JPH04235520A - Optical scanning device - Google Patents
Optical scanning deviceInfo
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- JPH04235520A JPH04235520A JP3013716A JP1371691A JPH04235520A JP H04235520 A JPH04235520 A JP H04235520A JP 3013716 A JP3013716 A JP 3013716A JP 1371691 A JP1371691 A JP 1371691A JP H04235520 A JPH04235520 A JP H04235520A
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Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】本発明は光走査装置に関し、特に
光源手段から射出した記録用の走査用光ビームを光偏向
器を介して被走査面上に導光し、該走査用光ビームで該
被走査面を高精度に光走査するようにした光走査装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning device, and more particularly to an optical scanning device that guides a recording scanning light beam emitted from a light source onto a surface to be scanned via an optical deflector. The present invention relates to an optical scanning device that optically scans the surface to be scanned with high precision.
【０００２】0002
【従来の技術】従来より記録情報信号により光変調され
た光ビームを回転多面鏡等の光偏向器で偏向した後、感
光体ドラム等の被走査面に導光して、該被走査面上を光
走査する際、エンコーダ板等の光走査の位置及び速度を
検出することができる検出手段を用いて該被走査面上の
光ビームの走査位置及び速度を同時に検出し、該エンコ
ーダからの信号を用いて被走査面上を高精度に光走査す
るようにした光走査装置が例えば特開昭６３−２８９５
２２号公報で提案されている。2. Description of the Related Art Conventionally, a light beam modulated by a recorded information signal is deflected by an optical deflector such as a rotating polygon mirror, and then guided to a surface to be scanned such as a photoreceptor drum. When optically scanning a surface, the scanning position and speed of the light beam on the surface to be scanned are simultaneously detected using a detection means capable of detecting the position and speed of optical scanning, such as an encoder plate, and the signal from the encoder is detected. For example, an optical scanning device that scans the scanned surface with high precision using
This is proposed in Publication No. 22.
【０００３】該公報で提案されている光走査装置では回
転多面鏡等の光偏向器の回転速度の変動（ムラ）を補正
し高精度の光走査を行なっている。The optical scanning device proposed in this publication corrects fluctuations (unevenness) in the rotational speed of an optical deflector such as a rotating polygon mirror to perform highly accurate optical scanning.
【０００４】図５は従来の光走査装置の要部構成図であ
る。FIG. 5 is a block diagram of the main parts of a conventional optical scanning device.
【０００５】同図においては光源手段としての半導体レ
ーザ５１から射出された画像記録用の走査用光ビームを
レンズ５２、ハーフミラー５３そしてシリンドリカルレ
ンズ５４を介し回転多面鏡から成る光偏向器５５で反射
偏向させている。該光偏向器５５で偏向した走査用光ビ
ームをｆ−θレンズ５６で集光し、反射ミラー５７を介
して記録媒体である感光体ドラム５８面上に導光し、該
走査用光ビームで感光体ドラム５８面上を光走査してい
る。In the figure, a scanning light beam for image recording emitted from a semiconductor laser 51 as a light source means is reflected by a light deflector 55 consisting of a rotating polygon mirror via a lens 52, a half mirror 53, and a cylindrical lens 54. It's deflecting. The scanning light beam deflected by the optical deflector 55 is focused by an f-theta lens 56 and guided onto the surface of a photoreceptor drum 58, which is a recording medium, via a reflection mirror 57. The surface of the photosensitive drum 58 is scanned with light.
【０００６】同図において半導体レーザ５１から射出し
た走査用光ビームを不図示の文字発生器で画素クロック
に基づいて発生した信号により変調回路で光変調してい
る。In the figure, a scanning light beam emitted from a semiconductor laser 51 is optically modulated by a modulation circuit using a signal generated by a character generator (not shown) based on a pixel clock.
【０００７】一方、半導体レーザ５９から射出した検出
用光ビームは走査用光ビームの記録媒体５８上での位置
を検出し、これより走査速度を検出する為に用いている
。即ち半導体レーザ５９から射出した検出用光ビームを
レンズ５０、ハーフミラー５３そしてシリンドリカルレ
ンズ５４を介して光偏向器５５により反射偏向している
。On the other hand, the detection light beam emitted from the semiconductor laser 59 is used to detect the position of the scanning light beam on the recording medium 58, and from this detect the scanning speed. That is, a detection light beam emitted from a semiconductor laser 59 is reflected and deflected by an optical deflector 55 via a lens 50, a half mirror 53, and a cylindrical lens 54.
【０００８】そして光偏向器５５で偏向させた検出用光
ビームをｆ−θレンズ７６を介しエンコーダ板６１上の
一定間隔で連続的に配列した多数のスリット面上に導光
し、その面上を走査している。このスリットを透過した
検出用光ビームをレンズ６２によって収束し、光検出器
６３により光電変換している。光検出器６３からはパル
ス状の信号を出力している。The detection light beam deflected by the optical deflector 55 is guided through an f-theta lens 76 onto the surface of a large number of slits continuously arranged at regular intervals on the encoder plate 61. is being scanned. The detection light beam transmitted through this slit is converged by a lens 62 and photoelectrically converted by a photodetector 63. The photodetector 63 outputs a pulsed signal.
【０００９】そして光検出器６３からのパルス信号は増
幅器６４を介して不図示の波形整形器で波形整形されて
位相同期用の基準パルスとなり、この基準パルスを基に
画素クロックが作られる。The pulse signal from the photodetector 63 passes through an amplifier 64 and is waveform-shaped by a waveform shaper (not shown) to become a reference pulse for phase synchronization, and a pixel clock is generated based on this reference pulse.
【００１０】その後画素クロックを文字発生器へフィー
ドバックさせることで走査用光ビームを光変調する際の
タイミングを調整している。これにより感光体ドラム５
８面上に高精度な画像を記録している。Thereafter, the pixel clock is fed back to the character generator to adjust the timing when optically modulating the scanning light beam. As a result, the photoreceptor drum 5
Highly accurate images are recorded on eight sides.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】図５に示した従来の光
走査装置においてはエンコーダ板６１上における検出用
光ビームの主走査方向のビームスポット径が光学系の性
質より被走査面（記録媒体面）５８上における走査用光
ビームの主走査方向のビームスポット径に比べ同程度又
は大きい場合には被走査面上における走査用光ビームの
主走査方向の光ビームの入射位置が正確に検出できない
という問題点があった。In the conventional optical scanning device shown in FIG. If the beam spot diameter in the main scanning direction of the scanning light beam on the scanning surface 58 is the same or larger, the incident position of the scanning light beam in the main scanning direction on the surface to be scanned cannot be detected accurately. There was a problem.
【００１２】本発明は走査用光ビームの被走査面上での
入射位置を高分解能に検出することができ、これにより
高精度の光走査を行なうことができる光走査装置の提供
を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical scanning device that can detect the incident position of a scanning light beam on a surface to be scanned with high resolution, and thereby perform highly accurate optical scanning. .
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明の光走査装置は、
記録情報信号に基づいて光変調した走査用光ビームを導
光手段を用いて光偏向器に導光し、該光偏向器で偏向さ
せた後、該走査用光ビームにより被走査面を光走査する
際、該走査用光ビームの該被走査面上での走査速度を検
出する為の検出用光ビームをビーム変換手段を介して該
光偏向器に導光し、該光偏向器で偏向させた後、該検出
用光ビームを検出手段で検出し、該検出手段からの信号
に基づき補正手段により、該走査用光ビームを該記録情
報信号に基づき光変調する際のタイミングを補正するよ
うにしたことを特徴としている。[Means for Solving the Problems] The optical scanning device of the present invention includes:
A scanning light beam modulated based on a recording information signal is guided to an optical deflector using a light guiding means, and after being deflected by the optical deflector, the scanning light beam optically scans the surface to be scanned. At this time, a detection light beam for detecting the scanning speed of the scanning light beam on the surface to be scanned is guided to the optical deflector via a beam conversion means, and is deflected by the optical deflector. After that, the detection light beam is detected by the detection means, and based on the signal from the detection means, the correction means corrects the timing when optically modulating the scanning light beam based on the recording information signal. It is characterized by what it did.
【００１４】特に本発明においては、前記ビーム変換手
段は前記検出用光ビームのスポット径を主走査方向に短
軸を有する略楕円形状に変換していることを特徴として
いる。In particular, the present invention is characterized in that the beam converting means converts the spot diameter of the detection light beam into a substantially elliptical shape having a minor axis in the main scanning direction.
【００１５】[0015]
【実施例】図１は本発明の光走査装置の実施例１の要部
構成図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a block diagram of a main part of a first embodiment of an optical scanning device according to the present invention.
【００１６】同図において１は第１光源手段としての半
導体レーザであり、記録用の走査用光ビームを射出して
いる。２はコリメーターレンズであり、半導体レーザ１
から射出された走査用光ビームを略平行光ビームとして
いる。３はハーフミラー、４はシリンドリカルレンズで
あり、副走査断面のみ所定の屈折力を有している。In the figure, reference numeral 1 denotes a semiconductor laser as a first light source means, which emits a scanning light beam for recording. 2 is a collimator lens, and the semiconductor laser 1
The scanning light beam emitted from the scanning light beam is a substantially parallel light beam. 3 is a half mirror, and 4 is a cylindrical lens, which has a predetermined refractive power only in the sub-scanning section.
【００１７】５は光偏向器であり、回転多面鏡より成っ
ており、矢印Ａ方向に所定の速度で回転している。１６
は収束レンズであり、ｆ−θレンズより成っており走査
用光ビームを反射ミラー２４を介して記録媒体としての
感光体ドラム８面上に結像させている。Reference numeral 5 denotes an optical deflector, which is composed of a rotating polygon mirror and rotates in the direction of arrow A at a predetermined speed. 16
A converging lens is composed of an f-theta lens, and forms an image of the scanning light beam on the surface of the photoreceptor drum 8, which serves as a recording medium, via a reflecting mirror 24.
【００１８】９は第２光源手段としての半導体レーザで
あり、走査用光ビームの感光体ドラム８面上での入射位
置、即ち走査速度を検出する為の検出用光ビームを射出
している。１０はコリメーターレンズであり、半導体レ
ーザ９から射出した検出用光ビームを略平行光ビームと
している。Reference numeral 9 denotes a semiconductor laser as a second light source means, which emits a detection light beam for detecting the incident position of the scanning light beam on the surface of the photosensitive drum 8, that is, the scanning speed. Reference numeral 10 denotes a collimator lens, which converts the detection light beam emitted from the semiconductor laser 9 into a substantially parallel light beam.
【００１９】６はビーム変換手段であり、第２光源手段
９側より順に主走査断面内において屈折力を有する正の
屈折力のシリンドリカルレンズ６ａと同じく主走査断面
内において屈折力を有する負の屈折力のシリンドリカル
レンズ６ｂの２枚のレンズより成っている。ビーム変換
手段６は第２光源手段９から射出された検出用光ビーム
の光強度分布を変換して検出用光ビームの主走査方向の
ビームスポット径が走査用光ビームの主走査方向のビー
ムスポット径より小さくなるようにしている。Reference numeral 6 denotes a beam converting means, which includes, in order from the second light source means 9 side, a cylindrical lens 6a having a positive refractive power having a refractive power in the main scanning section, and a negative refracting lens 6a having a refractive power in the main scanning section similarly to the cylindrical lens 6a having a refractive power in the main scanning section. It consists of two lenses: a powerful cylindrical lens 6b. The beam converting means 6 converts the light intensity distribution of the detection light beam emitted from the second light source means 9 so that the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction becomes the beam spot of the scanning light beam in the main scanning direction. It is made to be smaller than the diameter.
【００２０】尚、各要素２，３，４，１０は導光手段の
一要素を構成している。Each of the elements 2, 3, 4, and 10 constitutes one element of the light guiding means.
【００２１】１１はエンコーダ板であり、一定のピッチ
より成るスリット開口部を有しており、収束レンズ１６
の焦点位置近傍に配置している。１２は収束レンズであ
り、エンコーダ板１１を通過した光束を集光している。
１３は光検出器であり、収束レンズ１２で集光した光束
を検出している。本実施例においてはエンコーダ板１１
、収束レンズ１２、そして光検出器１３の各要素で検出
用光ビームを検出するための検出手段２０を構成してい
る。Reference numeral 11 denotes an encoder plate, which has slit openings with a constant pitch, and has a converging lens 16.
It is placed near the focal point. A converging lens 12 condenses the light beam that has passed through the encoder plate 11. Reference numeral 13 denotes a photodetector, which detects the light beam condensed by the converging lens 12. In this embodiment, the encoder plate 11
, the converging lens 12, and the photodetector 13 constitute a detection means 20 for detecting the detection light beam.
【００２２】１８は増幅器、１４は同期信号生成回路、
１５は記録情報信号発生回路である。18 is an amplifier; 14 is a synchronization signal generation circuit;
15 is a recording information signal generation circuit.
【００２３】本実施例においては同期信号生成回路１４
と記録情報信号発生回路１５の各要素で補正手段３０を
構成しており、検出手段２０からの情報に基づき走査用
光ビームを記録情報信号により変調するタイミングを調
整（補正）している。In this embodiment, the synchronization signal generation circuit 14
and each element of the recording information signal generation circuit 15 constitute a correction means 30, which adjusts (corrects) the timing of modulating the scanning light beam with the recording information signal based on information from the detection means 20.
【００２４】本実施例において半導体レーザ１から射出
した画像記録用の走査用光ビームはコリメータレンズ２
、ハーフミラー３そしてシリンドリカルレンズ４を経て
光偏向器５で反射偏向している。該光偏向器５で偏向し
た走査用光ビームは収束レンズ１６で集光し、反射ミラ
ー２４を介して記録媒体である感光体ドラム８面上に導
光し、該走査用光ビームで感光体ドラム８面上に導光し
、該走査用光ビームで感光体ドラム８面上画を光走査し
ている。In this embodiment, the scanning light beam for image recording emitted from the semiconductor laser 1 is transmitted through the collimator lens 2.
, a half mirror 3 and a cylindrical lens 4, and is reflected and deflected by an optical deflector 5. The scanning light beam deflected by the optical deflector 5 is condensed by a converging lens 16 and guided onto the surface of the photoconductor drum 8, which is a recording medium, via a reflection mirror 24. Light is guided onto the surface of the drum 8, and the image on the surface of the photosensitive drum 8 is optically scanned with the scanning light beam.
【００２５】同図において半導体レーザー１から射出さ
れる走査用光ビームは不図示の光変調回路で光変調して
いる。In the figure, a scanning light beam emitted from a semiconductor laser 1 is optically modulated by an optical modulation circuit (not shown).
【００２６】一方、半導体レーザ９から射出した検出用
光ビームはコリメータレンズ１０を経てビーム変換手段
６に入射している。そして該ビーム変換手段６により検
出用光ビームの光強度分布を該検出用光ビームの主走査
方向のビームスポット径が走査用光ビームの主走査方向
のビームスポット径より小さくなるように変換している
。On the other hand, the detection light beam emitted from the semiconductor laser 9 enters the beam converting means 6 via the collimator lens 10. Then, the beam converting means 6 converts the light intensity distribution of the detection light beam so that the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction is smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam in the main scanning direction. There is.
【００２７】該変換した検出用光ビームはハーフミラー
３、シリンドリカルレンズ４を経て光偏向器５により反
射偏向させている。そして光偏向器５で偏向させた検出
用光ビームはｆθレンズ１６を経てエンコーダ板１１上
の一定間隔で連続的に配列された多数のスリットを走査
する。このスリットを透過した検出用光ビームは収束レ
ンズ１２によって収束し、光検出器１３により光電変換
し、該光検出器１３からはエンコーダ板１１のスリット
状パターンに対応したパルス状の信号を出力している。The converted detection light beam passes through a half mirror 3 and a cylindrical lens 4, and is reflected and deflected by an optical deflector 5. The detection light beam deflected by the optical deflector 5 passes through the fθ lens 16 and scans a large number of slits continuously arranged at regular intervals on the encoder plate 11. The detection light beam transmitted through this slit is converged by a converging lens 12, photoelectrically converted by a photodetector 13, and a pulsed signal corresponding to the slit pattern of the encoder plate 11 is output from the photodetector 13. ing.
【００２８】そして光検出器１３からのパルス信号を増
幅器１８を介して同期信号生成回路１４に入力し処理し
、該同期信号生成回路１４で得た同期信号を記録情報信
号発生回路１５に入力し該同期信号に基づいて記録情報
信号を出力している。Then, the pulse signal from the photodetector 13 is input to the synchronization signal generation circuit 14 via the amplifier 18 for processing, and the synchronization signal obtained from the synchronization signal generation circuit 14 is input to the recording information signal generation circuit 15. A recording information signal is output based on the synchronization signal.
【００２９】そして該記録情報信号を不図示の光変調回
路へフィードバックさせることで走査用光ビームを光変
調する際のタイミングを調整している。これにより感光
体ドラム８面上に高精度な画像を記録している。The recording information signal is fed back to a light modulation circuit (not shown) to adjust the timing when optically modulating the scanning light beam. As a result, a highly accurate image is recorded on the surface of the photoreceptor drum 8.
【００３０】以上のように本実施例においては検出用光
ビームの光路中に該検出用光ビームの光強度分布を変換
させるためのビーム変換手段を設け、該ビーム変換手段
により検出用光ビームの主走査方向のビームスポット径
が走査用光ビームの主走査方向のビームスポット径より
小さくなるように該検出用光ビームの光強度分布を変換
することにより走査用光ビームの被走査面上での入射位
置を高分解能に検出し、これにより高精度の画像記録を
行なっている。As described above, in this embodiment, a beam conversion means for converting the light intensity distribution of the detection light beam is provided in the optical path of the detection light beam, and the beam conversion means converts the light intensity distribution of the detection light beam. By converting the light intensity distribution of the detection light beam so that the beam spot diameter in the main scanning direction is smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam in the main scanning direction, The incident position is detected with high resolution, thereby recording images with high precision.
【００３１】図２は本発明の光走査装置の実施例２の要
部構成図である。同図において図１に示した要素と同一
要素には同符番を付している。FIG. 2 is a block diagram of a main part of a second embodiment of the optical scanning device of the present invention. In this figure, the same elements as those shown in FIG. 1 are given the same reference numerals.
【００３２】同図において２１は第１光源手段としての
半導体レーザであり、例えば波長λ１ ＝７８０ｎｍの
記録用の走査用光ビームを射出している。２６は収束レ
ンズでありｆ−θレンズより成っており、走査用光ビー
ムを記録媒体としての感光体ドラム８面上に結像させて
いる。収束レンズ２６は球面レンズ２６ａとトーリック
レンズ２６ｂの２枚のレンズより構成しており、本実施
例においてはシリンドリカルレンズ４と該トーリックレ
ンズ２６ｂとで光偏向器５の偏向面の面倒れ補正を行な
っている。In the figure, reference numeral 21 denotes a semiconductor laser as a first light source means, which emits a recording scanning light beam having a wavelength λ1 =780 nm, for example. Reference numeral 26 denotes a converging lens, which is composed of an f-theta lens, and forms an image of the scanning light beam on the surface of the photosensitive drum 8, which serves as a recording medium. The converging lens 26 is composed of two lenses, a spherical lens 26a and a toric lens 26b. In this embodiment, the cylindrical lens 4 and the toric lens 26b correct the surface tilt of the deflection surface of the optical deflector 5. ing.
【００３３】７は偏光分離手段であり、偏光ビームスプ
リッターより成っており、所定方向に偏光面を有してい
る走査用光ビームを反射させ後述する該走査用光ビーム
の偏光面とは異なった方向に偏光面を有する第２光源手
段２９からの検出用光ビームを透過させる光学的特性を
有している。Reference numeral 7 denotes a polarization separation means, which is composed of a polarization beam splitter, and reflects a scanning light beam having a polarization plane in a predetermined direction so as to separate the scanning light beam from a polarization plane different from that of the scanning light beam, which will be described later. It has an optical characteristic of transmitting a detection light beam from the second light source means 29 having a plane of polarization in the direction.
【００３４】２９は第２光源手段としての半導体レーザ
である。該半導体レーザ２９からは所定方向に偏光して
いる検出用光ビームが射出されており、その偏光面は第
１光源手段２１から射出される走査用光ビームの偏光面
と直交するように設定されている。検出用光ビームは走
査用光ビームの感光体ドラム８面上での照射位置を検出
する為に用いられ、その波長λ２ はλ２ ＝７８０ｎ
ｍである。Reference numeral 29 denotes a semiconductor laser as a second light source means. A detection light beam polarized in a predetermined direction is emitted from the semiconductor laser 29, and its polarization plane is set to be perpendicular to the polarization plane of the scanning light beam emitted from the first light source means 21. ing. The detection light beam is used to detect the irradiation position of the scanning light beam on the surface of the photoreceptor drum 8, and its wavelength λ2 is λ2 = 780n.
It is m.
【００３５】２７はビーム変換手段であり、ビーム整形
プリズムより成っており、検出用光ビームの光強度分布
を主走査方向に短軸をもつ略楕円形又は略円形に変換し
、これにより該検出用光ビームの主走査方向のビームス
ポット径が走査用光ビームのビームスポット径より小さ
くなるようにしている。Reference numeral 27 denotes a beam converting means, which is composed of a beam shaping prism, and converts the light intensity distribution of the detection light beam into a substantially elliptical or substantially circular shape with the short axis in the main scanning direction, thereby converting the detection The beam spot diameter of the main scanning light beam is made smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam.
【００３６】本実施例においてのビーム整形プリズム２
７はハーフミラー３と一体化して構成しており、これに
より組立、調整等を容易にし、かつコストを低減してい
る。１６，１７は各々第１，第２光源手段２１，２９を
駆動させる為のレーザ駆動回路である。Beam shaping prism 2 in this embodiment
7 is constructed integrally with the half mirror 3, which facilitates assembly, adjustment, etc., and reduces costs. 16 and 17 are laser drive circuits for driving the first and second light source means 21 and 29, respectively.
【００３７】本実施例においては半導体レーザ２１から
射出した走査用光ビームはコリメーターレンズ２により
略平行光ビームとし、ハーフミラー３を通過しシリンド
リカルレンズ４を経て光偏向器５の偏向面に入射させて
いる。該光偏向器５の偏向面で反射偏向させた走査用光
ビームは収束レンズ２６を経て波長分離手段７により反
射させ感光体ドラム８面上に導光している。In this embodiment, the scanning light beam emitted from the semiconductor laser 21 is made into a substantially parallel light beam by the collimator lens 2, passes through the half mirror 3, passes through the cylindrical lens 4, and enters the deflection surface of the optical deflector 5. I'm letting you do it. The scanning light beam reflected and deflected by the deflection surface of the optical deflector 5 passes through the converging lens 26, is reflected by the wavelength separation means 7, and is guided onto the surface of the photoreceptor drum 8.
【００３８】本実施例においては半導体レーザ２１から
射出する走査用光ビームは記録情報信号により光変調し
ており、主走査方向は光偏向器５の回転（図中矢印Ａ方
向）により、又副走査方向は感光体ドラム８が回動（図
中矢印Ｂ方向）することにより光走査し、これによって
感光体ドラム８面上に次々に記録情報を記録している。In this embodiment, the scanning light beam emitted from the semiconductor laser 21 is optically modulated by the recording information signal, and the main scanning direction is controlled by the rotation of the optical deflector 5 (in the direction of arrow A in the figure). In the scanning direction, optical scanning is performed as the photoreceptor drum 8 rotates (in the direction of arrow B in the figure), thereby recording information on the surface of the photoreceptor drum 8 one after another.
【００３９】一方、半導体レーザ２９からは走査用光ビ
ーム（波長λ１ ＝７８０ｎｍ）の偏光面とは異る方向
に偏光面を有する検出用光ビーム（波長λ２ ＝７８０
ｎｍ）を射出している。この検出用光ビームはコリメー
ターレンズ１０により略平行光ビームとし、ビーム変換
手段２７に入射させ、該ビーム変換手段２７により光強
度分布が主走査方向に短軸をもつ略楕円形又は略円形と
なるように変換している。これにより検出用光ビームの
主走査方向のビームスポット径が走査用光ビームの主走
査方向のビームスポット径より小さくなるようにしてい
る。On the other hand, a detection light beam (wavelength λ2 = 780 nm) having a polarization plane in a direction different from that of the scanning light beam (wavelength λ1 = 780 nm) is emitted from the semiconductor laser 29.
nm) is injected. This detection light beam is made into a substantially parallel light beam by the collimator lens 10, and is made incident on the beam converting means 27. I am converting it so that Thereby, the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction is made smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam in the main scanning direction.
【００４０】該変換された検出用光ビームはハーフミラ
ー３を通過し、走査用光ビームの光路と同一光路をとり
、シリンドリカルレンズ４を経て光偏向器５の偏向面に
入射する。該光偏向器５の偏向面で反射偏向した検出用
光ビームは収束レンズ２６を経て偏光分離手段としての
偏光ビームスプリッター７を通過する。ここで偏光分離
手段としての偏光ビームスプリッター７は所定方向に偏
光面を有する走査用光ビームは反射し、該走査用光ビー
ムの偏光面とは異る方向（直交する方向）に偏光面を有
する検出用光ビームは透過する特性を有している。The converted detection light beam passes through the half mirror 3, takes the same optical path as the scanning light beam, passes through the cylindrical lens 4, and enters the deflection surface of the optical deflector 5. The detection light beam reflected and deflected by the deflection surface of the optical deflector 5 passes through a converging lens 26 and a polarization beam splitter 7 as a polarization separation means. Here, the polarization beam splitter 7 serving as a polarization separation means reflects a scanning light beam having a polarization plane in a predetermined direction, and has a polarization plane in a direction different from (orthogonal to) the polarization plane of the scanning light beam. The detection light beam has a transmitting characteristic.
【００４１】偏光ビームスプリッター７を透過した検出
用光ビームは収束レンズ２６の焦点位置近傍に配置した
エンコーダ板１１に入射し、該エンコーダ板１１面上を
感光体ドラム８面上と同様に光走査する。このとき収束
レンズ１２により収束され該エンコーダ板１１のスリッ
ト開口部を通過した検出用光ビームは光検出器１３に入
射し光電変換される。該光検出器１３からはエンコーダ
板１１のスリット状パターンに対応したパルス状信号が
出力する。The detection light beam transmitted through the polarizing beam splitter 7 enters the encoder plate 11 placed near the focal point of the converging lens 26, and optically scans the surface of the encoder plate 11 in the same way as the surface of the photoreceptor drum 8. do. At this time, the detection light beam that is converged by the converging lens 12 and passes through the slit opening of the encoder plate 11 enters the photodetector 13 and is photoelectrically converted. The photodetector 13 outputs a pulse-like signal corresponding to the slit-like pattern of the encoder plate 11.
【００４２】このパルス信号を同期信号生成回路１４に
入力し処理し、該同期信号生成回路１４から得た同期信
号を記録情報信号発生回路１５に入力し、該同期信号に
基づいて記録情報信号を得ている。This pulse signal is input to the synchronization signal generation circuit 14 for processing, and the synchronization signal obtained from the synchronization signal generation circuit 14 is input to the recording information signal generation circuit 15, which generates the recording information signal based on the synchronization signal. It has gained.
【００４３】この記録情報信号をレーザ駆動回路１６に
入力し、該レーザ駆動回路１６はこのときの記録情報に
基づいて半導体レーザ２１から射出する走査用光ビーム
を光変調している。This record information signal is input to the laser drive circuit 16, and the laser drive circuit 16 optically modulates the scanning light beam emitted from the semiconductor laser 21 based on the record information at this time.
【００４４】本実施例においては感光体ドラム８面上に
結像する走査用光ビームのスポット位置と同期信号生成
回路１４で得た出力同期信号はエンコーダ板１１のスリ
ット間隔の適正化及び同期信号生成回路１４内での信号
補正等により常時対応関係を得ている。In this embodiment, the spot position of the scanning light beam that forms an image on the surface of the photoreceptor drum 8 and the output synchronization signal obtained by the synchronization signal generation circuit 14 are used to optimize the slit spacing of the encoder plate 11 and to use the synchronization signal. Correspondence is always obtained through signal correction within the generation circuit 14.
【００４５】従って同期信号に基づいた記録情報信号に
より半導体レーザ２１から射出する走査用光ビームの光
変調を行ない、該光変調した走査用光ビームで感光体ド
ラム８面上を光走査することにより例えば光偏向器の回
転速度の変動やｆ−θレンズ（収束レンズ）のｆ−θ特
性の不完全さ等による悪影響を受けずに高精度の光走査
を行なっている。Therefore, by optically modulating the scanning light beam emitted from the semiconductor laser 21 using a recording information signal based on a synchronization signal, and optically scanning the surface of the photoreceptor drum 8 with the optically modulated scanning light beam, For example, highly accurate optical scanning is performed without being adversely affected by fluctuations in the rotational speed of the optical deflector or imperfections in the f-theta characteristics of the f-theta lens (convergent lens).
【００４６】本実施例においては走査用光ビームと検出
用光ビームの光路を一部同じにして構成しており、これ
により組立、調整等を容易にし、かつ装置全体を小型に
している。In this embodiment, the optical paths of the scanning light beam and the detection light beam are partially the same, which facilitates assembly, adjustment, etc., and makes the entire apparatus compact.
【００４７】尚、本実施例においては検出用光ビームを
射出する第２光源手段を、走査用光ビームを射出する第
１光源手段に対してその光ビームの偏光面が互いに異な
るように配置したが、その逆の構成でも良い。In this embodiment, the second light source means for emitting a detection light beam is arranged such that the plane of polarization of the light beam is different from the first light source means for emitting a scanning light beam. However, the opposite configuration may also be used.
【００４８】又、本実施例においては光ビームを分離さ
せる手段として偏光ビームスプリッターを用いて互いに
偏光面の異なる走査用光ビームと検出用光ビームを分離
したが、これに限定することなく例えば分離手段として
ダイクロイックミラーを用いて構成し、互いに波長の異
なる走査用光ビームと検出用光ビームを分離させても良
い。Furthermore, in this embodiment, a polarizing beam splitter was used as a means for separating the light beams to separate the scanning light beam and the detection light beam, which have different polarization planes from each other. A dichroic mirror may be used as the means to separate the scanning light beam and the detection light beam, which have different wavelengths from each other.
【００４９】図３は本発明の光走査装置の実施例３の要
部構成図である。同図において図２に示した要素と同一
要素には同符番を付している。FIG. 3 is a block diagram of a main part of a third embodiment of the optical scanning device of the present invention. In this figure, the same elements as those shown in FIG. 2 are given the same reference numerals.
【００５０】同図において３７はビーム変換手段であり
、２つの整形プリズム３７ａ，３７ｂより成っており、
検出用光ビームの光強度分布を小さな径の略円形又は主
走査方向に短軸を持つ略楕円形に変換している。In the figure, 37 is a beam converting means, which consists of two shaping prisms 37a and 37b.
The light intensity distribution of the detection light beam is converted into a substantially circular shape with a small diameter or a substantially elliptical shape with a short axis in the main scanning direction.
【００５１】３５は光偏向器であり、往復振動する２つ
のガルバノミラー３５ａ，３５ｂより構成している。３
６は収束レンズとしてのアークサインレンズである。３
７は偏光分離手段としての偏光ビームスプリッターであ
り、所定方向に偏光面を有する走査用光ビームを透過さ
せ、該走査用光ビームの偏光面とは異った方向に偏光面
を有する検出用光ビームを反射させる光学的特性を有し
ている。３４は折曲げミラーであり、偏光ビームスプリ
ッター３７で反射させた検出用光ビームを検出手段２０
側へ反射させている。３８は被走査面（記録媒体面）と
してのスクリーンである。Reference numeral 35 denotes an optical deflector, which is composed of two galvanometer mirrors 35a and 35b that vibrate back and forth. 3
6 is an arcsine lens as a converging lens. 3
Reference numeral 7 denotes a polarizing beam splitter as a polarization separation means, which transmits a scanning light beam having a polarization plane in a predetermined direction and detecting light having a polarization plane in a direction different from that of the scanning light beam. It has optical properties that reflect the beam. 34 is a bending mirror, and the detection light beam reflected by the polarizing beam splitter 37 is transmitted to the detection means 20.
It is reflected to the side. 38 is a screen as a surface to be scanned (recording medium surface).
【００５２】本実施例においてはこのような構成により
半導体レーザ２１から射出した走査用光ビーム（可視光
の光ビーム）をコリメーターレンズ２により略平行光ビ
ームとし、ハーフミラー３を透過させてガルバノミラー
３５ａに入射させ副走査方向に偏向している。In this embodiment, with such a configuration, the scanning light beam (visible light beam) emitted from the semiconductor laser 21 is made into a substantially parallel light beam by the collimator lens 2, transmitted through the half mirror 3, and sent to the galvanometer. The light is made incident on the mirror 35a and deflected in the sub-scanning direction.
【００５３】そして副走査方向に偏向した走査用光ビー
ムをガルバノミラー３５ｂに入射させ主走査方向に偏向
し、該偏向した走査用光ビームを収束レンズ３６を介し
て偏光ビームスプリッター３７に入射させている。そし
て該走査用光ビームを偏光ビームスプリッター３７を透
過させスクリーン３８面上に導光し、該スクリーン３８
面上を光走査している。Then, the scanning light beam deflected in the sub-scanning direction is made incident on the galvanometer mirror 35b and deflected in the main scanning direction, and the deflected scanning light beam is made incident on the polarizing beam splitter 37 via the converging lens 36. There is. The scanning light beam is then transmitted through the polarizing beam splitter 37 and guided onto the screen 38.
Light is scanned across the surface.
【００５４】一方、半導体レーザ２９からは検出用光ビ
ームが射出し、コリメーターレンズ１０を経てビーム変
換手段３７に入射させている。そして該ビーム変換手段
３７により検出用光ビームの光強度分布を小さな径の略
円形又は主走査方向に短軸を持つ略楕円形に変換してい
る。On the other hand, a detection light beam is emitted from the semiconductor laser 29 and is made incident on the beam conversion means 37 via the collimator lens 10. The beam converting means 37 converts the light intensity distribution of the detection light beam into a substantially circular shape with a small diameter or a substantially elliptical shape having a short axis in the main scanning direction.
【００５５】これにより検出用光ビームの主走査方向の
ビームスポット径が走査用光ビームの主走査方向のビー
ムスポット径より小さくなるようにしている。As a result, the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction is made smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam in the main scanning direction.
【００５６】該変換した検出用光ビームはハーフミラー
３を経てガルバノミラー３５ａ，３５ｂにより各々偏向
し、収束レンズ３６を経て偏光ビームスプリッター３７
に入射する。The converted detection light beam passes through the half mirror 3, is deflected by galvano mirrors 35a and 35b, and passes through the converging lens 36, then is sent to the polarizing beam splitter 37.
incident on .
【００５７】そして偏光ビームスプリッター３７により
反射させた検出用光ビームは折り返しミラー３４で反射
し光路を折曲げてエンコーダ板１１に入射し収束レンズ
１２で収束し、光検出器１３に入射させ光電変換してい
る。該光検出器１３からはエンコーダ板１１のスリット
状の開口部を通過した光ビームに基づくパルス状の信号
が出力する。The detection light beam reflected by the polarizing beam splitter 37 is reflected by the folding mirror 34, bends its optical path, enters the encoder plate 11, is converged by the converging lens 12, and enters the photodetector 13 for photoelectric conversion. are doing. The photodetector 13 outputs a pulse-like signal based on the light beam that has passed through the slit-shaped opening of the encoder plate 11.
【００５８】このパルス信号を増幅器１８により増幅し
た後、同期信号生成回路１４に入力し処理し、該同期信
号生成回路１４で得た同期信号を記録情報信号発生回路
１５に入力している。そしてこの同期信号に基づいた記
録情報信号をレーザ駆動回路１６に入力し、レーザ駆動
回路１６により半導体レーザ２１から射出する走査用光
ビームを該記録情報信号に基づいて光変調している。After this pulse signal is amplified by the amplifier 18, it is input to the synchronization signal generation circuit 14 for processing, and the synchronization signal obtained by the synchronization signal generation circuit 14 is input to the recording information signal generation circuit 15. A recording information signal based on this synchronization signal is input to the laser drive circuit 16, and the laser drive circuit 16 optically modulates the scanning light beam emitted from the semiconductor laser 21 based on the recording information signal.
【００５９】そして同期信号に基づいて光変調した走査
用光ビームをガルバノミラー３５ａ，３５ｂの振動によ
り主走査方向及び副走査方向にそれぞれ走査し、これに
よりスクリーン３８面上に文字、画像等を高精度に描い
ている。Then, the scanning light beam modulated based on the synchronization signal is scanned in the main scanning direction and the sub-scanning direction by the vibration of the galvano mirrors 35a and 35b, thereby displaying characters, images, etc. on the screen 38. Drawn with precision.
【００６０】このように本実施例においては検出用光ビ
ームの光強度分布を変換させる方法としてビーム整形プ
リズムを用い、又光偏向器としてガルバノミラーを用い
ることにより前述の実施例と同様な効果を得ている。As described above, in this embodiment, a beam shaping prism is used as a method for converting the light intensity distribution of the detection light beam, and a galvanometer mirror is used as an optical deflector, thereby achieving the same effect as in the previous embodiment. It has gained.
【００６１】図４は本発明の光走査装置の実施例４の要
部構成図である。同図において図１，図２に示した要素
と同一要素には同符番を付している。FIG. 4 is a block diagram of a main part of a fourth embodiment of the optical scanning device of the present invention. In this figure, the same elements as those shown in FIGS. 1 and 2 are given the same reference numerals.
【００６２】本実施例は１つの光源手段からの光ビーム
を２つに分割し、そのうち一方の光ビームの偏光面を偏
光面変換手段４５で変換させ、全体として偏光方向が異
る２つの光ビームを得て走査用光ビーム及び検出用光ビ
ームとして用いている。In this embodiment, a light beam from one light source means is divided into two, and the polarization plane of one of the light beams is converted by the polarization plane conversion means 45, so that two lights having different polarization directions as a whole are obtained. A beam is obtained and used as a scanning light beam and a detection light beam.
【００６３】そして検出用光ビームの光強度分布を正と
負の屈折力を有する２枚のシリンドリカルレンズ６ａ，
６ｂより成るビーム変換手段６により主走査方向に短軸
をもつ略楕円形に変換している。これにより検出用光ビ
ームの主走査方向のビームスポット径が走査用光ビーム
の主走査方向のビームスポット径より小さくなるように
している。The light intensity distribution of the detection light beam is controlled by two cylindrical lenses 6a having positive and negative refractive powers.
The beam is converted into a substantially elliptical shape with the short axis in the main scanning direction by the beam converting means 6 made up of a beam converting means 6b. Thereby, the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction is made smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam in the main scanning direction.
【００６４】即ち、同図において１９は光源手段として
のレーザ発振器であり、本実施例においてはＨｅ−Ｎｅ
ガスレーザを使用している。４３は分割手段であり、ビ
ームスプリッターより成っている。ビームスプリッター
４３はＨｅ−Ｎｅガスレーザ１９から射出した光ビーム
を反射光と透過光の２つの光ビームに分割している。同
図では透過光を走査用光ビームとし、反射光を検出用光
ビームとして用いている。That is, in the same figure, 19 is a laser oscillator as a light source means, and in this embodiment, He-Ne
It uses a gas laser. 43 is a dividing means, which consists of a beam splitter. The beam splitter 43 splits the light beam emitted from the He-Ne gas laser 19 into two light beams: reflected light and transmitted light. In the figure, transmitted light is used as a scanning light beam, and reflected light is used as a detection light beam.
【００６５】４５は偏光面変換手段（偏光面変換部材）
であり、本実施例においては１／２波長板を使用してい
る。45 is a polarization plane conversion means (polarization plane conversion member)
In this embodiment, a 1/2 wavelength plate is used.
【００６６】偏光面変換手段４５は入射した光ビームの
偏光面を所定方向に変換させて射出している。本実施例
においては走査用光ビームの偏光面を検出用光ビームの
偏光面の偏光方向と直交する方向に変換させている。The polarization plane converting means 45 converts the polarization plane of the incident light beam into a predetermined direction and emits the beam. In this embodiment, the polarization plane of the scanning light beam is converted into a direction perpendicular to the polarization direction of the polarization plane of the detection light beam.
【００６７】４０は光変調器であり、音響光学素子等よ
り成っており、ドライバー２１からの画像信号に基づい
て走査用光ビームを光変調している。レーザドライバー
２１は補正手段３０からの電気信号（記録情報信号）に
応じて光ビームの光変調を制御している。４４ａ，４４
ｂは各々ミラーである。Reference numeral 40 denotes a light modulator, which is composed of an acousto-optic element and the like, and optically modulates the scanning light beam based on the image signal from the driver 21. The laser driver 21 controls the optical modulation of the light beam in accordance with the electric signal (recording information signal) from the correction means 30. 44a, 44
b are each mirrors.
【００６８】本実施例においてはこのような構成により
Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ１９から射出した光ビームをコリ
メーターレンズ２により略平行光ビームとし、ビームス
プリッター４３に入射させている。そして該ビームスプ
リッター４３により光ビームを走査用光ビームと検出用
光ビームとの２つの光ビームに分割している。In this embodiment, with such a configuration, the light beam emitted from the He--Ne gas laser 19 is converted into a substantially parallel light beam by the collimator lens 2, and is made incident on the beam splitter 43. The beam splitter 43 splits the light beam into two light beams: a scanning light beam and a detection light beam.
【００６９】該分割した光ビームのうち走査用光ビーム
はレンズ４２で収束し、偏光面変換手段４５に入射し、
該走査用光ビームの偏光面を検出用光ビームの偏光面の
偏光方向と直交する方向に変換している。その後、該走
査用光ビームは光変調器４０に入射し記録情報信号によ
り光変調している。Of the divided light beams, the scanning light beam is converged by the lens 42 and enters the polarization plane conversion means 45,
The polarization plane of the scanning light beam is converted into a direction perpendicular to the polarization direction of the detection light beam. Thereafter, the scanning light beam enters the optical modulator 40 and is optically modulated by the recording information signal.
【００７０】光変調器４０により光変調した走査用光ビ
ームはスリットＳＬで１次回折光（回折された光ビーム
）のみを透過し０次回折光を遮光している。次にコリメ
ーターレンズ４７により再度平行光ビームとした走査用
光ビームはハーフミラー３を透過しシリンドリカルレン
ズ４を経て光偏向器５の偏向面に入射する。The scanning light beam modulated by the optical modulator 40 passes only the first-order diffracted light (diffracted light beam) through the slit SL, and blocks the zero-order diffracted light. Next, the scanning light beam, which is made into a parallel light beam again by the collimator lens 47, passes through the half mirror 3, passes through the cylindrical lens 4, and enters the deflection surface of the optical deflector 5.
【００７１】該光偏向器５で反射偏向した走査用光ビー
ムは収束レンズ２６を経て所定方向に偏光面を有する走
査用光ビームを反射し、走査用光ビームの偏光面とは直
交する偏光面を有する検出用光ビームを透過するように
設定した偏光ビームスプリッター７に入射し、該偏光ビ
ームスプリッター７により反射させて感光体ドラム８面
上に導光し、これにより画像記録を行なっている。The scanning light beam reflected and deflected by the optical deflector 5 passes through the converging lens 26 and reflects the scanning light beam having a polarization plane in a predetermined direction. The detection light beam enters a polarizing beam splitter 7 which is set to transmit the detection light beam, is reflected by the polarizing beam splitter 7, and is guided onto the surface of a photoreceptor drum 8, thereby recording an image.
【００７２】又、一方ビームスプリッター４３で反射分
割した検出用光ビームはミラー４４ａを介してビーム変
換手段６に入射させている。そして該ビーム変換手段６
により検出用光ビームの光強度分布を主走査方向に短軸
を持つ略楕円形に変換している。これにより検出用光ビ
ームの主走査方向のビームスポット径が走査用光ビーム
の主走査方向のビームスポット径より小さくなるように
している。該変換された検出用光ビームはミラー４４ｂ
を介してハーフミラー３で反射させシリンドリカルレン
ズ４を経て光偏向器５で反射偏向させて収束レンズ２６
を経て偏光ビームスプリッター７を透過する。該偏光ビ
ームスプリッター７を透過した検出用光ビームはエンコ
ーダ板１１に入射し、エンコーダ板１１の光透過部を通
過した後、収束レンズ１２で収束させて光検出器１３に
入射し光電変換している。On the other hand, the detection light beam reflected and split by the beam splitter 43 is made incident on the beam conversion means 6 via the mirror 44a. and the beam converting means 6
The light intensity distribution of the detection light beam is converted into a substantially elliptical shape with the minor axis in the main scanning direction. Thereby, the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction is made smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam in the main scanning direction. The converted detection light beam is sent to the mirror 44b.
is reflected by a half mirror 3 through a cylindrical lens 4, reflected and deflected by an optical deflector 5, and then reflected by a converging lens 26.
The light beam passes through the polarizing beam splitter 7. The detection light beam transmitted through the polarizing beam splitter 7 enters the encoder plate 11, passes through the light transmitting part of the encoder plate 11, is converged by the converging lens 12, enters the photodetector 13, and undergoes photoelectric conversion. There is.
【００７３】その後光検出器１３からエンコーダ板１１
のスリット状開口部に対応したパルス状の信号を出力し
、増幅器１８を介してこの信号を基に補正手段３０によ
り同期信号を作り、記録情報信号を出力している。After that, from the photodetector 13 to the encoder plate 11
A pulse-like signal corresponding to the slit-shaped opening is outputted, and a synchronization signal is generated by a correction means 30 based on this signal via an amplifier 18, and a recording information signal is outputted.
【００７４】そしてこの同期信号に基づいた記録情報信
号によりレーザドライバー２１を駆動させてＨｅ−Ｎｅ
ガスレーザ１９から射出した走査用光ビームを該記録情
報信号によって光変調することにより高精度の光走査記
録を行なっている。[0074] Then, the laser driver 21 is driven by the recording information signal based on this synchronization signal to generate He-Ne.
High-precision optical scanning recording is performed by optically modulating the scanning light beam emitted from the gas laser 19 using the recording information signal.
【００７５】尚、本実施例においてのビームスプリッタ
ー４３は光変調器４０等での光量ロス等を考慮して透過
光（走査用光ビーム）と反射光（検出用光ビーム）の強
度分割比を決めている。Note that the beam splitter 43 in this embodiment adjusts the intensity division ratio of the transmitted light (scanning light beam) and reflected light (detection light beam) in consideration of light loss in the optical modulator 40, etc. I have decided.
【００７６】本実施例においてはビームスプリッター４
３で分割した光ビームのうち透過光を走査用光ビームと
して偏光面変換手段４５に入射させ、これより該光ビー
ムの偏光面を変換させる代わりにビームスプリッター４
３で分割した反射光を検出用光ビームとして偏光面変換
手段４５により同様な構成により偏光面を変化させるよ
うにしても良い。In this embodiment, the beam splitter 4
Of the light beams split by 3, the transmitted light is made to enter the polarization plane converting means 45 as a scanning light beam, and instead of converting the polarization plane of the light beam, the beam splitter 4
The reflected light divided by 3 may be used as a detection light beam, and the polarization plane may be changed by the polarization plane conversion means 45 using a similar configuration.
【００７７】尚、本発明においては光源手段としての半
導体レーザを複数の発光部（半導体レーザチップ）から
構成し、該複数の発光部をアレイ状に並置し、該複数の
発光部から射出する複数の光ビームのうち少なくとも１
本の光ビームを検出用光ビームとして用い、例えば発光
部のマウント方向を直交させる方法により該検出用光ビ
ームの偏光面とは異なる方向、特に直交する方向に偏光
面を有する少なくとも１本の光ビームを走査用光ビーム
として構成しても良い。In the present invention, a semiconductor laser as a light source means is composed of a plurality of light emitting parts (semiconductor laser chips), the plurality of light emitting parts are arranged side by side in an array, and a plurality of light emitting parts are emitted from the plurality of light emitting parts. at least one of the light beams
A light beam of a book is used as a detection light beam, and at least one light beam having a polarization plane in a direction different from the polarization plane of the detection light beam, particularly in a direction perpendicular to the detection light beam, is produced by, for example, orthogonalizing the mounting direction of the light emitting part. The beam may also be configured as a scanning light beam.
【００７８】これによれば装置全体が小型化し、前述し
た実施例に比べハーフミラー３を用いることなく構成す
ることができるのでコストの点からも低減化することが
できるという特徴を有している。[0078] According to this, the entire device is miniaturized, and compared to the above-described embodiment, it can be constructed without using the half mirror 3, so that the cost can also be reduced. .
【００７９】尚、以上の各実施例においては記録媒体の
形状としてドラム状の媒体や巻取りロール状やカード状
などの他に他の形状の記録媒体も同様にして用いること
ができる。[0079] In each of the above embodiments, other shapes of the recording medium can be used in the same way, such as a drum-shaped medium, a winding roll-shaped medium, a card-shaped medium, and the like.
【００８０】又、偏向手段として回転多面鏡やガルバノ
ミラーの如くある軸を中心として回転又は回動する偏向
ミラー面を有する光偏向器の他に例えば回折格子を円板
状に配置して回転により光偏向するホログラム素子や音
響光学素子等を用いても良い。In addition to an optical deflector having a deflecting mirror surface that rotates or rotates about a certain axis, such as a rotating polygon mirror or a galvano mirror, for example, a diffraction grating may be arranged in the shape of a disk and used as a deflecting means. A hologram element, an acousto-optic element, or the like that deflects light may also be used.
【００８１】又、各実施例においては同期信号を得る為
の検出手段の一要素としてエンコーダ板を用いた例を示
したがエンコーダ板に限らず同等の光学的作用を有する
他の検出手段を用いても本発明は同様に適用することが
できる。検出手段の一要素としてエンコーダ板を用いる
かわりに複数の光検出器を配置してもよい。Furthermore, in each of the embodiments, an example was shown in which an encoder plate was used as an element of the detection means for obtaining a synchronization signal, but other detection means having the same optical effect could be used instead of the encoder plate. The present invention can be similarly applied in any case. Instead of using an encoder plate as one element of the detection means, a plurality of photodetectors may be arranged.
【００８２】又、本発明の光走査装置は例えば光テープ
、光カードの読取り・書込み装置又はレーザーマーキン
グ装置、レーザーカティング装置等にも適用することが
できる。The optical scanning device of the present invention can also be applied to, for example, an optical tape, an optical card reading/writing device, a laser marking device, a laser cutting device, etc.
【００８３】[0083]
【発明の効果】本発明によれば前述の如く各要素を適切
に構成し、特にビーム変換手段により該検出用光ビーム
の主走査方向のビームスポット径が走査用光ビームのビ
ームスポット径より小さくなるように該検出用光ビーム
の光強度分布を変換することにより、走査用光ビームの
被走査面上での入射位置を高分解能に検出することがで
き、これにより高精度の光走査を行なうことができる光
走査装置を達成することができる。According to the present invention, each element is suitably configured as described above, and in particular, by the beam conversion means, the beam spot diameter of the detection light beam in the main scanning direction is smaller than the beam spot diameter of the scanning light beam. By converting the light intensity distribution of the detection light beam so that It is possible to achieve an optical scanning device that can perform the following steps.
【図１】 本発明の光走査装置の実施例１の要部構成
図。FIG. 1 is a configuration diagram of main parts of a first embodiment of an optical scanning device of the present invention.
【図２】 本発明の光走査装置の実施例２の要部構成
図。FIG. 2 is a configuration diagram of main parts of a second embodiment of the optical scanning device of the present invention.
【図３】 本発明の光走査装置の実施例３の要部構成
図。FIG. 3 is a configuration diagram of main parts of a third embodiment of the optical scanning device of the present invention.
【図４】 本発明の光走査装置の実施例４の要部構成
図。FIG. 4 is a configuration diagram of main parts of a fourth embodiment of the optical scanning device of the present invention.
【図５】 従来の光走査装置の要部構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of main parts of a conventional optical scanning device.
１，９，２１，２９ 光源手段（半導体レーザ）２，
１０ コリメーターレンズ
３ ハーフミラー ４ シリン
ドリカルレンズ５ 光偏向器（回転多面鏡）
６６ 収束レンズ（ｆ−θレンズ）
７，３７ 偏光ビームスプリッター
８ 感光体ドラム １１ エン
コーダ板１２ 収束レンズ １３
光検出器２０ 検出手段
１４ 同期信号生成回路１５ 記録情報信号発生
回路
１６，１７ レーザ駆動回路
１９ 光源手段（レーザ発振器）
４０ 光変調器 ２１ レ
ーザドライバー４２ レンズ
４３ 分割手段（ビームスプリッター）
４４ａ，４４ｂ ミラー ４５ 偏光面変換
手段ＳＬ スリット ３５
光偏向器（ガルバノミラー）1, 9, 21, 29 light source means (semiconductor laser) 2,
10 Collimator lens 3 Half mirror 4 Cylindrical lens 5 Optical deflector (rotating polygon mirror) 66 Converging lens (f-θ lens) 7, 37 Polarizing beam splitter 8 Photosensitive drum 11 Encoder plate 12 Converging lens 13
Photodetector 20 detection means
14 Synchronization signal generation circuit 15 Recording information signal generation circuit 16, 17 Laser drive circuit 19 Light source means (laser oscillator) 40 Optical modulator 21 Laser driver 42 Lens
43 Splitting means (beam splitter) 44a, 44b Mirror 45 Polarization plane conversion means SL Slit 35
Optical deflector (galvano mirror)
Claims (4)
査用光ビームを導光手段を用いて光偏向器に導光し、該
光偏向器で偏向させた後、該走査用光ビームにより被走
査面を光走査する際、該走査用光ビームの該被走査面上
での走査速度を検出する為の検出用光ビームをビーム変
換手段を介して該光偏向器に導光し、該光偏向器で偏向
させた後、該検出用光ビームを検出手段で検出し、該検
出手段からの信号に基づき補正手段により、該走査用光
ビームを該記録情報信号に基づき光変調する際のタイミ
ングを補正するようにしたことを特徴とする光走査装置
。1. A scanning light beam modulated based on a recorded information signal is guided to an optical deflector using a light guiding means, and after being deflected by the optical deflector, the scanning light beam is optically modulated based on a recording information signal. When optically scanning a scanning surface, a detection light beam for detecting the scanning speed of the scanning light beam on the surface to be scanned is guided to the optical deflector via a beam conversion means, and the light is After being deflected by a deflector, the detection light beam is detected by a detection means, and based on the signal from the detection means, the correction means optically modulates the scanning light beam based on the recording information signal. An optical scanning device characterized in that it corrects for.
ームは複数の発光部をアレイ状に並置した光源手段より
得ていることを特徴とする請求項１記載の光走査装置。2. The optical scanning device according to claim 1, wherein the scanning light beam and the detection light beam are obtained from a light source means having a plurality of light emitting sections arranged side by side in an array.
ズム又は正の屈折力を有するシリンドリカルレンズと負
の屈折力を有するシリンドリカルレンズの少なくとも２
枚のレンズより成っていることを特徴とする請求項１及
び２記載の光走査装置。3. The beam converting means includes at least two of a beam shaping prism or a cylindrical lens having a positive refractive power and a cylindrical lens having a negative refractive power.
3. The optical scanning device according to claim 1, wherein the optical scanning device comprises a single lens.
ームのスポット径を主走査方向に短軸を有する略楕円形
状に変換していることを特徴とする請求項１記載の光走
査装置。4. The optical scanning device according to claim 1, wherein the beam converting means converts the spot diameter of the detection light beam into a substantially elliptical shape having a minor axis in the main scanning direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3013716A JPH04235520A (en) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | Optical scanning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3013716A JPH04235520A (en) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | Optical scanning device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04235520A true JPH04235520A (en) | 1992-08-24 |
Family
ID=11840971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3013716A Pending JPH04235520A (en) | 1991-01-11 | 1991-01-11 | Optical scanning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04235520A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356097A (en) * | 2001-05-30 | 2002-12-10 | Central Glass Co Ltd | Method for drawing image on sheet glass with colored film |
| JP2011227279A (en) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Konica Minolta Business Technologies Inc | Laser scanning optical device |
-
1991
- 1991-01-11 JP JP3013716A patent/JPH04235520A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002356097A (en) * | 2001-05-30 | 2002-12-10 | Central Glass Co Ltd | Method for drawing image on sheet glass with colored film |
| JP2011227279A (en) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Konica Minolta Business Technologies Inc | Laser scanning optical device |
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