JPH04201071A - Polishing jig and method for magnetic head slider - Google Patents
Polishing jig and method for magnetic head sliderInfo
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Classifications
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- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
この発明は磁気ヘッドスライダーを研摩するための研摩
治具及び研摩方法に関する。The present invention relates to a polishing jig and a polishing method for polishing a magnetic head slider.
磁気ディスクは磁性円板に円に沿って情報を記録するよ
うにしたものであり、書込み、読出しは磁気ヘッドによ
って行い、磁気ヘッドは磁気ディスクの半径方向に繰り
出されるようになっているアクセルアームに取り付けら
れている。
ハードディスク用磁気ヘッドは媒体との接触による損傷
を避けるため、浮動ヘッドが用いられる。
これはスライダー前部の傾斜面でディスクの回転による
空気流が圧縮されることで生ずる浮上刃と、ヘッドをデ
ィスクに押し付けるばねの力とのバランスで０．４μｍ
程度の浮上量を得ている。
セラミックウェーハをフォトリソ加工によりコイル、磁
性層、絶縁を施して薄膜磁気ヘッドの基板を製作し、こ
の基板を切断研削、研摩テーバ加工して磁気ヘッドスラ
イダ−（以下スライダーという）を製作する。
第１１図は薄膜スライダーの斜視図である。スライダー
８ａは、スライダー浮上面８ｂ、スライダー傾斜面８ｃ
、みぞ８ｄ及び磁極８ｅを備えて１いる。薄いフィルム
スライダーは長さが４ｍｏ＋で、１ないし２の読み書き
ヘッドを端部につけている。
スライダーは機械加工及びラッピングにより非常に硬い
表面仕様を持つスライダー浮上面８ｂを形成している。
このスライダー浮上面８ｂが磁気ディスクの表面をスラ
イダーが如何に飛ぶかを決める。代表的な飛ぶ高さは０
．２５４マイクロメータである。そしてデスクデータ密
度の増加とともにこの高さを減少させている。浮上面の
前の端（即ち読み、書きヘッドに対向する端）は通常、
主要な表面に対し僅かな角度磨かれている。この角はＲ
ＡＭＰまたはテーパ面角と呼ばれ１度のオーダである。
この面はスライダー傾斜面８ｃといい、スライダーを止
まったディスクから離れさすのを助けるため、スライダ
ーの飛行特性に重要である。
ＲＡＭＰ角は顕微干渉計によって簡単にかつ正確に測定
できる。
第９図は従来の磁気ヘッドスライダ−の研磨治具の平面
図、第１０図は第９図の研摩治具によるスライダー浮上
面の研摩方法を示す構成図である。
第９図において、円筒形で平面度が保証されている台盤
１からなる研摩治具１９の基準面にワックスのような熱
軟化性の接着材１８を薄く塗布し、この面に台盤１の外
周を３分割するような位置に、短冊状のスライダーブラ
ンク材８を配置し、固着させ、ラップ盤によってスライ
ダー浮上面の研摩を行っていた。
ラップ仕上げは、工作物の表面をラップ（一般に鋳鉄、
銅合金などの比較的軟らかい金属や硬木、木炭などの比
金属材料）に押し付けて、両者の間にランプ剤を加えて
両者を相対運動させ、う、ブ剤によって工作物表面から
ごく微量の切りくずを取り去り、滑らかな面を仕上げる
加工力である。
第１０図において、スライダーブランク材８を接着剤１
８で接着させた台盤Ｉの支持穴７を支持アーム１３の端
部の球状の支持部１３ａで支持し、ラップ定１１４を回
転させ、ノズル１５からスラリー１６を加えてスライダ
ー浮上面を研磨している。ラップ定盤１４を回転させる
と、内径側のスライダーブランク材８と外径側のスライ
ダーブランク材８との周速の差により研摩治具１９は自
転する。A magnetic disk is a magnetic disk that records information along a circle. Writing and reading are performed by a magnetic head, and the magnetic head is attached to an accelerator arm that extends in the radial direction of the magnetic disk. attached. A floating head is used for a magnetic head for a hard disk to avoid damage due to contact with the medium. This is 0.4 μm due to the balance between the floating blade created by compressing the airflow due to the rotation of the disk on the slope at the front of the slider, and the force of the spring that presses the head against the disk.
A certain amount of floating height was obtained. A ceramic wafer is photolithographically processed to provide a coil, magnetic layer, and insulation to produce a substrate for a thin-film magnetic head, and this substrate is cut, ground, and polished to produce a magnetic head slider (hereinafter referred to as slider). FIG. 11 is a perspective view of the thin film slider. The slider 8a has a slider floating surface 8b and a slider inclined surface 8c.
, a groove 8d and a magnetic pole 8e. The thin film slider is 4mo+ long and has one or two read/write heads at the end. The slider has a slider air bearing surface 8b having a very hard surface specification by machining and lapping. This slider air bearing surface 8b determines how the slider flies over the surface of the magnetic disk. Typical flying height is 0
．． It is 254 micrometers. And this height is decreasing as desk data density increases. The front end of the air bearing surface (i.e. the end facing the read and write heads) is typically
Polished at a slight angle to the main surface. This angle is R
It is called AMP or taper angle and is on the order of 1 degree. This surface is called the slider slope 8c and is important for the flight characteristics of the slider because it helps move the slider away from the stopped disk. The RAMP angle can be easily and accurately measured with a microinterferometer. FIG. 9 is a plan view of a conventional polishing jig for a magnetic head slider, and FIG. 10 is a block diagram showing a method of polishing the air bearing surface of the slider using the polishing jig shown in FIG. In FIG. 9, a heat-softening adhesive 18 such as wax is thinly applied to the reference surface of a polishing jig 19 consisting of a cylindrical base plate 1 with guaranteed flatness, and the base plate 1 is applied to this surface. A strip-shaped slider blank 8 is placed and fixed at a position dividing the outer periphery of the slider into three parts, and the flying surface of the slider is polished using a lapping machine. Lapping is the process of lapping the surface of a workpiece (generally cast iron,
A lamp agent is added between the two to cause them to move relative to each other (relatively soft metals such as copper alloys or non-metallic materials such as hard wood and charcoal), and the lamp agent removes very small amounts of chips from the surface of the workpiece. This is the processing power that removes debris and finishes a smooth surface. In FIG. 10, slider blank material 8 is glued to adhesive 1.
The support hole 7 of the base plate I glued in step 8 is supported by the spherical support part 13a at the end of the support arm 13, the lap constant 114 is rotated, and the slurry 16 is added from the nozzle 15 to polish the slider air bearing surface. ing. When the lapping surface plate 14 is rotated, the polishing jig 19 rotates due to the difference in peripheral speed between the slider blank material 8 on the inner diameter side and the slider blank material 8 on the outer diameter side.
従来の研摩治具ではスライダーブランク材８を台盤１の
基準面に固定させるのに接着剤１８を用いるため、接着
層の厚さを極めて均一に形成させなければならず、この
ような作業には熟練を必要とした。さらにワックスを用
いる場合は、スライダーブランク材８の取り付け、取り
外しのたびに研摩治具をワックスの融点まで加熱しなけ
ればならず、加工後はスライダーブランク＋Ａ８に多量
のワックスが付着しているため、洗浄を十分に行わなけ
ればならないなどの問題があった。また、従来の研摩治
具を用いた研摩方法では、スライダー浮上面の研摩しか
行うことができず、空気を安定して流入させる上で不可
欠なスライダー傾斜面の研摩は別に容易された専用の治
具に付は替える必要があった。
この発明は、接着剤を用いることなくスライダーブラン
ク材を容易に正確に研摩治具に固定して、スライダー浮
上面の研摩、スライダーの溝入れ。
切断ならびにスライダー傾斜面の研摩をも行うことがで
きる磁気ヘッドスライダーの研摩治具ならびに研摩方法
を提供することを目的とする。In conventional polishing jigs, adhesive 18 is used to fix the slider blank 8 to the reference surface of base plate 1, so the thickness of the adhesive layer must be formed extremely uniformly. required skill. Furthermore, when wax is used, the polishing jig must be heated to the melting point of the wax each time the slider blank material 8 is attached or removed, and a large amount of wax adheres to the slider blank + A8 after processing. There were problems such as the need for thorough cleaning. In addition, the conventional polishing method using a polishing jig can only polish the flying surface of the slider, and the polishing of the sloped surface of the slider, which is essential for a stable flow of air, requires a separate dedicated treatment. It was necessary to replace the fittings. This invention allows a slider blank material to be easily and accurately fixed to a polishing jig without using an adhesive, thereby polishing the flying surface of the slider and grooving the slider. It is an object of the present invention to provide a polishing jig and a polishing method for a magnetic head slider that can cut and polish the sloped surface of the slider.
上記目的は、請求項１の発明によれば、円筒形の台盤の
外周付近に、３以上の奇数を２倍した数に等分に前記台
盤の外周を分割する位置に配置された複数の固定台座と
、このそれぞれの固定台座に備えたスライダーブランク
材固定面と、このスライダーブランク材固定面に穿った
複数のキャビティと、このキャビティを塞ぐダイヤフラ
ムと、前記キャビティに連通ずる油管路と、この油管路
内の油封入部の容積を調整する調整ねしと、前記固定台
座に刻まれたスライダー切断時のビ・ンチに合わせた複
数の砥石逃げみそを設けたことによって達成される。
上記目的は、請求項２の発明にれは、請求項１記載の磁
気ヘッドスライダーの研摩治具の複数の固定台座のうち
、その半数に等分に台盤を分割する位置の固定台座に、
研磨すべきスライダーブランク材を固定し、このスライ
ダーブランク材を固定した固定台座に対向する固定台座
の１つに、前記スライダーブランク材゛よりも厚いダミ
ー短冊を取り付け、前記台盤を下向きにして、ランプ盤
により前記スライダー傾斜面を研摩することによって達
成される。According to the invention of claim 1, the above object is achieved by a plurality of cylindrical base plates arranged near the outer periphery at positions that equally divide the outer periphery of the base plate into two times an odd number of 3 or more. a fixed pedestal, a slider blank fixing surface provided on each fixed pedestal, a plurality of cavities bored in the slider blank fixing surface, a diaphragm closing the cavities, and an oil pipe communicating with the cavities; This is achieved by providing an adjustment screw for adjusting the volume of the oil sealing portion in the oil pipe and a plurality of grindstone escape holes that match the punches carved into the fixed base when cutting the slider. The above object is achieved by the invention according to claim 2, in which among the plurality of fixing pedestals of the polishing jig for a magnetic head slider according to claim 1, a fixing pedestal at a position where the pedestal is equally divided into half of the plurality of fixing pedestals,
A slider blank material to be polished is fixed, a dummy strip thicker than the slider blank material is attached to one of the fixed pedestals opposite to the fixed pedestal to which this slider blank material is fixed, and the pedestal is turned downward, This is accomplished by grinding the slider slope with a ramp disc.
この発明は請求項１によれば、台盤の外周付近に３以上
の奇数を２倍した数に等分に台盤の外周を分割する位置
に配置された複数の固定台座のスライダーブランク材固
定面に、スライダーブランク材を載せ、固定台座のキャ
ビティに連通ずる油管路に油を封入し、調整ねしを調整
して油管路の容積を拡げると、キャビテ１゛を塞くダイ
ヤフラムが凹んでスライダーブランク材を吸引して固定
する。スライダーブランク材を固定台座に固定した状態
で、固定台座の砥石逃げみそを利用して切断用砥石によ
りスライダーブランク材を定められたピンチに切断する
とともに、みそ入れ用砥石を用いてスライダーブランク
材にみそ入れを行う。さらに、全体の半数に等分に台盤
の外周を分割する位置の固定台座にスライダーブランク
材を固定し、固定台座を下向きにして支持アームにより
支持し、ラップ盤に載せて相対運動をさせ、スライダー
浮上面を研摩することができる。
この発明は請求項２によれば、請求項１記載の研摩治具
の複数の固定台座のうち、半数に等分に台盤の外周を分
割する位置の固定台座に、スライダーブランク材を固定
し、このスライダーブランク材に対向する固定台座の１
つに、スライダーブランク材よりも厚いダミー短冊を取
り付け、固定台座を下向きにしてラップ盤によりスライ
ダーブランク材の端部を斜めに研摩し、スライダー傾斜
面を研摩することができる。ついで、ダミー短冊を他の
スライダーブランク材に対抗する位置に移動して、同様
の加工を繰り返し、他のスライダーブランク材のスライ
ダー傾斜面を研摩する。この方法によれば、固定台座に
スライダーブランク材を固定したまま、スライダー浮上
面並びにスライダー傾斜面の研摩を行うことができる。According to claim 1 of the present invention, the slider blank material is fixed to a plurality of fixed pedestals arranged near the outer periphery of the pedestal at positions that equally divide the outer periphery of the pedestal into two times an odd number of 3 or more. Place the slider blank material on the surface, fill the oil pipe that communicates with the cavity of the fixed base with oil, and adjust the adjustment screw to expand the volume of the oil pipe.The diaphragm that closes cavity 1 is depressed and the slider Suction and fix the blank material. With the slider blank material fixed to the fixed pedestal, cut the slider blank material into a predetermined pinch using the grinding wheel on the fixed pedestal, and cut the slider blank material into a specified pinch using the grinding wheel for grinding. Add miso. Furthermore, the slider blank material is fixed to a fixed pedestal at a position that equally divides the outer circumference of the pedestal into half of the whole, supported by a support arm with the fixed pedestal facing downward, and placed on a lapping plate for relative movement. The slider air bearing surface can be polished. According to claim 2 of the present invention, a slider blank material is fixed to a fixed pedestal at a position that equally divides the outer circumference of the base plate into half of the plurality of fixed pedestals of the polishing jig according to claim 1. , one of the fixed pedestals facing this slider blank material
Attach a dummy strip that is thicker than the slider blank material, and use a lapping machine to polish the end of the slider blank diagonally with the fixed pedestal facing downward, thereby making it possible to polish the sloped surface of the slider. Next, the dummy strip is moved to a position opposite to another slider blank material, and the same processing is repeated to polish the slider inclined surface of the other slider blank material. According to this method, the slider air bearing surface and the slider inclined surface can be polished while the slider blank material is fixed to the fixed pedestal.
以下図に基づいてこの発明の詳細な説明する。
第１図はこの発明の請求項１の実施例による磁気ヘッド
スライダ−の研摩治具の平面図、第２図は第１図の研摩
治具の固定台座を示す拡大斜視図である。
第１図において、円筒形の台盤１の外周付近に６等分に
分割配置された固定台座２がある。この固定台座２は３
以上の奇数を２倍した数即ち６゜１０．１４．等であれ
ばよい。これは後述するように固定台座２の半数にスラ
イダーブランク材８を取り付けたとき、このスライダー
ブランク材８に対向する固定台座２の位置が空いて、か
つ固定台座２の面が互いに平行になるようにするためで
ある。
固定台座２のスライダーブランク材固定面には、複数の
キャビティ９があり、このキャビティ９はスライダーブ
ランク材８から切り出されるスライダーの個数に対応し
ている。キャビティ９には、ダイヤフラム３が所定のピ
ンチで形成されている。
キャビティ９の下面には、油管路４がそれぞれ形成され
、相互に通し合っていて、油１０が封入され、この油管
路４はさらに台盤１の側面に貫通し、調整ねし５がねし
こまれ、油を密封している。固定台座２には砥石逃げみ
ぞ６が刻まれている。
第３図は第１図の研摩治具の固定台座にスライダーブラ
ンク材を載せた状態を示す拡大断面図、第４図は第３図
の固定台座にスライダーブランク材を吸引固定させた状
態を示す断面図である。第３図及び第４図において、ス
ライダーブランク材８を固定台座２の段部に当てて位置
決めした後、第２図の調整ねし５をゆるめて台盤１の外
径側に移動させることにより、油管路４の油封入部の体
積を拡げ、第４図のごとく油管路４内に封入された油１
０を下方へ導く。このときシリコンゴムのような伸縮性
に冨む膜で形成されたダイヤフラム３は下方へ吸引され
凹む。このためキャビティ９内は負圧となり、スライダ
ーブランク材８は吸引されて固定される。この状態で切
断用砥石１１を用いて砥石逃げみぞ６を利用してスライ
ダーブランク材８をスライダー８ａの幅に切断するとと
もに、みぞ入れ用砥石１２によりそれぞれのスライダー
８ａにみぞ８ｄを設ける。
第５図はスライダーブランク材８を研摩治具１９の固定
台座２に吸引固定した状態を示す平面図、第６図は第５
図の研摩治具１９によるスライダー浮上面の研摩方法を
示す断面図である。第５図に示すごとく、６箇所の固定
台座２のうち３箇所の等分の位置にスライダーブランク
材８を固定する。
ついで研摩治具１９を下向きにして、支持穴７を支持ア
ーム１３の端部の球状の支持部１３ａで支持し、ランプ
定盤１４の上に研摩治具を載せ、スライダーブランク材
８をラップ定盤１４の面に当て、ノズル１５から酸化ア
ルミニウム、炭化けい素などのラップ材に軽油、スピン
ドル油などの工作液を加えたスラリーを注入して両者を
相対運動させ、仕上げをする。ラップ定盤１４を回転さ
せると、内径側のスライダーブランク材８と外径側のス
ライダーブランク材８との周速の差により研摩治具１９
ば自転する。
第７図はこの発明の請求項２の実施例の研摩方法に用い
る研摩治具の平面図、第８図この発明の実施例によるス
ライダー傾斜面の研摩方法を示す断面図である。第７図
及び第８図において、６箇所の固定台座のうち等分に配
置された３箇所の固定台座２にスライダーブランク材８
を固定する。
この状態で第６図に示すごとくスライダー浮上面８ｂの
研摩を行う。ついで任意の１本のスライダーブランク材
８に対向する位置の固定台座に、スライダーブランク材
８よりも厚いダミー短冊１７を固定する。このダミー短
冊１７の厚さは、目標とするスライダー傾斜面８Ｃの角
度と、スライダーブランク材８とダミー短冊１７との距
離によって決定される。このとき、他の２本のスライダ
ーブランク材８が干渉を受けないように、それぞれの固
定台座２の間には十分な間隔がとられている。
スライダーブランク材８の研摩方法は第６図と同様であ
る。このようにしてスライダーブランク材８の傾斜面８
Ｃを加工した後、他の２本のスライダーブランク材８の
傾斜面８Ｃを全て研摩する。
以上は、円筒形の台盤の外周面に、６等分に分割配置さ
れた固定治具を備えた研摩治具について説明したが、６
等分の場合には３箇所の固定台座２で研摩面を定めるこ
とができるので、固定台座は６箇所でよいが、１０等分
、１４等分された固定治具を備えた研摩治具についても
、同様にスライダー浮上面及び傾斜面の加工をすること
ができる。そのときは、スライダーブランク材８が干渉
を受けないように十分なスペースをとる必要がある。
スライダー浮上面８ｂ及びスライダー傾斜面８Ｃの研摩
を終えたスライダーを固定台座２から取り外すときは、
調整ねし５を調整して油管路４の容積を減少させ、ダイ
ヤフラム３を元の位置に戻し、キャビティ９を正圧にし
て加工されたスライダー８ａを固定台座２から取り出す
。The present invention will be described in detail below based on the drawings. FIG. 1 is a plan view of a polishing jig for a magnetic head slider according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a fixing base of the polishing jig shown in FIG. In FIG. 1, near the outer periphery of a cylindrical base 1, there is a fixed base 2 divided into six equal parts. This fixed pedestal 2 is 3
The number that is twice the above odd number, that is, 6°10.14. etc. is fine. This is so that when slider blanks 8 are attached to half of the fixed pedestals 2, as will be described later, the position of the fixed pedestals 2 facing the slider blanks 8 is vacant and the surfaces of the fixed pedestals 2 are parallel to each other. This is to make it happen. There are a plurality of cavities 9 on the slider blank fixing surface of the fixed base 2, and the cavities 9 correspond to the number of sliders cut out from the slider blank 8. A diaphragm 3 is formed in the cavity 9 with a predetermined pinch. Oil pipes 4 are formed on the lower surface of the cavity 9 and pass through each other, and oil 10 is sealed therein.The oil pipes 4 further penetrate the side surface of the base plate 1, and the adjustment screw 5 is screwed into the bottom surface of the cavity 9. The oil is sealed tightly. A grindstone relief groove 6 is carved into the fixed base 2. Figure 3 is an enlarged sectional view showing the slider blank placed on the fixing base of the polishing jig shown in Figure 1, and Figure 4 shows the slider blank being suctioned and fixed on the fixing base of Figure 3. FIG. In FIGS. 3 and 4, after positioning the slider blank 8 by applying it to the stepped part of the fixed base 2, loosen the adjustment screw 5 shown in FIG. , the volume of the oil sealed part of the oil pipe 4 is expanded, and the oil 1 sealed in the oil pipe 4 is expanded as shown in FIG.
Leads 0 downward. At this time, the diaphragm 3 made of a highly elastic film such as silicone rubber is sucked downward and becomes depressed. Therefore, the inside of the cavity 9 becomes a negative pressure, and the slider blank material 8 is sucked and fixed. In this state, the cutting grindstone 11 is used to cut the slider blank material 8 to the width of the slider 8a using the grindstone escape groove 6, and a groove 8d is provided in each slider 8a using the grooving grindstone 12. FIG. 5 is a plan view showing a state in which the slider blank material 8 is suctioned and fixed to the fixing base 2 of the polishing jig 19, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of polishing the slider air bearing surface using the polishing jig 19 shown in the figure. As shown in FIG. 5, slider blanks 8 are fixed at three equally spaced positions among the six fixed pedestals 2. Next, the polishing jig 19 is turned downward, the support hole 7 is supported by the spherical support part 13a at the end of the support arm 13, the polishing jig is placed on the lamp surface plate 14, and the slider blank material 8 is lapped. It is applied to the surface of the board 14, and a slurry of a lapping material such as aluminum oxide or silicon carbide mixed with a working fluid such as light oil or spindle oil is injected from the nozzle 15, and the two are moved relative to each other to finish the work. When the lapping surface plate 14 is rotated, the polishing jig 19 is rotated due to the difference in circumferential speed between the slider blank material 8 on the inner diameter side and the slider blank material 8 on the outer diameter side.
It rotates on its own axis. FIG. 7 is a plan view of a polishing jig used in the polishing method according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a sectional view showing the method of polishing the sloped surface of a slider according to the embodiment of the present invention. In FIGS. 7 and 8, slider blanks 8 are placed on the fixed pedestals 2 at three equally spaced locations among the six fixed pedestals.
to be fixed. In this state, the slider air bearing surface 8b is polished as shown in FIG. Next, a dummy strip 17 that is thicker than the slider blank 8 is fixed to a fixed pedestal at a position facing an arbitrary slider blank 8. The thickness of the dummy strip 17 is determined by the angle of the target slider slope 8C and the distance between the slider blank 8 and the dummy strip 17. At this time, a sufficient distance is provided between the fixed pedestals 2 so that the other two slider blanks 8 are not interfered with. The method of polishing the slider blank material 8 is the same as that shown in FIG. In this way, the inclined surface 8 of the slider blank material 8
After machining C, all the inclined surfaces 8C of the other two slider blanks 8 are polished. Above, we have described a polishing jig equipped with fixing jigs divided into six equal parts on the outer peripheral surface of a cylindrical base plate.
In the case of equal division, the polishing surface can be determined by the fixed pedestals 2 at three locations, so six fixed pedestals are sufficient, but for a polishing jig equipped with a fixing jig divided into 10 or 14 equal parts. Also, the flying surface and inclined surface of the slider can be processed in the same way. In that case, it is necessary to provide sufficient space so that the slider blank material 8 is not interfered with. When removing the slider from the fixed base 2 after polishing the slider floating surface 8b and slider inclined surface 8C,
The adjusting screw 5 is adjusted to reduce the volume of the oil pipe line 4, the diaphragm 3 is returned to its original position, the cavity 9 is applied with positive pressure, and the machined slider 8a is taken out from the fixed base 2.
この発明は、請求項１によれば、台盤に配置した複数の
固定台座に、キャビティ、ダイヤフラム。
油管路、調整ねしを用いて、スライダーブランク材を簡
単にかつ正確に固定することができる。さらに、スライ
ダーを固定台座に固定したままみそ入れ、切断をするこ
とができる。しかも、固定台座全体の半数に等分に配置
された位置の固定台座に、スライダーブランク材を固定
し、研摩治具を下向きにしてラップ盤を用いてスライダ
ー浮上面を研摩することができる。このようにスライダ
ーブランク材の取り付け、取り外しを迅速に行うことが
できるので、段取り時間が大幅に短縮され、洗浄工程も
簡略化することができる。
また、同一治具でスライダーのみそ入れ、切断。
浮上面の研摩を全て行うことができるので、常に加工基
準面が確保され、加工精度を向上させることができる。
この発明は、請求項２によれば、台盤に配置した複数の
固定台座のうち半数に等分に台盤の外周を分割する位置
の固定台座に、スライダーブランク材を固定し、対向す
る位置にスライダーブランク材よりも厚いダミー短冊を
取り付け、固定台座を下向きにしてランプ盤によりスラ
イダーブランク材の端部の傾斜面を研摩する。このよう
にしてスライダーの浮上面の研摩並びに傾斜面の研摩を
することができる。
従って、従来にくらべてスライダーの加工時間を大幅に
短縮し、かつ同一治具上で研摩作業を全て行うことがで
きるので、常に加工基準面が確保され、加工精度を向上
させることができる。According to claim 1, the present invention includes a cavity and a diaphragm in a plurality of fixed pedestals arranged on a pedestal. Slider blanks can be easily and accurately fixed using oil pipes and adjustment screws. Furthermore, you can add and cut miso while the slider is fixed to the fixed base. Furthermore, the slider blank material can be fixed to the fixed pedestals at positions equally distributed over half of the entire fixed pedestal, and the slider air bearing surface can be polished using a lapping machine with the polishing jig facing downward. Since the slider blank material can be quickly attached and removed in this way, the setup time can be significantly shortened and the cleaning process can also be simplified. Also, use the same jig to insert and cut the slider. Since the entire air bearing surface can be polished, a machining reference surface is always ensured and machining accuracy can be improved. According to claim 2, the slider blank material is fixed to a fixed pedestal at a position that equally divides the outer periphery of the pedestal into half of the plurality of fixed pedestals arranged on the pedestal, and Attach a dummy strip that is thicker than the slider blank to the slider blank, and with the fixed base facing downward, polish the sloped surface of the end of the slider blank using a ramp board. In this way, the flying surface of the slider as well as the inclined surface can be polished. Therefore, the processing time for the slider can be significantly shortened compared to the conventional method, and all the polishing operations can be performed on the same jig, so that the processing reference surface is always secured and processing accuracy can be improved.
第１図はこの発明の実施例による磁気ヘットスライダー
の研摩治具の平面図、第２図は第１図の研摩治具の固定
台座を示す拡大斜視図、第３図は第１図の研摩治具の固
定台座にスライダーブランク材を載せた状態を示す断面
図、第４図は第３図の固定台座にスライダーブランク材
を固定させた状態を示す拡大断面図、第５図は第１図の
研摩治具にスライダーブランク材を固定した状態を示す
平面図、第６図は第５図の研摩治具によるスライダー浮
上面の研磨方法を示す断面図、第７図はこの発明の実施
例の研磨方法に用いる研摩治具にスライダーブランク材
及びダミー短冊を固定した状態を示す平面図、第８図は
この発明の実施例によるスライダー傾斜面の研摩方法を
示す断面図、第９図は従来の磁気ヘッドスライダーの研
摩治具の平面図、第１０図は第９図の研摩治具によるス
ライダー浮上面の研摩方法を示す構成間、第１１図はス
ライダーの斜視図である。
Ｉ：台盤、２：固定台座、３：ダイヤフラム、４：油管
路、５：調整ねし、６：砥石逃げみそ、８ニスライダー
ブランク材、８ａニスライダー、８ｂニスライダ一浮上
面、８ｂニスライ′ダ一傾斜面、８ｄ：みぞ、９：キャ
ビティ、１４：う、ブ定盤、１７：ダミー短冊、１９：
研摩治具。
第９図
、】３
第１０図
−寸
） ”
ｒ〈〉
市 −
区トFIG. 1 is a plan view of a polishing jig for a magnetic head slider according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a fixing base of the polishing jig shown in FIG. 1, and FIG. 4 is an enlarged sectional view showing a state in which the slider blank is fixed to the fixing base of the jig, FIG. 5 is the same as in FIG. 1 FIG. 6 is a sectional view showing a method of polishing the slider air bearing surface using the polishing jig shown in FIG. A plan view showing a slider blank material and a dummy strip fixed to a polishing jig used in the polishing method, FIG. 8 is a cross-sectional view showing a method for polishing a slider inclined surface according to an embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a conventional one. FIG. 10 is a plan view of a polishing jig for a magnetic head slider, FIG. 10 is a structure showing a method of polishing the slider air bearing surface using the polishing jig shown in FIG. 9, and FIG. 11 is a perspective view of the slider. I: Base plate, 2: Fixed pedestal, 3: Diaphragm, 4: Oil pipe, 5: Adjustment screw, 6: Grinding wheel relief, 8 Nislider blank material, 8a Nislider, 8b Nislider - floating surface, 8b Nisli' DA1 slope, 8d: Groove, 9: Cavity, 14: U, surface plate, 17: Dummy strip, 19:
Polishing jig. Figure 9, ]3 Figure 10 - Dimensions) ” r〈〉 City - Ward
Claims (1)
た数に等分に前記台盤の外周を分割する位置に配置され
た複数の固定台座と、このそれぞれの固定台座に備えた
スライダーブランク材固定面と、このスライダーブラン
ク材固定面に穿った複数のキャビティと、このキャビテ
ィを塞ぐダイヤフラムと、前記キャビティに連通する油
管路と、この油管路内の油封入部の容積を調整する調整
ねじと、前記固定台座に刻まれたスライダー切断時のピ
ッチに合わせた複数の砥石逃げ溝とを設けたことを特徴
とする磁気ヘッドスライダーの研摩治具。 ２）請求項１記載の磁気ヘッドスライダーの研摩治具の
複数の固定台座のうち、その半数に等分に台盤を分割す
る位置の固定台座に、研摩すべきスライダーブランク材
を固定し、このスライダーブランク材を固定した固定台
座に対向する固定台座の１つに、前記スライダーブラン
ク材よりも厚いダミー短冊を取り付け、前記台盤を下向
きにして、ラップ盤により前記スライダー傾斜面を研摩
することを特徴とする磁気ヘッドスライダーの研摩方法
。[Scope of Claims] 1) A plurality of fixed pedestals arranged near the outer periphery of a cylindrical pedestal at positions that equally divide the periphery of the pedestal into two times an odd number of 3 or more; A slider blank fixing surface provided on each fixing pedestal, a plurality of cavities bored in the slider blank fixing surface, a diaphragm that closes the cavities, an oil pipe line communicating with the cavities, and an oil pipe line in the oil pipe line. A polishing jig for a magnetic head slider, characterized in that it is provided with an adjustment screw for adjusting the volume of the oil sealing part, and a plurality of grindstone escape grooves that match the pitch when cutting the slider carved in the fixed base. 2) Of the plurality of fixing pedestals of the magnetic head slider polishing jig according to claim 1, the slider blank material to be polished is fixed to the fixing pedestal at a position where the pedestal is equally divided into half, and A dummy strip thicker than the slider blank material is attached to one of the fixed pedestals facing the fixed pedestal to which the slider blank material is fixed, and the slider inclined surface is polished using a lapping machine with the pedestal facing downward. Features a magnetic head slider polishing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2331320A JPH04201071A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Polishing jig and method for magnetic head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2331320A JPH04201071A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Polishing jig and method for magnetic head slider |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04201071A true JPH04201071A (en) | 1992-07-22 |
Family
ID=18242370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2331320A Pending JPH04201071A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Polishing jig and method for magnetic head slider |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04201071A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005169556A (en) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Tdk Corp | Polishing device and polishing method |
| US7028388B2 (en) * | 1999-06-18 | 2006-04-18 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing magnetic head |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2331320A patent/JPH04201071A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7028388B2 (en) * | 1999-06-18 | 2006-04-18 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing magnetic head |
| JP2005169556A (en) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Tdk Corp | Polishing device and polishing method |
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