JPH04204148A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH04204148A JPH04204148A JP2335462A JP33546290A JPH04204148A JP H04204148 A JPH04204148 A JP H04204148A JP 2335462 A JP2335462 A JP 2335462A JP 33546290 A JP33546290 A JP 33546290A JP H04204148 A JPH04204148 A JP H04204148A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
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- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、例えば、工作機械等により加工された後のワ
ーク表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関する。
ーク表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関する。
(従来の技術)
一般的に、生産工場等における製造加工ラインには、加
工後の製品の品質検査を行なう検査行程が設けられてい
るか、自動化の進んだ今日では、作業者による目視検査
に代わってカメラ等の工学機器を用いて製品の品質検査
を行なうようになっている。
工後の製品の品質検査を行なう検査行程が設けられてい
るか、自動化の進んだ今日では、作業者による目視検査
に代わってカメラ等の工学機器を用いて製品の品質検査
を行なうようになっている。
この品質検査の内、加工後の製品の表面にキズ等の欠陥
が存在しているか否かの検査をする表面欠陥検査がある
が、例えば、自動車のカムシャフトの表面欠陥検査は、
カムシャフトの被検査面に常に特定の方向から光を照射
し、この被検査面からの光をカメラによって入力し、こ
の入力した光をカメラ内部に設けられているラインセン
サによって受光し、ラインセンサにより光電変換された
電圧値をビデオ信号処理回路によって処理することによ
り、被検査面に欠陥があるかどうかの検査をしている。
が存在しているか否かの検査をする表面欠陥検査がある
が、例えば、自動車のカムシャフトの表面欠陥検査は、
カムシャフトの被検査面に常に特定の方向から光を照射
し、この被検査面からの光をカメラによって入力し、こ
の入力した光をカメラ内部に設けられているラインセン
サによって受光し、ラインセンサにより光電変換された
電圧値をビデオ信号処理回路によって処理することによ
り、被検査面に欠陥があるかどうかの検査をしている。
この検査において、例えば被検査面に欠陥がある場合に
は、その、欠陥部分で光が乱反射するので、ラインセン
サを構成する素子各部の受光量が不均一になり、このラ
インセンサから出力される電圧値も不均一になることか
ら、この電圧値をビデオ信号処理回路によって処理し、
この電圧値の不均一を検出すれば、欠陥の有無を検出で
きることになる。
は、その、欠陥部分で光が乱反射するので、ラインセン
サを構成する素子各部の受光量が不均一になり、このラ
インセンサから出力される電圧値も不均一になることか
ら、この電圧値をビデオ信号処理回路によって処理し、
この電圧値の不均一を検出すれば、欠陥の有無を検出で
きることになる。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来の表面欠陥検査装置にあ
っては、被検査面に光を照射する照明が固定となってお
り、被検査面に対して常に特定の方向から光を照射する
ようになっていた。換言すれば、被検査面に対するカメ
ラ及び光の照射位置相互の相対位置が常に一定となって
いたために、被検査面に、カメラ及び照明によって形成
される同一の照明条件下では検査不能な複数の欠陥を有
する場合には、それぞれの欠陥に対して最適な照明条件
で検査することができないという問題がある。
っては、被検査面に光を照射する照明が固定となってお
り、被検査面に対して常に特定の方向から光を照射する
ようになっていた。換言すれば、被検査面に対するカメ
ラ及び光の照射位置相互の相対位置が常に一定となって
いたために、被検査面に、カメラ及び照明によって形成
される同一の照明条件下では検査不能な複数の欠陥を有
する場合には、それぞれの欠陥に対して最適な照明条件
で検査することができないという問題がある。
すなわち、被検査面に対するカメラ及び光の照射位置相
互の相対位置が常に一定であると、例えば、スクラッチ
のような幅の狭いキズは乱反射の程度が大きくなるので
検出しやすいが、手研のような幅の比較的広いキズは乱
反射の程度が小さいので検出しにくなる場合も起こり得
るし、また照明条件によってはこの逆の場合゛も起こり
得ることになり、このように表面欠陥の種類によっては
検出不能な要素を内在している従来のものにあっては、
表面欠陥検査としての信頼性が欠けることになる。
互の相対位置が常に一定であると、例えば、スクラッチ
のような幅の狭いキズは乱反射の程度が大きくなるので
検出しやすいが、手研のような幅の比較的広いキズは乱
反射の程度が小さいので検出しにくなる場合も起こり得
るし、また照明条件によってはこの逆の場合゛も起こり
得ることになり、このように表面欠陥の種類によっては
検出不能な要素を内在している従来のものにあっては、
表面欠陥検査としての信頼性が欠けることになる。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みて成されたも
のであり、ワークが有する多種類の表面欠陥の種類に応
じて、それぞれの種類の表面欠陥検出に最適な照明条件
が設定された照明と複数台のカメラを当該ワークの周囲
に配置し、表面欠陥の種類の如何に拘らず、確実にその
欠陥を検出できるようにした表面欠陥検査装置を提供す
ることを目的とする。
のであり、ワークが有する多種類の表面欠陥の種類に応
じて、それぞれの種類の表面欠陥検出に最適な照明条件
が設定された照明と複数台のカメラを当該ワークの周囲
に配置し、表面欠陥の種類の如何に拘らず、確実にその
欠陥を検出できるようにした表面欠陥検査装置を提供す
ることを目的とする。
(課題を解決するための手段)
前記目的を達成するための本発明は、ワークが有する被
検査面に対して任意方向から光を照射する照明と、前記
被検査面の画像を前記照明により照射されて前記被検査
面から正反射する光の方向から入力する第1画像入力手
段と、前記の被検査面の画像を前記照明により照射され
て前記被検査面から乱反射する光の方向から入力する第
2画像入力手段と、当該画像入力手段に前記被検査面の
画像が入力されるように前記ワークを移動させる駆動手
段と、前記画像入力手段からの画像を入力し、ワークの
被検査面中の異常の有無を判断する判断手段とを有する
ことを特徴とするものである。
検査面に対して任意方向から光を照射する照明と、前記
被検査面の画像を前記照明により照射されて前記被検査
面から正反射する光の方向から入力する第1画像入力手
段と、前記の被検査面の画像を前記照明により照射され
て前記被検査面から乱反射する光の方向から入力する第
2画像入力手段と、当該画像入力手段に前記被検査面の
画像が入力されるように前記ワークを移動させる駆動手
段と、前記画像入力手段からの画像を入力し、ワークの
被検査面中の異常の有無を判断する判断手段とを有する
ことを特徴とするものである。
(作用)
このように構成すると、ワークの被検査面には照明によ
って任意方向から光が照射され、第1画像手段はこの光
がワークの被検査面で正反射する方向からワークの被検
査面の画像を入力し、第2画像手段はこの光がワークの
被検査面で乱反射する方向からワークの被検査面の画像
を入力することになるので、それぞれ異なる照明条件下
でワークの被検査面の表面欠陥検査が行なわれることに
なる。そして、駆動手段によってワークを一回転させる
と、このそれぞれ異なった照明条件下での複数の被検査
面画像が判断手段に入力される。このように、各カメラ
は被検査面を異なる照明条件の下で検査できるので、ど
のような種類の欠陥であってもその検出が可能となり、
表面欠陥検出の信頼性が向上する。
って任意方向から光が照射され、第1画像手段はこの光
がワークの被検査面で正反射する方向からワークの被検
査面の画像を入力し、第2画像手段はこの光がワークの
被検査面で乱反射する方向からワークの被検査面の画像
を入力することになるので、それぞれ異なる照明条件下
でワークの被検査面の表面欠陥検査が行なわれることに
なる。そして、駆動手段によってワークを一回転させる
と、このそれぞれ異なった照明条件下での複数の被検査
面画像が判断手段に入力される。このように、各カメラ
は被検査面を異なる照明条件の下で検査できるので、ど
のような種類の欠陥であってもその検出が可能となり、
表面欠陥検出の信頼性が向上する。
(実施例)
以下に、本発明に係る表面欠陥検査装置を図面に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第1図は、本発明の表面欠陥検査装置を加工ラインに適
用した場合の一例を示している。
用した場合の一例を示している。
ワークであるピストン1は、洗浄機2によって表面の洗
浄が行なわれた後、搬送装置3の所定位置で待機し、ロ
ーダ4によって検査台5の駆動手段としての回転台6に
載置される。そして、回転台6によってワークが一回転
する間に、この回転台6の周囲に備えられている複数台
のカメラ7によってこのピストン1の被検査面の表面欠
陥検査が行なわれ、この検査結果がOKであればピスト
ン1は振分はプッシャー8によって防錆油槽9に送られ
、NGであればピストン1は振分はプッシャー8によっ
てワークスドックエリア10に送られる。
浄が行なわれた後、搬送装置3の所定位置で待機し、ロ
ーダ4によって検査台5の駆動手段としての回転台6に
載置される。そして、回転台6によってワークが一回転
する間に、この回転台6の周囲に備えられている複数台
のカメラ7によってこのピストン1の被検査面の表面欠
陥検査が行なわれ、この検査結果がOKであればピスト
ン1は振分はプッシャー8によって防錆油槽9に送られ
、NGであればピストン1は振分はプッシャー8によっ
てワークスドックエリア10に送られる。
そして、OKのものはパレタイズロボット11によって
パレット12に収納され、NGのものは作業者によって
作業台13で目視検査の後、防錆油槽14に入れられて
、パレット15に収納される。
パレット12に収納され、NGのものは作業者によって
作業台13で目視検査の後、防錆油槽14に入れられて
、パレット15に収納される。
第2図は、本発明に係る表面欠陥検査装置を備えた検査
ステージの概略構成図を示す。
ステージの概略構成図を示す。
この検査ステージは、同図に示すように、ピストン1を
支持すると共に回転させる回転台6が備えられており、
この回転台6は、モータ20によって回転するようにな
っている。また、この回転台6には、エアーチャック2
1が設けられており、このエアーチャック21によって
ピストン1が支持される。
支持すると共に回転させる回転台6が備えられており、
この回転台6は、モータ20によって回転するようにな
っている。また、この回転台6には、エアーチャック2
1が設けられており、このエアーチャック21によって
ピストン1が支持される。
この回転台6の周囲には、図示するように、照明として
のランプ22によってたとえば水平に光が照射されたピ
ストン1の被検査面Sの画像を入力する2台のカメラ7
aと7bとがそれぞれ配置され、このランプ22とそれ
ぞれのカメラ7a。
のランプ22によってたとえば水平に光が照射されたピ
ストン1の被検査面Sの画像を入力する2台のカメラ7
aと7bとがそれぞれ配置され、このランプ22とそれ
ぞれのカメラ7a。
7bの被検査面Sに対する照明条件は、被検査面Sの有
する種々の表面欠陥を検出するのに最適となるように設
定されている。
する種々の表面欠陥を検出するのに最適となるように設
定されている。
この設定の詳細は第3図(A)に示すように、ランプ2
2は、ピストン1の被検査面Sに対して水平方向から光
を照射する位置に設けられ、正反射センサと称されるカ
メラ7aは、このランプ22から照射されて被検査面S
から正反射してきた光を受は得る位置に配置され、乱反
射センサと称されるカメラ7bは、このランプ22から
照射されて被検査面Sから反射してきた乱反射光を受は
得る位置に配置されている。なお、このランプ22から
の光はスポット光である。
2は、ピストン1の被検査面Sに対して水平方向から光
を照射する位置に設けられ、正反射センサと称されるカ
メラ7aは、このランプ22から照射されて被検査面S
から正反射してきた光を受は得る位置に配置され、乱反
射センサと称されるカメラ7bは、このランプ22から
照射されて被検査面Sから反射してきた乱反射光を受は
得る位置に配置されている。なお、このランプ22から
の光はスポット光である。
このような位置にランプ22及びカメラ7a。
7bを配置すると、被検査面Sにスクラッチなどの深く
小さい欠陥aが存在する場合には、図にも示すようにこ
れらの欠陥aの部分に光が照射されると、この部分で乱
反射を起すことから、正反射センサであるカメラ7aに
入力される部分的な光量が減ることになる。この場合に
おけるカメラ7aが1スキヤンする間に受光する部分的
な光量を二次元展開すると、第3図(B)に概略的に示
すことができ、乱反射を起した欠陥aの部分に相当する
位置での光量が減じている。したがってこのような照明
条件の下ではスクラッチのような深く小さな欠陥aを容
易に検出することが可能となる。
小さい欠陥aが存在する場合には、図にも示すようにこ
れらの欠陥aの部分に光が照射されると、この部分で乱
反射を起すことから、正反射センサであるカメラ7aに
入力される部分的な光量が減ることになる。この場合に
おけるカメラ7aが1スキヤンする間に受光する部分的
な光量を二次元展開すると、第3図(B)に概略的に示
すことができ、乱反射を起した欠陥aの部分に相当する
位置での光量が減じている。したがってこのような照明
条件の下ではスクラッチのような深く小さな欠陥aを容
易に検出することが可能となる。
また、被検査面Sに平研などの浅く広範囲の欠陥すが存
在する場合には、図にも示すようにこれらの欠陥すの部
分に光が照射されると、この部分で乱反射を起すことか
ら、乱反射センサであるカメラ7bに入力される部分的
な光量が欠陥のない場合に比較して増える三とになる。
在する場合には、図にも示すようにこれらの欠陥すの部
分に光が照射されると、この部分で乱反射を起すことか
ら、乱反射センサであるカメラ7bに入力される部分的
な光量が欠陥のない場合に比較して増える三とになる。
この場合におけるカメラ7bが1スキヤンする間に受光
する部分的な光量は第3図(C)に反転させて概略的に
示すことができ、乱反射を起した欠陥すの部分に相当す
る位置での光量が増加している。したがってこのような
照明条件の下では平研などの浅く広範囲の欠陥すを容易
に検出することが可能となる。
する部分的な光量は第3図(C)に反転させて概略的に
示すことができ、乱反射を起した欠陥すの部分に相当す
る位置での光量が増加している。したがってこのような
照明条件の下では平研などの浅く広範囲の欠陥すを容易
に検出することが可能となる。
第4図は、−本発明に係る表面欠陥検査装置における制
御系のブロック図を示す。
御系のブロック図を示す。
同図に示すように、判断手段としての制御装置40内に
設けられている入出力装置3oには、第1画像入力手段
としてのカメラ7a、第2画像入力手段としてのカメラ
7b、ワークであるピストン1を回転させるモータ20
.このモータ2oの回転角度及び回転速度を検出するエ
ンコーダ31、ピストン1の被検査面に光を照射するラ
ンプ22及び検査結果を表示する表示装置32が外部か
ら接続され、これらの機器にあるいはこれらの機器から
の信号は、この入出力装置3oを介して授受される。
設けられている入出力装置3oには、第1画像入力手段
としてのカメラ7a、第2画像入力手段としてのカメラ
7b、ワークであるピストン1を回転させるモータ20
.このモータ2oの回転角度及び回転速度を検出するエ
ンコーダ31、ピストン1の被検査面に光を照射するラ
ンプ22及び検査結果を表示する表示装置32が外部か
ら接続され、これらの機器にあるいはこれらの機器から
の信号は、この入出力装置3oを介して授受される。
また、この入出力装置3oには、カメラ7a。
7bの画像信号を処理する画像処理部33と、モータ2
0.ランプ22及び表示装置32の動作を制御する機器
制御部34とが接続されており、画像処理部33及び機
器制御部34には、画像処理部33からの信号によって
ピストン1の被検査面のキズの有無を検出するキズ検出
部35が接続されている。そして、機器制御部34は、
画像処理部33及びキズ検出部35からの信号に基づい
てモータ20の回転速度や表示装置32等の動作を制御
する。
0.ランプ22及び表示装置32の動作を制御する機器
制御部34とが接続されており、画像処理部33及び機
器制御部34には、画像処理部33からの信号によって
ピストン1の被検査面のキズの有無を検出するキズ検出
部35が接続されている。そして、機器制御部34は、
画像処理部33及びキズ検出部35からの信号に基づい
てモータ20の回転速度や表示装置32等の動作を制御
する。
以上のように構成された本発明の表面欠陥検査装置は、
第5図に示す動作フローチャートのように動作して被検
査面の表面欠陥検査を行なう。以下に、この動作を第2
図から第4図を参照しつつ説明する。
第5図に示す動作フローチャートのように動作して被検
査面の表面欠陥検査を行なう。以下に、この動作を第2
図から第4図を参照しつつ説明する。
ステップ1
まず、作業の開始が指令され、プログラムがスタートす
ると、第4図に示す制御装置40及びこの制御装置40
に接続される全ての機器の動作状態を初期化し、検査処
理の準備を行なう。そして、ピストン1が第2図に示す
ようにエアーチャック21によって回転台6に支持され
ると、機器制御部34は入出力装置30を介してランプ
22を点灯させると共にモータ20を駆動してピストン
1を回転させる。
ると、第4図に示す制御装置40及びこの制御装置40
に接続される全ての機器の動作状態を初期化し、検査処
理の準備を行なう。そして、ピストン1が第2図に示す
ようにエアーチャック21によって回転台6に支持され
ると、機器制御部34は入出力装置30を介してランプ
22を点灯させると共にモータ20を駆動してピストン
1を回転させる。
ステップ2
カメラ7a、7bのそれぞれは、第3図に示したように
、ランプ22による被検査面Sにおける所定範囲からの
正反射光及び乱反射光を受光し、これをカメラの内部に
設けられているCCD等の素子によって光電変換し、こ
の変換後の信可を入出力部30に出力する。
、ランプ22による被検査面Sにおける所定範囲からの
正反射光及び乱反射光を受光し、これをカメラの内部に
設けられているCCD等の素子によって光電変換し、こ
の変換後の信可を入出力部30に出力する。
ステップ3
画像処理部33は、ステップ2において出力された各カ
メラ7a、7bからのそれぞれの信号を画像データとし
て記憶する。そして、この記憶処理が終了すると、画像
処理部33は機器制御部34に信号を出力し、機器制御
部34は入出力装置30を介してモータ20を回転させ
る。これにより、各カメラ7 a s 7 bは異なる
領域における正反射光及び乱反射光を入力することにな
る。
メラ7a、7bからのそれぞれの信号を画像データとし
て記憶する。そして、この記憶処理が終了すると、画像
処理部33は機器制御部34に信号を出力し、機器制御
部34は入出力装置30を介してモータ20を回転させ
る。これにより、各カメラ7 a s 7 bは異なる
領域における正反射光及び乱反射光を入力することにな
る。
ステップ4
機器制御部34は、エンコーダ31からの信号に基づい
て、カメラ7a、7bによってピストン1の被検査面S
の全ての部分の画像データが取られたかどうかを判断す
る。換言すれば、ピストン1が原位置から一回転したか
どうかの判断をする。
て、カメラ7a、7bによってピストン1の被検査面S
の全ての部分の画像データが取られたかどうかを判断す
る。換言すれば、ピストン1が原位置から一回転したか
どうかの判断をする。
この判断の結果、被検査面Sの全ての部分の画像データ
が取られていなければステップ2からステップ4までの
処理を繰返し、被検査面Sの全ての部分の画像データが
取られたら、機器制御部34は画像処理部33に終了信
号を出力するとともに入出力装置30を介してモータ2
0の回転を停止し、次のステップに進む。
が取られていなければステップ2からステップ4までの
処理を繰返し、被検査面Sの全ての部分の画像データが
取られたら、機器制御部34は画像処理部33に終了信
号を出力するとともに入出力装置30を介してモータ2
0の回転を停止し、次のステップに進む。
ステップ5
画像処理部33は、ステップ2及びステップ3の処理に
おいて記憶した全画像データを処理し、そのデータをキ
ズ検出部35に出力する。
おいて記憶した全画像データを処理し、そのデータをキ
ズ検出部35に出力する。
この画像処理部33における画像データの処理は第6図
の画像処理アルゴリズムに示すように、カメラ7aから
の信号を記憶した画像データは、その電圧値が所定のし
きい値より大きい(明るい)場合に論理1を、または、
所定のしきい値より小さい(暗い)場合に論理Oを割当
てる正論理動作によって二値化処理が行なわれる。一方
、カメラ7bからの信号を記憶した画像データは、その
電圧値が所定のしきい値より大きい(明るい)場合に論
理0を、また、所定のしきい値より小さい(llSい)
場合に論理1を割当てる負論理動作によって2値化処理
が行われる。さらに、これらの2値化信号は画像処理部
33において論理積処理が行われ、そのデータがキス検
出部35に出力されることになる。
の画像処理アルゴリズムに示すように、カメラ7aから
の信号を記憶した画像データは、その電圧値が所定のし
きい値より大きい(明るい)場合に論理1を、または、
所定のしきい値より小さい(暗い)場合に論理Oを割当
てる正論理動作によって二値化処理が行なわれる。一方
、カメラ7bからの信号を記憶した画像データは、その
電圧値が所定のしきい値より大きい(明るい)場合に論
理0を、また、所定のしきい値より小さい(llSい)
場合に論理1を割当てる負論理動作によって2値化処理
が行われる。さらに、これらの2値化信号は画像処理部
33において論理積処理が行われ、そのデータがキス検
出部35に出力されることになる。
ステップ6
キズ検出部35は、このデータに基づいてキズの有無を
判定し、その結果を機器制御部34に出力する。そして
、機器制御部34は、入出力装置30を介して表示装置
32を作動させ、表示装置32に検査結果を表示させる
。
判定し、その結果を機器制御部34に出力する。そして
、機器制御部34は、入出力装置30を介して表示装置
32を作動させ、表示装置32に検査結果を表示させる
。
このように、1台のランプに対応する正反射センサと乱
反射センサを配置することにより被検査面Sに対して複
数の照明条件を設定し、この設定されたそれぞれの照明
条件の下においてこの被検査面Sの画像をカメラによっ
て入力し、この画像を制御装置40によって処理して種
々の表面欠陥を検査すると、カメラは、同一の被検査面
Sを複数の照明条件下で見ることになり、種々の欠陥を
検出することが容易となるので、表面欠陥検査の信頼性
が向上することになる。
反射センサを配置することにより被検査面Sに対して複
数の照明条件を設定し、この設定されたそれぞれの照明
条件の下においてこの被検査面Sの画像をカメラによっ
て入力し、この画像を制御装置40によって処理して種
々の表面欠陥を検査すると、カメラは、同一の被検査面
Sを複数の照明条件下で見ることになり、種々の欠陥を
検出することが容易となるので、表面欠陥検査の信頼性
が向上することになる。
なお、本実施例中ワークの一例としてピストンを例示し
たか、これに限らず、二次元及び三次元平面を有する形
状のものであればどのようなものであっても本発明の表
面欠陥検査装置の適用は可能である。
たか、これに限らず、二次元及び三次元平面を有する形
状のものであればどのようなものであっても本発明の表
面欠陥検査装置の適用は可能である。
また、本実施例においては、被検査面に対して水平方向
から照射するランプに対応する2台のカメラを配置する
照明条件を例示したが、これに限らず、斜上方向又は斜
下方向から照射する位置にランプを配置することも可能
であり、2台以上のカメラを配置してもよい。しかも、
被検査面に対して水平方向から照射するランプに対応す
るカメラを配置するとともに、他の位置でたとえば斜上
方向から照射するランプに対応するカメラを配置するこ
とも可能である。
から照射するランプに対応する2台のカメラを配置する
照明条件を例示したが、これに限らず、斜上方向又は斜
下方向から照射する位置にランプを配置することも可能
であり、2台以上のカメラを配置してもよい。しかも、
被検査面に対して水平方向から照射するランプに対応す
るカメラを配置するとともに、他の位置でたとえば斜上
方向から照射するランプに対応するカメラを配置するこ
とも可能である。
さらには、画像処理は、ワークの被検査面における全画
像データを記憶の後行なうような処理を例示したが、カ
メラによって得られる画像データをリアルタイムで処理
するようにしても良いのはもちろんである。
像データを記憶の後行なうような処理を例示したが、カ
メラによって得られる画像データをリアルタイムで処理
するようにしても良いのはもちろんである。
(発明の効果)
以上の説明により明らかなように、本発明によれば、ワ
ークが有する多種類の表面欠陥の種類に応じてそれぞれ
の種類の表面欠陥検圧に最適な照明条件が設定された照
明と複数台の画像入力手段とを当該ワークの周囲に配置
し、駆動手段によってワークを移動させ、判断手段によ
って表面欠陥検出を行なうようにしたので、画像入力手
段は同一の被検査面Sを複数の照明条件下で見ることか
できることから、表面欠陥の種類の如何に拘らず確実に
その欠陥を検出できることになる。
ークが有する多種類の表面欠陥の種類に応じてそれぞれ
の種類の表面欠陥検圧に最適な照明条件が設定された照
明と複数台の画像入力手段とを当該ワークの周囲に配置
し、駆動手段によってワークを移動させ、判断手段によ
って表面欠陥検出を行なうようにしたので、画像入力手
段は同一の被検査面Sを複数の照明条件下で見ることか
できることから、表面欠陥の種類の如何に拘らず確実に
その欠陥を検出できることになる。
第1図は、本発明に係る表面欠陥検査装置を加工ライン
に適用した場合の一例を示す図、第2図は、本発明に係
る表面欠陥検査装置を備えた検査ステージの概略構成図
、 第3図(A)は、第2図に示した検査ステージにおける
ランプとカメラとの設定状況を示す図、第3図(B)は
正反射光を受光するカメラが受光した光量を示す概略図
、 第3図(C)は乱反射光を受光するカメラが受光した光
量を示す概略図、 第4図は、本発明に係る表面欠陥検査装置における制御
系のブロック図、 第5図は、第4図に示した制御系の動作フローチャート
、 第6図は、第5図に示したステップ5の画像処理のアル
ゴリズム。 1・・・ピストン(ワーク)、 6・・・回転台(駆動手段)、 7a・・・カメラ(第1画像入力手段)、7b・・・カ
メラ(第2画像入力手段)、22・・・ランプ(照明)
、 40・・・制御装置(判断手段)、 S・・・被検査面。 第2図 第4図 第6図 がう7bの21811す 手続補正書 平成3年2月7日 平成2年 特許願 第335.462号表面欠陥検査装
置 傷賭 入来 豊 自発補正
に適用した場合の一例を示す図、第2図は、本発明に係
る表面欠陥検査装置を備えた検査ステージの概略構成図
、 第3図(A)は、第2図に示した検査ステージにおける
ランプとカメラとの設定状況を示す図、第3図(B)は
正反射光を受光するカメラが受光した光量を示す概略図
、 第3図(C)は乱反射光を受光するカメラが受光した光
量を示す概略図、 第4図は、本発明に係る表面欠陥検査装置における制御
系のブロック図、 第5図は、第4図に示した制御系の動作フローチャート
、 第6図は、第5図に示したステップ5の画像処理のアル
ゴリズム。 1・・・ピストン(ワーク)、 6・・・回転台(駆動手段)、 7a・・・カメラ(第1画像入力手段)、7b・・・カ
メラ(第2画像入力手段)、22・・・ランプ(照明)
、 40・・・制御装置(判断手段)、 S・・・被検査面。 第2図 第4図 第6図 がう7bの21811す 手続補正書 平成3年2月7日 平成2年 特許願 第335.462号表面欠陥検査装
置 傷賭 入来 豊 自発補正
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ワークが有する被検査面に対して任意方向から光を照射
する照明と、 前記被検査面の画像を前記照明により照射されて前記被
検査面から正反射する光の方向から入力する第1画像入
力手段と、 前記の被検査面の画像を前記照明により照射されて前記
被検査面から乱反射する光の方向から入力する第2画像
入力手段と、 当該画像入力手段に前記被検査面の画像が入力されるよ
うに前記ワークを移動させる駆動手段と、前記画像入力
手段からの画像を入力し、ワークの被検査面中の異常の
有無を判断する判断手段とを有することを特徴とする表
面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2335462A JP2855851B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2335462A JP2855851B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04204148A true JPH04204148A (ja) | 1992-07-24 |
JP2855851B2 JP2855851B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=18288832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2335462A Expired - Lifetime JP2855851B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2855851B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0981736A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Fuji Electric Co Ltd | 傷検査装置 |
JP2006258486A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Nagoya City | 座標計測装置と座標計測方法 |
JP2007271510A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tsubakimoto Chain Co | 外観検査方法及び外観検査装置 |
JP2008046103A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | 表面検査装置 |
CN103278508A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-04 | 山东大学 | 一种发动机活塞装配自动视觉检测装置 |
CN103472066A (zh) * | 2013-09-10 | 2013-12-25 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种rfid物流平托盘可续用性全自动检测***及方法 |
CN104741323A (zh) * | 2013-12-28 | 2015-07-01 | 芜湖顺荣汽车部件股份有限公司 | 一种汽车燃油箱照相对比检测方法 |
JP2021021729A (ja) * | 2019-07-24 | 2021-02-18 | 開必拓數據股▲分▼有限公司 | 移動物品分類システム及び方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6238348A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Mitsubishi Metal Corp | 光学的表面欠陥検査方法 |
JPH01313739A (ja) * | 1988-06-14 | 1989-12-19 | Ono Sokki Co Ltd | 円筒体周面検査方法及びその装置 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP2335462A patent/JP2855851B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2021021729A (ja) * | 2019-07-24 | 2021-02-18 | 開必拓數據股▲分▼有限公司 | 移動物品分類システム及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2855851B2 (ja) | 1999-02-10 |
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