JPH04222402A - 磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構 - Google Patents
磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構Info
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- JPH04222402A JPH04222402A JP3091651A JP9165191A JPH04222402A JP H04222402 A JPH04222402 A JP H04222402A JP 3091651 A JP3091651 A JP 3091651A JP 9165191 A JP9165191 A JP 9165191A JP H04222402 A JPH04222402 A JP H04222402A
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Landscapes
- Train Traffic Observation, Control, And Security (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、台車が搬送路に沿っ
て浮上した状態で走行して、物品等の搬送を行う磁気浮
上式搬送装置およびその分岐機構に関する。
て浮上した状態で走行して、物品等の搬送を行う磁気浮
上式搬送装置およびその分岐機構に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路の高集積化、極微
細化に伴い、それを製造するクリーンルームには高クリ
ーン度が要求されている。このようなクリーンルーム内
において、シリコンウェハ等を搬送する搬送装置には、
塵埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上
した状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送
装置が理想的であるとして、注目を集めている。
細化に伴い、それを製造するクリーンルームには高クリ
ーン度が要求されている。このようなクリーンルーム内
において、シリコンウェハ等を搬送する搬送装置には、
塵埃の発生を極力抑える必要上、台車が搬送路上を浮上
した状態で、すなわち非接触で走行する磁気浮上式搬送
装置が理想的であるとして、注目を集めている。
【0003】図3〜図5は、従来の磁気浮上式搬送装置
の一例を示す図である。これらの図において、1は搬送
路に沿って設けられた箱状のフレームであり、その上面
には、搬送路に沿って延びる開口部1aが形成されてい
る。このフレーム1の天井面には、鋼材によって構成さ
れた1対の浮上用レール2L,2Rが搬送路に沿って各
々架設されており、また、同様にフレーム1の左右の内
側面にも、鋼材によって構成された1対の案内用レール
3L,3Lが各々架設されている。
の一例を示す図である。これらの図において、1は搬送
路に沿って設けられた箱状のフレームであり、その上面
には、搬送路に沿って延びる開口部1aが形成されてい
る。このフレーム1の天井面には、鋼材によって構成さ
れた1対の浮上用レール2L,2Rが搬送路に沿って各
々架設されており、また、同様にフレーム1の左右の内
側面にも、鋼材によって構成された1対の案内用レール
3L,3Lが各々架設されている。
【0004】5は搬送路上を走行する台車であり、この
台車5には、浮上用レール2L,2Rの各下面と各々対
向する4個の浮上用電磁石7a〜7dと、案内用レール
3L,3Rの各側面と各々対向する4個の案内用電磁石
8a〜8dとが設けられている。さらに、図示しないが
、充電式のバッテリと、浮上用電磁石7a〜7dと浮上
用レール2L,2Rの各下面との間の垂直ギャップGv
、および案内用電磁石8a〜8dと案内用レール3L,
3Rの各側面との間の水平ギャップGhを各々検出する
ギャップセンサと、これらのギャップセンサの検出信号
に基づいて、バッテリーから浮上用電磁石7a〜7dお
よび案内用電磁石8a〜8dに各々供給される励磁電流
を制御し、垂直ギャップGvおよび水平ギャップGhを
常に一定とする電流制御回路とが設けられている。
台車5には、浮上用レール2L,2Rの各下面と各々対
向する4個の浮上用電磁石7a〜7dと、案内用レール
3L,3Rの各側面と各々対向する4個の案内用電磁石
8a〜8dとが設けられている。さらに、図示しないが
、充電式のバッテリと、浮上用電磁石7a〜7dと浮上
用レール2L,2Rの各下面との間の垂直ギャップGv
、および案内用電磁石8a〜8dと案内用レール3L,
3Rの各側面との間の水平ギャップGhを各々検出する
ギャップセンサと、これらのギャップセンサの検出信号
に基づいて、バッテリーから浮上用電磁石7a〜7dお
よび案内用電磁石8a〜8dに各々供給される励磁電流
を制御し、垂直ギャップGvおよび水平ギャップGhを
常に一定とする電流制御回路とが設けられている。
【0005】ここで、浮上用電磁石7aは、図6に示す
ように、コ字状の一次側コア7Aと、このコア7Aの各
磁極7A1,7A2に各々巻回されたコイル7B,7C
とによって構成されており、一対の磁極7A1,7A2
を台車の5の幅方向に一致させた状態で配設されている
。また、その他の浮上用電磁石7b〜7dも同様に構成
されている。このような浮上用電磁石7a〜7dが浮上
用レール2L,2Rの下面を磁気的に吸引することによ
り、台車5が浮上し、さらに、浮上用レール2L,2R
の幅寸法の範囲内で、その幅方向への移動が緩やかに規
制される。さらに、案内用電磁石8a〜8dが、案内用
レール3L,3Rの各側面を磁気的に吸引することによ
り台車5の幅方向の移動が、強固に規制される。
ように、コ字状の一次側コア7Aと、このコア7Aの各
磁極7A1,7A2に各々巻回されたコイル7B,7C
とによって構成されており、一対の磁極7A1,7A2
を台車の5の幅方向に一致させた状態で配設されている
。また、その他の浮上用電磁石7b〜7dも同様に構成
されている。このような浮上用電磁石7a〜7dが浮上
用レール2L,2Rの下面を磁気的に吸引することによ
り、台車5が浮上し、さらに、浮上用レール2L,2R
の幅寸法の範囲内で、その幅方向への移動が緩やかに規
制される。さらに、案内用電磁石8a〜8dが、案内用
レール3L,3Rの各側面を磁気的に吸引することによ
り台車5の幅方向の移動が、強固に規制される。
【0006】また、フレーム1の内底面にはリニアイン
ダクションモータの一次側コイル15,15…が所定間
隔を隔てて取り付けられており、台車5には一次側コイ
ル15と所定のギャップを隔てて上下に対向する二次側
導体16が取り付けられている。この場合、二次側導体
16としては鉄心を有する場合と有しない場合がある。 さらに、台車5の上面には、支柱17を介して荷台18
が取り付けられ、この荷台18上に荷物19が積載され
る。
ダクションモータの一次側コイル15,15…が所定間
隔を隔てて取り付けられており、台車5には一次側コイ
ル15と所定のギャップを隔てて上下に対向する二次側
導体16が取り付けられている。この場合、二次側導体
16としては鉄心を有する場合と有しない場合がある。 さらに、台車5の上面には、支柱17を介して荷台18
が取り付けられ、この荷台18上に荷物19が積載され
る。
【0007】このような構成において、浮上用電磁石7
a〜7dおよび案内用電磁石8a〜8dに対して励磁電
流が供給されると、台車5が浮上し、一方、リニアイン
ダクションモータの一次側コイル15に交流電流が供給
されると、この一次側コイル15上に図に矢印F方向の
進行磁界が発生し、これにより、台車5が一次側コイル
15の上方を通過する毎に矢印F方向へ加速され、その
他の区間においては惰性により走行する。この結果、台
車5は浮上した状態で加速と惰性走行を交互に繰り返し
ながら連続的に走行する。
a〜7dおよび案内用電磁石8a〜8dに対して励磁電
流が供給されると、台車5が浮上し、一方、リニアイン
ダクションモータの一次側コイル15に交流電流が供給
されると、この一次側コイル15上に図に矢印F方向の
進行磁界が発生し、これにより、台車5が一次側コイル
15の上方を通過する毎に矢印F方向へ加速され、その
他の区間においては惰性により走行する。この結果、台
車5は浮上した状態で加速と惰性走行を交互に繰り返し
ながら連続的に走行する。
【0008】また、このような磁気浮上式搬送装置にお
いては、自動移載装置による荷物19の積み下ろしや、
自動充電装置によるバッテリの充電等を行うために、搬
送路に沿って複数のステーションが設けられている。こ
の場合、図7に示すように、ループ状の主搬送路Mの側
方に複数のステーションST1〜STnを配設し、これ
らの各ステーションST1〜STnと主搬送路Mとの間
を分岐路B1〜Bnで接続し、主搬送路M上を循環走行
している台車5を、必要に応じて各ステーションST1
〜STnに分岐させるようになっている。
いては、自動移載装置による荷物19の積み下ろしや、
自動充電装置によるバッテリの充電等を行うために、搬
送路に沿って複数のステーションが設けられている。こ
の場合、図7に示すように、ループ状の主搬送路Mの側
方に複数のステーションST1〜STnを配設し、これ
らの各ステーションST1〜STnと主搬送路Mとの間
を分岐路B1〜Bnで接続し、主搬送路M上を循環走行
している台車5を、必要に応じて各ステーションST1
〜STnに分岐させるようになっている。
【0009】ここで、上記主搬送路Mと各分岐路B1〜
Bnとの間の分岐点には、図8に示すような大がかりな
分岐機構が設けられていた。すなわち、旋回自在に支持
されたターンテーブル13上に図示せぬフレームを介し
て旋回レール12L,12Rが架設されており、これら
全体がモータ14によって旋回駆動されるようになって
いる。そして、台車5を分岐される場合は、この分岐機
構の手前の一次側コイル15を逆相で励磁して矢印Fと
逆方向の進行磁界を発生させ、これにより台車5を充分
に減速させた後、ターンテーブル13に設けられた位置
決め停止用電磁石(図示略)に励磁電流を供給し、台車
5をターンテーブル13上に停止させる。
Bnとの間の分岐点には、図8に示すような大がかりな
分岐機構が設けられていた。すなわち、旋回自在に支持
されたターンテーブル13上に図示せぬフレームを介し
て旋回レール12L,12Rが架設されており、これら
全体がモータ14によって旋回駆動されるようになって
いる。そして、台車5を分岐される場合は、この分岐機
構の手前の一次側コイル15を逆相で励磁して矢印Fと
逆方向の進行磁界を発生させ、これにより台車5を充分
に減速させた後、ターンテーブル13に設けられた位置
決め停止用電磁石(図示略)に励磁電流を供給し、台車
5をターンテーブル13上に停止させる。
【0010】次に、モータ14によって、ターンテーブ
ル13を矢印R方向へ旋回駆動し、図に2点鎖線で示す
ように、旋回レール12R,12Lが分岐方向Bに沿っ
て架設された分岐レール2Lb,2Rbに一致する位置
で、ターンテーブル13を停止させる。その後、位置決
め停止用電磁石に対する励磁電流の供給を止め、図示せ
ぬリニアインダクションモータの一次側コイルによって
分岐方向Bに沿う進行磁界を発生させて、同方向に台車
5を走行させる。
ル13を矢印R方向へ旋回駆動し、図に2点鎖線で示す
ように、旋回レール12R,12Lが分岐方向Bに沿っ
て架設された分岐レール2Lb,2Rbに一致する位置
で、ターンテーブル13を停止させる。その後、位置決
め停止用電磁石に対する励磁電流の供給を止め、図示せ
ぬリニアインダクションモータの一次側コイルによって
分岐方向Bに沿う進行磁界を発生させて、同方向に台車
5を走行させる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の分岐機構においては、ターンテーブル13上にフレ
ームを介して旋回レール12L,12Rが架設され、こ
れら全体がモータ14によって旋回駆動されるようにな
っているため、ターンテーブル13自体の重量が大であ
り、このターンテーブル13を旋回自在に支持する支持
機構や、モータ14をも含めると、その重量、ならびに
外形寸法が極めて大となってしまうという問題があった
。また、クリーンルーム内に設置する場合、塵埃の発生
を極力抑えることが重要な課題となるが、上述したター
ンテーブル13上の各部に塵埃が滞留し、旋回させる度
に発塵がいつまでも続き、十分なクリーン度が得られな
いという問題もあった。さらに、上述した磁気浮上式搬
送装置をクリーンルーム内の天上直下に吊り下げて設置
する場合、従来の分岐機構では、その重量を支えるため
に、十分な剛性を有する支柱や支持フレーム等を用いな
ければならず、これにより占有空間が大となり、クリー
ンルーム内の限られた空間を有効利用することができな
くなるという問題も生じる。
来の分岐機構においては、ターンテーブル13上にフレ
ームを介して旋回レール12L,12Rが架設され、こ
れら全体がモータ14によって旋回駆動されるようにな
っているため、ターンテーブル13自体の重量が大であ
り、このターンテーブル13を旋回自在に支持する支持
機構や、モータ14をも含めると、その重量、ならびに
外形寸法が極めて大となってしまうという問題があった
。また、クリーンルーム内に設置する場合、塵埃の発生
を極力抑えることが重要な課題となるが、上述したター
ンテーブル13上の各部に塵埃が滞留し、旋回させる度
に発塵がいつまでも続き、十分なクリーン度が得られな
いという問題もあった。さらに、上述した磁気浮上式搬
送装置をクリーンルーム内の天上直下に吊り下げて設置
する場合、従来の分岐機構では、その重量を支えるため
に、十分な剛性を有する支柱や支持フレーム等を用いな
ければならず、これにより占有空間が大となり、クリー
ンルーム内の限られた空間を有効利用することができな
くなるという問題も生じる。
【0012】一方、上述した従来の磁気浮上式搬送装置
においては、走行中に台車5が横揺れを起こさないよう
に、台車5に設けられた浮上用電磁石7a〜7dの各々
の浮上用レール2L,2Rとの対向面を長方形(図4,
図8では正方形に見えるが)にして、その長さ方向を浮
上用レール2L,2Rの長さ方向になるようにしている
。この場合、上述した従来の分岐装置においては、主搬
送路Mから各分岐路B1〜Bnへ進行して行く場合、タ
ーンテーブル13により台車5の向きを変更するため、
各分岐路B1〜Bnにおいて浮上用電磁石7a〜7dの
各々のレール対向面の幅方向が浮上用レール2L,2R
の長さ方向になることはない。しかし、このような場合
になっても、横揺れ幅を小さくすることが必要である。
においては、走行中に台車5が横揺れを起こさないよう
に、台車5に設けられた浮上用電磁石7a〜7dの各々
の浮上用レール2L,2Rとの対向面を長方形(図4,
図8では正方形に見えるが)にして、その長さ方向を浮
上用レール2L,2Rの長さ方向になるようにしている
。この場合、上述した従来の分岐装置においては、主搬
送路Mから各分岐路B1〜Bnへ進行して行く場合、タ
ーンテーブル13により台車5の向きを変更するため、
各分岐路B1〜Bnにおいて浮上用電磁石7a〜7dの
各々のレール対向面の幅方向が浮上用レール2L,2R
の長さ方向になることはない。しかし、このような場合
になっても、横揺れ幅を小さくすることが必要である。
【0013】この発明は上述した事情に鑑みてなされた
もので、可動部分を必要最小限に抑えることにより、発
塵を極力抑えることができると共に、機構全体を小型か
つ軽量に構成することができる磁気浮上式搬送装置の分
岐機構、および、搬送路でも分岐路でも同程度に台車の
横ゆれ幅を小さくすることができる磁気浮上式搬送装置
を提供することを目的としている。
もので、可動部分を必要最小限に抑えることにより、発
塵を極力抑えることができると共に、機構全体を小型か
つ軽量に構成することができる磁気浮上式搬送装置の分
岐機構、および、搬送路でも分岐路でも同程度に台車の
横ゆれ幅を小さくすることができる磁気浮上式搬送装置
を提供することを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
搬送路に沿って架設された浮上用レールと、前記搬送路
上を走行する台車に設けられ、前記浮上用レールの下面
を一定の垂直ギャップを隔てて磁気的に吸引する浮上用
電磁石とを有する磁気浮上式搬送装置において、前記搬
送路の分岐点に設けられた旋回レールと、前記旋回レー
ルを前記浮上用レールの架設面と同じ水平面内であって
、かつ前記浮上用レールの延長線上の前記浮上用電磁石
の停止位置を中心として旋回自在に支持する支持手段と
、前記旋回レールを、前記浮上用レールと平行な方向、
もしくは分岐方向へ旋回させる駆動手段とを具備するこ
とを特徴とする。
搬送路に沿って架設された浮上用レールと、前記搬送路
上を走行する台車に設けられ、前記浮上用レールの下面
を一定の垂直ギャップを隔てて磁気的に吸引する浮上用
電磁石とを有する磁気浮上式搬送装置において、前記搬
送路の分岐点に設けられた旋回レールと、前記旋回レー
ルを前記浮上用レールの架設面と同じ水平面内であって
、かつ前記浮上用レールの延長線上の前記浮上用電磁石
の停止位置を中心として旋回自在に支持する支持手段と
、前記旋回レールを、前記浮上用レールと平行な方向、
もしくは分岐方向へ旋回させる駆動手段とを具備するこ
とを特徴とする。
【0015】請求項2記載の発明は、前記浮上用電磁石
の前記各レールと対向する面の形状を一辺が該各レール
の幅と等しい正方形状にしたことを特徴とする。
の前記各レールと対向する面の形状を一辺が該各レール
の幅と等しい正方形状にしたことを特徴とする。
【0016】
【作用】請求項1記載の構成によれば、単に旋回レール
のみを旋回させるだけで、台車を分岐方向へ送り出すこ
とができるので、可動部分が少なくて済み、発塵が抑え
られ、さらに、この旋回レールを支持する支持手段や、
旋回レールを旋回させる駆動手段も全て小型にすること
ができる。
のみを旋回させるだけで、台車を分岐方向へ送り出すこ
とができるので、可動部分が少なくて済み、発塵が抑え
られ、さらに、この旋回レールを支持する支持手段や、
旋回レールを旋回させる駆動手段も全て小型にすること
ができる。
【0017】請求項2記載の構成によれば、台車に設け
られる浮上用電磁石の各レール、と対向する面の形状を
一辺が該各レールの幅と等しい正方形状にすることによ
り、搬送路においても分岐路においても台車の横ゆれ幅
を小さくすることができる。
られる浮上用電磁石の各レール、と対向する面の形状を
一辺が該各レールの幅と等しい正方形状にすることによ
り、搬送路においても分岐路においても台車の横ゆれ幅
を小さくすることができる。
【0018】
【実施例】以下、図面を参照し、この発明の実施例につ
いて説明する。図1はこの発明の一実施例の外観構成を
示す一部切欠平面図、図2は同実施例の要部の構成を示
す正断面図である。
いて説明する。図1はこの発明の一実施例の外観構成を
示す一部切欠平面図、図2は同実施例の要部の構成を示
す正断面図である。
【0019】これらの図において、22L,22Rは搬
送路の分岐点に設けられた旋回レールであり、これら旋
回レール22L,22Rは、旋回駆動装置23L,23
Rによって、各々浮上用レール2L,2Rの架設面と同
じ水平面内において旋回自在に支持され、それらの旋回
中心は浮上用レール2L,2Rの延長線上にあって、台
車5の浮上用電磁石7c,7bの停止位置Pc,Pbに
各々位置している。そして、これら旋回レール22L,
22Rは、浮上用レール2L,2Rと各々平行な位置か
ら、図に2点鎖線によって示すように、分岐方向Bに沿
って架設された分岐レール22Lb,22Rbと各々平
行となる位置まで旋回駆動される。
送路の分岐点に設けられた旋回レールであり、これら旋
回レール22L,22Rは、旋回駆動装置23L,23
Rによって、各々浮上用レール2L,2Rの架設面と同
じ水平面内において旋回自在に支持され、それらの旋回
中心は浮上用レール2L,2Rの延長線上にあって、台
車5の浮上用電磁石7c,7bの停止位置Pc,Pbに
各々位置している。そして、これら旋回レール22L,
22Rは、浮上用レール2L,2Rと各々平行な位置か
ら、図に2点鎖線によって示すように、分岐方向Bに沿
って架設された分岐レール22Lb,22Rbと各々平
行となる位置まで旋回駆動される。
【0020】上記旋回駆動装置23Lは、図2に示すよ
うに構成されている。この図において、24は搬送路の
側方に配設された中空のフレームであり、その基底部か
ら上方へ延びる垂直部24aの内部にはモータ25が内
蔵されている。また、この垂直部24aの上端から側方
へ延びる水平部24bの先端部には、軸26,27が取
り付けられ、これら軸受26,27によって、垂直方向
へ配置された旋回軸28が回転自在に支持されている。 この旋回軸28には、スプロケット29が取り付けられ
ており、モータ25の回転軸に取り付けられたスプロケ
ット30およびチェーンベルト31を介して、モータ2
5の回転力が伝達されるようになっている。
うに構成されている。この図において、24は搬送路の
側方に配設された中空のフレームであり、その基底部か
ら上方へ延びる垂直部24aの内部にはモータ25が内
蔵されている。また、この垂直部24aの上端から側方
へ延びる水平部24bの先端部には、軸26,27が取
り付けられ、これら軸受26,27によって、垂直方向
へ配置された旋回軸28が回転自在に支持されている。 この旋回軸28には、スプロケット29が取り付けられ
ており、モータ25の回転軸に取り付けられたスプロケ
ット30およびチェーンベルト31を介して、モータ2
5の回転力が伝達されるようになっている。
【0021】また、旋回軸28の下端部は、フレーム2
4の水平部24bの下面から突出しており、その下端面
に旋回レール22Lが取り付けられている。さらに、旋
回軸28がフレーム24から突出している部分には、磁
性体シール32が取り付けられている。この磁性体シー
ル32は、磁性体を包含する潤滑油を、永久磁石の磁力
の作用により旋回軸28の周面との間の空隙内に保持す
るもので、これにより、フレーム24の内部が完全に密
封され、旋回軸28が突出している部分に取り付けられ
た軸受27の隙間からの発塵が抑えられている。また、
旋回駆動装置23Rも同様に構成されている。
4の水平部24bの下面から突出しており、その下端面
に旋回レール22Lが取り付けられている。さらに、旋
回軸28がフレーム24から突出している部分には、磁
性体シール32が取り付けられている。この磁性体シー
ル32は、磁性体を包含する潤滑油を、永久磁石の磁力
の作用により旋回軸28の周面との間の空隙内に保持す
るもので、これにより、フレーム24の内部が完全に密
封され、旋回軸28が突出している部分に取り付けられ
た軸受27の隙間からの発塵が抑えられている。また、
旋回駆動装置23Rも同様に構成されている。
【0022】このような構成において、台車5を分岐さ
せる場合は、まず、この分岐機構の手前に設けられた一
次側コイル15を逆相で励磁して矢印Fと逆方向の進行
磁界を発生させ、これにより台車5を充分に減速させた
後、この分岐機構に設けられた位置決め停止用電磁石(
図示略)の励磁電流を供給し、台車5を位置決め停止さ
せる。この場合、台車5の各浮上用電磁石7a〜7dが
図1に示す停止位置Pa〜Pdに各々位置する状態で、
台車5を位置決め停止させる。次に、旋回駆動装置23
L,23Rによって、旋回レール22L,22Rを図に
示す矢印R方向へ各々旋回駆動し、これら旋回レール2
2L,22Rを、図に2点鎖線で示すように、分岐方向
Bに沿って架設された分岐レール22Lb,22Rbと
各々平行となる位置で停止させる。その後、位置決め停
止用電磁石に対する励磁電流の供給を止め、図示せぬリ
ニアインダクションモータの一次側コイルによって図に
示す分岐方向Bに沿う進行磁界を発生させて、同方向に
台車5を走行させる。
せる場合は、まず、この分岐機構の手前に設けられた一
次側コイル15を逆相で励磁して矢印Fと逆方向の進行
磁界を発生させ、これにより台車5を充分に減速させた
後、この分岐機構に設けられた位置決め停止用電磁石(
図示略)の励磁電流を供給し、台車5を位置決め停止さ
せる。この場合、台車5の各浮上用電磁石7a〜7dが
図1に示す停止位置Pa〜Pdに各々位置する状態で、
台車5を位置決め停止させる。次に、旋回駆動装置23
L,23Rによって、旋回レール22L,22Rを図に
示す矢印R方向へ各々旋回駆動し、これら旋回レール2
2L,22Rを、図に2点鎖線で示すように、分岐方向
Bに沿って架設された分岐レール22Lb,22Rbと
各々平行となる位置で停止させる。その後、位置決め停
止用電磁石に対する励磁電流の供給を止め、図示せぬリ
ニアインダクションモータの一次側コイルによって図に
示す分岐方向Bに沿う進行磁界を発生させて、同方向に
台車5を走行させる。
【0023】一方、上記台車5の浮上用電磁石7a〜7
dの各々は、図1に示すように、旋回レール32L,3
2Rおよび浮上用レール2L,2Rと対向する面の縦横
比を1:1、すなわち正方形にしてその幅を各レールの
幅に合せている。この理由は、浮上用電磁石7a〜7d
の各々のレール対向面形状を長方形にして、その長さ方
向を浮上用レール2L,2Rの長さ方向に一致させた場
合、台車5が浮上用レール2L,2Rから旋回レール3
2L,32Rへ移動すると、当然、旋回レール32L,
32Rの長さ方向と一致する長さ(幅方向の長さ)が浮
上用レール2L,2Rの長さ方向と一致する長さ(長さ
方向の長さ)より短くなるので、台車5の横揺れに対す
る復元力が小さくなるからである。
dの各々は、図1に示すように、旋回レール32L,3
2Rおよび浮上用レール2L,2Rと対向する面の縦横
比を1:1、すなわち正方形にしてその幅を各レールの
幅に合せている。この理由は、浮上用電磁石7a〜7d
の各々のレール対向面形状を長方形にして、その長さ方
向を浮上用レール2L,2Rの長さ方向に一致させた場
合、台車5が浮上用レール2L,2Rから旋回レール3
2L,32Rへ移動すると、当然、旋回レール32L,
32Rの長さ方向と一致する長さ(幅方向の長さ)が浮
上用レール2L,2Rの長さ方向と一致する長さ(長さ
方向の長さ)より短くなるので、台車5の横揺れに対す
る復元力が小さくなるからである。
【0024】このような実施例によれば、台車5を分岐
方向Bへ送り出す場合、旋回レール22L,22Rを各
々旋回させるだけで良いので、従来のように、機構全体
を旋回させるものと比較して、可動部分や支持機構の重
量が低減され、さらに、モータ25も小型もので十分駆
動することが可能となる。また、外部に露出している可
動部分が旋回レール22L,22Rのみなので、発塵が
最小限に抑えられ、清掃し易い構造とすることができる
。
方向Bへ送り出す場合、旋回レール22L,22Rを各
々旋回させるだけで良いので、従来のように、機構全体
を旋回させるものと比較して、可動部分や支持機構の重
量が低減され、さらに、モータ25も小型もので十分駆
動することが可能となる。また、外部に露出している可
動部分が旋回レール22L,22Rのみなので、発塵が
最小限に抑えられ、清掃し易い構造とすることができる
。
【0025】また、台車5の浮上用電磁石7a〜7dの
各々の旋回レール32L,32Rおよび浮上用レール2
L,2Rと対向する面の形状を、一辺がこれらレールの
幅と等しい正方形状にすることにより、浮上用レール2
L,2Rにおいても旋回レール32L,32Rにおいて
も横揺れ幅を小さくすることができる。
各々の旋回レール32L,32Rおよび浮上用レール2
L,2Rと対向する面の形状を、一辺がこれらレールの
幅と等しい正方形状にすることにより、浮上用レール2
L,2Rにおいても旋回レール32L,32Rにおいて
も横揺れ幅を小さくすることができる。
【0026】
【発明の効果】この発明は上述したように構成されてい
るので、次に記載する効果を奏でる。請求項1記載の発
明によれば、単に旋回レールのみを旋回させるだけで、
台車を分岐方向へ送り出すことができるので、可動部分
が少なくて済み、発塵が最小限に抑えられ、また、清掃
も容易となるので、常に十分なクリーン度を維持するこ
とができ、さらに、この旋回レールを支持する支持手段
や、旋回レールを旋回させる駆動手段も全て小型に構成
することができるので、機構全体を小型かつ軽量に構成
することができ、特にクリーンルームの天井直下に設置
する場合に顕著な効果が得られる。請求項2記載の構成
によれば、台車に設けられる浮上用電磁石の各レールと
対向する面の形状を一辺を該各レールの幅と等しい正方
形状にしたので、搬送路においても分岐路においても、
台車の横ゆれ幅を小さくできるという効果が得られる。
るので、次に記載する効果を奏でる。請求項1記載の発
明によれば、単に旋回レールのみを旋回させるだけで、
台車を分岐方向へ送り出すことができるので、可動部分
が少なくて済み、発塵が最小限に抑えられ、また、清掃
も容易となるので、常に十分なクリーン度を維持するこ
とができ、さらに、この旋回レールを支持する支持手段
や、旋回レールを旋回させる駆動手段も全て小型に構成
することができるので、機構全体を小型かつ軽量に構成
することができ、特にクリーンルームの天井直下に設置
する場合に顕著な効果が得られる。請求項2記載の構成
によれば、台車に設けられる浮上用電磁石の各レールと
対向する面の形状を一辺を該各レールの幅と等しい正方
形状にしたので、搬送路においても分岐路においても、
台車の横ゆれ幅を小さくできるという効果が得られる。
【0027】
【図1】この発明の一実施例の外観構成を示す一部切欠
平面図である。
平面図である。
【図2】同実施例の要部の構成を示す正断面図である。
【図3】従来の磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す一
部切欠側面図である。
部切欠側面図である。
【図4】同磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す平面図
である。
である。
【図5】同磁気浮上式搬送装置の外観構成を示す正断面
図である。
図である。
【図6】同磁気浮上式搬送装置の浮上用電磁石の構成を
示す正断面図である。
示す正断面図である。
【図7】同磁気浮上式搬送装置の搬送ルートの一例を示
す図である。
す図である。
【図8】同磁気浮上式搬送装置の分岐機構の構成を示す
一部切欠平面図である。
一部切欠平面図である。
2L,2R 浮上用レール(レール
)5 台車7a〜
7d 浮上用電磁石22L,22R
旋回レール22Lb,22Rb 分岐レ
ール
)5 台車7a〜
7d 浮上用電磁石22L,22R
旋回レール22Lb,22Rb 分岐レ
ール
Claims (2)
- 【請求項1】 搬送路に沿って架設された浮上用レー
ルと、前記搬送路上を走行する台車に設けられ、前記浮
上用レールの下面を一定の垂直ギャップを隔てて磁気的
に吸引する浮上用電磁石とを有する磁気浮上式搬送装置
において、前記搬送路の分岐点に設けられた旋回レール
と、前記旋回レールを前記浮上用レールの架設面と同じ
水平面内であって、かつ前記浮上用レールの延長線上の
前記浮上用電磁石の停止位置を中心として旋回自在に支
持する支持手段と、前記旋回レールを、前記浮上用レー
ルと平行な方向、もしくは分岐方向へ旋回させる駆動手
段とを具備することを特徴とする磁気浮上式搬送装置の
分岐機構。 - 【請求項2】 前記浮上用電磁石の前記各レールと対
向する面の形状を一辺が該各レールの幅と等しい長さの
正方形状にしたことを特徴とする磁気浮上式搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09165191A JP3259284B2 (ja) | 1990-09-18 | 1991-03-29 | 磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2-247781 | 1990-09-18 | ||
JP24778190 | 1990-09-18 | ||
JP09165191A JP3259284B2 (ja) | 1990-09-18 | 1991-03-29 | 磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04222402A true JPH04222402A (ja) | 1992-08-12 |
JP3259284B2 JP3259284B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=26433086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09165191A Expired - Fee Related JP3259284B2 (ja) | 1990-09-18 | 1991-03-29 | 磁気浮上式搬送装置およびその分岐機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3259284B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101101917B1 (ko) * | 2009-10-01 | 2012-01-02 | 한국기계연구원 | 자기부상 반송 장치 |
CN105788803A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-07-20 | 西南交通大学 | 电磁道岔用电磁铁、电磁道岔及转辙方法 |
CN110989573A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-04-10 | 珠海格力电器股份有限公司 | 对象移动控制方法、装置、服务器及存储介质 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP09165191A patent/JP3259284B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101101917B1 (ko) * | 2009-10-01 | 2012-01-02 | 한국기계연구원 | 자기부상 반송 장치 |
CN105788803A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-07-20 | 西南交通大学 | 电磁道岔用电磁铁、电磁道岔及转辙方法 |
CN110989573A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-04-10 | 珠海格力电器股份有限公司 | 对象移动控制方法、装置、服务器及存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3259284B2 (ja) | 2002-02-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010619 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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