JPH0424569A - シート抵抗の計算方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はシート抵抗の計算方式に関するものであり、
例えばハイブリッドＩＣ等に使用される被膜状のシート
抵抗について、その形状の変化にともなう抵抗値を正確
に算出することができるシート抵抗の計算方式に関する
ものである。

［従来の技術］ 従来、ハイブリッドＩＣ等に使用される被膜状のシート
抵抗について、ある所定の形状をもつものの抵抗値の推
定や計算を行うこと、あるいは、所定のトリミング操作
に基づく形状の変化があったときの抵抗値の変化を予測
すること等のためには、複雑な計算式をたててコンピュ
ータ等による計算を実行していたけれども、繁雑な作業
が必要とされて時間的にも経済的にも不利であり、それ
にも拘わらず的確な予測をすることが極めて困難である
という難点があった。また、このようなシート抵抗にお
ける電流密度や電位勾配の予測等については、従来は、
当事者の経験や直感でなされていたが、これでは当事者
の経験の程度や直感の当たり外れ等の不確定な要素が入
ってしまい、得られる結果の信頼性に欠けるという難点
もあった。

［発明が解決しようとする課題］ 上述された従来のシート抵抗の計算方式においては、そ
の実行のために複雑な計算式をたてることが必要とされ
ており、また、これをコンピュータ等で計算の実行をせ
ねばならなかったが、繁雑な作業が必要とされて時間的
にも経済的にも問題があり、しかもその的確な予測をす
ることが極めて困難であるという問題点があった。

この発明はこのような問題点を解決するためになされた
ものであり、一般に市販されている回路解析プログラム
を用いて、特別な数学的知識を必要とすることなく、あ
る所定の形状をもつものの抵抗値や、トリミング操作に
ともなって変化した形状のものの抵抗値について、容易
にかつ正確に求めることが可能にされたシート抵抗の計
算方式を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係るシート抵抗の計算方式は二所定数の個別
抵抗要素をマトリクス状に組み立てて上記シート抵抗に
近似した個別抵抗要素組立体を用意しておき； 上記個別抵抗要素いずれかを隣接のものから選択的に切
り離すトリミング操作を施すことにより上記シート抵抗
の所要部における溝の模擬的な形成を行い； 既製の回路解析プログラムを用いて上記シート抵抗の抵
抗を求めるようにした ことを特徴とするものである。

［作用］ この発明においては、所定数の個別抵抗要素をマトリク
ス状に組み立ててシート抵抗に近似した個別抵抗要素組
立体を用意しておき；上記個別抵抗要素いずれかを隣接
のものから選択的に切り離すトリミング操作を施すこと
により上記シート抵抗の所要部における渭の模擬的な形
成を行い；５ＰＩＣＥのような既製の回路解析プログラ
ムを用いて上記シート抵抗の抵抗を求めるようにしであ
る；ことから、特別な数学的知識を必要とすることなく
、ある所定の形状をもつシート抵抗の抵抗値や、トリミ
ング操作にともなって変化した形状のものの抵抗値につ
いて、容易にがっ正確に求めることか可能にされる。

［実施例］ 第１図は、この発明の一実施例であるシート抵抗の計算
方式が適用されるシート抵抗を例示する図面であり、そ
の中の第１図（Ａ）は、前記のシート抵抗を、複数個の
個別抵抗素子をもって模擬的に構成したものの例示図で
ある。この第１図（Ａ）においては、複数個の（この例
では６４個の）個別抵抗素子＜Ｒ１１）〜（Ｒ９８）が
８行、８列のマトリクス状に並べられて、ある１個のシ
ート抵抗（１）が構成されている。なお、これらの個別
抵抗素子（Ｒ１１）〜（Ｒ９８）の近傍に付された１、
０５等の数値は、所定の単位（例えばΩ）に基づくそれ
ぞれの抵抗値を表わすものであるが、これは単なる例示
のためのものであって限定的なものではない、即ち、求
める結果にそれ程の精度が要求されないときには、ある
程度荒いマトリクス構成のものでもよく、これに対して
、しかるべき精度が要求されるときには、これに対応す
る程度の精細なマトリクス構成のものにすればよい。

次に、第１図の中の第１図（Ｂ）は、所要のトリミング
がなされたシート抵抗を例示する図面である。この第１
図（Ｂ）において、例えば下から３行目の５個の個別抵
抗素子（Ｒ７１）〜（Ｒ７５）を他から切り離し、右か
ら３列目の４個の個別抵抗素子（ＲＣ３５）〜（ＲＣ６
５）を他から切り離すことにより、後述されるようなＬ
字形状のトリミングがなされたシート抵抗が模擬的に得
られる。そして、このような模擬的なシート抵抗につい
て、例えば５ＰＩＣＥのような既製の回路解析プログラ
ムを適用することにより、所望の抵抗値を簡単に求める
ことができる。

第２図は、ある所望の形状にトリミング操作が施された
シート抵抗の例示図である。この第２図の中の第２図（
Ａ＞に例示されているものは、図面上での下側において
左側から１本の渭（２）が横方向に切り込まれた、いわ
ゆるシングル　カット・タイプのシート抵抗（１）であ
る、第２図（Ｂ）に例示されているものは、図面上での
上側および下側においていずれも左側がら１本ずつの溝
（２）が横方向に切り込まれた、いわゆるダブル・カッ
ト・タイプのシート抵抗（１）である、第２図（Ｃ）に
例示されているものは、図面上での上側および下側にお
いていずれも左側から１本ずつの溝（２）が横方向に切
り込まれ、その中央側において他の１本の渭（２）が更
に横方向に切り込まれた、いわゆるサーペンタイン・カ
ット・タイプのシート抵抗（１）である、そして、第２
図（Ｄ）に例示されているものは、図面上での下側にお
いて左側がら横方向に延び、その終点から更に上方に延
びるように１本の渭（２）が切り込まれた、いわゆるＬ
カット・タイプのシート抵抗（１）である、なお、前述
の第１図の場合においては、このようなしカット・タイ
プのシート抵抗における抵抗値の算出が例示されている
。

第３図は、ダブル・カット・タイプのシート抵抗（１）
とその抵抗変化とを例示する図である。この第３図の中
の第３図（Ａ）はトリミング操作に基づく抵抗変化をも
とめる対象としてのシート抵抗（１）であり、また、第
３図（Ｂ）はこのシート抵抗（１）の抵抗変化を示すグ
ラフ図である。

まず、第３図（Ａ）において、シート抵抗く１）には３
個の渭（２）が切り込まれているが、その中の第１のも
のはＹ座標方向の１５位置において、その左端部からＸ
座標方向に１１位置まで切り込まれ、第２のものはＹ座
標方向の３位置において、その左端部からＸ座標方向に
１１位置まで切り込まれ、そして、第３のものはＹ座標
方向の８位置において、その左端部からＸ座標方向に９
位置まで切り込まれている。

次に、第３図（Ｂ）において、第１の溝（２）に基づく
抵抗変化は曲線線分（３１）で例示されている。

第２の溝（２）に基づく抵抗変化は曲線線分（３２）で
例示されている。また、第３の渭（２）に基づく抵抗変
化は曲線線分く３３）で例示されている。なお、第１の
渭（２）がその左端部がらＸ座標方向に１０位１ｔで切
り込まれている場合には、第２の渭（２）に基づく抵抗
変化は曲線線分（３４）のようになる。

第４図は、サーペンタイン・カット・タイプのシート抵
抗（１）とその抵抗変化とを例示する図である。この第
４図の中の第４図（Ａ）はトリミング操作に基づく抵抗
変化をもとめる対象としてのシート抵抗（１）であり、
また、第４図（Ｂ）はこのシート抵抗（１）の抵抗変化
を示すグラフ図である。

まず、第４図（Ａ）において、シート抵抗（１）には３
個の渭（２）が切り込まれているが、その中の第１のも
のはＹ座標方向の１５位置において、その左端部からＸ
座標方向に１１位置まで切り込まれ、第２のものはＹ座
標方向の９位置において、その右端部からＸ座標逆方向
に５位置まで切り込まれ、そして、第３のものはＹ座標
方向の３位置において、その左端部からＸ座標方向に１
１位置まで切り込まれている。

次に、第４図（Ｂ）において、第１の渭（２）に基づく
抵抗変化は曲線線分（４１）で例示されている。

第２の渭（２）に基づく抵抗変化は曲線線分（４２）で
例示されている。また、第３の渭（２）に基づく抵抗変
化は曲線線分く４３）で例示されている。

第５図は、Ｌカット・タイプのシート抵抗（１）とその
抵抗変化とを例示する図である。この第５図の中の第５
図（Ａ）はトリミング操作に基づく抵抗変化をもとめる
対象としてのシート抵抗（１）であり、また、第５図（
Ｂ）はこのシート抵抗（１）の抵抗変化を示すグラフ図
である。

まず、第５図（Ａ）において、シート抵抗（１）に切り
込まれている４個のＬ字状の渭（２）は、それぞれに、
次のような形状にされている。第１のＬ字状の渭（２）
は、Ｙ座標方向の１５位置において、その左端部からＸ
座標方向に１１位置まで切り込まれ、ここがらＹ座標方
向の５位置まで垂直に切り込まれている。第２のＬ字状
の消（２）は、Ｙ座標方向の１５位置において、その左
端部がらＸ座標方向に１２位置まで切り込まれ、ここが
らＹ座標方向の６位置まで垂直に切り込Ｊれている。第
３のＬ字状の溝（２）は、Ｙ座標方向の１５位置におい
て、その左端部がらＸ座標方向に１３位置まで切り込ま
れ、ここがらＹ座標方向の６位置まで垂直に切り込まれ
ている。そして、第４のＬ字状の渭（２）は、Ｙ座標方
向の１５位置において、その左端部からＸ座標方向に１
４位置まで切り込まれ、ここからＹ座標方向の５位置ま
で垂直に切り込まれている。

次に、第５図（Ｂ）において、第１のＬ字状の渭（２）
に基づく抵抗変化は曲線線分（５１）で例示されている
。第２のＬ字状の溝（２）に基づく抵抗変化は曲線線分
（５２）で例示されている。第３のＬ字状の渭（２）に
基づく抵抗変化は曲線線分（５３）で例示されている。

そして、第４のＬ字状の溝（２）に基づく抵抗変化は曲
線線分（５４）で例示されている。

第６図は、１本の渭（２）が切り込まれた、シングル・
カット・タイプのシート抵抗（１）における等電位線を
例示するグラフ図である。第７図は、２本の渭（２）が
切り込まれたダブル・カット・タイプのシート抵抗（１
）における等電位線を例示するグラフ図である。そして
、第８図は、３本の渭（２）が左右から交互に切り込ま
れたサーペンタイン・カット・タイプのシート抵抗（１
）における等電位線を例示するグラフ図である。

なお、上記実施例の説明は、複数個の個別抵抗要素を平
面的にマトリクス状に並べることにより、対象とする被
膜状のシート抵抗を模擬する場合についてなされたけれ
ども、これに限られるものではなく、例えば、前記複数
個の個別抵抗要素を立体的に並べることにより、シート
抵抗の厚みを処理ファクタに加えることも可能である。

［発明の効果］ 以上説明されたように、この発明に係るシート抵抗の計
算方式は二所定数の個別抵抗要素をマトリクス状に組み
立てて上記シート抵抗に近似した個別抵抗要素組立体を
用意しておき：上記個別抵抗要素いずれかを隣接のもの
から選択的に切り離すトリミング操作を施すことにより
上記シート抵抗の所要部における溝の模擬的な形成を行
い；既製の回路解析プロダラムを用いて上記シート抵抗
の抵抗を求めるようにした；ことを特徴とするものであ
って、 このようにすることにより、特別な数学的知識を必要と
することなく、ある所定の形状をもつシート抵抗の抵抗
値や、トリミング操作にともなって変化した形状のもの
の抵抗値について、容易にかつ正確に求めることが可能
にされる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例であるシート抵抗の計算
方式が適用されるシート抵抗を、複数個の個別抵抗素子
をもって模擬的に精成したものの例示図である。 第２図は、ある所望の形状にトリミング操作が施された
シート抵抗の例示図である。 第３図は、ダブル・カット・タイプのシート抵抗とその
抵抗変化とを例示する図である。 第４図は、サーペンタイン　カット　タイプのシート抵
抗（１）とその抵抗変化とを例示する図である。 第５図は、Ｌカット・タイプのシート抵抗（１）とその
抵抗変化とを例示する図である。 第６図は、シングル・カット・タイプのシート抵抗にお
ける等電位線を例示するグラフ図である。 第７図は、２本の清が切り込まれたダブル・カット・タ
イプのシート抵抗における等電位線を例示するグラフ図
である。 第８図は、３本の清が左右から交互に切り込まれたサー
ペンタイン・カット・タイプのシート抵抗における等電
位線を例示するグラフ図である。 （１）はシート抵抗、 （２）は溝、 （Ｒ１１）〜（Ｒ９８）は個別抵抗素子。 なお、図中で同一符号が付されたものは同一ま第２図 （△） （Ｂ） 第２図 （Ｃ） （Ｄ） 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）シート抵抗の抵抗を求めるための計算方式であっ
   て； 所定数の個別抵抗要素をマトリクス状に 組み立てて上記シート抵抗に近似した個別抵抗要素組立
   体を用意しておき； 上記個別抵抗要素いずれかを隣接のもの から選択的に切り離すトリミング操作を施すことにより
   上記シート抵抗の所要部における溝の模擬的な形成を行
   い； 既製の回路解析プログラムを用いて上記 シート抵抗の抵抗を求めるようにした； ことを特徴とするシート抵抗の計算方式。