング26は
前記ボンネツト4を貫通して下方に延在するロツ
ド25の回動作用のもとに上下するナツト27に
係合している。ロツド25の先端部分は前記ボン
ネツト4から外部へ露呈し、その先端部分にボル
ト28が係着され、さらに、前記ボルト28には
ハンドル30が係合している。
この場合、ボンネツト4には一般的にナイロン
部材が使われ、一方、ダイヤフラム22にはフツ
素ゴムが好適に用いられている。また、ボデイ2
にはステンレススチールが活用されると共に、減
圧弁14本体にもこのボデイ2と同様にステンレ
ス製部材が用いられ、さらに、シールリング34
には一般的にフツ素ゴムを採用している。なお、
図中、参照符号32は排出ポート8と室23とを
連通するための通路を示し、また、参照符号34
はボデイ2に対する嵌合部材13との液密性を確
保するためのシールリングを示す。
部材が使われ、一方、ダイヤフラム22にはフツ
素ゴムが好適に用いられている。また、ボデイ2
にはステンレススチールが活用されると共に、減
圧弁14本体にもこのボデイ2と同様にステンレ
ス製部材が用いられ、さらに、シールリング34
には一般的にフツ素ゴムを採用している。なお、
図中、参照符号32は排出ポート8と室23とを
連通するための通路を示し、また、参照符号34
はボデイ2に対する嵌合部材13との液密性を確
保するためのシールリングを示す。
そこで、以上のような構成において、ハンドル
30をボルト28と一体的に所定方向に回転させ
れば、ロツド25が回動しナツト27は下降す
る。この結果、コイルスプリング26の弾発力が
増大して係合部材24を下降させる。このために
減圧弁14の突部14aが下降し、ゴム部材16
は突起部18から離間して供給ポート6と排出ポ
ート8の通路が開成される。すなわち、ハンドル
30の螺回範囲を制御するこれによつて突起部1
8に対するゴム部材16の離間距離を選択する。
前記離間距離によつて設定された圧力に対し、排
出ポート8側である二次側の圧力が高くなつた場
合には、排出ポート8と連通する通路32を介し
て二次側の圧力流体がダイヤフラム22を上方に
押し上げる。前記ダイヤフラム22はコイルスプ
リング26の弾発力と平衡するまで変位し、前記
変位に伴つて減圧弁14も上方に変位することに
より突起部18に対するゴム部材16の離間距離
を調節する。このようにして、供給ポート6と排
出ポート8との間の減圧範囲を任意に設定するこ
とが出来る。
30をボルト28と一体的に所定方向に回転させ
れば、ロツド25が回動しナツト27は下降す
る。この結果、コイルスプリング26の弾発力が
増大して係合部材24を下降させる。このために
減圧弁14の突部14aが下降し、ゴム部材16
は突起部18から離間して供給ポート6と排出ポ
ート8の通路が開成される。すなわち、ハンドル
30の螺回範囲を制御するこれによつて突起部1
8に対するゴム部材16の離間距離を選択する。
前記離間距離によつて設定された圧力に対し、排
出ポート8側である二次側の圧力が高くなつた場
合には、排出ポート8と連通する通路32を介し
て二次側の圧力流体がダイヤフラム22を上方に
押し上げる。前記ダイヤフラム22はコイルスプ
リング26の弾発力と平衡するまで変位し、前記
変位に伴つて減圧弁14も上方に変位することに
より突起部18に対するゴム部材16の離間距離
を調節する。このようにして、供給ポート6と排
出ポート8との間の減圧範囲を任意に設定するこ
とが出来る。
ところで、このような構成からなる減圧弁に対
しては、従前から次のような不都合があることが
指摘されてきた。
しては、従前から次のような不都合があることが
指摘されてきた。
すなわち、液密性を保持するために嵌合部材1
3とボデイ2との間に使用されているシールリン
グ34はフツ素ゴムで形成されているが、このフ
ツ素ゴムは減圧される対象流体によつては容易に
溶解、膨潤、脆化、亀裂等の品質上の劣化を促
す。また、ダイヤフラム22にもフツ素ゴムが多
用されているが、このダイヤフラム22に対して
も、例えば、溶剤がアセトンからなる場合、この
アセトンは通路32を通して第1室20に至り、
この結果、ダイヤフラム22に接するために長期
の使用によつてその品質自体を劣化させる不都合
がある。さらにまた、前記のような構成では、シ
ールリング34によつてのみ溶剤の漏洩を阻止し
ているために、当該シールリング34の品質の劣
化によつては前記溶剤がクリーンルーム内に漏出
してしまう不都合がある。
3とボデイ2との間に使用されているシールリン
グ34はフツ素ゴムで形成されているが、このフ
ツ素ゴムは減圧される対象流体によつては容易に
溶解、膨潤、脆化、亀裂等の品質上の劣化を促
す。また、ダイヤフラム22にもフツ素ゴムが多
用されているが、このダイヤフラム22に対して
も、例えば、溶剤がアセトンからなる場合、この
アセトンは通路32を通して第1室20に至り、
この結果、ダイヤフラム22に接するために長期
の使用によつてその品質自体を劣化させる不都合
がある。さらにまた、前記のような構成では、シ
ールリング34によつてのみ溶剤の漏洩を阻止し
ているために、当該シールリング34の品質の劣
化によつては前記溶剤がクリーンルーム内に漏出
してしまう不都合がある。
次に、前記の通り、ダイヤフラム22は外周部
から中心部に至るまで同じ厚さの板体で構成され
ており、溶剤等の漏洩を阻止するためにその外周
縁部はしつかりと挟持されている。このために、
ダイヤフラム22が調圧作用を営むと、当該ダイ
ヤフラム22の中心部分が上下運動を行うため、
前記挟持された外周部は上下折り曲げの交番運動
と重なり、激しく疲労し、遂には円弧状の亀裂が
生じる難点がある。
から中心部に至るまで同じ厚さの板体で構成され
ており、溶剤等の漏洩を阻止するためにその外周
縁部はしつかりと挟持されている。このために、
ダイヤフラム22が調圧作用を営むと、当該ダイ
ヤフラム22の中心部分が上下運動を行うため、
前記挟持された外周部は上下折り曲げの交番運動
と重なり、激しく疲労し、遂には円弧状の亀裂が
生じる難点がある。
さらにまた、前記ダイヤフラム22はボデイ2
とボンネツト4との間に介装され、しかも前記ダ
イヤフラムは、通常、図示しない一組のリング部
材によつて挟持される場合が多く、結局、シール
性が完全には達成されることはない。このため、
室20からボデイ2とボンネツト4との間の境界
部分を通つてクリーンルーム内に溶剤の漏出が起
こることがある。そして、一般的に、クリーンル
ーム内においては、ウエハー処理のために高価な
機器が配設されているために、前記のように溶剤
が外部に漏洩し、この種の機器に付着することは
到底容認されない。
とボンネツト4との間に介装され、しかも前記ダ
イヤフラムは、通常、図示しない一組のリング部
材によつて挟持される場合が多く、結局、シール
性が完全には達成されることはない。このため、
室20からボデイ2とボンネツト4との間の境界
部分を通つてクリーンルーム内に溶剤の漏出が起
こることがある。そして、一般的に、クリーンル
ーム内においては、ウエハー処理のために高価な
機器が配設されているために、前記のように溶剤
が外部に漏洩し、この種の機器に付着することは
到底容認されない。
本考案は、前記の不都合を一挙に解消するため
になされたものであつて、シール性をより一層向
上させると共に、溶剤に対しても極めて強い性質
を有する部材をダイヤフラムに用い、しかもこの
ダイヤフラムの応答性を一層向上させるように形
状を選択すると共に小型化に適し、調圧作用中で
あつても応力の集中を避け、従つて、耐用性が一
層向上し、さらにまた、製造コストも低廉な減圧
弁を提供することを目的とする。
になされたものであつて、シール性をより一層向
上させると共に、溶剤に対しても極めて強い性質
を有する部材をダイヤフラムに用い、しかもこの
ダイヤフラムの応答性を一層向上させるように形
状を選択すると共に小型化に適し、調圧作用中で
あつても応力の集中を避け、従つて、耐用性が一
層向上し、さらにまた、製造コストも低廉な減圧
弁を提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本考案は供給ポ
ートと排出ポートとを画成したボデイと、 前記ボデイに係着されて前記ボデイと共にダイ
ヤフラム室を画成するボンネツトと、 前記ダイヤフラム室の内部に延在する調圧ねじ
を螺回するハンドルとを含み、 前記ダイヤフラム室内に外周部から中心部に指
向してその肉厚を増加するように形成されたダイ
ヤフラムと、 前記供給ポートと排出ポートとの間に画成され
る弁室に延在する円筒状の突部と、 前記ダイヤフラムの変位作用下に上下方向に指
向して変位する減圧弁本体に形成され、前記円筒
状の突部に係合する環状突部と、 を備えることを特徴とする。
ートと排出ポートとを画成したボデイと、 前記ボデイに係着されて前記ボデイと共にダイ
ヤフラム室を画成するボンネツトと、 前記ダイヤフラム室の内部に延在する調圧ねじ
を螺回するハンドルとを含み、 前記ダイヤフラム室内に外周部から中心部に指
向してその肉厚を増加するように形成されたダイ
ヤフラムと、 前記供給ポートと排出ポートとの間に画成され
る弁室に延在する円筒状の突部と、 前記ダイヤフラムの変位作用下に上下方向に指
向して変位する減圧弁本体に形成され、前記円筒
状の突部に係合する環状突部と、 を備えることを特徴とする。
次に、本考案に係る減圧弁について好適な実施
例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。
例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。
第2図において、参照符号50はステンレスス
チール等からなる金属製のボデイを示し、このボ
デイ50には一方の側壁部に供給ポート52が穿
設されると共に、その他方側に排出ポート54が
形成される。そして、供給ポート52と排出ポー
ト54との間には弁室56が画成され、この弁室
56は実質的には前記ボデイ50の下方から螺入
する嵌合部材58によつて閉塞されている。な
お、前記ボデイ50と嵌合部材58との間には第
1のシールリング60aと第2のシールリング6
0bとが介装される。嵌合部材58は、この場
合、上方に若干延在する円柱状の柱部58aを有
し、この柱部58aによつて画成されるリング状
の溝部にはコイルスプリング62の一端部が着座
し、前記コイルスプリング62の他端部は減圧弁
63の本体部分64に嵌合するキヤツプ部材65
に着座定着されている。この場合、減圧弁本体6
4はポリテトラフルオロエチレンで構成しておく
と塵埃等の発生が阻止され一層好適である。な
お、前記本体64にはリング状に突部64aが突
出形成される。
チール等からなる金属製のボデイを示し、このボ
デイ50には一方の側壁部に供給ポート52が穿
設されると共に、その他方側に排出ポート54が
形成される。そして、供給ポート52と排出ポー
ト54との間には弁室56が画成され、この弁室
56は実質的には前記ボデイ50の下方から螺入
する嵌合部材58によつて閉塞されている。な
お、前記ボデイ50と嵌合部材58との間には第
1のシールリング60aと第2のシールリング6
0bとが介装される。嵌合部材58は、この場
合、上方に若干延在する円柱状の柱部58aを有
し、この柱部58aによつて画成されるリング状
の溝部にはコイルスプリング62の一端部が着座
し、前記コイルスプリング62の他端部は減圧弁
63の本体部分64に嵌合するキヤツプ部材65
に着座定着されている。この場合、減圧弁本体6
4はポリテトラフルオロエチレンで構成しておく
と塵埃等の発生が阻止され一層好適である。な
お、前記本体64にはリング状に突部64aが突
出形成される。
一方、図から容易に諒解されるように、ボデイ
50には前記弁室56方向に、すなわち、下方に
延在する円筒状の端部に弁座部66が形成され、
この弁座部66ではその内部に孔部68が画成さ
れる。減圧弁本体64から延在して、例えば、ス
テンレススチールによつて一体的に形成された砲
弾型の頭部70は前記コイルスプリング62の押
圧作用下に前記孔部68を貫通してボデイ50の
上部に画成された第1の室72に臨む。前記第1
の室72は、通路73を介して排出ポート54に
連通している。この場合、前記弁座部66から上
方に延在した円筒状の端部には環状の凹部が形成
され、この凹部にリング74を嵌着しておく。そ
して、ボデイ50の上部外周近傍には周回する大
径な突部76を形成し、ボデイ50はこの突部7
6からさらに立ち上がつて最終的には平端な面部
78で終端する。なお、面部78から下方に指向
してボルト用挿通孔80が複数個穿設される。
50には前記弁室56方向に、すなわち、下方に
延在する円筒状の端部に弁座部66が形成され、
この弁座部66ではその内部に孔部68が画成さ
れる。減圧弁本体64から延在して、例えば、ス
テンレススチールによつて一体的に形成された砲
弾型の頭部70は前記コイルスプリング62の押
圧作用下に前記孔部68を貫通してボデイ50の
上部に画成された第1の室72に臨む。前記第1
の室72は、通路73を介して排出ポート54に
連通している。この場合、前記弁座部66から上
方に延在した円筒状の端部には環状の凹部が形成
され、この凹部にリング74を嵌着しておく。そ
して、ボデイ50の上部外周近傍には周回する大
径な突部76を形成し、ボデイ50はこの突部7
6からさらに立ち上がつて最終的には平端な面部
78で終端する。なお、面部78から下方に指向
してボルト用挿通孔80が複数個穿設される。
次に、前記ボデイ50に一体的に接着されるボ
ンネツト82について説明する。ボンネツト82
は、好適には、ナイロン製であつて、前記面部7
8に当接するようにその下端部にフランジ84を
形成している。前記フランジ84には複数個の孔
部86が穿設され、これらの孔部86にボルト8
8を挿通し、このボルト88の先端部が前記挿通
口80に螺入してボンネツト82とボデイ50と
が一体化する。
ンネツト82について説明する。ボンネツト82
は、好適には、ナイロン製であつて、前記面部7
8に当接するようにその下端部にフランジ84を
形成している。前記フランジ84には複数個の孔
部86が穿設され、これらの孔部86にボルト8
8を挿通し、このボルト88の先端部が前記挿通
口80に螺入してボンネツト82とボデイ50と
が一体化する。
ボンネツト82は、実質的にはフランジ84か
ら上方に狭径となつて立ち上がる第1の段部90
とそれに連設される第2の段部92とを含み、前
記第2段部92の周囲には周回する突部94が形
成される。第2段部92の上部は屈曲して頭部9
6となり、この頭部96には孔部98が画成され
る。なお、このボンネツト82において、参照符
号100は大気側へ連通するための孔部を示し、
通常、この孔部100は盲栓(図示せず)によつ
て閉塞されている。
ら上方に狭径となつて立ち上がる第1の段部90
とそれに連設される第2の段部92とを含み、前
記第2段部92の周囲には周回する突部94が形
成される。第2段部92の上部は屈曲して頭部9
6となり、この頭部96には孔部98が画成され
る。なお、このボンネツト82において、参照符
号100は大気側へ連通するための孔部を示し、
通常、この孔部100は盲栓(図示せず)によつ
て閉塞されている。
次に、前記ボンネツト82には前記突部94を
介してハンドル102が嵌合する。ハンドル10
2は、図から容易に諒解されるように、第1段部
90と略同じ径を有するように形成され、その中
空上の内部下端部には前記突部94に係合するた
めの周回する突部104が形成される。また、ハ
ンドル102はその内部頂部に突起部108を形
成し、この突起部108には四角柱状の孔部10
6が画成され、この孔部106に調圧ねじ110
が嵌合する。調圧ねじ110は、図から容易に諒
解されるように、その上部が前記四角柱状の孔部
106にしつかりと嵌合するために角柱状に形成
され、さらに、ボンネツト82の頭部96との間
でシールリング112を嵌合するために環状溝1
14を形成している。この調圧ねじ110は前記
環状溝114の下方で、且つボンネツト82の室
内においてフランジ116を有し、このフランジ
116の下方であつて前記調圧ねじ110に刻設
されたねじ118には六角ナツト120が螺合す
る。この六角ナツト120はコイルスプリング1
22の一端部を保持する。
介してハンドル102が嵌合する。ハンドル10
2は、図から容易に諒解されるように、第1段部
90と略同じ径を有するように形成され、その中
空上の内部下端部には前記突部94に係合するた
めの周回する突部104が形成される。また、ハ
ンドル102はその内部頂部に突起部108を形
成し、この突起部108には四角柱状の孔部10
6が画成され、この孔部106に調圧ねじ110
が嵌合する。調圧ねじ110は、図から容易に諒
解されるように、その上部が前記四角柱状の孔部
106にしつかりと嵌合するために角柱状に形成
され、さらに、ボンネツト82の頭部96との間
でシールリング112を嵌合するために環状溝1
14を形成している。この調圧ねじ110は前記
環状溝114の下方で、且つボンネツト82の室
内においてフランジ116を有し、このフランジ
116の下方であつて前記調圧ねじ110に刻設
されたねじ118には六角ナツト120が螺合す
る。この六角ナツト120はコイルスプリング1
22の一端部を保持する。
次に、コイルスプリング122はステンレスス
チールからなる第1の保持部材124にその他端
部を係着する。第1保持部材124は下方から上
方に湾曲する面部124aを有し、また、その中
央部分で上方に突出する突部124bを含む。従
つて、コイルスプリング122は前記突部124
bの周囲を囲繞するように第1部保持部材124
に保持される。次いで、突部124bによつて形
成される第1保持部材124の円状の孔部にはポ
リテトラフルオロエチレンで形成されたダイヤフ
ラム128が嵌合する。ダイヤフラム128の周
回する端部には凹溝130が形成され、この凹溝
130に前記ボデイ50の突部76が嵌合する。
ダイヤフラム128は曲率中心を室72側に有す
るように上方へ湾曲して形成されている。このダ
イヤフラム128の中心部には前記第1保持部材
124の円状孔部に嵌合する突部131が形成さ
れる。なお、このダイヤフラム128は外周湾曲
部から中心部にかけて徐々にその肉厚を増すよう
に形成し、一方、前記突部131の内側には周回
する環状突部132が形成される。
チールからなる第1の保持部材124にその他端
部を係着する。第1保持部材124は下方から上
方に湾曲する面部124aを有し、また、その中
央部分で上方に突出する突部124bを含む。従
つて、コイルスプリング122は前記突部124
bの周囲を囲繞するように第1部保持部材124
に保持される。次いで、突部124bによつて形
成される第1保持部材124の円状の孔部にはポ
リテトラフルオロエチレンで形成されたダイヤフ
ラム128が嵌合する。ダイヤフラム128の周
回する端部には凹溝130が形成され、この凹溝
130に前記ボデイ50の突部76が嵌合する。
ダイヤフラム128は曲率中心を室72側に有す
るように上方へ湾曲して形成されている。このダ
イヤフラム128の中心部には前記第1保持部材
124の円状孔部に嵌合する突部131が形成さ
れる。なお、このダイヤフラム128は外周湾曲
部から中心部にかけて徐々にその肉厚を増すよう
に形成し、一方、前記突部131の内側には周回
する環状突部132が形成される。
次に、前記突部131によつて画成される凹部
には第2の保持部材134が嵌合する。第2の保
持部材134は下方に湾曲する面部134aを有
し、この面部134aと同心的にその中央部分に
は突部136が形成され、この突部136には、
上方に指向するなだらかに湾曲した凹溝138が
形成される。なお、図中、参照符号140はボデ
イ50とボンネツト82との間に介装されるシー
ルリングを示し、また、参照符号142は環状突
部132に嵌合する環状溝を示す。
には第2の保持部材134が嵌合する。第2の保
持部材134は下方に湾曲する面部134aを有
し、この面部134aと同心的にその中央部分に
は突部136が形成され、この突部136には、
上方に指向するなだらかに湾曲した凹溝138が
形成される。なお、図中、参照符号140はボデ
イ50とボンネツト82との間に介装されるシー
ルリングを示し、また、参照符号142は環状突
部132に嵌合する環状溝を示す。
本考案に係る減圧弁は基本的には以上のように
構成されるものであり、次に、その作用並びに効
果について説明する。
構成されるものであり、次に、その作用並びに効
果について説明する。
先ず、供給ポート52から排出ポート54に導
出される溶剤を所定の圧力以下に減圧するために
ハンドル102が矢印方向に回転される。ハンド
ル102は、前記の通り、その回転によつて調圧
ねじ110を回転させ、この結果、この調圧ねじ
110に螺合する六角ナツト120は下降するに
至る。このため、六角ナツト120と第1保持部
材124の間に介装されるコイルスプリング12
2は弾発力を増して若干ダイヤフラム128を撓
曲させながら第2保持部材134を押圧し、減圧
弁63の頭部70は下降することになる。この結
果、減圧弁本体64に形成された突部64aは弁
座部66から離間して前記弁座部66との間で弁
室56を開成する通路を画成する。
出される溶剤を所定の圧力以下に減圧するために
ハンドル102が矢印方向に回転される。ハンド
ル102は、前記の通り、その回転によつて調圧
ねじ110を回転させ、この結果、この調圧ねじ
110に螺合する六角ナツト120は下降するに
至る。このため、六角ナツト120と第1保持部
材124の間に介装されるコイルスプリング12
2は弾発力を増して若干ダイヤフラム128を撓
曲させながら第2保持部材134を押圧し、減圧
弁63の頭部70は下降することになる。この結
果、減圧弁本体64に形成された突部64aは弁
座部66から離間して前記弁座部66との間で弁
室56を開成する通路を画成する。
そこで、供給ポート52から排出ポート54に
至る溶剤の流量がこの突部64aと弁座部66の
開度の差によつて調圧されることになり、この結
果、所定の減圧作用が施されて溶剤を排気ポート
側54へと導出する。すなわち、ハンドル102
の回転動作を調整することにより、突部64aと
弁座部66との間の離間距離を調整して排出ポー
ト54側の二次側圧力を所望の圧力に設定する。
そして、二次側の圧力が設定した圧力より高くな
り過剰圧になつた場合、前記過剰圧は通路73を
介して室72に導入され、ダイヤフラム128を
押圧する。前記ダイヤフラム128は、コイルス
プリング122の弾発力とのバランスのもとに上
方に変位し、それに伴つて減圧弁本体64も上方
に変位し、突部64aと弁座部66との間の離間
距離が調整される。このようにして、好適に所望
の減圧作用が達成される。勿論、弁室56内では
コイルスプリング62が常時本体64を押圧する
が、一方において、減圧弁63は前記コイルスプ
リング122の作用下に頭部70を押圧するため
にこのコイルスプリング62をキヤツプ部材65
を介して下方へと押圧している。結局、これによ
つて減圧効果が損なわれることはない。
至る溶剤の流量がこの突部64aと弁座部66の
開度の差によつて調圧されることになり、この結
果、所定の減圧作用が施されて溶剤を排気ポート
側54へと導出する。すなわち、ハンドル102
の回転動作を調整することにより、突部64aと
弁座部66との間の離間距離を調整して排出ポー
ト54側の二次側圧力を所望の圧力に設定する。
そして、二次側の圧力が設定した圧力より高くな
り過剰圧になつた場合、前記過剰圧は通路73を
介して室72に導入され、ダイヤフラム128を
押圧する。前記ダイヤフラム128は、コイルス
プリング122の弾発力とのバランスのもとに上
方に変位し、それに伴つて減圧弁本体64も上方
に変位し、突部64aと弁座部66との間の離間
距離が調整される。このようにして、好適に所望
の減圧作用が達成される。勿論、弁室56内では
コイルスプリング62が常時本体64を押圧する
が、一方において、減圧弁63は前記コイルスプ
リング122の作用下に頭部70を押圧するため
にこのコイルスプリング62をキヤツプ部材65
を介して下方へと押圧している。結局、これによ
つて減圧効果が損なわれることはない。
次に、以上のような構成において、供給ポート
52から排出ポート54へと導かれる溶剤がこの
減圧弁から外部へ漏洩することは好適に阻止され
る。すなわち、嵌合部材58とボデイ50との間
にはシールリング60a、60bが二重に介装さ
れると共に、例えば、ポリテトラフルオロエチレ
ンからなるダイヤフラム128には周縁部に凹溝
130が画成され、一方、ボデイ50にはリング
状の突部76が形成され、この凹溝130に前記
突部76が嵌合することによつてより一層シール
性を高めている。このために、溶剤の漏洩が好適
に阻止される。
52から排出ポート54へと導かれる溶剤がこの
減圧弁から外部へ漏洩することは好適に阻止され
る。すなわち、嵌合部材58とボデイ50との間
にはシールリング60a、60bが二重に介装さ
れると共に、例えば、ポリテトラフルオロエチレ
ンからなるダイヤフラム128には周縁部に凹溝
130が画成され、一方、ボデイ50にはリング
状の突部76が形成され、この凹溝130に前記
突部76が嵌合することによつてより一層シール
性を高めている。このために、溶剤の漏洩が好適
に阻止される。
さらに、第2の保持部材134に形成された凹
溝138には前記ダイヤフラム128の内方に突
出する突部132が嵌合し、これによつて一層充
分な液密性が確保されている。
溝138には前記ダイヤフラム128の内方に突
出する突部132が嵌合し、これによつて一層充
分な液密性が確保されている。
さらにまた、ボンネツト82とボデイ50との
間にはシールリング140が介装されている。こ
の場合、前記のようにダイヤフラム128は第1
保持部材124と第2保持部材134によつて挟
持されるだけであるから、従来技術に示すよう
に、ダイヤフラム128自体にはボンネツト82
側へ突出する突部を貫通するための孔部は形成さ
れていない。従つて、耐液密性はここでも十分に
達成される。
間にはシールリング140が介装されている。こ
の場合、前記のようにダイヤフラム128は第1
保持部材124と第2保持部材134によつて挟
持されるだけであるから、従来技術に示すよう
に、ダイヤフラム128自体にはボンネツト82
側へ突出する突部を貫通するための孔部は形成さ
れていない。従つて、耐液密性はここでも十分に
達成される。
しかも、ダイヤフラム128はポリテトラフル
オロエチレンから構成され、且つ外周部から中心
部に指向して肉厚を増すように構成しているため
に調圧作用時の応力を蒙ることが回避され、一層
耐用性が増す。
オロエチレンから構成され、且つ外周部から中心
部に指向して肉厚を増すように構成しているため
に調圧作用時の応力を蒙ることが回避され、一層
耐用性が増す。
なお、このダイヤフラム128の撓曲に際して
は第1保持部材124の面部124a、第2保持
部材134の面部134aが互いに離反するよう
に湾曲形成されているために、これらの保持部材
124,134に阻害されることなく前記ダイヤ
フラム128は撓曲可能である。
は第1保持部材124の面部124a、第2保持
部材134の面部134aが互いに離反するよう
に湾曲形成されているために、これらの保持部材
124,134に阻害されることなく前記ダイヤ
フラム128は撓曲可能である。
次に、第5図に本考案に係る減圧弁の別の実施
例を示す。この場合、前記実施例と同一の参照符
号は同一の構成要素を示すものとする。
例を示す。この場合、前記実施例と同一の参照符
号は同一の構成要素を示すものとする。
この別途案出された実施例においては、特に、
減圧弁本体に関連する考案がなされている。
減圧弁本体に関連する考案がなされている。
すなわち、減圧弁63自体をステンレススチー
ルで形成し、傾斜する肩部にリング状にポリテト
ラフルオロエチレンからなる着座部150を嵌着
し、この着座部150は前記弁座部66に係合す
るよう構成されている。すなわち、この実施例で
は、特に、ステンレススチールからなる弁座部6
6が減圧作用下に前記着座部150に当接したと
してもポリテトラフルオロエチレンからなる前記
着座部150によつて緩衝されて弁座部66の先
端に当接するために、これによつて塵埃が発生す
る等の不都合は効果的に阻止される。
ルで形成し、傾斜する肩部にリング状にポリテト
ラフルオロエチレンからなる着座部150を嵌着
し、この着座部150は前記弁座部66に係合す
るよう構成されている。すなわち、この実施例で
は、特に、ステンレススチールからなる弁座部6
6が減圧作用下に前記着座部150に当接したと
してもポリテトラフルオロエチレンからなる前記
着座部150によつて緩衝されて弁座部66の先
端に当接するために、これによつて塵埃が発生す
る等の不都合は効果的に阻止される。
さらにまた、第6図に本考案に係る減圧弁の別
の実施例を示す。この実施例においても前記実施
例と同一の参照符号は同一の構成要素を示すもの
とする。
の実施例を示す。この実施例においても前記実施
例と同一の参照符号は同一の構成要素を示すもの
とする。
そこで、この実施例においては、減圧弁63は
SUS136等からなるステンレススチール製で
構成し、本体64は傾斜肩部152を有する。一
方、ボデイ50に形成された環状の弁座部66は
前記肩部152に対応する部分にポリテトラフル
オロエチレンからなるリング体154が嵌着され
ている。
SUS136等からなるステンレススチール製で
構成し、本体64は傾斜肩部152を有する。一
方、ボデイ50に形成された環状の弁座部66は
前記肩部152に対応する部分にポリテトラフル
オロエチレンからなるリング体154が嵌着され
ている。
このような形状において減圧弁63が前記弁座
部66に当接したとしてもリング体154はこれ
を容易に受け止め、塵埃等の発生する虞れは存在
しない。すなわち、クリーンルーム内において溶
剤をいかに頻繁に減圧したとしても、その減圧作
用を施す減圧弁63によつて当該溶剤中に塵埃等
が紛れこむ虞れは存在しない。
部66に当接したとしてもリング体154はこれ
を容易に受け止め、塵埃等の発生する虞れは存在
しない。すなわち、クリーンルーム内において溶
剤をいかに頻繁に減圧したとしても、その減圧作
用を施す減圧弁63によつて当該溶剤中に塵埃等
が紛れこむ虞れは存在しない。
本考案によれば、以上のようにシール効果を一
段と向上させると共に、ボンネツト側とボデイ側
との間に施されたシール部材によつて完全に密閉
状態を確保することが出来るため、溶剤ばかりで
なくクリーンエアー、純水等の減圧作用を塵埃を
生じさせることなく導通することが可能となる効
果が得られた。
段と向上させると共に、ボンネツト側とボデイ側
との間に施されたシール部材によつて完全に密閉
状態を確保することが出来るため、溶剤ばかりで
なくクリーンエアー、純水等の減圧作用を塵埃を
生じさせることなく導通することが可能となる効
果が得られた。
以上、本考案について好適な実施例を挙げて説
明したが、本考案はこの実施例に限定されるもの
ではなく、例えば、本考案に係る減圧弁は溶剤に
限らず、クリーンエアー、純水にも使用可能であ
る等、本考案の要旨を逸脱しない範囲において
種々の改良並びに設計の変更が可能であることは
勿論である。
明したが、本考案はこの実施例に限定されるもの
ではなく、例えば、本考案に係る減圧弁は溶剤に
限らず、クリーンエアー、純水にも使用可能であ
る等、本考案の要旨を逸脱しない範囲において
種々の改良並びに設計の変更が可能であることは
勿論である。
第1図は従来技術に係る溶剤用減圧弁の概略縦
断説明図、第2図は本考案に係る減圧弁の説明
図、第3図は第2図に示す減圧弁の開弁状態を示
す説明図、第4図は本考案に係る減圧弁のダイヤ
フラムと第1保持部材と第2保持部材の相関関係
を示す斜視図、第5図は本考案の別の実施例を示
す縦断説明図、第6図は本考案の更に別の実施例
を示す縦断説明図である。 50……ボデイ、52……供給ポート、54…
…排出ポート、56……弁室、58……嵌合部
材、62……コイルスプリング、63……減圧
弁、64……本体、65……キヤツプ部材、72
……室、74……リング、78……面部、82…
…ボンネツト、84……フランジ、102……ハ
ンドル、110……調圧ねじ、112……シール
リング、116……フランジ、118……ねじ、
120……六角ナツト、122……コイルスプリ
ング、124……保持部材、128……ダイヤフ
ラム、134……保持部材、140……シールリ
ング、150……着座部、154……リング体。
断説明図、第2図は本考案に係る減圧弁の説明
図、第3図は第2図に示す減圧弁の開弁状態を示
す説明図、第4図は本考案に係る減圧弁のダイヤ
フラムと第1保持部材と第2保持部材の相関関係
を示す斜視図、第5図は本考案の別の実施例を示
す縦断説明図、第6図は本考案の更に別の実施例
を示す縦断説明図である。 50……ボデイ、52……供給ポート、54…
…排出ポート、56……弁室、58……嵌合部
材、62……コイルスプリング、63……減圧
弁、64……本体、65……キヤツプ部材、72
……室、74……リング、78……面部、82…
…ボンネツト、84……フランジ、102……ハ
ンドル、110……調圧ねじ、112……シール
リング、116……フランジ、118……ねじ、
120……六角ナツト、122……コイルスプリ
ング、124……保持部材、128……ダイヤフ
ラム、134……保持部材、140……シールリ
ング、150……着座部、154……リング体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 供給ポートと排出ポートとを画成したボデイ
と、 前記ボデイに係着されて前記ボデイと共にダ
イヤフラム室を画成するボンネツトと、 前記ダイヤフラム室の内部に延在する調圧ね
じを螺回するハンドルとを含み、 前記ダイヤフラム室内に外周部から中心部に
指向してその肉厚を増加するように形成された
ダイヤフラムと、 前記供給ポートと排出ポートとの間に画成さ
れる弁室に延在する円筒状の突部と、 前記ダイヤフラムの変位作用下に上下方向に
指向して変位する減圧弁本体に形成され、前記
円筒状の突部に係合する環状突部と、 を備えることを特徴とする減圧弁。 (2) 実用新案登録請求の範囲第1項記載の減圧弁
において、減圧弁は供給ポートと排出ポートと
の間に画成される弁室に延在する円筒状の突部
と、減圧弁本体に形成され且つ前記突部に係合
する傾斜肩部とを有し、前記肩部は少なくとも
ポリテトラフルオロエチレンからなる減圧弁。 (3) 実用新案登録請求の範囲第1項記載の減圧弁
において、減圧弁は供給ポートと排出ポートと
の間に画成される弁室に延在する円筒状の突部
と、減圧弁本体に形成され且つ前記突部に係合
する傾斜肩部とを有し、 前記円筒状の突部の下方側に指向して前記傾斜
肩部に当接する部位にポリテトラフルオロエチレ
ンからなるリング体を配設することを特徴とする
減圧弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985048872U JPH0426889Y2 (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985048872U JPH0426889Y2 (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61176610U JPS61176610U (ja) | 1986-11-04 |
JPH0426889Y2 true JPH0426889Y2 (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=30565534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985048872U Expired JPH0426889Y2 (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0426889Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006342927A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Tgk Co Ltd | 逆流防止装置 |
US9874883B2 (en) * | 2009-07-02 | 2018-01-23 | Tescom Corporation | Diaphragm interface apparatus to improve a cycle life of a diaphragm |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5615391U (ja) * | 1979-07-12 | 1981-02-09 |
-
1985
- 1985-04-02 JP JP1985048872U patent/JPH0426889Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5615391U (ja) * | 1979-07-12 | 1981-02-09 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61176610U (ja) | 1986-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5112027A (en) | Metal diaphragm valve | |
JP3704223B2 (ja) | 減圧弁 | |
JPH0783338A (ja) | 制御器 | |
US5326078A (en) | Metal diaphragm valve | |
US3982729A (en) | Back-up seal for diaphragm valve | |
US7175157B2 (en) | Fluid controller | |
TW305916B (ja) | ||
JPH114899A (ja) | 第1段階の調整器のための可動バルブ部材 | |
JP2927582B2 (ja) | 制御器 | |
US5722638A (en) | Valve with means to block relative rotation of parts during assembly | |
JPH0426889Y2 (ja) | ||
JP4016156B2 (ja) | スムースベントバルブ | |
KR100753280B1 (ko) | 락킹-플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기 | |
JPH1137329A (ja) | 樹脂製ダイヤフラム弁 | |
JPH0426890Y2 (ja) | ||
MXPA06002653A (es) | Valvula de retencion. | |
JPH0771628A (ja) | オールメタルダイアフラム弁 | |
JP4319322B2 (ja) | 流量調整弁の組立方法と、その組立方法により組み立てられた流量調整弁 | |
JP7458019B2 (ja) | 開閉弁装置 | |
US5979792A (en) | Suck back valve having diaphragm with thick walled section | |
KR102384826B1 (ko) | 다이어프램 밸브 | |
JPH09230942A (ja) | クリーンガス用減圧弁 | |
JP2573775B2 (ja) | 金属ダイヤフラム弁 | |
JP2698502B2 (ja) | メタルダイアフラム弁 | |
JP2006153132A (ja) | ダイアフラム弁 |