JPH04265834A - 偏波独立型光コヒーレンス領域反射測定装置 - Google Patents

偏波独立型光コヒーレンス領域反射測定装置

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JPH04265834A
JPH04265834A JP29134591A JP29134591A JPH04265834A JP H04265834 A JPH04265834 A JP H04265834A JP 29134591 A JP29134591 A JP 29134591A JP 29134591 A JP29134591 A JP 29134591A JP H04265834 A JPH04265834 A JP H04265834A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本願の発明は光測定および測定機
器の分野に一般的に関連し、特に光システムの特性測定
用反射計に関連するものである。
【0002】
【従来の技術】反射計測定を行うための伝統的手法は、
光時間領域反射測定(OTDR)として知られている。 これは光システムの解析および診断用の重要な非破壊技
術であり、それは光システムの解析および診断用の重要
な非破壊技術であり、それは光ファイバシステムの製造
、設置、および保守において特に役立つ。手短に言えば
、その手法はファイバ内への光の短い強烈なパルスの射
出および時間に依存した後方散乱光信号の測定から成る
。この測定された信号は、温度、機械的歪および電界お
よび磁界のような光伝搬に影響を与えるファイバの不連
続性、欠陥、および異常の位置、種類、および大きさに
関する情報を含んでいる。本技術はレーダおよびソナー
に及ぶ技術に本質的に類似しているが、光周波数におけ
る電磁放射線に対して実行される。この技術の価値は光
システムが単一アクセスポイント(例えば、光ファイバ
の入力端)から調査可能であるという事実に大きく依存
している。この利点はシステムの分解の必要性を除去し
、長い光ファイバのような非常に大きなシステムを人が
診断する場合それは極度に重要となる。この技術につい
てはピーター・ヒーレイ(Peter Healey)
が文書にしている。その記事は「長い波長単一モード光
ファイバ反射測定技術に関する再吟味(Review 
of Long Wavelength Single
−Mode Optical Fiber Refle
ctometry)」と題されて、光波技術ジャーナル
LT−3巻、No.4(1985年8月、PP.876
−886)で発行された。
【0003】従来のOTDR技術がより小さな光システ
ムへ適用される場合、その有用性は減少する。なぜなら
ば、この技術に固有の測定分解能に限界があるからであ
る。分解能は射出された光パルスの長さによって定義さ
れる。このパルス長の減少は、平均パルスエネルギの減
少またはピーク電力の増加のいずれかを当然のこととし
て含む。それらの両方はある一定の限界内に拘束される
。さらに、より短いパルスはパルスのより大きな帯域幅
を必要とする。それらもまた任意の与えられたシステム
に対して制限される。一般的に、OTDR測定により得
られた分解能は10メートルの位であり、実際に、この
技術の分解能限界は約1メートルである。〔「ファイバ
および集積光システムのためのOFDR診断(OFDR
 Diagnostics for Fibre an
d Integrated−Optic Sysems
)」;エス・エイ・キングスレイ(S. A. Kin
gsley)およびディ・イー・エヌ・デービス(D.
E. N. Davies)、電子レター第21巻、N
o.10(1985年3月、pp.434−435)〕
。明らかに、従来のOTDR手法は集積光回路のような
小さなシステムの解析においては役に立たず、またはフ
ァイバに沿った短いインタバルでの応力測定のような高
分解能光ファイバ検出に対して有用ではない。
【0004】改良された分解能は「光周波数領域反射計
(OFDR)」と名付けられた、またはFMCW(周波
数変調連続波)反射計として一般的にもまた参照される
手法により得られる。この手法はキングスレイ(Kin
gsley)およびデービス(Davies)により書
かれた上記の参照記事、およびダブリュ・アイクホフ(
W. Eickhoff)およびアール・ウルリッヒ(
R. Ulrich)が書いた「単一モードファイバに
おける光周波数領域反射測定(Optical Fre
quency Domain Reflectomet
ry in Single−Mode Fiber)」
と題されている論文(応用物理学レター39(9)、1
981年11月1日、pp.693−695で発行)内
に記述されている。この技術は光システム内への光の高
単色ビームの射出、時間線形掃引によるゆっくりした周
波数の変化、および後方錯乱信号の検知から成る。この
検知は後方錯乱信号が基準入力信号によりコヒーレント
に混合されるヘテロダイン手法により実現される。ビー
ト周波数が測定され、ファイバ内で反射点の位置を提供
する。 ビート信号の振幅もまた反射光に対する後方錯乱因数お
よび減衰因数を決定する。上記で引用されたキングスレ
イ(Kingsley)およびデービス(Davies
)により書かれた記事において、この手法により得られ
た約3ミリメートルの分解能が報告され、これは既存の
技術により約1mmへ改良可能であると見積られている
【0005】明らかに、OFDR手法は従来のOTDR
技術と比較して改良された分解能能力を提供する。OF
DR手法は後方錯乱信号および基準信号間の可干渉測定
であるため、それはまたより大きなダイナミックレンジ
および反射信号電力の標準OTDR測定を超える改良さ
れたS/N比を提供する。OFDR手法は低光入力信号
電力のみを必要とするので、ファイバにおける光伝送の
非線形効果が減少される。しかしながら、OFDR技術
にはある欠点も存在する。その手法は高単色源を必要と
するだけでなく、それはまた周波数掃引非直線性に対し
ても敏感であり、そしてそれは周波数掃引範囲により制
限される。
【0006】ヘテロダイン検知はまたは非常に短いパル
スを持つOTDRシステム内で使用され、マイクロメー
タ範囲内で分解能を実現する。この種のシステムはアー
ル・ピー・ノヴァーク(R. P. Novak)、エ
イチ・エイチ・グリーゲン(H. H. Gilgen
)、およびアール・ピー・サラーテ(R. P. Sa
lathe)により書かれた「平衡ヘテロダイン検知を
持つOTDRシステムを用いてのマイクロメータ範囲に
おける光構成要素に関する調査(Investigat
ion of Optical Components
 in Micrometer Range Usin
g an OTDR System With the
 Balanced Heterodyne Dete
ction)」と題される論文内で、およびピー・ベア
ウド(P. Beaud)、ジェー・シュッツ(J. 
Schuetz)、ダブリュ・ホーデル(W. Hod
el)、エイチ・ピー・ウェーバー(H. P. We
ber)、エイチ・エイチ・ギルゲン(H. H. G
ilgen)、およびアール・ピー・サラーテ(R. 
P. Salathe)により書かれた「集積光機器に
関する調査のための高分解能光時間領域反射測定(Hi
gh Resolutional Optical T
ime DomainReflectometry f
or the Investigation of I
ntegrated Optical Devices
)」(光技術のIEEEジャーナル、第25巻、198
9年  pp.755−759)と題される論文内で記
述されている。より正確に言うと、この技術は「コヒー
レンスOTDR」と名付けられる可能性がある。これら
の著者たちは、極超短パルスを使用することにより、O
TDR手法は大気中で約60μmの分解能を実現可能で
あると報告している。  分解能におけるさらに一層の
改良は、「光コヒーレンス領域反射測定」(OCDR)
として知られる別の技術により得られた。この手法は以
下の3つの記事内で記述される。
【0007】(1) 「光コヒーレンス領域反射測定:
新しい光評価技術(Optical Coherenc
e−Domain Reflectometry : 
A New Optical Evaluation 
Technique)」ロバート・シー・ヤングクイス
ト(Robert C.Youngquist)、サリ
ー・カー(Sally Carr)、およびディー・イ
ー・エヌ・デービス(D. E. N. Davies
)著、光学レター、第12巻  No.3(1987年
 3月  pp.158−160)(2) 「干渉技術
に基づいた光導波管における故障位置に関する新しい測
定システム(New Measurement Sys
tem for Fault Location in
 Optical Waveguide Device
s Based on an Interferome
tric Technique)」、ケー・タカダ(K
. Takada)、アイ・ヨコハマ(I. Yoko
hama)、アイ・チダ(I. Chida)、および
ジェー・ノダ(J. Noda)、応用光学、第26巻
  No.9(1987年3月1日  pp.1603
−1606) (3) 「マイクロメータ解像度による導波反射測定(
Guided−Wave Reflectometry
 with Micorometer Resolut
ion)」ビー・エル・ダニエルソン(B. L. D
anielson)およびシー・ディー・ウィッテンベ
ルク(C. D. Whittenberg)応用光学
、第26巻、No.14(1987年6月15日  p
p.2836−2842) OCDR手法は、パルス光源の代わりに、短いコヒーレ
ンス長を持つ広帯域連続波源を使用するコヒーレンスO
TDR技術とは異なる。源ビームは1つのアームが可動
鏡を持ち(この鏡からの反射光が基準ビームを提供し)
、そして他のアームは試験される光システムを含んでい
る干渉計に入る。2つのアームからのコヒーレントに混
合された反射光内の干渉信号は通常のヘテロダイン手法
により検知され、光システムに関する所望情報をもたら
す。
【0008】本質的に、領域が光位相がコヒーレントに
関連されるビームのある1つの部分として定義される場
合、OCDR技術はビームパルスを広帯域連続ビームに
おける「コヒーレンス領域」により置き換える。これら
の部分の平均の大きさは「コヒーレンス長」と名付けら
れ、以下のような次数である。
【0009】
【数1】
【0010】ここで、c は光の速度であり、Δνは光
源の周波数広がりである。〔光学の原理  第4版  
エム・ボーン(M. Born)およびイー・ウルフ(
E. Wolf):ペルガモン・プレス(Pergam
on Press)ニューヨーク(1970年)、第7
.5.8 節〕。後方散乱「領域」のヘテロダイン検知
は「白光干渉測定」の手法により遂行される。その手法
は、ビームが干渉計の2つのアームへ分割され、調整可
能な鏡および後方散乱部位により反射され、そしてコヒ
ーレントに再び結合されるというものである。この手法
は、2つのアーム間の光路長における差異がビームのコ
ヒーレンス長lc 未満である場合にのみ、干渉縞が再
結合ビーム内に現れるという事実を利用している。 上記の参考文献(1)および(3)内で記述されるOC
DRシステムはこの原理を使用し、参考文献(3)は調
整可能な鏡の掃引および再結合信号の強度の測定により
得られた試験システムにおけるファイバギャップのイン
ターフェログラムを示している。参考文献(1)はまた
、基準アーム内の鏡が制御された周波数および振幅で発
振し、その結果基準信号内で時変ドプラシフトを引き起
こす原因となり、そして再結合信号が濾過回路へ送られ
、ビート周波数信号を検知するという変更手法を記述し
ている。
【0011】この技術のもう一つのバリエーションを参
考文献(2)で図解する。参考文献(2)は基準アーム
鏡が固定位置であり、2つのアーム内の光路長における
差異がコヒーレンス長を超過する可能性がある場合であ
る。結合信号は、次に、2つの鏡(1つは所定の位置に
固定されており、もう1つは可動状態となっている)の
付いた第二ミッケルソン干渉計内へ導入される。この可
動鏡は走査され、第二干渉計のアーム間の路長における
差異は、散乱部位に対応している鏡の離散位置における
後方散乱および基準信号間の遅延を補正する。実際に、
明らかな周波数における振動位相変化は、この部位へ導
いているファイバ内の圧電変換器変調器(PZT)によ
り、後方散乱部位からの信号に課せられる。ミッケルソ
ン干渉計からの出力信号はロックイン増幅器へ送られる
。ロックイン増幅器は、PZT変調および走査線の動き
により引き起こされるドプラシフトの両方から発生する
ビート周波数信号を検知する。この技術はわずか15μ
mの分解能を持つガラス導波管内の不規則性を測定する
ために用いられた。〔「1,3−μm波長超発光ダイオ
ードを用いている干渉測定光時間領域反射測定システム
を持つシリカベースの導波管の特性決定(Charac
terization of Silica−Base
d Waveguides with an Inte
rferometric Optical Time−
Domain Reflectometry Syst
em Using a1.3−μm−Waveleng
thSuperluminescent Diode)
)」、ケー・タカダ(K. Takada)、エヌ・タ
カト(N.Takato)、ジェー・ノダ(J. No
da)、およびワイ・ノグチ(Y. Noguchi)
、光学レター、第14巻、No.13、(1989年7
月1日  pp.706−708)〕要約すれば、OC
DR技術はコヒーレンス反射測定のその他の利点と共に
、光システムの高分解能測定能力を提供するということ
である。この技術により得ることができるダイナミック
レンジは、電力対数目盛り上で100dBを超過可能で
あり、1フェムトワットの次数の反射光を発生させてい
る10−5の屈折率不連続性を当然のこととして含んで
いる。分解能に関する基本的な限界は源帯域幅において
対応する増分を持つ光源のコヒーレンス長であり、それ
は数ミクロンへ減少可能である。
【0012】OCDR、OFDR、およびコヒーレンス
OTDR技術すべては、光ビームの偏光性質から発生す
る共通した問題を共有する。この問題は光の2つのビー
ム間の干渉は、両方のビームが同一の偏光状態を持つ場
合にのみ発生可能であるという事実に基づいている。さ
らに正確に述べれば、2つの光ビームの干渉信号は、2
つの直交偏光状態におけるビーム構成要素からの干渉信
号のコヒーレンス合計である。例えば、1つのビームが
水平方向に線形に偏光され、もう一方のビームが垂直方
向に線形に偏光される場合、如何なる干渉も発生しない
であろう。もちろん、理想的には、入って来るビームが
干渉計の2つのアームに分割され、反射され、そしてコ
ヒーレントに再結合される場合、ビーム偏光は変化しな
い。上記で議論された参考文献(2)は、この必要条件
を実施するため、最初の干渉計の入口および出口ファイ
バにおいて相互に一列に並べられた偏波器および分析器
を含む。実際に、任意の実際のファイバはそれにより移
動する光の偏光のある一定量の歪を引き起こすであろう
。 さらにこの偏光歪は時間に依存するものである可能性が
ある。ファイバ内の偏光雑音およびクロストークは、機
械的、熱的、および電磁的効果からの内部および外部摂
動により引き起こされる可能性があり、インターフェロ
グラムにおいて観察される縞のフェージングまたは減少
された可視性を発生させる可能性がある。さらに、与え
られた後方散乱部位の標示は、複屈折ファイバにおける
2つの偏光固有モード間のグループ遅延差異により複雑
化される可能性がある。
【0013】この問題はその技術に堪能な人々により認
識され、文献の中で繰り返し述べられた。例えば、以下
を参照:「コヒーレンスOTDRにおけるフェージング
速度(Fading Rates in Cohere
nt OTDR)」、ピー・ヒーレイ(P. Heal
ey)、電子レター、第20巻、No.11、(198
4年3月24日  pp.443−444);「高複屈
折単一モードファイバにおける複屈折および偏光分散測
定(Birefringence and Polar
ization dispersion Measur
ements in High−Birefringe
nce Single−Mode Fibers)」、
エム・モネリー(M. Monerie)およびエフ・
アラード(F. Alard)、電子レター、第23巻
、p.198 (1987年)。事実、OCDRおよび
干渉計技術はファイバ内の偏光歪を測定するため幅広く
使用された。例えば、次の例を参照:「新しい検知手法
による複屈折偏光維持ファイバにおけるモード連結の空
間分散に関する測定(Measurement of 
Spatial Distribution of M
ode Coupling in Birefring
entPolarization−Maintaini
ng Fiber with New Detecti
on Scheme)」、ケー・タカダ(K. Tak
ada)、ジェー・ノダ(J. Noda)、およびケ
ー・オカモト(K. Okamoto)、光学レター、
第11巻、No.10、(1986年10月  pp.
680−682);「ミッケルソン干渉計における位相
差のスペクトル掃引による短信号モードファイバ内の色
分散特性決定(Chromatic Dispersi
on Characterization in Sh
ort Single−Mode Fibers by
 Spectral Scanning of Pha
se Difference in a Michel
son Interferometer)」、ジェー・
ピレイヨ(J. Pelayo)、ジェー・パニエロ(
J. Paniello)、およびエフ・ビルエンダス
(F. Villuendas)光波技術ジャーナル、
第6巻、No.12、(1988年12月  pp.1
861−1865);「干渉技術を実現するための3つ
の方法:色分散、複屈折、および非線形磁化率の測定へ
の適用(Three Ways toImplemen
t Interferencial Techniqu
es : Application toMeasur
ements of Chromatic Dispe
rsion, Birefringence, and
 Nonlinear Susceptibiliti
es)」、ピー・エル・フランソワ(P.−L.Fra
ncois)、エム・モネリー(M. Monerie
)、シー・バサロ(C. Vassallo)、ワイ・
ドルテステ(Y. Durteste)、およびエフ・
アール・アラド(F. R. Alard)光波技術ジ
ャーナル、第7巻、No.3、(1989年3月  p
p.500−513);「偏光維持ファイバにおけるモ
ード連結および消滅比に関する測定(Measurem
ent of Mode Couplings and
 Extinction Ratios in Pol
arization−Maintaining Fib
ers)」、エム・ツボカワ(M. Tsubokaw
a)、ティ・ヒガシ(T. higashi)、および
ワイ・ササキ(Y. Sasaki)光波ジャーナル、
第7巻、No.1(1989年1月  pp.45−5
0) この問題に関する拡張議論は次の記事中で提供される。 :ヘテロダインまたはホモダイン光ファイバ通信のため
の偏光状態制御手法(Polarization−St
ate Control Schemes for H
eterodyne or Homodyne Opt
ical Fiber Communications
)」、ティー・オーコシ(T. Okoshi)、光波
技術ジャーナル、第LT−3巻、No.6(1985年
12月  pp.1232−1237)。この論文にお
いて、偏光維持ファイバの使用は理論的にはその問題に
対する完全な解法であるが、この解放は、実際的な理由
に対しては不満足であるということが認められる。著者
は2つの別の手法について述べている。つまり、a) 
規準信号偏光を試験信号のそれに適合する偏光状態制御
装置の使用、および b) 結合信号の2つの直交構成
要素が別々に検知され、適切な位相補正後に後に追加さ
れる偏光ダイバーシチ受信機(PDR)の使用である。 著書は手法 b) に関する如何なる追加記述もなしに
、a) 手法実現のための様々な手法に関する議論を続
ける。これらの偏光状態制御手法の1つ以上において発
生するいくつかの問題が記述される。つまり以下のよう
である。
【0014】a) 挿入損失(Insertion L
oss)。偏光制御装置の挿入は所望される反射測定信
号を減衰させる可能性がある。
【0015】b) 制御における無限性(Endles
sness inControl)。システムの偏光状
態歪は未知の範囲を超えて変動する可能性があり、従っ
て制限範囲の制御装置は周期的に「リセット」を行う必
要がある可能性がある。
【0016】c) 一時応答(Temporal Re
sponse)。偏光状態未知の迅速さで変動する可能
性がある。装置の手動制御は適切でない場合がある。自
動制御フィードバック手法は応答時間が非常に長すぎて
、それらの変動を正確に追跡できない可能性を持つ。
【0017】d) 機械的摩耗の有無(Presenc
e or Absence of Mechanica
l Fatigue)。偏光変動に対応し機械的構成要
素の移動を含むすべての手法は、機械的摩耗の可能性を
被っている。
【0018】オーコシ(Okoshi)により書かれた
記事において記述される各々の技術は、少なくとも如何
なる上記の欠点も持たない。本論文の結論は、如何なる
熟考される手法も完全に満足のいくものではなく、より
いっそうの努力が必要とされるということである。
【0019】上記のOkoshi論文は、ヘテロダイン
またはホモダイン光ファイバ通信の状況において、PD
R技術の使用のみに関連している。PDRは任意の偏光
状態を持つ信号を検知する光ヘテロダイン受信機であり
、次の記事中で記述されている。:「偏光独立コヒーレ
ンス光受信機(Polarization Indep
endent Coherent Optical R
eceiver)」、ビー・グランス(B. Glan
ce)、光波技術ジャーナル、第LT−5巻、No.2
(1987年2月  pp.274−276)、PDR
技術に関する追加議論は次の記事内に提示されている。 :「偏光ダイバーシチを使用しているコヒーレンスFS
K伝送システムの偏光非敏感動作(Polarisat
ion−Insensitive Operation
 of Coherent FSK Transmis
sion System Using Polaris
ation Diversity)」エス・リュー(S
. Ryu)、エス・ヤマモト(S. Yamamot
o)、およびケー・モチズキ(K. Mochizuk
i)、電子レター、第23巻、No.25(1987年
12月3日  pp.1382−1384);「偏光ダ
イバーシチを使用しているFSKヘテロダイン光伝送シ
ステムの最初の海での試行(First Sea Tr
ial of FSK Heterodyne Opt
ical TransmissionSystemUs
ing Polarisation Diversit
y)」、エス・リュー(S. Ryu)、エス・ヤマモ
ト(S. Yamamoto)、ワイ・ナミヒラ(Y.
 Namihira)、ケー・モチズキ(K. Moc
hizuki)、およびエイチ・ワカバヤシ(H. W
akabayashi)、電子レター、第24巻、No
.7(1988年3月31日  pp.399−400
);「コヒーレンス光ファイバ通信システム用の新しい
位相および偏光非敏感受信機(New Phasean
d Polarization−Insensitiv
e Receivers for Coherent 
Optical Fibre Communicati
on Systems)」、エヌ・シング(N. Si
ngh)、エイチ・エム・グプタ(H. M. Gup
ta)、およびブイ・ケー・ジェイン(V. K. J
ain)光および量子電子、第21巻(1989年  
pp.343−346);「コヒーレンス光ファイバ通
信のための適合可能な偏光ダイバーシチ受信機構成(A
daptive Polarisation Dive
rsity Receiver Configurat
ion for Coherent Optical 
Fibre Communications)」、エイ
・ディ・カーシー(A. D. Kersey)、エム
・ジェー・マローネ(M. J. Marrone)、
およびエイ・ダンドリッジ(A. Dandridge
)、電子レター、第25巻、No.4(1989年2月
16日  pp.275−277)。これらの記事すべ
ては、ファイバ偏光歪の問題を除去するため、光信号の
ヘテロダイン受信のためのPDR技術の使用を議論して
いる。如何なる提案も、コヒーレンス反射測定における
光ファイバの偏光歪処理に関する可能な手段としてのこ
のPDR技術に関して行われない。
【0020】本技術の技術的状況を要約すると、反射測
定システムにおいて改良された分解能およびS/N比は
コヒーレンス検知手法を使用することにより得られるこ
とが知られている。すなわち、それは反射信号が基準信
号とコヒーレントに混合され、結果的に生じた干渉信号
が検知されるという光反射測定システムである。さらに
、分解能の観点からの最適なコヒーレンス検知手法はO
CDRである。OCDRは分解能が光源のコヒーレンス
長により決定されるというものである。この分解能は広
帯域源を使用することにより、非常に小さくできる。
【0021】すべての光コヒーレンス検知手法のような
このコヒーレンス検知手法が、システムによる光伝送の
偏光安定性に依存することもまた知られている。光ビー
ム間の干渉は同一偏光状態を持つ信号によってのみ発生
可能である。干渉測定計の1つのアーム内の信号の偏光
における変化、または両方のアーム内の非相関変化は、
結果的に生じた干渉信号を悪化させるであろう。偏光に
おけるこれらの変化は、内外部の両方の原因から発生可
能である。外部原因という観点からさらに詳しくみれば
、ビーム偏光における変化は、環境条件における変動に
より時間に依存する可能性がある。
【0022】偏光安定性の問題は光コヒーレンス反射測
定システムだけに限られるものではない。それはコヒー
レンス検知手法を使用している光通信システムにおいて
もまた発生する。この状況において、解放が次の2つの
一般的なものとして提案された。すなわち、直接偏光制
御器および偏光ダイバーシチ受信機である。PDRシス
テムはこの状況のために特定に設計された。
【0023】反射測定状況において、干渉計の注意深い
設計および組み立てにより、偏光安定性の問題を部分的
に除去可能である。偏光維持ファイバは使用可能であり
、機器はそれを環境的な摂動から十分に隔離するためハ
ウジング内へ収納可能である。これは部分的な解放のみ
である。なぜならば、動作において、機器は(多分、光
ファイバまたは他の伝送手段により)試験されるべき装
置へ接続されていなければならず、偏光歪はこれらの外
部ファイバまたは信号電線管内で発生する可能性がある
。さらに、試験下のシステムはそれ自身で、反射または
反射部位における反射測定信号の偏光において、または
システム内の光電線管において変化を作り出す可能性が
ある。これらの摂動は元々環境的なものである場合があ
り、本質的には制御不可能な方法で時間の経過と共に変
動する可能性がある。従って、光コヒーレンス反射計に
おいて、試験下の装置へ接続されている干渉計のアーム
内で伝送および受信されつつある光信号の観点から、偏
光不安定性の問題は常に存在している。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】従って、本願の発明の
目的は、光ファイバ、反射計システム、および試験下の
装置の偏光歪効果とは独立に反射測定信号を測定する光
コヒーレンス領域反射計を提供することである。
【0025】発明の第二の目的は、偏光に対し独立な反
射測定信号を提供するため、容易に較正および調整可能
な光コヒーレンス領域反射計を提供することである。
【0026】発明のもう一つの目的は、光源のコヒーレ
ンス領域の偏光および源の異なる偏光構成要素間の干渉
とは独立に、反射測定信号を測定する光コヒーレンス領
域反射計を提供することである。
【0027】発明の別の目的は、光ファイバ、反射計シ
ステム、および試験下の装置の偏光歪効果とは独立に光
コヒーレンス領域反射測定信号を測定するための手法を
提供することである。
【0028】発明のもう一つの目的は、偏光に対し独立
な反射測定信号を提供するため、光コヒーレンス領域反
射計を容易に較正および調整するための手法を提供する
ことである。
【0029】発明のさらなる目的は、光源のコヒーレン
ス領域の偏光および源の異なる偏光構成要素間の干渉と
は独立に、光コヒーレンス領域反射測定信号を測定する
ための手法を提供することである。
【0030】
【課題を解決するための手段】本願の発明はコヒーレン
ス光反射測定システムであり、それは偏光ダイバーシチ
受信機技術から採られた手法により、光ファイバおよび
システム構成要素における偏光変化および歪に関する問
題を克服する。特に、広帯域光源を提供するための発光
ダイオード、および基準光ビームを提供するため1つの
アームが光システムまたは試験下の装置(DUT)を含
み、もう一方のアームが走査鏡を含んでいる干渉計を持
つ光コヒーレンス領域反射計が開示されている。反射計
はコヒーレントに再結合された反射光が向けられる偏光
ダイバーシチ受信機(PDR)を含む。走査鏡は固定速
度で駆動され、ドプラシフト基準光信号を提供する。基
準アームはPDR内のハンドパスフィルタにより効果的
に検知可能な周波数で干渉信号を提供するため、基準信
号の位相を変調する圧電変換器(PZT)を含む。この
方法で、PZTは周波数シフタの動きをシミュレートす
る。基準アームではまた、反射基準信号が線形に偏光さ
れるように、回転調整可能な偏波器を含む。等価基準ビ
ーム電力がPDRの2つの直交偏光検知器回路内で提供
されるよう、反射計を校正するため光軸の回りで偏光軸
が回転される可能性がある。この偏光の追加の微制御は
干渉計のDUTアーム内で偏光制御器(PC)により提
供可能であるが、このことは必要ではない。
【0031】この反射計の上記バージョンは偏光されて
いない光源を利用する。発明の別のバージョンにおいて
、光源はLEDであり、その後に偏光光を提供する偏波
器が続く。このバージョンにおいて、基準ビームアーム
内の線形偏波器は、波プレートまたは偏光制御器のよう
な調整可能な複屈折要素により置き換えられる。PDR
の検知器回路において基準ビーム電力を平衡化するため
、反射計は複屈折要素を調整することにより較正される
【0032】反射計のさらに別のバージョンは、干渉計
基準アームまたはビーム出力チャンネルにおいて、また
はその両方において追加偏光制御器を含む。これらのP
Cにより、光偏光に影響を及ぼすシステム内の摂動に対
して補正を行うため、反射計の追加の微同調調整および
較正が可能となる。
【0033】本願の発明に関するこれらおよび他の目的
、利点、特性、および特徴は、提出される実施例の明細
書と共に以下の図面を調べることにより、より良く理解
することができる。
【0034】
【実施例】図1を参照する。光コヒーレンス領域反射計
が広いスペクトルを生成する光源1を持った状態で提供
されている。この源は発光ダイオード(LED)または
類似した手段を一部として含んでいる可能性がある。こ
の源に関する不可欠な必要条件は、光のコヒーレンス長
が反射計の所望される分解能を実現するよう、十分に短
くなければならないことである。
【0035】この源からの光は干渉計の入力チャンネル
を形成する光ファイバ2に入る。この干渉計は半銀めっ
き鏡または他のビーム分割手段がファイバカプラにより
置き換えられるミッケルソンタイプのものである。従っ
て、図1において、光の伝送モードが干渉計の基準アー
ムファイバ4および試験アームファイバ5との間で等し
く分割されるように、ファイバ2は光を3dB単一モー
ドファイバ(SMF)カプラ3へ導く。基準アームファ
イバ4における光は、光信号の位相を変調する圧電変換
器(PZT)6を通過する。PZTを離れていく光の位
相がその変調されない値周辺で時間依存振動性の手法で
変化するよう、PZTは与えられた周波数で発振器7に
より駆動される。
【0036】PZTから離れていく光信号は、視準レン
ズ8および線形偏波器9により伝送される。この偏波器
は光ビームの光軸周辺を回転可能で、線形偏光の任意の
所望される方向を選択する。偏波器9からの現われる線
形に偏光された光は通常走査鏡10に影響を与え、反射
される。この鏡10はこの鏡が制御された方法でビーム
軸に沿って動かされる可能性がある機構上に取り付けら
れている(図面内では示されていない)。機構は鏡の動
きに関する十分な範囲、速度、および制御を可能にする
任意の従来のタイプ(例えば、ねじ機械、ばねソレノイ
ド等)である可能性がある。鏡10からの反射光は偏波
器9、レンズ8、PZT6、およびファイバカプラ3へ
のファイバ4により後ろへ移動する。
【0037】干渉計の試験アーム5における光は、それ
を通して通過している任意の完全にまたは部分的に偏光
された光の偏光状態を変えるため、減速波プレートとし
て働くファイバベースの偏光制御器11(PC)を通っ
て通過する。PCから、ビームは試験下の光機器(DU
T)12へ向けられる。DUTは反射計により測定され
ているシステムである。DUTからの反射光はPCおよ
び試験アーム5の光ファイバを通して戻る。この反射光
および基準アーム4からの反射は、ファイバカプラ3へ
入り、再組合せされる。可逆的なSMFカプラは、この
再結合ビームの一部を出力ファイバ13内へ向ける。こ
の出力ファイバ13は、図1内で点線で囲まれている回
路である偏光ダイバーシチ受信機(PDR)14の入力
部分へ光を運ぶ。
【0038】図1内で示されるPDRは、通信チャンネ
ル内で通常使用される符号化信号よりむしろ、干渉信号
を検知するために適合される。PDR入力ファイバ13
からのビームは、偏光ビームスプリッタ16(PBS)
上へ焦点レンズ15により向けられ、図中「V」(垂直
)および「H」(水平)によって示される偏光の直交方
向を持つ2つの線形に偏光された構成要素へビームを分
離する。通常の規則に従って、これらの指定は光信号に
おける電界の方向に関連する。各々の構成要素は、図解
される実施例内のホトダイオードである光検知機により
別々に測定される。従って、ビームの垂直に偏光された
構成要素はホトダイオード17vに影響を与え、それに
より吸収され、水平に偏光された構成要素は第二のホト
ダイオード17hに到達する。これらのホトダイオード
17v、17hにより作られる電流は、ビームの垂直お
よび水平に偏光された構成要素の輝度にそれぞれ比例す
る。
【0039】各々のホトダイオードの出力端子は帯域フ
ィルタ(BPF)の入力へ接続され、図中で18v、1
8hとしてそれぞれ指定されている。これらのBPFは
直流分およびホトダイオード信号の高周波数搬送波を濾
過により取り除く。各々のBPFの出力は包絡線検知器
(ED)の入力端子へ接続され、図1中19vおよび1
9hでそれぞれ示される。各々のED回路の出力は「二
乗回路」(X2)へ接続され、それぞれ20v、20h
とラベル付けされる。二乗回路は入力信号の二乗に比例
する出力信号を生成する。最後に、二乗回路からの出力
信号は「加算器回路」(+)の入力端子(21と指定さ
れている)へ接続される。加算器回路は二乗回路20v
、20hからの信号の合計に比例する読み出し信号を発
生する。
【0040】BPF、ED、+、およびX2回路は、図
1内においてブロック図形式で簡略に示されている。こ
れらの構成要素は従来の電子回路である。従って、それ
らの設計および電力およびバイアス供給のような補助構
成要素に関する詳細は、その図から省かれている。これ
らの構成要素間で伝送される電子信号は、電圧または電
流パルスである可能性がある。理解を明確にするため、
以下においてこれらの信号は電流パルスであると仮定す
る。
【0041】干渉計の動作は光信号における電界の観点
から記述される可能性がある。LEDにより生成され、
入力ファイバ2内でAとラベル付けされた位置で評価さ
れる与えられたコヒーレンス領域のための電界は、時間
関数として以下のように記述される可能性がある。
【0042】
【数2】
【0043】ここで、ω=2πνは領域内の光の角搬送
波周波数であり、E0はゼロ位相における電界の振幅お
よび方向を表わしているベクトルであり、θA は電界
が観察されるシステム内の位置に依存する位相の部分で
あり、そしてφ(t)は位相への統計的貢献度を定義し
、コヒーレンス時間および領域の限界を決定する関数で
ある。図5は時間に対して作図される関数φ(t)の概
略スケッチを示している。ここで、領域は時間ゼロで放
出されると仮定される。tがゼロを超過し、コヒーレン
ス時間未満であり、τc により示される場合、φは本
質的に一定である。この範囲以外の時間値に対して、φ
はランダムに変化する時間関数である。従って、電界は
その範囲に対してのみそのコヒーレンスを保持する。
【0044】
【数3】
【0045】最後に、コヒーレンス時間は以前に議論さ
れたコヒーレンス長に関連する。
【0046】
【数4】
【0047】ここで、cは真空中における光の速度であ
り、nはファイバにおける反射指数である。
【0048】光ビームにおけるコヒーレンス領域に関す
るこの記述は、完全には正確ではない。その記述におい
て、ランダムに変化する関数として範囲〔o ,τc〕
外の電解を記述し、一方それは統計的変数である。さら
に、方程式(3) により定義されるコヒーレンス範囲
外の電界の偏光もまた統計的変数である。ここで示す我
々の記述モデルにおいて、方程式2内の項
【0049】
【数5】
【0050】によりこの変数を置き換える。この項はコ
ヒーレンス範囲内で消え、そしてこの範囲外でランダム
かつ迅速に変化する時間関数である。ベクトル
【005
1】
【数6】
【0052】は
【0053】
【数7】
【0054】に垂直に交わるように選択され、従って電
【0055】
【数8】
【0056】は次数の時間変化によりランダムに変化す
る偏光を持つ。
【0057】最後に、電界に関して複雑な提示がここで
使用されている。実際の電界は前の式の実数部分である
。指数式において、「i」は−1の平方根を表わす。 さらに、ある与えられたコヒーレンス領域内の電界をあ
る固定周波数νにあるとして記述している。事実、周波
数の広がりが存在し、それは方程式(1)内において帯
域幅Δνにより表わされる。
【0058】基準アームファイバ4に入っていく電界の
部分は、位置Bにおいて以下のように書くことができる
【0059】
【数9】
【0060】次に、この信号はPZTを通過する。PZ
Tは以下の項を追加することにより、信号の位相を変調
する。
【0061】
【数10】
【0062】ここでωm=2πνm は発振器7がPZ
Tを駆動する角周波数である。次に、信号は偏波器9を
通って進み、鏡10により反射される。この鏡は速度V
mで動くと仮定される。これは位相貢献により与えられ
た反射信号においてドプラシフトを導入する。
【0063】
【数11】
【0064】ここで
【0065】
【数12】
【0066】これはドプラ周波数シフトに関するよく知
られている式である。ここで、  は光の波長である。 鏡が全体的に反射的であるとさらに仮定する場合、ファ
イバ4内の位置Cにおける反射光の電界は以下のように
記述可能である。
【0067】
【数13】
【0068】ここで、Erは鏡10からの反射後、偏波
器9により伝送された電界フィールドベクトルである。 類似した方法で、試験アームファイバ5に入ってくる光
信号の部分は、以下のように記述可能な位置Dにおいて
1つの電界を持つ。
【0069】
【数14】
【0070】しばらく、PC11の効果を無視すること
にする。この信号は次にDUT12内へ進む。そしてあ
る部分はDUTにおいて与えられた反射部位で反射され
、反射係数Rにより特性決定される。DUTにおいて如
何なる偏光の歪も存在しない場合、戻ってきた信号は次
にEにおいてその値を持つ。
【0071】
【数15】
【0072】しかしながら、一般的にこれは真実ではな
く、Eにおける戻り信号界は以下のように記述されるべ
きである。
【0073】
【数16】
【0074】ここで、現在の
【0075】
【数17】
【0076】は反射信号電界の方向および振幅であり、
そして
【0077】
【数18】
【0078】は
【0079】
【数19】
【0080】に比例する。
【0081】干渉計の2つのアームからの反射信号は、
カプラ3において再結合され、再結合された信号電力の
半分は出力ファイバ13内へ向けられる。位置F(PD
Rへの入口)において結果的に生じた信号は、以下のよ
うに記述可能な電界を持つ。
【0082】
【数20】
【0083】ここで、
【0084】
【数21】
【0085】および
【0086】
【数22】
【0087】はそれぞれ、
【0088】
【数23】
【0089】および
【0090】
【数24】
【0091】に直交する偏光を持つ位置Fにおける界の
統計的構成要素である。これはPDR14内へ送られる
信号である。簡略化のために、電界EF に関する式を
以下のように記述する。
【0092】
【数25】
【0093】ここで、下付文字である r および S
 はそれぞれ、基準アームおよび試験アームから発生す
る項に関連する。
【0094】実際の使用において、基準信号
【0095
【数26】
【0096】が水平および垂直線形偏光の等しい構成要
素を持つよう、等しい基準ビーム電力がPDRの各々の
分岐へ向けられるよう、反射計は最初に較正される。こ
のことは、Rが無視可能なような最初にDUTを切り離
し、次に線形偏波器9を回転させることにより実施され
る。この回転効果を図2において図解する。図2は通常
のポアンカレ球体に関する図である。この図において、
点VおよびHは垂直および水平偏光状態を表わし、Fお
よびNは角度45度における線形偏光状態を表わし、そ
してRおよびLは左右円形偏光をそれぞれ表わしている
。 水平および垂直偏光の等しい輝度を持つすべての状態を
含む大きな円L、E、R、N上にある偏光を持つ基準信
【0097】
【数27】
【0098】を作成することが所望される。
【0099】偏波器9における反射基準ビーム信号は線
形に偏光される。従って、それは線形偏光のすべての状
態を含んでいる大きな円V、F、H、N上に落ちる。偏
波器からPDR入力ポートFへの移動において、基準ビ
ームはファイバ内でいくらかの偏光歪を受ける可能性が
ある。任意のそのような歪は、球体の中心を通る軸周辺
でポアンカレ球体上のすべての点の回転として記述可能
である。図2において、この歪は軸
【0100】
【数28】
【0101】周辺の角Ωによる回転として表わされる。
【0102】この図から、与えられた回転
【0103】
【数29】
【0104】に対して、示されるように、円L、E、R
、N上の点Qへ回転により運ばれる円V、F、H、N上
の点Pを見つけだすことは常に可能であることが瞬時に
明らかとなる。従って、偏光状態Pを作成するため、偏
波器9は人の手により常に調整可能である。偏光状態P
は垂直および水平偏光輝度の等しい構成要素を持つPD
Rにおいて偏光Qを結果的に生じる。
【0105】ここで図3を参照する。干渉計の2つのア
ームから到達するビーム内の位置Fにおける電界は、異
なる偏光を持っている可能性がある。上記の較正後、基
準界
【0106】
【数30】
【0107】は45度の角度(図2の点FまたはN)で
線形偏光である可能性がある。さらに、その周波数スペ
クトルは方程式(13)内で記述されたドプラシフトお
よびPZ位相シフトの両方によりシフトされる可能性が
ある。 図4は信号ErおよびESのスペクトルを概略的に示し
ており、このグラフは縮尺で描かれていない。
【0108】図3において、試験アーム信号は同一の偏
光歪を受けたものと仮定される。なぜならば、伝送ファ
イバの複屈折により、水平および垂直偏光構成要素は互
いに位相がずれるからである。従って、これらの構成要
素を再度複雑な表現で、以下のように表わすことができ
る。
【0109】
【数31】
【0110】
【数32】
【0111】量δH, δVは、このファイバ複屈折に
より引き起こされた位相変更を表わす。この複屈折の効
果は、方程式(14)は
【0112】
【数33】
【0113】により
【0114】
【数34】
【0115】を置き換えるよう修正されるべきであると
いうことである。ここで、
【0116】
【数35】
【0117】は方程式(15)および(16)により与
えられた水平および垂直偏光構成要素を持つ。PDRへ
の実際の入力信号は次の通りである。
【0118】
【数36】
【0119】ホトダイオード17v、17hは、EPD
Rの垂直および水平偏光構成要素の輝度に比例する電流
を生成する。(量子効率等を取り入れている)全体的な
正規化定数を無視しながら、ホトダイオード17hによ
り生成される光電流は下記の通りである。
【0120】
【数37】
【0121】この電流はBPF18hを通過する。BP
F18hは周波数のウィンドウのみを伝送し、信号の直
流および高周波数構成要素をブロックする。従って、こ
のBPFにより作成された電流信号は、方程式(18)
からの干渉項のみを含む。
【0122】
【数38】
【0123】位相差ΔθF =θFR −θFS は、
基準アーム内の信号および試験アーム内の信号間の光路
長における差異から発生する。BPFはコヒーレンス領
域の範囲外の電界を含んでいる干渉信号において発生す
る高周波数を伝送できないため、干渉信号が生成される
ためにこの差異はコヒーレンス長lC 未満でなければ
ならない。 この理由のために、E1F界はI18h へ貢献しない
【0124】電流I18h はドプラ周波数ωDにおい
て1つのスペクトル構成要素を、そして周波数ωD+ω
M, ωD+2ωM,…,(ここで角周波数として参照
している)においてもまた構成要素を持っている。従っ
て、鏡10はある一定の速度で走査する可能性があり、
次にこれらの構成要素周波数の一つがBPF18hの伝
送ウィンドウ内に落ちるよう、発振器7を調整可能であ
る。この方法で、走査線の速度へ対応するよう発振器7
の周波数を調整することにより、反射計は固定周波数通
過帯域で動作可能である。明らかに、PZTが省かれる
場合、BPFの周波数通過帯域は鏡速度と相関させられ
るべきである。
【0125】鏡が与えられた反射部位に対する光路長差
がコヒーレンス長以内であるインタバルを通って移動す
る場合、信号は次に帯域通過フィルタ18hにより生成
されるであろう。図6は時間関数としての本信号の概略
作図である。通過帯域フィルタにより伝送され、この図
中点線で示される包絡線関数により変調されるスペクト
ル構成要素に対応しているうなり周波数において、電流
は時間の振動性関数である。この包絡線関数はコヒーレ
ンス時間に等しい十分な幅を持っている。この電流は包
絡線検知器回路19hの入力内へ送られる。包絡線検知
器回路19hは信号の振動性部分を除去し、包絡線の大
きさに比例する電流I19hを生成する。正規化因数を
省くと以下のようになる。
【0126】
【数39】
【0127】図1を引続き参照する。信号の垂直に偏光
された構成要素に対する包絡線検知器19vにより、類
似した信号が生成される。
【0128】
【数40】
【0129】
【数41】
【0130】そして従って、PDRの読み出し信号はE
r2 ES2 により与えられ、θ,とは独立である。 従って、この機器はDUTからの反射信号において偏光
歪に対して敏感である。
【0131】図7および8は前の説明に従って構築され
た反射計に対する鈍感さを図解している。図7において
、測定された反射率は、ほとんどのDUT反射信号をP
DRの唯一の分岐のみへ向けるよう偏光制御器11を調
整した状態で、走査鏡の位置の関数として作図される。 各々の分岐内で測定された反射率は、それらの合計同様
、この図において作図される。明らかに、このシステム
の分解能は約10μmである。
【0132】PC11がほぼ等しい信号輝度をPDR回
路の各々の分岐内へ向けるように調整される場合、図8
は同じの作図を示す。総反射率もまた作図される。この
曲線は図8における曲線とほぼ同一の幅を持ち、ピーク
反射率は約0.5dBoptだけの図7のピーク反射率
以下である。従って、偏光歪による反射計システム信号
変化は、本実施例においてせいぜい0.5dBである。 手短に言えば、反射計信号はDUTにおける偏光効果と
は全く無関係である。
【0133】この記述から、偏光制御器11はDUTに
おける任意の大きな系統的な一定の偏光効果の影響を十
分に削減するよう調整可能であることが明らかである。 それはまた、他の系統的な偏光歪影響に対して補正を行
うため、干渉計のその他の分岐内にPCを含むことがで
きる。基準アーム内のPCは安定性の改良により、線形
偏波器9の回転効果を再現可能である。干渉計構造全体
は時間依存外部条件が偏光に影響を与えることを防ぐた
めに容器内に収められる可能性がある。そのために、結
果として偏光歪に対する機器の鈍感さが増す。
【0134】LEDが偏波器を持つLED源のような偏
光光の源22により置き換えられる反射計の別のバージ
ョンを、図9において示す。この場合、図1の偏波器は
複屈折波プレート23により置き換えられる。この波プ
レートは以前に記憶されたものと同様な方法で、PDR
の分岐に対して基準ビーム入力を平衡化するために回転
可能である。
【0135】このシステムはOCDRに対して制限され
ないが、それはまたコヒーレンス信号検知手段を持つ他
の反射計のために使用可能であることがさらに明白とな
る。ここで開示されるPDR回路は、すべてのそのよう
なコヒーレンス反射計信号をこれらの信号の任意の偏光
歪とは別に検知するために適応される。
【0136】発明の提出される実施例に関する前の記述
は、説明の目的のために提出された。開示される正確な
書類に対して発明を包括したり制限することを意図する
ものではない。たくさんの変更およびバリエーションが
上記の技術を考慮して可能である。その技術に熟練した
他の人々が種々の実施例において、および考慮される特
別な使用に適当なように種々の変更によりその発明を最
善に利用することができるように本願の発明の原理およ
びその実際的なアプリケーションについて最良の説明を
行うために、実施例が選択され、記述されている。本願
の精神および範囲は特許請求の範囲を参照することによ
り定義されるべきである。
【0137】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、光ファイ
バ、反射計システム、および試験下の装置の偏光歪効果
とは独立に反射測定信号を測定する光コヒーレンス領域
反射計が提供される。さらに、本発明によれば、偏光に
対し独立な反射測定信号を提供するため、容易に較正お
よび調整可能な光コヒーレンス領域反射計が提供される
。さらに、本発明によれば、光源のコヒーレンス領域の
偏光および源の異なる偏光構成要素間の干渉とは独立に
、反射測定信号を測定する光コヒーレンス領域反射計が
提供される。さらに、本発明によれば、光ファイバ、反
射計システム、および試験下の装置の偏光歪効果とは独
立に光コヒーレンス領域反射測定信号を測定するための
手法が提供される。さらに、本発明によれば、偏光に対
し独立な反射測定信号を提供するため、光コヒーレンス
領域反射計を容易に較正および調整するための手法が提
供される。さらに、本発明によれば、光源のコヒーレン
ス領域の偏光および源の異なる偏光構成要素間の干渉と
は独立に、光コヒーレンス領域反射測定信号を測定する
ための手法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願の発明の反射計の簡略な光および電子回路
図であり、干渉計および偏光ダイバーシチ受信機(PD
R)を示している。
【図2】干渉計の基準ビームアームからの反射光の偏光
上で、図1内の偏波器の回転効果を図解しているポアン
カレ球体図である。
【図3】PDRの入力における基準アームおよびDUT
アームからの光反射信号における電界のベクトル図であ
り、2つの信号間の干渉を記述するために使用されるパ
ラメータを示している。
【図4】DUTアームおよび干渉計の基準アームからの
光反射のスペクトル分布に関する簡略スケッチである。
【図5】関数φ(t)の時間依存に関する簡略グラフで
ある。
【図6】帯域フィルタを通して通過する干渉計信号の水
平偏光構成要素を検知しているPDR回路の分岐におけ
る、光電流の時間依存に関する概略グラフを示している
【図7】図1における反射計の測定された光反射率に関
するグラフであり、おおむね垂直な線形偏光のDUT反
射信号を作り出すためにPCを調整した状態で、走査鏡
の一つの関数としてのPDRおよび総出力信号の2つの
分岐の貢献を示している。
【図8】ほぼ等しい垂直および水平偏光構成要素を持つ
DUT信号を作り出すようPCを調整した状態での、図
7に類似する反射計の測定された光反射率に関するグラ
フである。
【図9】偏光光源を持っている発明の別のバージョンに
おける干渉計の略図である。
【符号の説明】
2    光ファイバ 4    基準アームファイバ 5    試験アームファイバ 6    圧電変換器 7    発信器 8    視準レンズ 9    線形偏波器 10  走査鏡 11  偏光制御器 12  供試装置 13  出力光ファイバ 14  偏光ダイバーシチ受信機 15  焦点レンズ 16  偏光ビームスプリッタ 17  ホトダイオード 18  帯域フィルタ 19  包絡線検知器 20  二乗回路 21  加算器回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】供試装置の光学パラメータを測定するため
    の光学反射測定装置であって:基準信号発生手段と;供
    試装置に試験信号を加え、前記供試装置から応答信号を
    受信するための手段と;極性の異なる光学信号に応答し
    て基準及び応答信号を受信するための複数の光学センサ
    と;センサの応答のバランスをとるために基準信号の偏
    向を制御するための出力手段と;前記センサに応答して
    、供試装置の光学パラメータを示す出力信号であって、
    前記センサ応答が偏光制御手段によりバランスされた場
    合に前記応答信号の偏向歪みに実質的に独立である出力
    信号を発生するための出力手段と;から成ることを特徴
    とする装置。
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