JPH04219495A - ターボ分子ポンプ用固定子 - Google Patents

ターボ分子ポンプ用固定子

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JPH04219495A
JPH04219495A JP3022212A JP2221291A JPH04219495A JP H04219495 A JPH04219495 A JP H04219495A JP 3022212 A JP3022212 A JP 3022212A JP 2221291 A JP2221291 A JP 2221291A JP H04219495 A JPH04219495 A JP H04219495A
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ターボ分子ポンプ用固
定子に関する。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプにおいて、回転子の羽
根車は、ポンプ収納部の内壁に対向して設置されたスペ
ーサリングに固定された固定子ディスクによってさし込
まれている。ポンプ収納部の内壁と、固定子ディスク及
びスペーサリングの周囲は、正確に機械加工されること
ができるが、一団の固定子の外表面とポンプ収納部の内
壁の間のすき間が、形成されないことは、実際的に不可
能である。ターボ分子ポンプの吸込み側と排出側の間に
存在する大きく異なる圧力のために、このようなすき間
を通って、逆流ガスが、排出側（低真空側）から吸込み
側（高真空側）へ向かって形成され、これは少量のガス
であるが、ポンプの方向と反対の流れであり、結果とし
て、ポンプの性能をかなり悪化させる。この問題を克服
するために、いくつかの提案がなされている。
【０００３】たとえば、米国特許第　４８３２５６４号
において、ポンプ作用が起こるように、一団の固定子の
外側とその内側の空間の間の連通を達成するために、ス
ペーサリングに半径方向ダクトが設けられる。これらの
ダクトを通るガスは、一団の固定子とポンプ収納部の間
に存在するすき間を通るより多いので、逆流ガスが固定
子内側の空間を通過する確率が高く、このように送り出
される。
【０００４】独国特許第　２２１４７０２号において、
吸込み側に向かう逆流ガスは、これに反して、ポンプ収
納部と一団の固定子の間に固定された環状シールガスケ
ットによって、止められる。
【０００５】それでも、これらの解決方法は、欠点がな
いわけではなく、第１のケースにおいては、スペーサリ
ングの特別な機械加工を必要とし、また第２のケースに
おいては、ポンプ収納部と一団の固定子の間に固定され
た環状ガスケットのシール欠陥の可能性がある。
【０００６】さらに、ターボ分子ポンプのための公知の
固定子ディスクは、スペーサリング間の組立てを困難な
ものとし、また回転子の二つの隣接する羽根車の間の適
切な中間位置に、各固定子ディスクを容易に位置決めす
ることができない実質的に平らな構造を有する。最終的
に、各固定子ディスクが二分割されるような構造のため
に、直径方向の分割線に沿って、一直線に並ばない可能
性がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、排出
側から吸込み側へのガスの逆流を、簡単な及び信頼性の
ある手段によって防止又は最小限とすることができる固
定子を提供することによって、ターボ分子ポンプのため
の公知の固定子の上述の欠点を防止又は少なくとも減少
することである。
【０００８】本発明のもう一つの目的は、スペーサリン
グ間の各一つの固定子ディスクの組立てを容易にする一
団の固定子を提供することである。
【０００９】本発明のさらにもう一つの目的は、二つの
隣接する回転子羽根車の間の最適な中間の位置に、位置
決めされるのに適した固定子ディスクを提供することで
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】以下の記述から明らかに
なる本発明の上述の及び他の目的と利点は、ターボ分子
ポンプ用の一団の固定子であって、羽根を有する複数の
固定子ディスクを具備し、それぞれが、円形の周囲縁を
有し、二つの部分から形成され、前記固定子ディスクに
よってさし込まれるスペーサリングによって固定され、
固定子ディスクの前記周囲縁には、前記スペーサリング
の間の固定のための連続の半径方向突起が設けられてい
るターボ分子ポンプ用の一団の固定子によって達成され
る。
【００１１】本発明のもう一つの特徴により、各固定子
ディスクの全体形状は、切頭円錐形である。本発明のさ
らなる特徴により、各固定子ディスクを形成する二つの
分離部分は、それらを常に一直線に保つ舌部によって連
結される。本発明の好適な実施態様は、添付図面を参照
して、限定されない例として述べられる。
【００１２】
【実施例】図１，２及び３を参照して、半円形の形状を
有し、図２に示したように一団の固定子を組立てるため
に連結されるのに適した二つの分離部分１及び２によっ
て、形成されるターボ分子ポンプ用固定子ディスクが図
示されている。各部分は、半円形の縁６，８及び６ａ　
，８ａ　と対向する側で終る複数の羽根４又は４ａ　を
、公知の方法で具備する。
【００１３】本発明の特徴により、各外側縁６，６ａ　
には、それぞれ、各固定子ディスクのための固定部材を
形成するために、それに図示されているように、このデ
ィスクの周囲全体に沿ってディスクの外方向に半径方向
に延在する突起又はタブ１０　，１０ａが設けられてい
る。
【００１４】図３に見られるように、本発明による固定
子ディスクは、固定子軸線と垂直な単一の平面に位置す
る外側縁６，６ａ　とタブ１０　，１０ａに関しての羽
根４，４ａ　の傾斜配置によって決定される切頭円錐形
状を有する。内側縁８，８ａ　は、外側縁６，６ａ　の
平面と平行な平面に位置する。各部分１，２には、それ
らの内側部分において二つの部分１及び２を連結するこ
と及び直径方向の分割線に沿ってそれらを同一平面に保
つことに適する舌部　１２，１２ａが、それらの縁に設
けられる。
【００１５】図４は、ターボ分子ポンプに組立てられた
本発明の一団の固定子を、概略的にまた部分的に図示す
る。
【００１６】参照番号１３は、その内に回転子が収納さ
れるターボ分子ポンプの筒状収納部を示し、これは、公
知の方法で、連続の羽根を有する羽根車１６と一体のそ
れ自身を支持する軸１５を具備する。各一対の隣接回転
子羽根車の間には、上述の固定子ディスクの一つが挿入
される。各固定子ディスクは、半径方向タブ１０，　１
０ａによって、二つのスペーサリング１８の間に固定さ
れる。 切頭円錐形状の固定子ディスクの構造は、一団の固定子
の組立てを実際に簡単なものとし、羽根車間のすき間を
最小とすることを可能とする。
【００１７】図５に、図４の拡大詳細図を示し、これは
、本発明の固定子が、排出側から到来する可能性のある
ガスの逆流を、ポンプの内側から送り出すことを可能と
することを図示する。参照番号２０は、一団の固定子と
ポンプの壁１３の間に存在するすき間（誇張拡大して図
示されている）を示す。高真空（上）側から排出又は真
空でない（下）側への矢印Ａによって図示される方向に
沿ってポンプ作用が起こる。どのようにしても、ガスの
逆流は、排出側から到来するように起こり、矢印Ｂで示
したように、吸込み側へ向けられる。このような逆流は
、結果として、ポンプによって達成される高い真空度を
悪化させる。固定子ディスクの述べられた構造のために
、逆流ガスは、それにもかかわらず、図５において矢印
Ｃで示したように、各タブ又は半径方向突起１０，　１
０ａの間に区画形成されるすき間を通過し、このように
ポンプの内側空間に達し、それらは再び矢印Ａの方向に
沿って送り出される。
【００１８】このように、固定子ディスクの構造を改良
するだけで、本発明による固定子は、ポンプ性能とその
組立ての両方に関しての利点を達成する。
【００１９】本発明の好適な実施態様が述べられたが、
もちろん、これは、添付された請求の範囲内で達成され
る数種の変形及び全くの変更を含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】分離されるように図示された二つの部分を有す
る本発明による固定子ディスクの平面図である。
【図２】連結された二つの部分を有する図１の固定子デ
ィスクの平面図である。
【図３】図２の線　ＩＩＩ−ＩＩＩ　に沿った断面図で
ある。
【図４】ターボ分子ポンプに取付けられた一団の固定子
部分の断面図である。
【図５】図４の拡大詳細図である。
【符号の説明】
１，２…二つの部分 ４，４ａ　…羽根 １０，　１０ａ…タブ １２，　１２ａ…舌部 １８…スペーサリング

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　ターボ分子ポンプのための一団の固定
    子であって、羽根を有する複数の固定子ディスクを具備
    し、各固定子が、円形の周囲縁を有し、二つの部分によ
    って形成され、前記固定子ディスクによってさし込まれ
    るスペーサリングによって固定され、固定子ディスクの
    前記周囲縁には、前記スペーサリング間における固定の
    ための連続の半径方向突起が設けられているターボ分子
    ポンプの一団の固定子。
  2. 【請求項２】　　前記スペーサリングへの前記固定子デ
    ィスクの固定が、前記スペーサリングの間の前記半径方
    向突起の位置決めだけによって完成される請求項１に記
    載の一団の固定子。
  3. 【請求項３】　　各固定子ディスクの全体形状が、切頭
    円錐形である請求項１に記載の一団の固定子。
  4. 【請求項４】　　各固定子ディスクを形成する前記二つ
    の部分のそれぞれが、それら自身の連結縁部に設けられ
    た舌部によって、一団の固定子の組立て状態において、
    他と連結される請求項１に記載の一団の固定子。
JP3022212A 1990-02-16 1991-02-15 ターボ分子ポンプ用固定子 Expired - Lifetime JPH0826876B2 (ja)

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IT67113A IT1241177B (it) 1990-02-16 1990-02-16 Statore per pompa turbomolecolare.
IT67113A/90 1990-02-16

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JPH04219495A true JPH04219495A (ja) 1992-08-10
JPH0826876B2 JPH0826876B2 (ja) 1996-03-21

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EP (1) EP0442556B1 (ja)
JP (1) JPH0826876B2 (ja)
AT (1) ATE103374T1 (ja)
DE (1) DE69101455T2 (ja)
ES (1) ES2050498T3 (ja)
IT (1) IT1241177B (ja)

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