JPH04242479A - Schedule producing device - Google Patents
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- JPH04242479A JPH04242479A JP3003259A JP325991A JPH04242479A JP H04242479 A JPH04242479 A JP H04242479A JP 3003259 A JP3003259 A JP 3003259A JP 325991 A JP325991 A JP 325991A JP H04242479 A JPH04242479 A JP H04242479A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】この発明は、各製品を製造するた
めの複数個の工程を順次使用する各装置に割り当て、製
品製造における装置資源の利用スケジュールを作成する
スケジュール作成装置に関し、特に一人の装置オペレー
タが複数の装置を担当しているような製造ラインのスケ
ジュール作成に係る。[Field of Industrial Application] The present invention relates to a schedule creation device that allocates a plurality of processes for manufacturing each product to each device that is used sequentially and creates a schedule for the use of equipment resources in product manufacturing, and in particular, This relates to creating a schedule for a production line where a device operator is in charge of multiple devices.
【０００２】0002
【従来の技術】従来のスケジュール作成装置は、スケジ
ューリングに必要な製品の処理フロー（使用装置や使用
時間等）の登録手段を備え、各製造工程の実時間をシミ
ュレートする内部時計を有し、この内部時計による各内
部時刻（スケジューリング時刻）に対する装置および製
品の状態を記憶している。ここで各内部時刻おける装置
の状態として、装置名，装置の稼働状態（“稼働中”ま
たは“待ち”）および処理待ちとなっている製品名をそ
の処理の優先度順に格納している。2. Description of the Related Art A conventional schedule creation device includes means for registering product processing flows (equipment used, usage time, etc.) necessary for scheduling, and has an internal clock that simulates the actual time of each manufacturing process. The state of the device and product at each internal time (scheduling time) determined by this internal clock is stored. Here, as the status of the device at each internal time, the device name, the operating status of the device (“in operation” or “waiting”), and the name of the product waiting for processing are stored in order of priority of the processing.
【０００３】以上のように構成された従来のスケジュー
ル作成装置においては、各スケジューリング時刻で稼働
状態が“待ち”の装置に、処理待ちとなっている製品を
割り付け、スケジューリング時刻を一定時間だけ進めて
、各時刻での装置の稼働状態および製品の進捗状態をシ
ミュレーションすることによりスケジュールを作成して
いる。[0003] In the conventional schedule creation device configured as described above, the product waiting to be processed is assigned to the device whose operating status is “waiting” at each scheduling time, and the scheduling time is advanced by a certain amount of time. The schedule is created by simulating the operating status of the equipment and the progress status of the product at each time.
【０００４】0004
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成によれば、一人の装置オペレータにより担当され
ている複数の異なる装置が同一時刻に処理開始されるよ
うなスケジュールを作成する可能性がある。したがって
、装置オペレータを考慮したスケジュールを作成するた
めに、スケジュール作成装置により作成されたスケジュ
ールを人間もしくは他の装置によって修正しなければな
らないこととなり、正確なスケジュール作成に対して多
大な時間と費用を費やすことになるという問題を有して
いた。However, according to the above-mentioned conventional configuration, there is a possibility of creating a schedule in which a plurality of different devices handled by one device operator start processing at the same time. Therefore, in order to create a schedule that takes the equipment operator into account, the schedule created by the scheduling equipment must be corrected by humans or other equipment, which requires a great deal of time and money to create an accurate schedule. The problem is that it costs a lot of money.
【０００５】この発明の目的は、一人の装置オペレータ
が複数の装置を担当し、同一時刻に複数の装置の処理開
始を同一の装置オペレータにより処理開始できない製造
ラインにおいて、一人の装置オペレータが担当する複数
の異なる装置を、段取り時間を考慮したうえで同一時刻
に処理開始することのないスケジュールを高速かつ効率
的に作成できるスケジュール作成装置を提供することで
ある。An object of the present invention is to provide a manufacturing line in which one equipment operator is in charge of a plurality of equipments, and where the same equipment operator cannot start the processing of multiple equipments at the same time. To provide a schedule creation device that can quickly and efficiently create a schedule that does not start processing a plurality of different devices at the same time while taking setup time into consideration.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明のスケジュール
作成装置は、製品処理条件登録手段と装置オペレータ情
報登録手段と製品進捗情報登録手段と装置稼働情報登録
手段と処理開始判定手段と装置稼働情報更新手段とを備
えている。製品処理条件登録手段は各製品の各工程に関
する処理条件を登録し、装置オペレータ情報登録手段は
各装置に関する装置オペレータ名および処理開始時の段
取り時間を登録し、製品進捗情報登録手段は内部時計に
よる任意のスケジューリング時刻において各製品に関す
る進捗情報を登録し、装置稼働情報登録手段は各装置の
稼働状況，処理開始可能時刻および優先度順に登録した
処理待ち製品群情報を登録するようになっている。[Means for Solving the Problems] The schedule creation device of the present invention comprises a product processing condition registration means, an apparatus operator information registration means, a product progress information registration means, an apparatus operation information registration means, a process start determination means, and an apparatus operation information update means. and means. The product processing condition registration means registers the processing conditions for each process of each product, the equipment operator information registration means registers the equipment operator name and setup time at the start of processing for each equipment, and the product progress information registration means registers processing conditions related to each process of each product. Progress information regarding each product is registered at an arbitrary scheduling time, and the device operating information registration means is configured to register the operating status of each device, processing start time, and information on a group of products waiting to be processed that are registered in order of priority.
【０００７】処理開始判定手段は、装置の稼働状態が処
理開始可能であり、処理開始可能時刻が内部時計による
スケジューリング時刻以前の製品があるかどうかを判定
するようになっている。そして、装置稼働情報更新手段
は、処理開始判定手段による判定に合格した装置の装置
オペレータが担当するすべての装置の処理待ち製品群に
登録された製品の処理開始可能時刻を段取り時間に合わ
せ変更するようになっている。The processing start determining means is configured to determine whether or not the operating state of the apparatus is such that the processing can be started, and whether there is a product whose processing startable time is before the scheduling time according to the internal clock. Then, the device operation information updating means changes the processing start possible time of the products registered in the processing waiting product group of all the devices handled by the device operator of the device that has passed the determination by the processing start determination device in accordance with the setup time. It looks like this.
【０００８】[0008]
【作用】この発明の構成によれば、処理開始判定手段に
より、装置の稼働状態が処理開始可能であり、処理開始
可能時刻が内部時計によるスケジューリング時刻以前の
製品があるかどうかを判定し、装置稼働情報更新手段に
より、処理開始判定手段による判定に合格した装置の装
置オペレータが担当するすべての装置の処理待ち製品群
に登録された製品の処理開始可能時刻を段取り時間に合
わせ変更するようにしたことにより、一人の装置オペレ
ータが担当する複数の異なる装置を同一時刻に処理開始
することのない処理開始時の段取り時間を考慮したスケ
ジュールを作成することができる。[Operation] According to the structure of the present invention, the processing start determination means determines whether the operating state of the device is such that processing can be started and whether there is a product whose processing startable time is before the scheduling time according to the internal clock, and The operation information update means changes the processing start time of the products registered in the processing waiting product group of all the devices handled by the device operator of the device that has passed the judgment by the processing start judgment device in accordance with the setup time. By doing so, it is possible to create a schedule that takes into account the setup time at the start of processing without starting processing at the same time for a plurality of different devices handled by one device operator.
【０００９】[0009]
【実施例】この発明によるスケジュール作成装置を半導
体装置の製造工程に適用した例を、図１ないし図１０に
基づいて説明する。半導体装置の製造工程における製品
製造の単位は、複数のウェハで構成したロット単位であ
る。したがって製品に対してはロット、部品に対しては
ウェハが該当する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example in which a schedule creation apparatus according to the present invention is applied to a semiconductor device manufacturing process will be described with reference to FIGS. 1 to 10. The product manufacturing unit in the semiconductor device manufacturing process is a lot unit composed of a plurality of wafers. Therefore, a lot corresponds to a product, and a wafer corresponds to a part.
【００１０】図１はこの発明の一実施例のスケジュール
作成装置の概念図である。図１において、１０１はＣＰ
Ｕ、１０２，１０３および１０４はスケジュール作成に
必要な情報の入力表示およびスケジュール結果の出力表
示をするためのＣＲＴ，ディスプレイ，キーボードおよ
びプリンタである。また、１０５は製品処理条件登録手
段により各ロットの各工程の処理条件を登録したロット
処理条件テーブル、１０６は装置オペレータ情報登録手
段により各装置のオペレータおよび段取り時間を登録し
た装置オペレータ情報テーブルである。１０７は装置の
使用不可能時間帯を登録した装置使用不可能テーブルで
ある。１０８は製品進捗情報登録手段により登録したロ
ット進捗情報テーブルである。１０９は装置稼働情報登
録手段により内部時計（図示せず）による任意のスケジ
ュール時刻での各装置に関する装置の稼働状況および処
理待ちロット群情報を記憶した装置稼働情報テーブルで
ある。１１０はスケジューリング結果を記憶した結果テ
ーブルである。FIG. 1 is a conceptual diagram of a schedule creation device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 101 is CP
U, 102, 103, and 104 are a CRT, a display, a keyboard, and a printer for inputting and displaying information necessary for schedule creation and outputting and displaying schedule results. Further, 105 is a lot processing condition table in which the processing conditions of each process of each lot are registered by the product processing condition registration means, and 106 is an equipment operator information table in which the operator and setup time of each device are registered by the equipment operator information registration means. . Reference numeral 107 is a device unusable table in which time periods during which devices are unavailable are registered. 108 is a lot progress information table registered by the product progress information registration means. Reference numeral 109 denotes an apparatus operation information table in which the apparatus operation status and processing waiting lot group information regarding each apparatus at an arbitrary scheduled time according to an internal clock (not shown) are stored by the apparatus operation information registration means. 110 is a result table that stores scheduling results.
【００１１】図２および図３はこの発明の一実施例のス
ケジュール作成装置の構成を説明するための処理フロー
図である。まず、製品処理条件登録手段により、スケジ
ュール作成のための基本データとなるロットの各工程で
の処理条件をロット処理条件テーブル１０５に登録する
（ステップ２０１）。このロット処理条件テーブル１０
５を図４に示す。図４に示すように、ロット処理条件テ
ーブル１０５には、各ロット３１〜３３に対する工程番
号３４，基本工程名３５，使用装置３６，処理条件３７
，ウェハ枚数３８および処理時間３９を登録する。FIGS. 2 and 3 are process flow diagrams for explaining the configuration of a schedule creation device according to an embodiment of the present invention. First, the product processing condition registration means registers the processing conditions for each process of the lot, which serve as basic data for schedule creation, in the lot processing condition table 105 (step 201). This lot processing condition table 10
5 is shown in FIG. As shown in FIG. 4, the lot processing condition table 105 includes a process number 34, a basic process name 35, a device used 36, and a process condition 37 for each lot 31 to 33.
, the number of wafers 38 and the processing time 39 are registered.
【００１２】つぎに、装置オペレータ情報登録手段によ
り、各装置の情報を装置オペレータ情報テーブル１０６
に登録する（ステップ２０２）。この装置オペレータ情
報テーブル１０６を図５に示す。図５に示すように、装
置オペレータ情報テーブル１０６には、装置名４１，装
置オペレータ名４２およびロット処理開始までに必要な
段取り時間４３を登録する。Next, the device operator information registration means stores the information of each device in the device operator information table 106.
(Step 202). This device operator information table 106 is shown in FIG. As shown in FIG. 5, in the device operator information table 106, a device name 41, a device operator name 42, and a setup time 43 required before the start of lot processing are registered.
【００１３】つぎに、装置が故障または保守等の理由に
より使用できない時間帯があれば、装置使用不可能時間
帯登録手段により、装置使用不可能テーブル１０７に登
録する（ステップ２０３）。この装置使用不可能テーブ
ル１０７の構成を図６に示す。図６に示すように、装置
使用不可能テーブル１０７には、装置名５１，使用不可
能開始時刻５２および使用不可能終了時刻５３を登録す
る。Next, if there is a time period in which the device cannot be used due to a failure or maintenance, the device is registered in the device unusable table 107 by the device unusable time period registration means (step 203). The structure of this device unusable table 107 is shown in FIG. As shown in FIG. 6, a device name 51, an unusable start time 52, and an unusable end time 53 are registered in the unusable device table 107.
【００１４】つぎに、スケジュール時刻の初期化を行な
うことによって、スケジュール開始時刻をセットする（
ステップ２０４）。以下、この時刻が実時間の経過を示
すこととなる。つぎに、ロット進捗情報テーブル１０８
を初期化する（ステップ２０５）。このロット進捗情報
テーブル１０８の構成を図７に示す。図７に示すように
、ロット進捗情報テーブル１０８には、ロット名６１，
任意のスケジュール時刻においてロット名６１に示した
ロットが“処理中”・“待ち”・“完了”のいずれの状
態にであるかを示す進捗状態６２，工程番号６３および
使用装置６４を記憶してある。Next, the schedule start time is set by initializing the schedule time (
Step 204). Hereinafter, this time will indicate the passage of real time. Next, lot progress information table 108
is initialized (step 205). The structure of this lot progress information table 108 is shown in FIG. As shown in FIG. 7, the lot progress information table 108 includes lot names 61,
A progress state 62 indicating whether the lot indicated by the lot name 61 is in the "processing", "waiting", or "completed" state at an arbitrary schedule time, the process number 63, and the device used 64 are memorized. be.
【００１５】つぎに、各装置の稼働状況および処理待ち
ロット群情報を記憶している装置稼働情報テーブル１０
９を初期化する（ステップ２０６）。この装置稼働情報
テーブル１０９の構成を図８に示す。図７に示すように
、装置稼働情報テーブル１０９には、各装置の装置名７
０１，稼働状態７０２，処理しているロット名を示す処
理ロット７０３，開始時刻７０４，終了時刻７０５，装
置オペレータ名７０６，装置オペレータが他の装置での
段取りを終了し次のロットの処理を開始できる処理開始
可能時刻７０７および処理待ちロット群７０８を登録す
る。[0015] Next, there is an equipment operating information table 10 that stores the operating status of each equipment and information on the group of lots waiting to be processed.
9 is initialized (step 206). The structure of this device operation information table 109 is shown in FIG. As shown in FIG. 7, the device operation information table 109 includes the device name 7 of each device.
01, Operating status 702, Processing lot 703 indicating the name of the lot being processed, Start time 704, End time 705, Equipment operator name 706, Equipment operator finishes setup with other equipment and starts processing the next lot The processing start time 707 and processing waiting lot group 708 are registered.
【００１６】処理待ちロット群７０８には、処理の優先
度に従い、優先度の高いものから順に、待ちロット（１
） ７０９，待ちロット（２） ７１０，・・・とし、
ロット名およびロットの処理開始可能時刻を登録する（
ステップ２０７）。なお、ロットを処理する優先度には
、納期によるもの，処理時間によるもの，それらの組合
せによるもの等がある。The waiting lot group 708 includes waiting lots (1
) 709, waiting lot (2) 710,...,
Register the lot name and lot processing start time (
Step 207). Note that the priority for processing a lot may be based on delivery date, processing time, or a combination thereof.
【００１７】スケジュールの作成は、図７に示すロット
進捗情報テーブル１０８および図８に示す装置稼働情報
テーブル１０９を用いて、スケジューリング時刻をある
間隔で進行させ、実際の製造ラインでの各時刻における
状態をシミュレーションしながら行なう。ロット進捗情
報テーブル１０８の進捗状態６２が“完了”以外のロッ
トが登録されているかどうかを判断し、進捗状態６２が
すべて“完了”状態のロットになれば（すなわち割り付
けるべき工程がなくなれば）、スケジューリングの終了
とし、進捗状態６２が“処理中”または“待ち”状態の
ロットがあれば、ステップ２０９を実行する（ステップ
２０８）。The schedule is created by using the lot progress information table 108 shown in FIG. 7 and the equipment operation information table 109 shown in FIG. This is done through simulation. It is determined whether any lots are registered whose progress status 62 is other than "completed" in the lot progress information table 108, and if all the lots have progress status 62 of "completed" status (that is, if there are no processes to be allocated), Scheduling is terminated, and if there is a lot whose progress status 62 is "in process" or "waiting", step 209 is executed (step 208).
【００１８】ステップ２０９では、処理終了判定手段に
より、各装置における処理の終了確認を行う。現スケジ
ューリング時刻において装置稼働情報テーブル１０９の
稼働状態７０２に“稼働中”が登録され、かつ終了時刻
７０５が現スケジューリング時刻である装置があれば、
ステップ２１０を実行し、それ以外の場合はステップ２
１２を実行する。In step 209, the processing completion determining means confirms the completion of processing in each device. If there is a device for which "in operation" is registered in the operating status 702 of the device operating information table 109 at the current scheduling time and whose end time 705 is the current scheduling time,
Execute step 210, otherwise step 2
Execute 12.
【００１９】ステップ２１０では、図９に示す結果テー
ブル１１０に、処理の終了したロットのロット名８１，
工程番号８２，使用装置８３，開始時刻８４および終了
時刻８５を追加登録する。つぎに、ロット進捗情報テー
ブル１０８および装置稼働情報テーブル１０９を更新す
る（ステップ２１１）。まず、ステップ２１０で結果テ
ーブル１１０に登録したロットについて、ロット進捗情
報テーブル１０８の進捗状態６２に“待ち”を登録し、
ステップ２１０で結果テーブル１１０に登録した装置に
ついて、装置稼働情報テーブル１０９の稼働状態７０２
に“待ち”を登録し、処理ロット７０３，開始時刻７０
４および終了時刻７０５に登録されていた値を削除する
。また、該当ロットの次工程をロット処理条件テーブル
１０５より読み込み、ロット進捗情報テーブル１０８の
工程番号６３および使用装置６４に登録し、かつ装置稼
働情報テーブル１０９の該当装置の処理待ちロット群７
０８へ追加登録し、ステップ２０７で優先度順に並べ変
え、ステップ２０８以降を実行する。At step 210, the lot name 81 of the processed lot is added to the result table 110 shown in FIG.
The process number 82, the device used 83, the start time 84, and the end time 85 are additionally registered. Next, the lot progress information table 108 and the device operation information table 109 are updated (step 211). First, for the lot registered in the result table 110 in step 210, "waiting" is registered in the progress status 62 of the lot progress information table 108,
For the device registered in the result table 110 in step 210, the operating status 702 of the device operating information table 109
"Waiting" is registered for processing lot 703, start time 70.
4 and the values registered in end time 705 are deleted. In addition, the next process of the applicable lot is read from the lot processing condition table 105, registered in the process number 63 and the equipment used 64 of the lot progress information table 108, and the processing waiting lot group 7 of the applicable equipment in the equipment operation information table 109.
08, rearrange them in order of priority in step 207, and execute steps 208 onwards.
【００２０】ステップ２１２では、ダウン装置の回復判
定を行う。装置稼働情報テーブル１０９の稼働状態７０
２が“使用不可能”であり、かつ終了時刻７０５が現ス
ケジューリング時刻である場合には、ステップ２１３を
実行する。また、回復すべきダウン装置がない場合はス
テップ２１４を実行する。ステップ２１３では、装置稼
働情報テーブル１０９の該当装置の稼働状態７０２に“
待ち”を登録し、登録されていた開始時刻７０４および
終了時刻７０５の値を削除する。その後、ステップ２０
８を実行する。In step 212, a determination is made as to whether the down device has recovered. Operating status 70 of device operating information table 109
2 is "unavailable" and end time 705 is the current scheduling time, step 213 is executed. Further, if there is no down device to be recovered, step 214 is executed. In step 213, the operating status 702 of the corresponding device in the device operating information table 109 is
"Waiting" is registered, and the registered start time 704 and end time 705 values are deleted. Then, step 20
Execute step 8.
【００２１】このようにして、ステップ２１４では、現
スケジューリング時刻において、処理終了すべきロット
および回復すべきダウン装置がなくなれば、各装置にお
ける処理の開始確認を行う。すなわち、現スケジューリ
ング時刻において、装置稼働情報テーブル１０９の稼働
状態７０２が“待ち”であり、その処理待ちロット群７
０８にロットが登録されており、かつ待ちロット（１）
７０９に登録されているロットの処理開始可能時刻が
現スケジューリング時刻より以前であるかどうかを判断
する（処理開始判定）。この処理開始判定に合格（ｙｅ
ｓ）した装置があれば、ステップ２１５を実行する。In this manner, in step 214, if there are no more lots to be processed and no downed devices to be recovered at the current scheduling time, the start of processing in each device is confirmed. That is, at the current scheduling time, the operating status 702 of the device operating information table 109 is "waiting", and the processing waiting lot group 7
Lot registered in 08 and waiting lot (1)
It is determined whether the processing startable time of the lot registered in 709 is before the current scheduling time (processing start determination). Passed this processing start judgment (ye
s) If there is a device that has done so, step 215 is executed.
【００２２】ステップ２１５では、装置稼働情報テーブ
ル１０９の該当装置の稼働状態７０２を“稼働中”にし
、処理ロット７０３には待ちロット（１） ７０９に登
録されているロット名を登録し、開始時刻７０４には現
在のスケジューリング時刻を登録し、終了時刻７０５に
は現在のスケジューリング時刻にロット処理条件テーブ
ル１０５の処理時間３９を加えたものを登録する。さら
に、装置オペレータ名７０６には装置オペレータ情報テ
ーブル１０６の該当装置の装置オペレータ名４２を登録
し、処理開始可能時刻７０７には装置オペレータ情報テ
ーブル１０６の該当装置の段取り時間４３を現スケジュ
ーリング時刻に加えたものを登録する。さらに、待ちロ
ット（１） ７０９に記憶されているロットを削除し、
待ちロット（２） ７１０以降にロットが登録されてい
る場合は、それぞれ登録されているロット名を処理優先
度が高くなる方向に１つずつ移動させ登録することによ
り、装置稼働情報テーブル１０９を更新する。更新後の
装置稼働情報テーブル１０９を図１０に示す。In step 215, the operating status 702 of the corresponding device in the device operating information table 109 is set to "in operation", the lot name registered in the waiting lot (1) 709 is registered in the processing lot 703, and the start time is set. The current scheduling time is registered in 704, and the sum of the current scheduling time and the processing time 39 of the lot processing condition table 105 is registered in the end time 705. Furthermore, the device operator name 42 of the applicable device in the device operator information table 106 is registered in the device operator name 706, and the setup time 43 of the applicable device in the device operator information table 106 is added to the current scheduling time in the processing start time 707. register the item. Furthermore, the lot stored in the waiting lot (1) 709 is deleted,
Waiting lot (2) If lots are registered after 710, the device operation information table 109 is updated by moving each registered lot name one by one in the direction of increasing processing priority. do. FIG. 10 shows the updated device operation information table 109.
【００２３】現スケジューリング時刻において、ステッ
プ２０９，２１２，２１４を実行することにより処理す
べきロットがなくなれば、スケジューリング時刻の更新
を行う（ステップ２１６）。スケジューリング時刻の更
新は、装置稼働情報テーブル１０９に登録されている終
了時刻７０５のうち、最小の終了時刻の値を選択し、こ
の値を新たなスケジューリング時刻として更新する。ま
た、このとき装置稼働情報テーブル１０９の処理開始可
能時刻７０７に、新たに登録されたスケジューリング時
刻より小さい値が登録されていれば、その装置の装置オ
ペレータ名７０６および処理開始可能時刻７０７を削除
する。If there are no more lots to be processed at the current scheduling time by executing steps 209, 212, and 214, the scheduling time is updated (step 216). To update the scheduling time, the minimum end time value is selected from among the end times 705 registered in the device operation information table 109, and this value is updated as the new scheduling time. At this time, if a value smaller than the newly registered scheduling time is registered in the processing start possible time 707 of the device operation information table 109, the device operator name 706 and processing start possible time 707 of that device are deleted. .
【００２４】以上の処理をロット進捗情報テーブル１０
８に記憶されているロットがなくなるまで行い、順次結
果を結果テーブル１１０に記憶させる。スケジューリン
グ終了後、結果をＣＲＴ１０２またはプリンター１０４
に出力する。以上のようにこの実施例によれば、１人の
装置オペレータが複数の装置を担当している製造ライン
におけるスケジュールを高速かつ効率的に作成すること
ができる。The above processing is performed in the lot progress information table 10.
The process is repeated until there are no more lots stored in 8, and the results are sequentially stored in the result table 110. After scheduling is completed, the results are transferred to the CRT 102 or printer 104.
Output to. As described above, according to this embodiment, it is possible to quickly and efficiently create a schedule for a production line in which one device operator is in charge of a plurality of devices.
【００２５】なお、この実施例では、装置オペレータが
各装置を操作した場合について説明したが、自動化の進
んだ製造ラインにおいては、装置オペレータを、装置に
ウェハを自動でセットする搬送設備としてよいことは言
うまでもない。[0025] In this embodiment, a case has been explained in which a device operator operates each device, but in a highly automated production line, the device operator may be replaced by a transfer facility that automatically sets wafers in the device. Needless to say.
【００２６】[0026]
【発明の効果】この発明のスケジュール作成装置は、装
置の稼働状態が処理開始可能であり、処理開始可能時刻
が内部時計によるスケジューリング時刻以前の製品があ
るかどうかを判定し、この判定に合格した装置の装置オ
ペレータが担当するすべての装置の処理待ち製品群に登
録された製品の処理開始可能時刻を段取り時間に合わせ
変更するようにしたことにより、一人の装置オペレータ
が担当する複数の異なる装置を同一時刻に処理開始する
ことのない処理開始時の段取り時間を考慮したスケジュ
ールを作成することができる。したがって、あらゆる製
造ラインに対する柔軟な生産スケジュールを高速かつ効
率的に作成することができる。[Effects of the Invention] The schedule creation device of the present invention determines whether the operating state of the device is such that processing can be started, and whether or not there is a product whose processing startable time is before the scheduling time according to the internal clock, and if the device passes this determination. By changing the processing start time of products registered in the waiting product group of all machines for which a machine operator is in charge to match the setup time, it is possible for a single machine operator to handle multiple different machines. It is possible to create a schedule that takes into account the setup time at the start of processing, which does not start at the same time. Therefore, flexible production schedules for any production line can be created quickly and efficiently.
【００２７】また、作成されたスケジュールに沿って実
際の処理を行うことにより、装置の稼働率の向上および
製品の納期の短縮化が図れ、その実用的効果は大きい。Furthermore, by carrying out the actual processing according to the created schedule, it is possible to improve the operating rate of the apparatus and shorten the delivery period of the product, which has a great practical effect.
【図１】この発明の一実施例のスケジュール作成装置の
構成を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing the configuration of a schedule creation device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同スケジュール作成装置の構成を説明するため
の処理フロー図である。FIG. 2 is a processing flow diagram for explaining the configuration of the schedule creation device.
【図３】同スケジュール作成装置の構成を説明するため
の処理フロー図である。FIG. 3 is a processing flow diagram for explaining the configuration of the schedule creation device.
【図４】同スケジュール作成装置によるロット処理条件
テーブルの構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a lot processing condition table by the schedule creation device.
【図５】同スケジュール作成装置による装置オペレータ
情報テーブルの構成を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the configuration of a device operator information table by the schedule creation device.
【図６】同スケジュール作成装置による装置使用不可能
テーブルの構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the configuration of a device unusable table by the schedule creation device.
【図７】同スケジュール作成装置によるロット進捗情報
テーブルの構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the structure of a lot progress information table produced by the schedule creation device.
【図８】同スケジュール作成装置による装置稼働情報テ
ーブルの構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the configuration of a device operation information table by the schedule creation device.
【図９】同スケジュール作成装置による結果テーブルの
構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the structure of a result table produced by the schedule creation device.
【図１０】同スケジュール作成装置による装置がロット
処理開始後の装置稼働情報テーブルの構成を示す図であ
る。FIG. 10 is a diagram showing the configuration of an apparatus operation information table after the apparatus starts lot processing by the same schedule creation apparatus.
１０５ ロット処理条件テーブル１０６
装置オペレータ情報テーブル１０８ ロット進捗
情報テーブル１０９ 装置稼働情報テーブル105 Lot processing condition table 106
Equipment operator information table 108 Lot progress information table 109 Equipment operation information table
Claims (1)
時計を有し、この時計による任意のスケジューリング時
刻における各装置稼働状況および処理待ち製品群情報を
予測し、前記内部時計の進行に伴い順次前記各装置に各
製品を割り付けるスケジュール作成装置であって、前記
各製品の各工程に関する処理条件を登録する製品処理条
件登録手段と、前記各装置に関する装置オペレータ名お
よび処理開始時の段取り時間を登録する装置オペレータ
情報登録手段と、前記内部時計による任意のスケジュー
リング時刻において、前記各製品に関する進捗情報を登
録する製品進捗情報登録手段と、前記各装置の稼働状況
，処理開始可能時刻および優先度順に登録した処理待ち
製品群情報を登録する装置稼働情報登録手段と、前記装
置の稼働状態が処理開始可能であり、前記処理開始可能
時刻が前記内部時計によるスケジューリング時刻以前の
製品があるかどうかを判定する処理開始判定手段と、こ
の処理開始判定手段による判定に合格した装置の装置オ
ペレータが担当するすべての装置の処理待ち製品群に登
録された製品の処理開始可能時刻を前記段取り時間に合
わせ変更する装置稼働情報更新手段とを備えたスケジュ
ール作成装置。1. An internal clock is provided for simulating real time, and this clock predicts the operating status of each device and information on product groups waiting to be processed at an arbitrary scheduling time, and as the internal clock progresses, the A schedule creation device that allocates each product to each device, comprising a product processing condition registration means for registering processing conditions related to each process of each product, and a device operator name and setup time at the start of processing for each device. equipment operator information registration means; product progress information registration means for registering progress information regarding each of the products at an arbitrary scheduling time according to the internal clock; a device operation information registration means for registering information on a group of products waiting to be processed; and a process for determining whether or not there is a product whose operating state of the device indicates that processing can be started, and whose processing startable time is before the scheduling time according to the internal clock. start determination means, and equipment operation for changing the time at which processing can be started for products registered in the waiting product group of all equipment handled by the equipment operator of the equipment that has passed the determination by the processing start determination means, in accordance with the setup time; A schedule creation device comprising an information update means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3003259A JPH04242479A (en) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | Schedule producing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3003259A JPH04242479A (en) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | Schedule producing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04242479A true JPH04242479A (en) | 1992-08-31 |
Family
ID=11552477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3003259A Pending JPH04242479A (en) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | Schedule producing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04242479A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005215720A (en) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Murata Mach Ltd | Scheduling device and automatic programming device for punch presses |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP3003259A patent/JPH04242479A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005215720A (en) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Murata Mach Ltd | Scheduling device and automatic programming device for punch presses |
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