JPH04201034A - Xytheta table for heavy material - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To form XYtheta tables in a small load by providing a putting plate on a movable theta table of X, Y, theta tables through a vertical direction guide member, and by providing a load plate for supporting the putting plate along with the guide member on a weight receiving member provided on a base plate. CONSTITUTION:A movable table 8 is put on X, Y tables 5, 3 through a fixing thetatable 7, while an elevating base plate 9 is provided on the table 8, and a material putting plate 11 is put on the base plate 9 through a vertical direction guide member 12. A plurality of weight receiving members 20 are provided upright on a base plate 1, and a load plate 22 for supporting the material putting plate 11 is supported by the weight receiving member 20. The total weight applied to the load plate 22 is received by a cylinder 10 of the weight receiving member 20, while little load is applied to XYtheta tables 5, 3, 7, 8, and the size of the table can thus be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、物体の位置補正を行うＸＹθテーブルに係り
、特に重量か大である上記物体に対する位置補正をなす
ところの重量物用ＸＹθテーブルに関する。[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an XYθ table for correcting the position of an object, and in particular, the present invention relates to an Regarding the XYθ table for objects.

（従来の技術） たとえばハンダペースト印刷機においては、基板やマス
クおよびその駆動機構などで総重量Ｗｋｇｆの物体を構
成する。そして、視覚認識あるいは印刷等の作業にとも
ない、上記物体をｘ、ｙ。(Prior Art) For example, in a solder paste printing machine, a substrate, a mask, a driving mechanism thereof, and the like constitute an object having a total weight of W kgf. Then, in conjunction with tasks such as visual recognition or printing, the object is transformed into x and y.

θ方向の位置補正をなし、さらに高さ方向にｈだけ上昇
させ、必要な作業を行ってから降下させる必要がある。It is necessary to correct the position in the θ direction, raise it by h in the height direction, perform necessary work, and then lower it.

このとき、第２図に示すようなＸＹθテーブルを用いる
。これは一般に市販されているＸＹ子テーブル改造して
なるものであり、架台Ｒに固定するベース板１上にＹ駆
動モータ２によって駆動されるＹテーブル３と、このＹ
テーブル３上にＸ駆動モータ４によって駆動されるＸテ
ーブル５を載設して、公知のＸＹ子テーブル構成される
。モしてＸテーブル５上に、θ駆動モータ６を備えた固
定用θテーブル７が載設され、この固定用θテーブル７
上に上記θ駆動モータ６によってθ方向に駆動され変位
する可動用θテーブル８が載設される。さらに、上記可
動用θテーブル８上には、上昇ベース板９が載設され、
一体にθ方向に移動自在である。この上昇ベース板９の
周端部には、複数本の重量骨は部材であるところのシリ
ンダ１０・・が立設され、それぞれの作動杆１０ａ・・
・上端部に位置補正すべき物体Ｗを載置するための物体
載置板１１か支持される。また上記上昇ベース板９の周
端部には、複数の上下方向案内部材１２・・・か設けら
れ、上記物体載置板１１の上下方向の案内を正確になす
。この上下方向案内部材１２・・・は、上昇ベース板９
の上記θ可動テーブル８周面よりも突出した位置に設け
られる透孔１３・・と、この透孔１３・・・に中心軸を
合せて上昇ベース板９の上面に取付固定されるリニアブ
ツシュ１４、およびこのリニアブツシュ１４にガイドさ
れ、上下方向に変位自在に嵌合するガイド軸１５とから
なる。At this time, an XYθ table as shown in FIG. 2 is used. This is a modified XY child table that is generally available on the market, and a Y table 3 driven by a Y drive motor 2 is mounted on a base plate 1 fixed to a mount R.
An X table 5 driven by an X drive motor 4 is mounted on a table 3 to constitute a known XY child table. A fixed θ table 7 equipped with a θ drive motor 6 is mounted on the X table 5.
A movable θ table 8 that is driven and displaced in the θ direction by the θ drive motor 6 is mounted above. Further, a rising base plate 9 is mounted on the movable θ table 8,
It is movable as a unit in the θ direction. At the peripheral end of the ascending base plate 9, a plurality of cylinders 10, each of which is a weight-bearing member, are erected, and each operating rod 10a...
- An object placement plate 11 for placing an object W whose position is to be corrected is supported at the upper end. Further, a plurality of vertical guide members 12 are provided at the peripheral end of the ascending base plate 9 to accurately guide the object mounting plate 11 in the vertical direction. This vertical guide member 12... is a rising base plate 9.
a through hole 13 provided at a position protruding from the circumferential surface of the θ movable table 8, and a linear bushing 14 fixed to the upper surface of the ascending base plate 9 with its center axis aligned with the through hole 13; and a guide shaft 15 that is guided by the linear bush 14 and fitted so as to be freely displaceable in the vertical direction.

このようにしてＸＹθテーブルが構成され、補正すべき
物体Ｗを上記物体載置板１１上に載置し、Ｘテーブル５
とＹテーブル３および可動用θテーブル８をそれぞれ所
定の方向に変位し、かつシリンダ１０・・・をたとえば
ｈ分たけ上昇して高さ方向を設定し、必要な作業をなす
。In this way, the XYθ table is constructed, and the object W to be corrected is placed on the object mounting plate 11, and the X table 5
Then, the Y table 3 and the movable θ table 8 are respectively displaced in predetermined directions, and the cylinders 10 are raised by, for example, h to set the height direction and perform the necessary work.

（発明の解決しようとする課題） ところで、この種ＸＹθテーブルによれば、位置補正す
べき物体Ｗをｈ分たけ昇降自在としたので、可動用θテ
ーブル８上にある上昇ベース板９をはじめとする昇降機
構を構成する部品の全ての重量がＸＹθテーブルにかか
る。その結果、特にＸテーブル５とＹテーブル３の耐荷
重かより大きくなる傾向にある。普通、このようなＸＹ
θテーブルの耐荷重は数ｋｇｒから３０　ｋｇｆである
が、それよりも物体Ｗと可動用θテーブル８上にある上
昇ベース板９をはじめとする構成部品の総合の重量が大
きくなる。より重量の大である物体Ｗを載置しようとす
ると、その傾向はさらに強められ、さらに大型のＸＹθ
テーブルを用意しなければ、正確にして円滑な位置補正
ができなくなる。(Problem to be Solved by the Invention) By the way, according to this type of XYθ table, since the object W whose position is to be corrected can be raised and lowered by a distance of h, the lifting base plate 9 on the movable θ table 8, etc. All the weights of the parts constituting the elevating mechanism are applied to the XYθ table. As a result, the load capacity of the X table 5 and Y table 3 in particular tends to become larger. Normally, XY like this
The load capacity of the θ table is from several kgr to 30 kgf, but the total weight of the component parts including the object W and the ascending base plate 9 on the movable θ table 8 is greater than this. If you try to place a heavier object W, this tendency will be further strengthened, and even larger XYθ
If a table is not prepared, accurate and smooth position correction will not be possible.

しかしながら、極めて大型のＸＹθテーブルを選択する
と、必要スペースか大きくなるばかりですく、高価にな
らざるを得ない。このことから、耐荷重が小さいＸＹθ
テーブルで、かつ物体の位置補正か可能であれば有利で
ある。However, if an extremely large XYθ table is selected, the space required will increase and the price will inevitably increase. From this, it can be seen that XYθ with small load capacity
It would be advantageous if the table could also correct the position of the object.

本発明は、このような事情に着目してなされたものであ
り、その目的とするところは、重量か大の物体、すなわ
ち重量物の位置補正をなすのに、耐荷重が小さく軽荷重
用のＸＹθテーブルを用いることが可能であり、しかも
補正精度を保持し、装置全体を小型化して廉価である重
量物用ＸＹθテーブルを提供することにある。The present invention has been made with attention to these circumstances, and its purpose is to correct the position of a heavy or large object, that is, a heavy object with a small load capacity and a light load. It is an object of the present invention to provide an XYθ table for heavy objects that can use an XYθ table, maintains correction accuracy, downsizes the entire device, and is inexpensive.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

（課題を解決するための手段） すなわち本発明は、ベース板上にＸ、Ｙテーブルを載設
し、このｘ、Ｙテーブル上に固定用θテーブルを介して
可動用θテーブルを載設し、この可動用θテーブル上に
上下方向案内部材を介して物体載置板を設け、上記ベー
ス板にシリンダ等の重量骨は部材を設け、この重量骨は
部材上に上記上下方向案内部材とともに上記物体載置板
を支持する荷重板を設けたことを特徴とする重量物用Ｘ
Ｙθテーブルである。(Means for Solving the Problem) That is, the present invention includes an X, Y table mounted on a base plate, a movable θ table mounted on the x, Y table via a fixed θ table, An object mounting plate is provided on the movable θ table via a vertical guide member, a member for weight bones such as cylinders is provided on the base plate, and the weight bone is placed on the member together with the vertical guide member. X for heavy objects, characterized by having a load plate that supports the mounting plate
This is a Yθ table.

（作用） 物体載置板は、ベース板にＸ、Ｙテーブルと固定用、可
動用θテーブルおよび上下方向案内部材を介して設けら
れるものであるが、上記ベース板には重量骨は部材を介
して荷重板が設けられ、この荷重板は上下方向案内部材
とともに上記物体載置板を支持する。したかって、物体
載置板に物体を載置すると、この重量は重量骨は部材か
荷重板を介して受けることとなり、Ｘ、Ｙ、　　θテー
プ　・ルには実質的にかからない。そして、物体載置板
に載置した物体の実質的な位置補正は、上記Ｘ。(Function) The object mounting plate is installed on the base plate via the X and Y tables, the fixed and movable θ tables, and the vertical guide member. A load plate is provided, and the load plate supports the object mounting plate together with the vertical guide member. Therefore, when an object is placed on the object mounting plate, the weight is received through the weight member or the load plate, and is not substantially applied to the X, Y, and θ tapes. The substantial positional correction of the object placed on the object placement plate is performed as described in X above.

Ｙ、θテーブルが必要に応して行う。The Y and θ tables are set as necessary.

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図にもとづいて説明する
に、先に第２図で示したＸ、Ｙ、　　θテーブル５，３
，７．８の基本的な構成は同一でよいので、同番号を付
して説明を省略する。すなわちｘ、ｙ、　　θテーブル
５，３，７．８は、従来と同様の軽荷重用でよい。(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described below based on FIG. 1.
, 7.8 may have the same basic configuration, so the same numbers will be assigned and the explanation will be omitted. That is, the x, y, θ tables 5, 3, 7.8 may be for light loads as in the conventional case.

上記可動用θテーブル８には上昇ベース板９が載設され
て一体に移動し、この上昇ベース板９にリニアブツシュ
１４とガイド軸１５からなる上下方向案内部材１２を介
して物体載置板１１が載設されることは同様である。た
たし、上昇ベース板９には従来のようなシリンダは載設
しない。A rising base plate 9 is mounted on the movable θ table 8 and moves together, and an object mounting plate 11 is attached to the rising base plate 9 via a vertical guide member 12 consisting of a linear bush 14 and a guide shaft 15. It is also listed in the same way. However, a conventional cylinder is not mounted on the ascending base plate 9.

一方、架台Ｒに固定される上記ベース板１には、重量受
は部材２０が立設される。この重量受は部材２０は、ベ
ース板１に立設される複数本のスペース支柱２１・・・
と、これらスペース支柱２．１・・・上にそれぞれ設け
られる従来と同様のシリンダ１０・・・とからなる。上
記重量受は部材２０のシリンダ１０・・・は、荷重板２
２を支持していて、上記荷重板２２にかかる全ての重量
を受けるようになっている。また上記荷重板２２は上記
物体載置板１１の下面に重なっていて、上下方向案内部
材１２のガイド軸１５とともに重量受は部材２０に支持
される。上記荷重板２２と物体載置板１１との間には、
図示しないフラットベアリングが設けられていて、これ
らは互いに円滑な相対運動をなす。なお、上記シリンダ
１０のボア径と、この本数を適宜調整することにより、
耐荷重の変化をなすことが可能である。On the other hand, a weight support member 20 is erected on the base plate 1 fixed to the frame R. This weight bearing member 20 includes a plurality of space supports 21 erected on the base plate 1...
and cylinders 10 similar to the conventional ones provided on these space supports 2.1, respectively. The cylinder 10 of the weight receiver member 20... is the load plate 2
2, and receives all the weight applied to the load plate 22. The load plate 22 overlaps the lower surface of the object mounting plate 11, and the weight receiver is supported by the member 20 together with the guide shaft 15 of the vertical guide member 12. Between the load plate 22 and the object mounting plate 11,
Flat bearings (not shown) are provided for smooth relative movement. Note that by adjusting the bore diameter of the cylinder 10 and the number of cylinders as appropriate,
It is possible to make changes in load capacity.

しかして、物体載置板１１に位置補正すべき重量物であ
る物体Ｗを載せ、Ｘテーブル５とＹテーブル３および可
動用θテーブル８の作動により、それぞれの方向に変位
して位置補正をなす。さらに、シリンダ１０・・・を作
動して作動杆１０ａを上方にｈ分だけ上昇させる。すな
わち、シリンダ１．０・・・で荷重板２２を上昇駆動す
ることにより、物体Ｗを載置した物体載置板１１の上昇
が可能である。必要な作業が終ってシリンダ１０の作動
杆１０ａを降下させれば、荷重板２２とともに物体載置
板１１も降下する。このような昇降駆動のとき、物体載
置板１１は上下方向案内部材１２によって昇降案内され
る。したかって、上記物体載置板１１に載置した物体Ｗ
の゛位置を、Ｘ、Ｙ、　　θテーブル５，３．８により
移動し、かつシリンダ１０・・の作用によって最大り分
の昇降ができる。Then, a heavy object W whose position should be corrected is placed on the object mounting plate 11, and by the operation of the X table 5, Y table 3, and movable θ table 8, it is displaced in each direction to perform position correction. . Furthermore, the cylinders 10... are actuated to raise the operating rod 10a upward by h. That is, by driving the load plate 22 upward with the cylinders 1.0, it is possible to lift the object mounting plate 11 on which the object W is placed. When the operating rod 10a of the cylinder 10 is lowered after the necessary work is completed, the object mounting plate 11 is also lowered together with the load plate 22. During such lifting and lowering, the object mounting plate 11 is guided up and down by the vertical guide member 12. Therefore, the object W placed on the object placement plate 11
The position can be moved by the X, Y, and θ tables 5, 3.8, and can be raised and lowered by the maximum amount by the action of the cylinder 10.

なお説明すれば、上記Ｘ、Ｙ、　　θテーブル５゜３．
８を除く構成部品の重量および物体Ｗの重量は全て重量
受は部材２０か受ける。そのため、Ｘ。To explain, the above X, Y, θ table 5°3.
All the weights of the components except 8 and the weight of the object W are received by the member 20. Therefore, X.

Ｙ、θテーブル５，３．８の耐荷重か小さい軽荷重用で
あっても、またここに載置する物体Ｗの重量が極めて大
であっても、Ｘ、Ｙ、　　θテーブル５゜３．８にかか
る実質的な重量はほとんどなく、同方向の位置補正が容
易に可能となる。すなわち、このようにして構成される
テーブルは、重量物用として用いることができる。Even if the load capacity of the Y, θ table 5, 3.8 is small, or even if the weight of the object W placed here is extremely large, the X, Y, θ table 5, 3. 8 has almost no substantial weight, and position correction in the same direction is easily possible. That is, the table configured in this manner can be used for heavy objects.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明は、ベース板上にＸ。 As explained above, the present invention has an X on the base plate.

Ｙ、θテーブルを載設するとともに上下方向案内部材を
介して物体載置板を設け、さらにベース板に重量受は部
材を介して荷重板を支持し、この荷重板は上記上下方向
案内部材とともに上記物体載置板を支持するので、たと
え重量が大である物体に対するｘ、ｙ、　　θ方向の位
置補正であっても、Ｘ、Ｙ、　　θテーブルにかか°る
重さは理論的にはゼロとなり、耐荷重の小さい軽荷重用
のＸＹθテーブルを主にした構成で重量物の位置補正が
可能となり、装置全体を小型にでき廉価になるなどの効
果を奏する。In addition to mounting Y and θ tables, an object mounting plate is provided via a vertical guide member, and a weight receiver supports a load plate via a member on the base plate, and this load plate is mounted together with the above-mentioned vertical guide member. Since the object mounting plate mentioned above is supported, even if the position of a heavy object is corrected in the x, y, and θ directions, the weight applied to the X, Y, and θ tables is theoretically Therefore, it is possible to correct the position of a heavy object with a configuration mainly using an XYθ table for light loads with a small load capacity, and the entire device can be made compact and inexpensive.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例を示す重重物用ＸＹθテーブ
ルの概略構成図、第２図は本発明の従来例を示す軽荷重
用ＸＹθテーブルの概略構成図である。 １・・・ベース板、５・・・Ｘテーブル、３・・・Ｙテ
ーブル、７・・・固定用θテーブル、８・・・可動用θ
テーブル、１２・・・上下方向案内部材、１１・・・物
体載置板、１０・・・シリンダ、２０・・・重量受は部
材、２２・・・荷重板。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦FIG. 1 is a schematic diagram of an XYθ table for heavy loads showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram of an XYθ table for light loads showing a conventional example of the present invention. 1... Base plate, 5... X table, 3... Y table, 7... Fixed θ table, 8... Movable θ table
Table, 12... Vertical guide member, 11... Object placement plate, 10... Cylinder, 20... Weight receiver is member, 22... Load plate. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ベース板上にＸ、Ｙテーブルを載設し、このＸ、Ｙテー
ブル上に固定用θテーブルを介して可動用θテーブルを
載設し、この可動用θテーブル上に上下方向案内部材を
介して物体載置板を設け、上記ベース板にシリンダ等か
らなる重量受け部材を設け、この重量受け部材上に上記
上下方向案内部材とともに上記物体載置板を支持する荷
重板を設けたことを特徴とする重量物用ＸＹθテーブル
。An X, Y table is mounted on the base plate, a movable θ table is mounted on the X, Y table via a fixed θ table, and a movable θ table is mounted on the movable θ table via a vertical guide member. An object placement plate is provided, a weight receiving member such as a cylinder is provided on the base plate, and a load plate is provided on the weight receiving member to support the object placement plate together with the vertical guide member. XYθ table for heavy objects.