JPH04259376A - 真空差圧シール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、帯鋼等帯状材料（以
下、単に帯板という）を連続的に通板させながらその中
央部の真空処理室において様々な表面処理を施す帯板真
空処理設備、特に、真空処理室まで大気圧から真空度を
段階的に上げ、また真空処理室から大気圧まで真空度を
段階的に下げて行くために真空処理室の前後に複数個設
置される真空差圧シール装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の真空差圧シール装置とし
てロール式真空差圧シール装置が多く使用されている（
例えば特開昭５８−４９６３５号公報、同６１−１２４
５７１　号公報参照）。

【０００３】特開昭５８−４９６３５号公報記載のロー
ル式真空差圧シール装置は、チャンバー内に仕切壁状の
シールブロックを設け、このシールブロック内に、帯板
をピンチしてＳ字状に巻き掛け通過させる一対のロール
を配置し、このロール又は該ロール表面に巻き掛けられ
た帯板と前記シールブロックとの間に微小間隙を形成し
ている。

【０００４】また、特開昭６１−１２４５７１　号公報
記載のロール式真空差圧シール装置は、チャンバー内に
、帯板をピンチして直線状に通過させる一対のロールを
設け、チャンバー壁部内面に、前記シールロールに押し
当ててチャンバー壁部内面との間を閉塞する舌状弾性シ
ール体を設けている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前者及び後者はいずれ
も、ロール間に帯板をピンチしながら通板するために帯
板に押し疵や擦り疵が発生し易い。

【０００６】また、ロールの前後で帯板の張力が変化す
るから、真空差圧シール装置を何段も重ねて使用する場
合、入側張力を大きくしたり、或いはロールを駆動した
りしなければならない。

【０００７】更に、前者では、上流側から下流側への気
体流入量がロールとシールブロックとの間の間隙面積に
比例するため、板幅の増加と共にシール性能は悪くなり
、後者では、高温の帯板を対象とする場合、ロールに押
し当てる舌状弾性シール体の耐熱、寿命が問題となると
いう不都合を免れなかった。

【０００８】この発明は前記課題を解決するためになし
たもので、上流側から下流側への気体流入を確実に防止
し、高温の帯板を処理する際にデフレクタロールが熱膨
張しても前記のシール性能を維持することができるよう
にすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の真空差圧シー
ル装置は、図１及び図２に示すように、チャンバー壁部
内面に、デフレクタロールと対向するシールブロック本
体を設け、このシールブロック本体に側面視凹円弧状の
シール面を形成し、このシール面との間に微小間隙をお
いて前記デフレクタロールの外周表面と当接するシール
ロールを設けると共に、このシールロールをデフレクタ
ロールの外周表面に押圧する方向で弾性支持されたシー
ルバーを前記シールブロック本体内にシール嵌入させて
設けたものであり、また、このような真空差圧シール装
置において、シールブロック本体を、チャンバー壁部内
面に設けられた固定シールブロックにシール嵌合させて
デフレクタロールに対して前後進可能に設けると共に、
前記固定シールブロックに、シールブロック本体の位置
を調整するニップ圧力調整機構を設けたものである。

【００１０】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図１〜図３に沿
って説明する。

【００１１】チャンバー１内には真空差圧シール装置２
でそれぞれの前後を仕切って真空処理室と、その前段及
び後段に位置する複数個の予備真空室とが設けられ、各
予備真空室には真空ポンプが接続されている。

【００１２】デフレクタロール３はチャンバー１の側壁
部に軸受を介して回転可能に取り付けられて各室の仕切
り部に配置されている。

【００１３】帯板Ｐは真空処理室の帯板入側及び出側に
おいて各デフレクタロール３に帯板通板方向で蛇行状に
巻き掛けられ、該デフレクタロール３に案内されながら
真空処理室内をチャンバー１の上下壁部内面と平行に通
板するようになっている。

【００１４】真空差圧シール装置２はデフレクタロール
３の帯板Ｐが巻き掛けられる側とは反対側に設けた下部
真空差圧シール装置Ａと、デフレクタロール３の帯板Ｐ
が巻き掛けられる側に設けた上部真空差圧シール装置Ｂ
と、これらのシール装置Ａ、Ｂの両側及びデフレクタロ
ール３の両端側に設けた側部シール装置（図示しない）
とから構成されている。

【００１５】下部真空差圧シール装置Ａはシールブロッ
ク本体４とシールロール５とシールバー６と固定シール
ブロック７とから構成されている。

【００１６】シールブロック本体４はデフレクタロール
３の帯板Ｐが巻き掛けられる側とは反対側に配置されて
該デフレクタロール３と対向している。

【００１７】このシールブロック本体４の上部にはデフ
レクタロール３の外周表面に沿う側面視凹円弧状の上面
８ａが形成され、該上面８ａの帯板入側部と帯板出側部
には側面視凹円弧状のシール面８ｂが形成されている。

【００１８】シールロール５はチャンバー１の側壁部に
設けた軸受９を介して回転可能に取り付けられ、かつ、
後述するニップ圧力調整機構（実施例ではバックアップ
スプリング１０及びそのスプリング力を調整するネジ機
構）によりシールブロック本体４を介して弾性支持され
てデフレクタロール３の外周表面に押圧されている。

【００１９】このシールロール５の外周表面と前記シー
ルブロック本体４のシール面８ｂとの間には微小間隙が
形成されている。

【００２０】シールバー６はシールブロック本体４の帯
板入側端部と帯板出側端部にそれぞれ上下方向に摺動可
能にシール嵌入されている。

【００２１】このシールバー６は図２に示すようにシー
ルロール５の長手方向に複数分割されて、それぞれシー
ルロール５と当接するように該シールロール５をデフレ
クタロール３の外周表面に押圧する方向でシールブロッ
ク本体４に設けた押付スプリング１１により弾性支持さ
れている。

【００２２】前記シールブロック本体４はチャンバー１
の下壁部内面に固定した固定シールブロック７内に摺動
可能にシール嵌合し、該固定シールブロック７と共にデ
フレクタロール３の下部空間を帯板入側と出側とに仕切
っている。

【００２３】固定シールブロック７内には、図３に示す
ようにシールブロック本体４の下面に臨ませて複数個の
ピストン状シール部材１２が嵌入され、該シール部材１
２とシールブロック本体４の下面との間には前記バック
アップスプリング１０が介装されている。また、チャン
バー１の下壁部に一端部を螺合させた調整ボルト１３が
シール部材１２に回転可能に連結されており、該調整ボ
ルト１３によりシール部材１２を移動調整することでバ
ックアップスプリング１０の力を調整可能となっている
。

【００２４】尚、実施例では、シールブロック本体４に
対してシールバー６を上下方向に摺動可能にシール嵌入
した例について説明したが、図４に示すようにシールバ
ー６を水平方向に摺動可能としても同効である。

【００２５】また、シールブロック本体４の上面８に形
成された側面視凹円弧状のシール面９との間に微小間隙
をおいてデフレクタロール３の外周表面と当接するシー
ルロール５を２個設けた例について説明したが、図５に
示すように１個でも良い。

【００２６】以上の構成において、まず、調整ボルト１
３によりバックアップスプリング１０の力を調整し、シ
ールロール５を押付スプリング１１によりデフレクタロ
ール３の外周表面に押圧しながら該シールロール５を介
してシールブロック本体４をデフレクタロール３に押し
付けると、この時の押付力はシールロール５がアイドラ
ーとして回転し得る該シールロール５とデフレクタロー
ル３間のニップ力となる。

【００２７】デフレクタロール３とシールブロック本体
４との間を上流側から下流側へ流れようとする気体は、
デフレクタロール３とシールロール５との間で当接シー
ルにより遮断され、シールロール５とシールブロック本
体４との間で微小間隙により遮断され、かつ、シールロ
ール５とシールバー６との間で当接シールにより遮断さ
れる。

【００２８】このようなシール作用がデフレクタロール
３とシールブロック本体４間の帯板入側及び出側で２段
に行われると共に、シールブロック本体４とチャンバー
１の下壁部内面との間を上流側から下流側へ流れようと
する気体は固定シールブロック７により遮断される。

【００２９】従って、デフレクタロール３の下部空間に
おける上流側から下流側への気体流入は阻止される。

【００３０】高温帯板を処理するためにデフレクタロー
ル３にヒートロールを使用した場合、シールブロック本
体４は熱膨張したデフレクタロール３にシールロール５
を介し押されてバックアップスプリング１０を圧縮させ
ながら下降するから、シールロール５の回転は妨げられ
ず、前記したシール性能を損なうことがない。

【００３１】従って、デフレクタロール３とチャンバー
１の下壁部内面との間における気体の漏洩は少なくなり
、チャンバー１内の各室の出入口部における各室間の気
体移動が抑制され、また、各室内に流入した気体は真空
ポンプにより内部気体として外部に排出されるから、真
空処理室まで大気圧から真空度を段階的に上げることが
可能となる。

【００３２】

【発明の効果】以上の通り、この発明は、チャンバー壁
部内面上のシールブロック本体とシールロールとの間を
微小間隙とシールバーとによりシールし、かつ、該シー
ルロールとデフレクタロールとの間を当接シールするか
ら、上流側から下流側への気体流入を確実に防止できる
。このため、デフレクタロールの帯板が巻き付けられな
い側での気体の漏洩は少なくなり、シール性能の向上が
図れる。

【００３３】また、前記シールブロック本体をデフレク
タロールに対して前後進可能に弾性支持するニップ圧力
調整機構を設けておけば、デフレクタロールの熱膨張に
確実に対応でき、前記シール性能の維持が図れる。

【００３４】従って、差圧シール効果が確保されるから
、真空処理室に所定の真空度を保つために、従来のよう
に真空差圧シール装置の段数を増加させ、かつ、真空ポ
ンプの容量を大きくする必要はない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す正断面図である。

【図２】図１のＣ〜Ｄ線断面図である。

【図３】図１のＣ〜Ｅ線断面図である。

【図４】シールバー弾性支持機構の他例を示す断面図で
ある。

【図５】シールロールを１個使用した他例を示す断面図
である。

【符号の説明】

Ｐ…帯板、１…チャンバー、２…真空差圧シール装置、
３…デフレクタロール、Ａ…下部シール装置、４…シー
ルブロック本体、５…シールロール、６…シールバー、
７…固定シールブロック、８ａ…上面、８ｂ…シール面
、９…軸受、１０…バックアップスプリング、１１…押
付スプリング、１２…シール部材、１３…調整ボルト．

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　　　チャンバー壁部内面に、デフレク
   タロールと対向するシールブロック本体を設け、このシ
   ールブロック本体に側面視凹円弧状のシール面を形成し
   、このシール面との間に微小間隙をおいて前記デフレク
   タロールの外周表面と当接するシールロールを設けると
   共に、このシールロールをデフレクタロールの外周表面
   に押圧する方向で弾性支持されたシールバーを前記シー
   ルブロック本体内にシール嵌入させて設けたことを特徴
   とする真空差圧シール装置。
2. 【請求項２】　　シールブロック本体を、チャンバー壁
   部内面に設けられた固定シールブロックにシール嵌合さ
   せてデフレクタロールに対して前後進可能に設けると共
   に、前記固定シールブロックに、シールブロック本体の
   位置を調整するニップ圧力調整機構を設けたことを特徴
   とする請求項１記載の真空差圧シール装置。