JPH04259376A - 真空差圧シール装置 - Google Patents
真空差圧シール装置Info
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- JPH04259376A JPH04259376A JP2198491A JP2198491A JPH04259376A JP H04259376 A JPH04259376 A JP H04259376A JP 2198491 A JP2198491 A JP 2198491A JP 2198491 A JP2198491 A JP 2198491A JP H04259376 A JPH04259376 A JP H04259376A
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、帯鋼等帯状材料(以
下、単に帯板という)を連続的に通板させながらその中
央部の真空処理室において様々な表面処理を施す帯板真
空処理設備、特に、真空処理室まで大気圧から真空度を
段階的に上げ、また真空処理室から大気圧まで真空度を
段階的に下げて行くために真空処理室の前後に複数個設
置される真空差圧シール装置に関するものである。
下、単に帯板という)を連続的に通板させながらその中
央部の真空処理室において様々な表面処理を施す帯板真
空処理設備、特に、真空処理室まで大気圧から真空度を
段階的に上げ、また真空処理室から大気圧まで真空度を
段階的に下げて行くために真空処理室の前後に複数個設
置される真空差圧シール装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の真空差圧シール装置とし
てロール式真空差圧シール装置が多く使用されている(
例えば特開昭58−49635号公報、同61−124
571 号公報参照)。
てロール式真空差圧シール装置が多く使用されている(
例えば特開昭58−49635号公報、同61−124
571 号公報参照)。
【0003】特開昭58−49635号公報記載のロー
ル式真空差圧シール装置は、チャンバー内に仕切壁状の
シールブロックを設け、このシールブロック内に、帯板
をピンチしてS字状に巻き掛け通過させる一対のロール
を配置し、このロール又は該ロール表面に巻き掛けられ
た帯板と前記シールブロックとの間に微小間隙を形成し
ている。
ル式真空差圧シール装置は、チャンバー内に仕切壁状の
シールブロックを設け、このシールブロック内に、帯板
をピンチしてS字状に巻き掛け通過させる一対のロール
を配置し、このロール又は該ロール表面に巻き掛けられ
た帯板と前記シールブロックとの間に微小間隙を形成し
ている。
【0004】また、特開昭61−124571 号公報
記載のロール式真空差圧シール装置は、チャンバー内に
、帯板をピンチして直線状に通過させる一対のロールを
設け、チャンバー壁部内面に、前記シールロールに押し
当ててチャンバー壁部内面との間を閉塞する舌状弾性シ
ール体を設けている。
記載のロール式真空差圧シール装置は、チャンバー内に
、帯板をピンチして直線状に通過させる一対のロールを
設け、チャンバー壁部内面に、前記シールロールに押し
当ててチャンバー壁部内面との間を閉塞する舌状弾性シ
ール体を設けている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前者及び後者はいずれ
も、ロール間に帯板をピンチしながら通板するために帯
板に押し疵や擦り疵が発生し易い。
も、ロール間に帯板をピンチしながら通板するために帯
板に押し疵や擦り疵が発生し易い。
【0006】また、ロールの前後で帯板の張力が変化す
るから、真空差圧シール装置を何段も重ねて使用する場
合、入側張力を大きくしたり、或いはロールを駆動した
りしなければならない。
るから、真空差圧シール装置を何段も重ねて使用する場
合、入側張力を大きくしたり、或いはロールを駆動した
りしなければならない。
【0007】更に、前者では、上流側から下流側への気
体流入量がロールとシールブロックとの間の間隙面積に
比例するため、板幅の増加と共にシール性能は悪くなり
、後者では、高温の帯板を対象とする場合、ロールに押
し当てる舌状弾性シール体の耐熱、寿命が問題となると
いう不都合を免れなかった。
体流入量がロールとシールブロックとの間の間隙面積に
比例するため、板幅の増加と共にシール性能は悪くなり
、後者では、高温の帯板を対象とする場合、ロールに押
し当てる舌状弾性シール体の耐熱、寿命が問題となると
いう不都合を免れなかった。
【0008】この発明は前記課題を解決するためになし
たもので、上流側から下流側への気体流入を確実に防止
し、高温の帯板を処理する際にデフレクタロールが熱膨
張しても前記のシール性能を維持することができるよう
にすることを目的とする。
たもので、上流側から下流側への気体流入を確実に防止
し、高温の帯板を処理する際にデフレクタロールが熱膨
張しても前記のシール性能を維持することができるよう
にすることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明の真空差圧シー
ル装置は、図1及び図2に示すように、チャンバー壁部
内面に、デフレクタロールと対向するシールブロック本
体を設け、このシールブロック本体に側面視凹円弧状の
シール面を形成し、このシール面との間に微小間隙をお
いて前記デフレクタロールの外周表面と当接するシール
ロールを設けると共に、このシールロールをデフレクタ
ロールの外周表面に押圧する方向で弾性支持されたシー
ルバーを前記シールブロック本体内にシール嵌入させて
設けたものであり、また、このような真空差圧シール装
置において、シールブロック本体を、チャンバー壁部内
面に設けられた固定シールブロックにシール嵌合させて
デフレクタロールに対して前後進可能に設けると共に、
前記固定シールブロックに、シールブロック本体の位置
を調整するニップ圧力調整機構を設けたものである。
ル装置は、図1及び図2に示すように、チャンバー壁部
内面に、デフレクタロールと対向するシールブロック本
体を設け、このシールブロック本体に側面視凹円弧状の
シール面を形成し、このシール面との間に微小間隙をお
いて前記デフレクタロールの外周表面と当接するシール
ロールを設けると共に、このシールロールをデフレクタ
ロールの外周表面に押圧する方向で弾性支持されたシー
ルバーを前記シールブロック本体内にシール嵌入させて
設けたものであり、また、このような真空差圧シール装
置において、シールブロック本体を、チャンバー壁部内
面に設けられた固定シールブロックにシール嵌合させて
デフレクタロールに対して前後進可能に設けると共に、
前記固定シールブロックに、シールブロック本体の位置
を調整するニップ圧力調整機構を設けたものである。
【0010】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図1〜図3に沿
って説明する。
って説明する。
【0011】チャンバー1内には真空差圧シール装置2
でそれぞれの前後を仕切って真空処理室と、その前段及
び後段に位置する複数個の予備真空室とが設けられ、各
予備真空室には真空ポンプが接続されている。
でそれぞれの前後を仕切って真空処理室と、その前段及
び後段に位置する複数個の予備真空室とが設けられ、各
予備真空室には真空ポンプが接続されている。
【0012】デフレクタロール3はチャンバー1の側壁
部に軸受を介して回転可能に取り付けられて各室の仕切
り部に配置されている。
部に軸受を介して回転可能に取り付けられて各室の仕切
り部に配置されている。
【0013】帯板Pは真空処理室の帯板入側及び出側に
おいて各デフレクタロール3に帯板通板方向で蛇行状に
巻き掛けられ、該デフレクタロール3に案内されながら
真空処理室内をチャンバー1の上下壁部内面と平行に通
板するようになっている。
おいて各デフレクタロール3に帯板通板方向で蛇行状に
巻き掛けられ、該デフレクタロール3に案内されながら
真空処理室内をチャンバー1の上下壁部内面と平行に通
板するようになっている。
【0014】真空差圧シール装置2はデフレクタロール
3の帯板Pが巻き掛けられる側とは反対側に設けた下部
真空差圧シール装置Aと、デフレクタロール3の帯板P
が巻き掛けられる側に設けた上部真空差圧シール装置B
と、これらのシール装置A、Bの両側及びデフレクタロ
ール3の両端側に設けた側部シール装置(図示しない)
とから構成されている。
3の帯板Pが巻き掛けられる側とは反対側に設けた下部
真空差圧シール装置Aと、デフレクタロール3の帯板P
が巻き掛けられる側に設けた上部真空差圧シール装置B
と、これらのシール装置A、Bの両側及びデフレクタロ
ール3の両端側に設けた側部シール装置(図示しない)
とから構成されている。
【0015】下部真空差圧シール装置Aはシールブロッ
ク本体4とシールロール5とシールバー6と固定シール
ブロック7とから構成されている。
ク本体4とシールロール5とシールバー6と固定シール
ブロック7とから構成されている。
【0016】シールブロック本体4はデフレクタロール
3の帯板Pが巻き掛けられる側とは反対側に配置されて
該デフレクタロール3と対向している。
3の帯板Pが巻き掛けられる側とは反対側に配置されて
該デフレクタロール3と対向している。
【0017】このシールブロック本体4の上部にはデフ
レクタロール3の外周表面に沿う側面視凹円弧状の上面
8aが形成され、該上面8aの帯板入側部と帯板出側部
には側面視凹円弧状のシール面8bが形成されている。
レクタロール3の外周表面に沿う側面視凹円弧状の上面
8aが形成され、該上面8aの帯板入側部と帯板出側部
には側面視凹円弧状のシール面8bが形成されている。
【0018】シールロール5はチャンバー1の側壁部に
設けた軸受9を介して回転可能に取り付けられ、かつ、
後述するニップ圧力調整機構(実施例ではバックアップ
スプリング10及びそのスプリング力を調整するネジ機
構)によりシールブロック本体4を介して弾性支持され
てデフレクタロール3の外周表面に押圧されている。
設けた軸受9を介して回転可能に取り付けられ、かつ、
後述するニップ圧力調整機構(実施例ではバックアップ
スプリング10及びそのスプリング力を調整するネジ機
構)によりシールブロック本体4を介して弾性支持され
てデフレクタロール3の外周表面に押圧されている。
【0019】このシールロール5の外周表面と前記シー
ルブロック本体4のシール面8bとの間には微小間隙が
形成されている。
ルブロック本体4のシール面8bとの間には微小間隙が
形成されている。
【0020】シールバー6はシールブロック本体4の帯
板入側端部と帯板出側端部にそれぞれ上下方向に摺動可
能にシール嵌入されている。
板入側端部と帯板出側端部にそれぞれ上下方向に摺動可
能にシール嵌入されている。
【0021】このシールバー6は図2に示すようにシー
ルロール5の長手方向に複数分割されて、それぞれシー
ルロール5と当接するように該シールロール5をデフレ
クタロール3の外周表面に押圧する方向でシールブロッ
ク本体4に設けた押付スプリング11により弾性支持さ
れている。
ルロール5の長手方向に複数分割されて、それぞれシー
ルロール5と当接するように該シールロール5をデフレ
クタロール3の外周表面に押圧する方向でシールブロッ
ク本体4に設けた押付スプリング11により弾性支持さ
れている。
【0022】前記シールブロック本体4はチャンバー1
の下壁部内面に固定した固定シールブロック7内に摺動
可能にシール嵌合し、該固定シールブロック7と共にデ
フレクタロール3の下部空間を帯板入側と出側とに仕切
っている。
の下壁部内面に固定した固定シールブロック7内に摺動
可能にシール嵌合し、該固定シールブロック7と共にデ
フレクタロール3の下部空間を帯板入側と出側とに仕切
っている。
【0023】固定シールブロック7内には、図3に示す
ようにシールブロック本体4の下面に臨ませて複数個の
ピストン状シール部材12が嵌入され、該シール部材1
2とシールブロック本体4の下面との間には前記バック
アップスプリング10が介装されている。また、チャン
バー1の下壁部に一端部を螺合させた調整ボルト13が
シール部材12に回転可能に連結されており、該調整ボ
ルト13によりシール部材12を移動調整することでバ
ックアップスプリング10の力を調整可能となっている
。
ようにシールブロック本体4の下面に臨ませて複数個の
ピストン状シール部材12が嵌入され、該シール部材1
2とシールブロック本体4の下面との間には前記バック
アップスプリング10が介装されている。また、チャン
バー1の下壁部に一端部を螺合させた調整ボルト13が
シール部材12に回転可能に連結されており、該調整ボ
ルト13によりシール部材12を移動調整することでバ
ックアップスプリング10の力を調整可能となっている
。
【0024】尚、実施例では、シールブロック本体4に
対してシールバー6を上下方向に摺動可能にシール嵌入
した例について説明したが、図4に示すようにシールバ
ー6を水平方向に摺動可能としても同効である。
対してシールバー6を上下方向に摺動可能にシール嵌入
した例について説明したが、図4に示すようにシールバ
ー6を水平方向に摺動可能としても同効である。
【0025】また、シールブロック本体4の上面8に形
成された側面視凹円弧状のシール面9との間に微小間隙
をおいてデフレクタロール3の外周表面と当接するシー
ルロール5を2個設けた例について説明したが、図5に
示すように1個でも良い。
成された側面視凹円弧状のシール面9との間に微小間隙
をおいてデフレクタロール3の外周表面と当接するシー
ルロール5を2個設けた例について説明したが、図5に
示すように1個でも良い。
【0026】以上の構成において、まず、調整ボルト1
3によりバックアップスプリング10の力を調整し、シ
ールロール5を押付スプリング11によりデフレクタロ
ール3の外周表面に押圧しながら該シールロール5を介
してシールブロック本体4をデフレクタロール3に押し
付けると、この時の押付力はシールロール5がアイドラ
ーとして回転し得る該シールロール5とデフレクタロー
ル3間のニップ力となる。
3によりバックアップスプリング10の力を調整し、シ
ールロール5を押付スプリング11によりデフレクタロ
ール3の外周表面に押圧しながら該シールロール5を介
してシールブロック本体4をデフレクタロール3に押し
付けると、この時の押付力はシールロール5がアイドラ
ーとして回転し得る該シールロール5とデフレクタロー
ル3間のニップ力となる。
【0027】デフレクタロール3とシールブロック本体
4との間を上流側から下流側へ流れようとする気体は、
デフレクタロール3とシールロール5との間で当接シー
ルにより遮断され、シールロール5とシールブロック本
体4との間で微小間隙により遮断され、かつ、シールロ
ール5とシールバー6との間で当接シールにより遮断さ
れる。
4との間を上流側から下流側へ流れようとする気体は、
デフレクタロール3とシールロール5との間で当接シー
ルにより遮断され、シールロール5とシールブロック本
体4との間で微小間隙により遮断され、かつ、シールロ
ール5とシールバー6との間で当接シールにより遮断さ
れる。
【0028】このようなシール作用がデフレクタロール
3とシールブロック本体4間の帯板入側及び出側で2段
に行われると共に、シールブロック本体4とチャンバー
1の下壁部内面との間を上流側から下流側へ流れようと
する気体は固定シールブロック7により遮断される。
3とシールブロック本体4間の帯板入側及び出側で2段
に行われると共に、シールブロック本体4とチャンバー
1の下壁部内面との間を上流側から下流側へ流れようと
する気体は固定シールブロック7により遮断される。
【0029】従って、デフレクタロール3の下部空間に
おける上流側から下流側への気体流入は阻止される。
おける上流側から下流側への気体流入は阻止される。
【0030】高温帯板を処理するためにデフレクタロー
ル3にヒートロールを使用した場合、シールブロック本
体4は熱膨張したデフレクタロール3にシールロール5
を介し押されてバックアップスプリング10を圧縮させ
ながら下降するから、シールロール5の回転は妨げられ
ず、前記したシール性能を損なうことがない。
ル3にヒートロールを使用した場合、シールブロック本
体4は熱膨張したデフレクタロール3にシールロール5
を介し押されてバックアップスプリング10を圧縮させ
ながら下降するから、シールロール5の回転は妨げられ
ず、前記したシール性能を損なうことがない。
【0031】従って、デフレクタロール3とチャンバー
1の下壁部内面との間における気体の漏洩は少なくなり
、チャンバー1内の各室の出入口部における各室間の気
体移動が抑制され、また、各室内に流入した気体は真空
ポンプにより内部気体として外部に排出されるから、真
空処理室まで大気圧から真空度を段階的に上げることが
可能となる。
1の下壁部内面との間における気体の漏洩は少なくなり
、チャンバー1内の各室の出入口部における各室間の気
体移動が抑制され、また、各室内に流入した気体は真空
ポンプにより内部気体として外部に排出されるから、真
空処理室まで大気圧から真空度を段階的に上げることが
可能となる。
【0032】
【発明の効果】以上の通り、この発明は、チャンバー壁
部内面上のシールブロック本体とシールロールとの間を
微小間隙とシールバーとによりシールし、かつ、該シー
ルロールとデフレクタロールとの間を当接シールするか
ら、上流側から下流側への気体流入を確実に防止できる
。このため、デフレクタロールの帯板が巻き付けられな
い側での気体の漏洩は少なくなり、シール性能の向上が
図れる。
部内面上のシールブロック本体とシールロールとの間を
微小間隙とシールバーとによりシールし、かつ、該シー
ルロールとデフレクタロールとの間を当接シールするか
ら、上流側から下流側への気体流入を確実に防止できる
。このため、デフレクタロールの帯板が巻き付けられな
い側での気体の漏洩は少なくなり、シール性能の向上が
図れる。
【0033】また、前記シールブロック本体をデフレク
タロールに対して前後進可能に弾性支持するニップ圧力
調整機構を設けておけば、デフレクタロールの熱膨張に
確実に対応でき、前記シール性能の維持が図れる。
タロールに対して前後進可能に弾性支持するニップ圧力
調整機構を設けておけば、デフレクタロールの熱膨張に
確実に対応でき、前記シール性能の維持が図れる。
【0034】従って、差圧シール効果が確保されるから
、真空処理室に所定の真空度を保つために、従来のよう
に真空差圧シール装置の段数を増加させ、かつ、真空ポ
ンプの容量を大きくする必要はない。
、真空処理室に所定の真空度を保つために、従来のよう
に真空差圧シール装置の段数を増加させ、かつ、真空ポ
ンプの容量を大きくする必要はない。
【図1】この発明の一実施例を示す正断面図である。
【図2】図1のC〜D線断面図である。
【図3】図1のC〜E線断面図である。
【図4】シールバー弾性支持機構の他例を示す断面図で
ある。
ある。
【図5】シールロールを1個使用した他例を示す断面図
である。
である。
P…帯板、1…チャンバー、2…真空差圧シール装置、
3…デフレクタロール、A…下部シール装置、4…シー
ルブロック本体、5…シールロール、6…シールバー、
7…固定シールブロック、8a…上面、8b…シール面
、9…軸受、10…バックアップスプリング、11…押
付スプリング、12…シール部材、13…調整ボルト.
3…デフレクタロール、A…下部シール装置、4…シー
ルブロック本体、5…シールロール、6…シールバー、
7…固定シールブロック、8a…上面、8b…シール面
、9…軸受、10…バックアップスプリング、11…押
付スプリング、12…シール部材、13…調整ボルト.
Claims (2)
- 【請求項1】 チャンバー壁部内面に、デフレク
タロールと対向するシールブロック本体を設け、このシ
ールブロック本体に側面視凹円弧状のシール面を形成し
、このシール面との間に微小間隙をおいて前記デフレク
タロールの外周表面と当接するシールロールを設けると
共に、このシールロールをデフレクタロールの外周表面
に押圧する方向で弾性支持されたシールバーを前記シー
ルブロック本体内にシール嵌入させて設けたことを特徴
とする真空差圧シール装置。 - 【請求項2】 シールブロック本体を、チャンバー壁
部内面に設けられた固定シールブロックにシール嵌合さ
せてデフレクタロールに対して前後進可能に設けると共
に、前記固定シールブロックに、シールブロック本体の
位置を調整するニップ圧力調整機構を設けたことを特徴
とする請求項1記載の真空差圧シール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02198491A JP3210682B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 真空差圧シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02198491A JP3210682B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 真空差圧シール装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04259376A true JPH04259376A (ja) | 1992-09-14 |
JP3210682B2 JP3210682B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=12070292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02198491A Expired - Fee Related JP3210682B2 (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | 真空差圧シール装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3210682B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP02198491A patent/JP3210682B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3210682B2 (ja) | 2001-09-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |