JPH04231810A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
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- JPH04231810A JPH04231810A JP3126204A JP12620491A JPH04231810A JP H04231810 A JPH04231810 A JP H04231810A JP 3126204 A JP3126204 A JP 3126204A JP 12620491 A JP12620491 A JP 12620491A JP H04231810 A JPH04231810 A JP H04231810A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一方の物体に連結す
る目盛板の目盛を走査ユニットによって走査し、この走
査ユニットが他方の物体、あるいはその物体に取り付け
た連行体に測定方向に固い連結部を介してリンク結合し
、両方の物体の案内部から独立した補助案内部で摺動可
能で、前記連結部には接触している二つの結合部材があ
る、二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置に関
する。
る目盛板の目盛を走査ユニットによって走査し、この走
査ユニットが他方の物体、あるいはその物体に取り付け
た連行体に測定方向に固い連結部を介してリンク結合し
、両方の物体の案内部から独立した補助案内部で摺動可
能で、前記連結部には接触している二つの結合部材があ
る、二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の位置測定装置は、特に工作機械
で、加工部材に対して工具の相対位置を測定するために
使用されている。
で、加工部材に対して工具の相対位置を測定するために
使用されている。
【０００３】両方の物体の案内部に無関係で、機械部品
である補助案内部のところで案内される走査ユニットを
備えた測定装置では、付属する物体、あるいはこの物体
に配設された連行体へのリンク結合部が不可欠である。
である補助案内部のところで案内される走査ユニットを
備えた測定装置では、付属する物体、あるいはこの物体
に配設された連行体へのリンク結合部が不可欠である。
【０００４】ドイツ特許第 ２６ １１ ４５９号明細
書によれば、ある位置測定装置が開示されている。この
装置では、走査ユニットが目盛板の目盛を走査するため
、相対位置を測定する二つの物体の案内部に独立してい
る補助案内部のところを摺動し、連行体に測定方向の定
まった連結部を介してリンク結合している。この結合部
の第一連結部品は走査ユニットのところの平面で構成さ
れている。この平面は連行体の第二連結部品の球面にバ
ネで常時接触している。しかし、この連結方式では、両
方の物体の案内部と補助案内部との間の平行なずれと角
度誤差によって、前記平面と球面の間の相対移動が生じ
る。これ等の相対移動は、その時に発生する摺動摩擦に
よって上記両方の連結部品の摩耗に通じ、高精度位置測
定装置の場合、もはや許容できない測定精度となる。
書によれば、ある位置測定装置が開示されている。この
装置では、走査ユニットが目盛板の目盛を走査するため
、相対位置を測定する二つの物体の案内部に独立してい
る補助案内部のところを摺動し、連行体に測定方向の定
まった連結部を介してリンク結合している。この結合部
の第一連結部品は走査ユニットのところの平面で構成さ
れている。この平面は連行体の第二連結部品の球面にバ
ネで常時接触している。しかし、この連結方式では、両
方の物体の案内部と補助案内部との間の平行なずれと角
度誤差によって、前記平面と球面の間の相対移動が生じ
る。これ等の相対移動は、その時に発生する摺動摩擦に
よって上記両方の連結部品の摩耗に通じ、高精度位置測
定装置の場合、もはや許容できない測定精度となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、冒
頭に述べた種類に属する位置測定装置の場合、相対移動
が生じた場合、両方の連結部品の間の摩耗現象とそれに
よって生じる測定精度の低下を排除することにある。
頭に述べた種類に属する位置測定装置の場合、相対移動
が生じた場合、両方の連結部品の間の摩耗現象とそれに
よって生じる測定精度の低下を排除することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、冒頭に述べた種類に属する位置測定装置の場合
、両方の連結部品１３ａ，１３ｂの間に摺動層１６があ
ることによって解決されている。
により、冒頭に述べた種類に属する位置測定装置の場合
、両方の連結部品１３ａ，１３ｂの間に摺動層１６があ
ることによって解決されている。
【０００７】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００８】
【実施例】以下、この発明、その他の構成およびこの構
成よって得られる利点を、実施例を示す図面に基づきよ
り詳しく説明する。
成よって得られる利点を、実施例を示す図面に基づきよ
り詳しく説明する。
【０００９】図１んは、一部を切り出して側面図にした
位置測定装置が示してある。この装置のケース１は図示
していない工作機械の移動台２に何らかの方法で固定さ
れている。ケース１の通路３に、接着層４によって目盛
板５が取り付けてある。この目盛板の目盛６を走査ユニ
ット７が何らかの公知の方法で走査する。
位置測定装置が示してある。この装置のケース１は図示
していない工作機械の移動台２に何らかの方法で固定さ
れている。ケース１の通路３に、接着層４によって目盛
板５が取り付けてある。この目盛板の目盛６を走査ユニ
ット７が何らかの公知の方法で走査する。
【００１０】工作機械の固定台８には、ネジ９で両刃の
連行体１０が固定されている。この連行体は二枚の気密
舌部１１によって遮断された長手スリット１２を経由し
てケース１の中に突き出ていて、連結部１３を介して走
査ユニット７に連結している。走査ユニット７はローラ
１４によって目盛板５の二つの表面上を案内される。両
方の表面は、固定台８に対する移動台２の案内部１５に
無関係な走査ユニット７の補助案内部を形成している。 工作機械の移動台２と固定台８は、測定方向Ｘの両者の
相対位置を測定する両方の物体に対応している。
連行体１０が固定されている。この連行体は二枚の気密
舌部１１によって遮断された長手スリット１２を経由し
てケース１の中に突き出ていて、連結部１３を介して走
査ユニット７に連結している。走査ユニット７はローラ
１４によって目盛板５の二つの表面上を案内される。両
方の表面は、固定台８に対する移動台２の案内部１５に
無関係な走査ユニット７の補助案内部を形成している。 工作機械の移動台２と固定台８は、測定方向Ｘの両者の
相対位置を測定する両方の物体に対応している。
【００１１】連結部１３は、その平面が測定方向Ｘに垂
直に延びる、走査ユニット７に固定された平面板の形の
、主に超硬金属あるいは磨きガラス製の第一連結部品１
３ａと、連行体１０に固定され、測定方向Ｘに延びる球
面の先端面を有するピンの形にした第二連結部品１３ｂ
とで構成されている。連結部１３の第一平坦連結部品１
３ａと第二球面連結部品１３ｂの間には、この発明によ
る、例えば厚さ ０．１〜０．２ ｍｍ の薄い摺動箔
の形にした摺動層１６がある。この摺動層１６は好まし
くは ＰＴＦＥ の合成樹脂製である。
直に延びる、走査ユニット７に固定された平面板の形の
、主に超硬金属あるいは磨きガラス製の第一連結部品１
３ａと、連行体１０に固定され、測定方向Ｘに延びる球
面の先端面を有するピンの形にした第二連結部品１３ｂ
とで構成されている。連結部１３の第一平坦連結部品１
３ａと第二球面連結部品１３ｂの間には、この発明によ
る、例えば厚さ ０．１〜０．２ ｍｍ の薄い摺動箔
の形にした摺動層１６がある。この摺動層１６は好まし
くは ＰＴＦＥ の合成樹脂製である。
【００１２】図２には、この連結部の構成が拡大して示
してある。第二連結部品１３ｂのピンの球面の先端面に
は、前記摺動層１６が被覆されている。この摺動層は二
つのバネ１７によって第一平坦連結部品１３ａの平坦面
に常時接触している。前記バネ１７は走査ユニット７と
連行体に固定されている。
してある。第二連結部品１３ｂのピンの球面の先端面に
は、前記摺動層１６が被覆されている。この摺動層は二
つのバネ１７によって第一平坦連結部品１３ａの平坦面
に常時接触している。前記バネ１７は走査ユニット７と
連行体に固定されている。
【００１３】図示していな方法では、第一平坦連結部品
１３ａを連行体１０に、また第二球面連結部品１３ｂを
走査ユニット７に固定することもできる。第一平坦連結
部品１３ａを走査ユニット７に組み込むこともでき、そ
のため走査ユニット７の前方面が第一平坦連結部品１３
ａの平坦面を形成する。
１３ａを連行体１０に、また第二球面連結部品１３ｂを
走査ユニット７に固定することもできる。第一平坦連結
部品１３ａを走査ユニット７に組み込むこともでき、そ
のため走査ユニット７の前方面が第一平坦連結部品１３
ａの平坦面を形成する。
【００１４】同様に図示していない方法では、摺動層を
第一平坦連結部品１３ａの平面に装着することもでき、
第二連結部品１３ｂのピンの球面前方面に常時接触して
いることもできる。
第一平坦連結部品１３ａの平面に装着することもでき、
第二連結部品１３ｂのピンの球面前方面に常時接触して
いることもできる。
【００１５】
【発明の効果】この発明によって得られる利点は、特に
連結部の両方の連結部品の間に摺動層を設けることによ
って、相対移動が生じても、両方の連結部品の間に測定
できない摩耗が生じるので、測定精度の低下が生じない
点にある。
連結部の両方の連結部品の間に摺動層を設けることによ
って、相対移動が生じても、両方の連結部品の間に測定
できない摩耗が生じるので、測定精度の低下が生じない
点にある。
【図１】一部を切り出した位置測定装置の側面図である
。
。
【図２】連結部の構成を拡大した切り抜き図面である。
１ ケース
２ 移動台
３ 通路
４ 接着層
５ 目盛板
６ 目盛
７ 走査ユニット
８ 固定台
９ ネジ
１０ 連行体
１１ 気密舌部
１２ 長手スリット
１３ 連結部
１３ａ 第一連結部品
１３ｂ 第二連結部品
１４ ローラ
１６ 摺動層
１７ バネ
Claims (5)
- 【請求項１】 一方の物体に連結する目盛板の目盛を
走査ユニットによって走査し、この走査ユニットが他方
の物体、あるいはその物体に取り付けた連行体に測定方
向に固い連結部を介してリンク結合し、両方の物体の案
内部から独立した補助案内部で摺動可能で、前記連結部
には接触している二つの結合部材がある、二つの物体の
相対位置を測定する位置測定装置において、両方の連結
部品１３ａ，１３ｂの間に摺動層１６があることを特徴
とする位置測定装置。 - 【請求項２】 第一連結部品１３ａは平坦な板にして
走査ユニット７に連結してあり、第二連結部品１３ｂは
球面状の先端面を有するピンにして連行体１０に固定し
てあることを特徴とする請求項１に記載の位置測定装置
。 - 【請求項３】 第二連結部品１３ｂの球面状の先端面
には、摺動層１６が被覆してあることを特徴とする請求
項１または２に記載の位置測定装置。 - 【請求項４】 連結部１３の両方の連結部品１３ａ，
１３ｂはバネ１７によって常時接触させてあることを特
徴とする請求項１に記載の位置測定装置。 - 【請求項５】 摺動層１６は ＰＴＦＥ 製の合成樹
脂で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の
位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE90061381 | 1990-05-31 | ||
| DE9006138U DE9006138U1 (de) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | Positionsmeßeinrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04231810A true JPH04231810A (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=6854261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3126204A Pending JPH04231810A (ja) | 1990-05-31 | 1991-05-29 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5142792A (ja) |
| EP (1) | EP0459294B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04231810A (ja) |
| AT (1) | ATE119276T1 (ja) |
| DE (2) | DE9006138U1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06285731A (ja) * | 1992-04-03 | 1994-10-11 | Murata Mach Ltd | 複合加工機 |
| US5344610A (en) * | 1993-02-03 | 1994-09-06 | Eastman Kodak Company | Aspirator probe with long pivot arm to minimize tip flick |
| US5273717A (en) * | 1992-09-30 | 1993-12-28 | Eastman Kodak Company | Self-calibrating analyzer aspirator |
| DE4438079A1 (de) * | 1994-10-25 | 1996-05-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Führung |
| JP4434452B2 (ja) | 2000-08-15 | 2010-03-17 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 測尺装置 |
| DE102007044128A1 (de) | 2007-09-15 | 2009-03-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
| EP3279615B1 (de) * | 2016-08-02 | 2018-10-17 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesseinrichtung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50127653A (ja) * | 1974-03-27 | 1975-10-07 | ||
| JPS5724484A (en) * | 1980-07-22 | 1982-02-09 | Kayaba Ind Co Ltd | Vane pump |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3816002A (en) * | 1972-10-10 | 1974-06-11 | H Wieg | Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members |
| US3816003A (en) * | 1973-03-12 | 1974-06-11 | Dynamics Res Corp | Sealed linear encoder |
| US3942895A (en) * | 1973-09-04 | 1976-03-09 | Teledyne, Inc. | Linear digital readout assembly for milling machines and the like and means for mounting same |
| DE2611459C3 (de) * | 1976-03-18 | 1978-09-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| US4215480A (en) * | 1977-12-16 | 1980-08-05 | James Neill Holdings Limited | Distance measuring gauge |
| DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
| DE3208591C2 (de) * | 1982-03-10 | 1986-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3215334C1 (de) * | 1982-04-24 | 1983-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Messeinrichtung |
| DE3311562C1 (de) * | 1983-03-30 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur |
| DE3415514C2 (de) * | 1984-04-26 | 1986-08-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Schutzvorrichtung für Positionsmeßeinrichtungen |
| DD243757A1 (de) * | 1985-12-02 | 1987-03-11 | Zeiss Jena Veb Carl | Praezisionslaengenmesssystem |
| AT394110B (de) * | 1989-02-10 | 1992-02-10 | Rsf Elektronik Gmbh | Laengenmesssystem |
-
1990
- 1990-05-31 DE DE9006138U patent/DE9006138U1/de not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-05-17 US US07/702,223 patent/US5142792A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-05-23 AT AT91108310T patent/ATE119276T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-05-23 DE DE59104745T patent/DE59104745D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-05-23 EP EP91108310A patent/EP0459294B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-05-29 JP JP3126204A patent/JPH04231810A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50127653A (ja) * | 1974-03-27 | 1975-10-07 | ||
| JPS5724484A (en) * | 1980-07-22 | 1982-02-09 | Kayaba Ind Co Ltd | Vane pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATE119276T1 (de) | 1995-03-15 |
| DE59104745D1 (de) | 1995-04-06 |
| DE9006138U1 (de) | 1990-08-02 |
| EP0459294A2 (de) | 1991-12-04 |
| EP0459294A3 (ja) | 1994-02-23 |
| EP0459294B1 (de) | 1995-03-01 |
| US5142792A (en) | 1992-09-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19950718 |