JPH04217013A - 温調機能付き減圧弁 - Google Patents
温調機能付き減圧弁Info
- Publication number
- JPH04217013A JPH04217013A JP40302790A JP40302790A JPH04217013A JP H04217013 A JPH04217013 A JP H04217013A JP 40302790 A JP40302790 A JP 40302790A JP 40302790 A JP40302790 A JP 40302790A JP H04217013 A JPH04217013 A JP H04217013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- pressure
- reducing valve
- pressure reducing
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000006903 response to temperature Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、温調機能付き減圧弁に
関し、特に温度制御機能を備えたガス用減圧弁に関する
。
関し、特に温度制御機能を備えたガス用減圧弁に関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来の減圧弁は図２の断面図に示すよう
に、減圧弁自体には温度を制御する機能は設けられてい
ない。この減圧弁を温めるためには、減圧弁の本体４を
テープヒーター７等で巻き、これに温度設定器８から一
定の電流を流して加熱していた。また、ダイアフラム６
の変位に対応して開閉するバルブ５を高圧ガスが通過す
る際、高圧ガスは断熱膨張により減圧され低圧側に流れ
る構造になっていた。
に、減圧弁自体には温度を制御する機能は設けられてい
ない。この減圧弁を温めるためには、減圧弁の本体４を
テープヒーター７等で巻き、これに温度設定器８から一
定の電流を流して加熱していた。また、ダイアフラム６
の変位に対応して開閉するバルブ５を高圧ガスが通過す
る際、高圧ガスは断熱膨張により減圧され低圧側に流れ
る構造になっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の減圧弁では
、減圧したガスの温度を測定する手段は設けられていな
い。また、高圧ガスを減圧して流す場合、流れるガスは
減圧弁の中の図２に示すＡの部分で断熱膨張するため、
低圧ガス部で急激に温度が下がる。減圧しようとするガ
スがアンモニアガス等の低蒸気圧ガスの場合は、この部
分で液化してしまい、減圧弁の正常な機能が失なわれる
という問題があった。
、減圧したガスの温度を測定する手段は設けられていな
い。また、高圧ガスを減圧して流す場合、流れるガスは
減圧弁の中の図２に示すＡの部分で断熱膨張するため、
低圧ガス部で急激に温度が下がる。減圧しようとするガ
スがアンモニアガス等の低蒸気圧ガスの場合は、この部
分で液化してしまい、減圧弁の正常な機能が失なわれる
という問題があった。
【０００４】この液化を防止するために、減圧弁本体を
テープヒーター等で温めて対応している。しかし、テー
プヒーターの巻き付けは、スペース的にも困難な面が多
い。また、実際の加熱温度も、減圧弁の温度変化に対応
し制御されたものではなく、その温度も測定器を別に用
意しなければわからないという問題があった。
テープヒーター等で温めて対応している。しかし、テー
プヒーターの巻き付けは、スペース的にも困難な面が多
い。また、実際の加熱温度も、減圧弁の温度変化に対応
し制御されたものではなく、その温度も測定器を別に用
意しなければわからないという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の減圧弁は、減圧
弁本体に発熱体とその温度を感知する温度センサーを備
えている。また、この温度センサーを用い、発熱体の発
熱量を設定温度に制御し温度表示する温度コントローラ
ーを備えている。
弁本体に発熱体とその温度を感知する温度センサーを備
えている。また、この温度センサーを用い、発熱体の発
熱量を設定温度に制御し温度表示する温度コントローラ
ーを備えている。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は一実施例の減圧弁の断面図で温度コントローラ
ーが接続された状態を示している。高圧ガスは本体４の
入口から入り、低圧ガスの圧力下にあるダイヤフラム６
の変位に対応して開閉するバルブ５を介して低圧側に流
れる。このバルブ５を介して低圧側に流れ込む時にガス
が断熱膨張し、低圧ガスの温度は急激に下がる。このガ
スの温度低下は、本体４の自体の温度低下にもなり、本
体４の低圧側に埋設した温度センサー２にて本体４の温
度が感知される。
。図１は一実施例の減圧弁の断面図で温度コントローラ
ーが接続された状態を示している。高圧ガスは本体４の
入口から入り、低圧ガスの圧力下にあるダイヤフラム６
の変位に対応して開閉するバルブ５を介して低圧側に流
れる。このバルブ５を介して低圧側に流れ込む時にガス
が断熱膨張し、低圧ガスの温度は急激に下がる。このガ
スの温度低下は、本体４の自体の温度低下にもなり、本
体４の低圧側に埋設した温度センサー２にて本体４の温
度が感知される。
【０００７】予め所定の温度に設定した温度コントロー
ラー３に、この温度センサー２からの信号を取り込み、
本体４が設定温度になるよう減圧弁に組み込まれた発熱
体１に必要な発熱エネルギー（電気）を供給することに
より、減圧弁を一定温度に保つ。そして実際の加熱温度
を表示するようになっている。
ラー３に、この温度センサー２からの信号を取り込み、
本体４が設定温度になるよう減圧弁に組み込まれた発熱
体１に必要な発熱エネルギー（電気）を供給することに
より、減圧弁を一定温度に保つ。そして実際の加熱温度
を表示するようになっている。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、減圧弁本
体に発熱体と温度センサーを組み込んだので、減圧弁を
温めて使用する場合、別の発熱体を用意する必要もなく
、そのための取付けスペースで戸惑うこともない。また
、温度センサーと温度コントローラーにより、所定の温
度で減圧弁を維持することが出来るので、ガスの液化を
防ぐと共に、減圧弁の温度も確認出来るという効果を有
する。
体に発熱体と温度センサーを組み込んだので、減圧弁を
温めて使用する場合、別の発熱体を用意する必要もなく
、そのための取付けスペースで戸惑うこともない。また
、温度センサーと温度コントローラーにより、所定の温
度で減圧弁を維持することが出来るので、ガスの液化を
防ぐと共に、減圧弁の温度も確認出来るという効果を有
する。
【図１】本発明の一実施例の温度機能付き減圧弁の断面
図である。
図である。
【図２】従来の減圧弁の加熱機構を示す断面図である。
１ 発熱体
２ 温度センサー
３ 温度コントローラー
４ 本体
５ バルブ
６ ダイヤフラム
７ テープヒーター
８ 温度設定器
Claims (1)
- 【請求項１】 高圧ガスを所定の圧力まで減圧し一定
圧のガスを供給する減圧弁の本体に、発熱体と減圧弁本
体の温度を感知する温度センサーとを組み込み、この温
度センサーの信号により発熱体の発熱量を設定温度に制
御し、かつ減圧弁本体の温度を表示する温度コントロー
ラーを備えることを特徴とする温調機能付き減圧弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40302790A JPH04217013A (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | 温調機能付き減圧弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40302790A JPH04217013A (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | 温調機能付き減圧弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04217013A true JPH04217013A (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=18512776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40302790A Pending JPH04217013A (ja) | 1990-12-18 | 1990-12-18 | 温調機能付き減圧弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04217013A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107713A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-04-26 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス供給方法およびガス供給装置 |
| JP2007255666A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス供給装置およびガス供給方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59143795A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 発電機付きオ−トジヤイロプロペラ |
| JPS6465609A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-10 | Nec Yamagata Ltd | Pressure reducing valve for semiconductor producing gas |
-
1990
- 1990-12-18 JP JP40302790A patent/JPH04217013A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59143795A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 発電機付きオ−トジヤイロプロペラ |
| JPS6465609A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-10 | Nec Yamagata Ltd | Pressure reducing valve for semiconductor producing gas |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107713A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-04-26 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス供給方法およびガス供給装置 |
| JP2007255666A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス供給装置およびガス供給方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970114 |