JPH04229835A - 光ビーム偏向装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波によって物質中
に屈折率の周期的変動が生じ、これが光の回折格子とな
って、そこを通る光の進行方向を変化させる現象、即ち
音響光学効果を利用した所謂音響光学偏向（ＡＯＤ）素
子を用いた光ビーム偏向装置に関し、特に、このＡＯＤ
素子に対し、該ＡＯＤ素子内において超音波進行波を形
成するための駆動信号（掃引信号）を供給する駆動回路
の構成に関する。

【０００２】

【従来の技術】強度変調されたレーザビームを、水平及
び垂直方向に２次元的にラスタ走査して、例えば、テレ
ビジョン画像を表示するレーザ描画装置がある。そして
、このレーザ描画装置のレーザビームの走査方式として
、回転多面鏡を用いた機械方式があるが、この回転多面
鏡を用いた機械方式には、以下の欠点がある。 （ｉ）回転多面鏡を回転駆動するモータの軸振れ等によ
る振動が発生する。 （ｉｉ）回転多面鏡の回転による風切り音等の騒音が発
生する。 （ｉｉｉ）回転多面鏡の軸受の耐久性に問題がある。 （ｉｖ）上述した回転駆動モータの回転の立ち上がりが
速やかでは無いので、クイック・スタートが困難である
。 （ｖ）回転駆動モータの回転安定性に問題があるため、
時間ジッターが発生する。 以上のような欠点を有する機械方式のレーザビーム走査
方式に対して、機械的な駆動部分の無い音響光学偏向器
を用いた音響光学走査方式が、例えば、「音響光学偏向
器を使用したラスタ走査型レーザディスプレイ装置」（
電子通信学会論文誌第５８巻Ｃ、第４号１９７５年第２
０９頁〜第２１６頁）に記載されている。

【０００３】この音響光学偏向器、即ち音響光学偏向（
ＡＯＤ）素子（以下、ＡＯＤ素子と記す）は、図５に示
すように、音響光学媒体２１ａの一面に、圧電効果を利
用した圧電振動子２１ｂが取付けられた構造となってい
る。このＡＯＤ素子２１に高周波発振器（駆動回路）２
２より高周波信号Ｓを圧電振動子２１ｂを介して加える
と、媒体２１ａ内に音波による回折格子（音波パターン
）２３ができ、この媒体２１ａ内に光ビーム（レーザビ
ーム）ｌを通過させると、音波パターン２３による回折
光ｌ１　が得られる。そして、この高周波信号Ｓの周波
数を変化させることにより、音波パターン２３のピッチ
が変化し、それに伴って、回折光ｌ１　の偏向角θが変
わり、光ビームｌを水平あるいは垂直方向に偏向するこ
とができる。この場合、回折光ｌ１　として、普通は一
次光が使用される。

【０００４】即ち、高周波信号Ｓの発振周波数が低い場
合には、波長の長い進行波が作られ、発振周波数が高い
場合には、波長の短い進行波が作られる。この時、超音
波振動の上記進行波の波長が短いほど、大きな偏向を受
けるので、高周波信号Ｓの発振周波数を低い周波数から
高い周波数へ鋸歯状に繰り返し掃引することで、このＡ
ＯＤ素子２１から出射する光ビームｌ１　は、偏向を受
けて偏向走査を繰返す走査光ビームとなる。

【０００５】また、この高周波信号Ｓの振幅を変化させ
ることにより、光ビームｌの透過率を変化させることが
でき、光強度変調器としての機能も有する。

【０００６】上記ＡＯＤ素子２１は、普通電圧制御発振
器（ＶＣＯ）と組み合せて使用される。即ち、図６に示
すように、電圧制御発振器２４の入力端子φｉｎに掃引
信号の元となる入力電圧信号Ｖｉｎを供給する。この入
力電圧信号Ｖｉｎは、例えば図９に示すように、１水平
走査期間（ｔ１　〜ｔ２）において、例えばＶ１　〜Ｖ
２（Ｖ２　＞Ｖ１）に変化するリニア信号が用いられる
。電圧制御発振器２４は、上記入力電圧信号Ｖｉｎの入
力に基いて、該入力電圧信号Ｖｉｎを周波数変換し、図
１０に示すように、１水平走査期間（ｔ１　〜ｔ２　）
において、その発振周波数が低周波ｆ１　から高周波ｆ
２　に変化する掃引信号Ｓに変換させる。この掃引信号
Ｓは、一般にＡＭ成分にばらつきがあるため、次の平衡
変調器２５において、該平衡変調器２５の入力端子φＡ
Ｍに入力されるＡＭ制御信号Ｓｃに基いて、そのＡＭ成
分が補正される。ＡＭ成分が補正された掃引信号Ｓは、
その後、電力増幅器２６を介して図１０で示す鋸歯状の
掃引信号ＳとしてＡＯＤ素子２１に入力される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記電圧制
御発振器２４は、その電圧−周波数変換において、図１
１の曲線Ｉに示すように、入力電圧信号Ｖｉｎの入力電
圧と発振周波数ｆとの間に１０〜２０％程度の非直線性
を有する。また、温度変化に対しても１％程度のドリフ
トがある。ＡＯＤ素子２１も入力周波数と偏向角との間
に　０．３％程度の非直線性があり、温度変化に対して
は、　２００ＰＰｍ／℃程度のドリフトがある。

【０００８】従って、現状では、光ビーム回折光ｌ１　
の偏向角度が小さくてよい場合、例えば、掃引信号Ｓの
発振周波数が図１１で示す特性曲線（曲線Ｉ）のリニア
な部分と対応する場合（図示の例では、発振周波数ｆ３
〜ｆ４　）には、図６で示す駆動回路をそのまま使用す
るようにしている。

【０００９】一方、偏向角度が大きい場合、例えば発振
周波数としてｆ１　〜ｆ２　を用いる場合には、図６で
示す駆動回路をそのまま使用することができないため、
例えば図７で示すように、Ａ／Ｄ変換器３１、ＲＯＭ３
２、Ｄ／Ａ変換器３３及び電圧制御発振器２４を有する
駆動回路３４を用いている。

【００１０】この駆動回路３４は、入力端子φｉｎに供
給される入力電圧信号ＶｉｎをＡ／Ｄ変換器３１にてデ
ジタルの入力信号ｄｉｎに変換し、この入力信号ｄｉｎ
自体をＲＯＭ３２のアドレス指定信号として用いる。そ
して、このアドレス指定信号ｄｉｎの入力に基いて、Ｒ
ＯＭ３２から取出されたデータｄを順次Ｄ／Ａ変換器３
３にてアナログの補正信号Ｓｂに変換する。ＲＯＭ３２
に書き込まれたデータｄは、図１１で示す特性曲線（曲
線Ｉ）の逆関数データであり、電圧制御発振器２４の電
圧−周波数変換特性を予めプロットしておき、このプロ
ットにて作成される特性曲線（曲線Ｉ）の逆関数曲線（
曲線ＩＩで示す）　を求めてＲＯＭ３２に書込でおく。 従って、上記補正信号Ｓｂは、図１１の特性曲線（曲線
Ｉ）における逆関数曲線（曲線ＩＩ）と等価な信号とな
る。次に、電圧制御発振器２４は、上記補正信号Ｓｂの
入力に基いて、該補正信号Ｓｂを周波数変換する。電圧
制御発振器２４での電圧−周波数変換は、図１１の曲線
Ｉで示す特性に従って変換するため、上記補正信号Ｓｂ
に対する周波数変換により、非直線成分が同時に補正さ
れ、曲線ＩＩＩ　で示すほぼリニアな特性に基いて周波
数変換される。そして、この電圧制御発振器２４より出
力された掃引信号Ｓは、平衡変調器２５にてそのＡＭ成
分が補正され、電力増幅器２６を介してＡＯＤ素子２１
に入力される。

【００１１】また、従来では、図８に示すように、電圧
制御発振器２４の発振周波数の安定化及び直線性の改善
のために位相比較器３４、ローパスフィルタ３５等を有
するＰＬＬ回路３６を構成して使用している。この駆動
回路３７は、ＰＬＬ回路３６にてフィードバックをかけ
て使用する一般的な方法であり、精度も良好である。

【００１２】即ち、この駆動回路３７は、水晶発振器（
図示せず）などから出力されて位相比較器３４の入力端
子φｂに入力される正確な発振周波数ｆｒと、電圧制御
発振器２４からの出力信号周波数ｆｏをプログラマブル
カウンタ３６の入力端子φｐに入力されるデータＮによ
り１／Ｎした信号ｆｏ／Ｎとを位相比較器で比較するよ
うにループが構成され、このＰＬＬ回路３６がロックし
た状態では、双方の周波数関係がｆｒ＝ｆｏ／Ｎ，ｆｏ
＝Ｎ・ｆｒとなり、データＮを可変にすることによって
、ｆｏがｆｒの整数倍の周波数で発振するようにする。 このＰＬＬ回路３６を用いた駆動回路３７によれば、図
１１の曲線ＩＩＩ　で示すリニアな電圧−周波数変換特
性により周波数変換することと等価となり、掃引信号Ｓ
の発振周波数の安定化及び直線性が改善される。

【００１３】しかしながら、図７及び図８で示す駆動回
路３４及び３７は、電圧制御発振器２４を使用している
ことから、温度変化に対するドリフトが依然解決されず
、使用環境によってばらつきが生じ、掃引信号Ｓの再現
性が悪いという不都合がある。特に、図８で示す駆動回
路３７は、図７で示す駆動回路３４よりも精度上優れて
いるが、ＰＬＬ回路３６のループ内に時定数を含むため
に、駆動回路３７における系全体の応答速度が遅いとい
う不都合がある。

【００１４】本発明は、このような課題に鑑み成された
もので、その目的とするところは、電圧制御発振器の省
略化を実現させて、電圧制御発振器の欠点である電圧−
周波数変換特性の非直線性並びに温度変化に対するドリ
フトをなくし、ＡＯＤ素子に対し、安定した直線性のあ
る掃引信号を供給することができ、高速で常に安定な光
ビームの偏向を行なうことができる光ビーム偏向装置を
提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】音響光学偏向素子（ＡＯ
Ｄ素子）１に対して駆動信号（掃引信号）Ｓを供給する
ことにより、ＡＯＤ素子１内に時間の経過と共に所定方
向に進行する音波パターン３を形成し、この音波パター
ン３の回折作用によって、ＡＯＤ素子１に入射する入射
光ビームｌを偏向するようになされた光ビーム偏向装置
Ａにおいて、上記掃引信号Ｓを構成するデータが格納さ
れるメモリ５と、メモリ５からのデータの読み出しアド
レスを指定するアドレスカウンタ９と、メモリ５より読
み出されたデータを掃引信号Ｓに変換する変換器７とを
備えて構成する。

【００１６】

【作用】上述の本発明の構成によれば、電圧−周波数変
換の直線性及び温度特性の悪い電圧制御発振器（ＶＣＯ
）を使用しないため、ＡＯＤ素子１に対し、安定した直
線性のある掃引信号Ｓを供給することができ、安定した
光ビームｌの偏向を行なうことができる。

【００１７】また、ＰＬＬ回路のようなループを形成し
ないため、ループ内の時定数による信号出力の遅延化等
のような問題が無く、掃引信号Ｓの出力に関し、その高
速化が図れ、それに伴ない、ＡＯＤ素子１での光ビーム
ｌの偏向の高速化を図ることができる。このことは、例
えばＨＤＴＶ方式による光ビームｌの偏向に対し、その
追従性の改善につながる。

【００１８】

【実施例】以下、図１〜図４を参照しながら本発明の実
施例を説明する。

【００１９】図１は、本実施例に係る光ビーム偏向装置
Ａの構成を示すブロック線図である。

【００２０】この光ビーム偏向装置Ａは、図示する如く
、入射される光ビーム（例えばレーザビーム）ｌを時間
の経過と共に所定方向、例えば水平方向に偏向させる音
響光学偏向素子（以下、単にＡＯＤ素子と記す）１を有
する。

【００２１】このＡＯＤ素子１は、音響光学媒体１ａの
一面に、圧電効果を利用した圧電振動子１ｂが接着剤等
で取付けられた構造となっており、このＡＯＤ素子１に
後述する駆動回路２からの掃引信号Ｓを圧電振動子１ｂ
を介して加えることにより、音響光学媒体１ａ内に音波
（超音波）による回折格子、即ち音波パターン３が形成
される。そして、この音響光学媒体１ａに光ビームｌを
入射させると、光ビームｌは、音響光学媒体１ａ内に形
成されている上記音波パターン３により回折され、所定
の方向に偏向される。そして、この掃引信号Ｓの発振周
波数を変化させることにより、音波パターン３の各ピッ
チが変化し、それに伴って、ＡＯＤ素子１から出射され
る回折光（一次光）ｌ１　の偏向角θが順次変化し、時
間の経過に伴って、光ビームｌが水平あるいは垂直方向
に偏向される。本例に用いられる掃引信号Ｓは、図３に
示すように、その発振周波数が例えば１水平走査期間（
ｔ０　〜ｔｍ）において、低い周波数ｆ１（例えば７５
ＭＨｚ）から高い周波数ｆ２（例えば１５０ＭＨｚ）に
リニアに変化する鋸歯状の信号が用いられる。

【００２２】しかして、本例においては、この掃引信号
Ｓの作成に係る駆動回路２を、図１に示すように、複数
のＲＯＭ（図示の例では、５つのＲＯＭ）４ａ〜４ｅを
有するデータ格納部５と、データ格納部５からの並列デ
ータをシリーズなデータに変換するデータセレクタ６と
、データセレクタ６からのデータをアナログの掃引信号
Ｓに変換する超高速Ｄ／Ａ変換器７とを具備して構成す
る。

【００２３】即ち、各ＲＯＭ４ａ〜４ｅには図２に示す
ように、例えば８ビット構成の記憶領域が多数配列され
、例えばＲＯＭ４ａのアドレス０における記憶領域には
、図４で示す掃引信号Ｓのｔ１　及びｔ２　時における
振幅データｘ１　及びｘ２　が夫々４ビットのデータと
して格納されている。同様に、ＲＯＭ４ｂのアドレス０
における記憶領域には、ｔ３　及びｔ４　時における振
幅データｘ３　及びｘ４が夫々４ビットのデータとして
格納され、ＲＯＭ４ｃのアドレス０における記憶領域に
は、ｔ５　及びｔ６　時における振幅データｘ５　及び
ｘ６　が、ＲＯＭ４ｄのアドレス０における記憶領域に
は、ｔ７　及びｔ８　時における振幅データｘ７　及び
ｘ８　が、ＲＯＭ４ｅのアドレス０における記憶領域に
は、ｔ９　及びｔ１０時における振幅データｘ９　及び
ｘ１０が夫々４ビットのデータとして格納されている。 同様に、各ＲＯＭ４ａ〜４ｅのアドレス１における各記
憶領域には、夫々振幅データ（ｘ１１，ｘ１２），（ｘ
１３，ｘ１４）‥‥（ｘ１９，ｘ２０）が格納され、順
次各ＲＯＭ４ａ〜４ｅのアドレスｎにおける各記憶領域
には、振幅データ（ｘ１０ｎ＋２ｋ＋１，ｘ１０ｎ＋２
ｋ＋２）　が格納されている。ここでｋは、ＲＯＭ番号
であり、５つのＲＯＭ４ａ〜４ｅ全てを１つのメモリと
してみた場合の物理アドレスを表わす（ｋ＝０〜４）。

【００２４】各ＲＯＭ４ａ〜４ｅ内の各データ（ｘ１，
ｘ２），（ｘ３，ｘ４）‥‥（ｘ１０ｎ＋２ｋ＋１，ｘ
１０ｎ＋２ｋ＋２）　は、上述したように、ＡＯＤ素子
１に与えるべき掃引信号Ｓの所定時間幅ｔにおける振幅
値を示すもので、この時間幅ｔは、例えば期間ｔ０　〜
ｔｍ　で示す光ビームｌの偏向時間（例えば、光ビーム
ｌを偏向走査させることにより、ライトバルブやスクリ
ーン上に画像を得る場合においては、１水平走査期間と
なる）と、各ＲＯＭ４ａ〜４ｅのメモリ容量等にて決定
される。本例では、ｔ＝３０μｓｅｃ　を使用している
。

【００２５】次に、この駆動回路２の動作を説明する。

【００２６】まず、　３００ＭＨｚ　のクロック信号Ｃ
１　を入力端子φ１　に供給する。このクロック信号Ｃ
１　は、次段のカウンタ８にて１／１０の３０ＭＨｚ　
のクロック信号Ｃ２　に変換されたのち、次段のアドレ
スカウンタ９に供給される。

【００２７】次に、アドレスカウンタ９は、入力端子φ
２　へのスタートパルスｐの入力に基いて、上記クロッ
ク信号Ｃ２　の例えば立上がりパルスの入力毎にサイク
リックに変化するアドレス信号Ｓａを出力する。このス
タートパルスｐとしては、例えば同期分離回路等からの
水平同期信号等を用いることができる。

【００２８】そして、上記アドレス信号Ｓａは、データ
格納部５の各ＲＯＭ４ａ〜４ｅに与えられ、各ＲＯＭ４
ａ〜４ｅは、上記アドレス信号Ｓａの内容（アドレス）
に基いて、該アドレスに対応する記憶領域からデータを
読出す。ここで、例えば、アドレス０を記憶するアドレ
ス信号Ｓａが各ＲＯＭ４ａ〜４ｅに入力されると、各Ｒ
ＯＭ４ａ〜４ｅは、アドレス０に対応する各記憶領域か
ら振幅データ（ｘ１，ｘ２），（ｘ３，ｘ４）‥‥（ｘ
９，ｘ１０）を読出す。各ＲＯＭ４ａ〜４ｅからの上記
振幅データは、夫々２ラインずつ４ビット毎のデータ（
ｘ１，ｘ２），（ｘ３，ｘ４）‥‥（ｘ９，ｘ１０）と
して並列に読出され、全体的にみると、１０本のライン
に夫々４ビットの振幅データｘ１　〜ｘ１０が並列に３
０ＭＨｚ　のクロックタイミングで同時に読出される。

【００２９】各ＲＯＭ４ａ〜４ｅからの４ビットのデー
タｘ１　〜ｘ１０（ＴＴＬレベル）は、夫々次段のＴＴ
Ｌ−ＥＣＬトランスレータ１０ａ〜１０ｅによってＥＣ
Ｌレベルの４ビットデータｅ１　〜ｅ１０に変換される
。各ＴＴＬ−ＥＣＬトランスレータは、図面上、代表的
に１０ａ〜１０ｅとして表示しているが、実際は、各Ｒ
ＯＭ４ａ〜４ｅの出力端子毎にＴＴＬ−ＥＣＬトランス
レータが接続され、ビット単位のＥＣＬ変換が行なわれ
る。上記のようにＴＴＬ−ＥＣＬトランスレータ１０ａ
〜１０ｅを介してＥＣＬ変換された４ビットデータｅ１
　〜ｅ１０は、次のラッチ回路１１ａ〜１１ｅにて保持
される。

【００３０】各ラッチ回路１１ａ〜１１ｅに夫々並列に
保持された４ビットデータｅ１　〜ｅ１０は、次のデー
タセレクタ６によって順次４ビット毎に読出され、４ビ
ット並列の直列データｄとして出力される。このデータ
セレクタ６による各データｅ１　〜ｅ１０の読出しは、
カウンタ８からの　３００ＭＨｚ　のクロック信号Ｃ３
　に基いて行なわれる。

【００３１】そして、データセレクタ６からの直列デー
タｄは、次の超高速Ｄ／Ａ変換器７にて、　３００ＭＨ
ｚ　のクロック信号Ｃ１　に基いて、アナログ変換され
、アナログの波形信号として出力される。

【００３２】ところで、例えば上記４ビットデータｅ１
　〜ｅ１０がラッチ回路１１ａ〜１１ｅに保持されてい
る間において、例えば、アドレスカウンタ９にクロック
信号Ｃ２　における次のクロックパルスが入力されてア
ドレスカウンタ９から次のアドレス（アドレス１）を示
すアドレス信号Ｓａが出力されると、各ＲＯＭ４ａ〜４
ｅは、アドレス１に対応する各記憶領域から夫々振幅デ
ータ（ｘ１１，ｘ１２），（ｘ１３，　ｘ１４）‥‥（
ｘ１９，　ｘ２０）を読出す。この間において、例えば
、ラッチ回路１１ａ〜１１ｅに保持されているアドレス
０に関するデータｅ１　〜ｅ１０が上記のように、デー
タセレクタ６及びＤ／Ａ変換器７を介してアナログの波
形信号に変換される。一方、各ＲＯＭ４ａ〜４ｅから読
出された上記振幅データ（ｘ１１，ｘ１２）‥‥（ｘ１
９，　ｘ２０）は、次のＴＴＬ−ＥＣＬトランスレータ
１０ａ〜１０ｅにてＥＣＬレベルのデータｅ１１〜ｅ２
０に変換されたのち、各ラッチ回路１１ａ〜１１ｅにて
保持される。そして、各ラッチ回路１１ａ〜１１ｅに保
持されたデータｅ１１〜ｅ２０は、上記と同様にして、
次のデータセレクタ６及びＤ／Ａ変換器７を介してアナ
ログの波形信号に変換される。

【００３３】このように、上記一連の動作を例えば１水
平走査期間（ｔ０　〜ｔｍ）、順次繰り返されることに
よって、Ｄ／Ａ変換器７から図４で示す掃引信号Ｓが出
力される。

【００３４】Ｄ／Ａ変換器７から出力される掃引信号Ｓ
は、次段のローパスフィルタ１２にてその折り返しノイ
ズが抑圧され、更に、次の平衡変調器１３にてそのＡＭ
成分が、入力端子φ３　に供給されるＡＭ制御信号Ｓｃ
に基いて補正されたのち、電力増幅器１４を介してＡＯ
Ｄ素子１に供給される。

【００３５】そして、このＡＯＤ素子１に供給された掃
引信号Ｓに基いて、ＡＯＤ素子１の音響光学媒体１ａ内
において時間の経過と共に変化する音波パターン３が形
成され、ＡＯＤ素子１に入射された光ビームｌは、その
音波パターン３の変化に従って回折を受け、ＡＯＤ素子
１から偏向走査ビームｌ１　として出射される。

【００３６】上述の如く、本例によれば、電圧−周波数
変換の直線性及び温度特性の悪い電圧制御発振器（ＶＣ
Ｏ）を使用しないため、ＡＯＤ素子１に対し、安定した
直線性のある掃引信号Ｓを供給することができ、安定し
た光ビームｌの偏向を行なうことができる。

【００３７】また、ＰＬＬ回路のようなループを形成し
ないため、ループ内の時定数による信号出力の遅延化等
のような問題が無く、掃引信号Ｓの出力に関し、その高
速化が図れ、それに伴ない、ＡＯＤ素子１での光ビーム
ｌの偏向の高速化を図ることができる。このことは、例
えばＨＤＴＶ方式による光ビームｌの偏向に対し、その
追従性の改善につながる。

【００３８】尚、上記実施例において、必要があれば、
各ＲＯＭ４ａ〜４ｅに、周波数を変化したときに起こる
ＡＯＤ素子１の偏向角θの非直線性を補正するデータ及
び透過率の変動を補正するデータも一緒に格納するよう
にしてもよい。この場合、ＡＯＤ素子１自体が有する入
力発振周波数と偏向角の間の　０．３％程度の非直線性
及び温度変化に対する　２００ｐｐｍ／℃程度のドリフ
トをなくすことができ、より安定した光ビームｌの偏向
が行なえる。

【００３９】また、上記ＲＯＭの代わりにＲＡＭを用い
てもよい。この場合、補正データの変更等が容易に行な
えるため、取扱いの簡便な駆動回路２となる。

【００４０】

【発明の効果】本発明に係る光ビーム偏向装置によれば
、電圧−周波数変換の直線性及び温度特性の悪い電圧制
御発振器（ＶＣＯ）の省略化が図れ、ＡＯＤ素子に対し
、安定した直線性のある掃引信号を供給することができ
、安定した光ビームの偏向を行なうことができると共に
、その偏向の高速化をも図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係る光ビーム偏向装置の構成を示す
ブロック線図。

【図２】各ＲＯＭのデータの格納状態の一例を示す説明
図。

【図３】本実施例に係る掃引信号を時間−発振周波数の
関係で示す波形図。

【図４】本実施例に係る掃引信号を時間−振幅の関係で
示す波形図。

【図５】ＡＯＤ素子の原理を示す説明図。

【図６】従来の駆動回路を示すブロック線図。

【図７】従来の駆動回路の他の例（ＲＯＭを用いた例）
を示すブロック線図。

【図８】従来の駆動回路の他の例（ＰＬＬ回路を用いた
例）を示すブロック線図。

【図９】入力電圧信号を示す波形図。

【図１０】掃引信号を示す波形図。

【図１１】ＶＣＯの電圧−周波数変換特性を示す特性図
。

【符号の説明】

Ａ　　光ビーム偏向装置 １　　ＡＯＤ素子 ２　　駆動回路 ３　　音波パターン ４ａ〜４ｅ　　ＲＯＭ ５　　データ格納部 ６　　データセレクタ ７　　超高速Ｄ／Ａ変換器 ８　　カウンタ ９　　アドレスカウンタ １０ａ〜１０ｅ　　ＴＴＬ−ＥＣＬトランスレータ１１
ａ〜１１ｅ　　ラッチ回路 １２　　ローパスフィルタ １３　　平衡変調器 １４　　電力増幅器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　音響光学偏向素子に対して駆動信号を
   供給することにより、上記音響光学偏向素子内に時間の
   経過と共に所定方向に進行する音波パターンを形成し、
   上記音波パターンの回折作用によって、上記音響光学偏
   向素子に入射する入射光ビームを偏向するようになされ
   た光ビーム偏向装置において、上記駆動信号を構成する
   データが格納されるメモリと、該メモリからのデータの
   読み出しアドレスを指定するアドレスカウンタと、該メ
   モリより読み出されたデータを上記駆動信号に変換する
   変換器とを備えたことを特徴とする光ビーム偏向装置。