JPH042035U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH042035U JPH042035U JP4178490U JP4178490U JPH042035U JP H042035 U JPH042035 U JP H042035U JP 4178490 U JP4178490 U JP 4178490U JP 4178490 U JP4178490 U JP 4178490U JP H042035 U JPH042035 U JP H042035U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- self
- carrier
- during
- propulsion
- recognizing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
Description
第1図は本考案の自走台車の実施例を示す概略
図、第2図は従来の自走台車の概略図、第3図は
本考案の自走台車によるキヤリア識別の実施例を
示す概略図、第4図は本考案の自走台車によるキ
ヤリア識別の実施例を示す概略図。 11,21……自走部、12,22……キヤリ
ア用置き台、14,24,34,44……半導体
ウエハ、15,25,35,45……キヤリア、
16,36,46……キヤリア識別記号、17,
37,47……キヤリア認識装置。
図、第2図は従来の自走台車の概略図、第3図は
本考案の自走台車によるキヤリア識別の実施例を
示す概略図、第4図は本考案の自走台車によるキ
ヤリア識別の実施例を示す概略図。 11,21……自走部、12,22……キヤリ
ア用置き台、14,24,34,44……半導体
ウエハ、15,25,35,45……キヤリア、
16,36,46……キヤリア識別記号、17,
37,47……キヤリア認識装置。
Claims (1)
- 自走中またはキヤリア受渡し時に半導体ウエハ
用キヤリアの識別記号を認識する機能を持つこと
を特徴とする自走台車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4178490U JPH042035U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4178490U JPH042035U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH042035U true JPH042035U (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=31552751
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4178490U Pending JPH042035U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH042035U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10289939A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送台車 |
JP2020523780A (ja) * | 2017-05-31 | 2020-08-06 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント(グループ)カンパニー リミティド | ハンドリング装置及びハンドリング装置のためのハンドリング方法 |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP4178490U patent/JPH042035U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH10289939A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送台車 |
JP2020523780A (ja) * | 2017-05-31 | 2020-08-06 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント(グループ)カンパニー リミティド | ハンドリング装置及びハンドリング装置のためのハンドリング方法 |