JPH0419043A - Locational device - Google Patents
Locational deviceInfo
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- JPH0419043A JPH0419043A JP2283839A JP28383990A JPH0419043A JP H0419043 A JPH0419043 A JP H0419043A JP 2283839 A JP2283839 A JP 2283839A JP 28383990 A JP28383990 A JP 28383990A JP H0419043 A JPH0419043 A JP H0419043A
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばレーザ加工機などの工作機械用で、
特に高速で高精度を必要とする長ストロークの位置決め
装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is applicable to machine tools such as laser processing machines,
In particular, the present invention relates to a long-stroke positioning device that requires high speed and high precision.
第８図は例えば特開昭６３−３００８３７号公報に示さ
れた従来の位置決め装置を示す構成図であり、図におい
て、１はベース、２は粗動テーブル、３はボールねじ４
を回転することによル粗動テーブル２を直線的に移動さ
せる駆動機としてのモータ、５は微動テーブル、６はボ
ールねじ７ｔｌ−回転することによシ微動テーブル５を
直線的に移動させる駆動機としてのモータ、８は微動テ
ーブル５に固定された被加工体としてのワーク、９は加
工体の加工ヘッド、１０は加工ヘッド９を保持するベー
スである。FIG. 8 is a configuration diagram showing a conventional positioning device disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-300837. In the figure, 1 is a base, 2 is a coarse movement table, and 3 is a ball screw 4.
5 is a fine movement table; 6 is a ball screw 7tl; a drive that moves the fine movement table 5 linearly by rotating; A motor as a machine, 8 a work as a workpiece fixed to the fine movement table 5, 9 a processing head of the workpiece, and 10 a base for holding the processing head 9.
次に動作について説明する。粗動テーブル２はベース１
に対してモータ３によｐボールねじ４を介して直進駆動
され、微動テーブル５は粗動テーブル２に対して相対的
にモータ６によｐボールねじＴを介して直進駆動される
。ワーク８は微動テーブル５上に固定されており、加工
ヘッド９はベース１０に固定されている。ワーク８の加
工へラド９に対する総移動量は粗動テーブル２の移動量
と微動テーブル５の移動量の総和になる。また、この位
置決め装置は二つのボールねじ４，７のリードに所定の
差をもたせ、粗動テーブル２で粗動送シをし、微動テー
ブル５で微動送ｐをし、全体として位置決め精度を向上
させるものである。Next, the operation will be explained. Coarse movement table 2 is base 1
The fine movement table 5 is driven linearly by a motor 6 via a P ball screw T relative to the coarse movement table 2. A workpiece 8 is fixed on a fine movement table 5, and a processing head 9 is fixed on a base 10. The total amount of movement of the workpiece 8 relative to the machining pad 9 is the sum of the amount of movement of the coarse movement table 2 and the amount of movement of the fine movement table 5. In addition, this positioning device has a predetermined difference in the leads of the two ball screws 4 and 7, performs coarse movement with the coarse movement table 2, and performs fine movement with the fine movement table 5, improving the overall positioning accuracy. It is something that makes you
第９図は例えば刊行物（三菱電機■製三菱炭酸ガスレー
ザ加工機カタログ）に示された従来の位置決め装置を示
す構成図でるシ、図において、８はテーブル３０に固定
された被加工体としてのワーク、９は加工体の加工ヘッ
ド、１６は加工ヘッド９から照射された加工ビーム、３
０は水平Ｘ軸駆動機構３１に移動（Ｘ軸方向）されるテ
ーブル、３２は水平を保持しつつ、テーブル３０の移動
方向（Ｘ軸方向）に対して垂直方向（Ｙ軸方向）に移動
する水平Ｙ軸駆動機構、３３は鉛直方向（Ｘ軸方向）に
移動する鉛直Ｚ軸駆動機構である。FIG. 9 is a configuration diagram showing a conventional positioning device shown in, for example, a publication (Mitsubishi Carbon Dioxide Laser Processing Machine Catalog manufactured by Mitsubishi Electric ■). In the figure, 8 is a workpiece fixed to a table 30. A workpiece, 9 a processing head of the workpiece, 16 a processing beam irradiated from the processing head 9, 3
0 is a table that is moved (X-axis direction) by the horizontal X-axis drive mechanism 31, and 32 is a table that is moved in the vertical direction (Y-axis direction) with respect to the moving direction (X-axis direction) of the table 30 while maintaining the horizontal position. The horizontal Y-axis drive mechanism 33 is a vertical Z-axis drive mechanism that moves in the vertical direction (X-axis direction).
次に動作について説明する。ワーク８はテーブル３０の
上にセットされ、水平Ｘ軸駆動機構３１によシ図の如く
Ｘ軸方向に移動される。また、加工ヘッド９は水平Ｙ軸
駆動機構３２および鉛直Ｚ軸駆動機構３３によｐそれぞ
れＹ軸およびＸ軸方向に移動される。これら３軸の駆動
機構を移動することにより、ワーク８と加工ヘッド９の
相対位置が変化し、加工ヘッド９から照射する加工ビー
ム１６によりワーク８の加工を行う。各駆動機構の移動
は目標位置に一致するようにサーボ制御することによシ
実現される。Next, the operation will be explained. A workpiece 8 is set on a table 30 and moved in the X-axis direction by a horizontal X-axis drive mechanism 31 as shown in the figure. Further, the processing head 9 is moved in the Y-axis and X-axis directions by a horizontal Y-axis drive mechanism 32 and a vertical Z-axis drive mechanism 33, respectively. By moving these three-axis drive mechanisms, the relative positions of the workpiece 8 and the processing head 9 change, and the workpiece 8 is processed by the processing beam 16 irradiated from the processing head 9. Movement of each drive mechanism is realized by servo control to match the target position.
第１に記載した従来の位置決め装置は以上のように構成
されているので、ワークと微動テーブルが微動テーブル
を駆動するモータの負荷になり、また、ワーク、微動テ
ーブルおよび粗動テーブルが粗動テーブルを駆動するモ
ータの負荷になることから、ワーク重量が大きい場合、
それぞれのモータに対する負荷がいずれも大きくなるの
で、ワークと加工ヘッド間を高速に位置調整しようとす
ると、ワーク及び加工ヘッドの動作が制御指令の変化に
追従できず、加工精度が悪化してしまい、加工精度を確
保するためには低速で両テーブルを駆動することが必要
で、加工効率が非常に悪くなるというＩ！麺があった。Since the conventional positioning device described in the first part is configured as described above, the workpiece and the fine movement table become the load of the motor that drives the fine movement table, and the workpiece, fine movement table, and coarse movement table become the load of the motor that drives the fine movement table. If the weight of the workpiece is large, as it becomes a load on the motor that drives the
The load on each motor increases, so if you try to adjust the position between the workpiece and the processing head at high speed, the movement of the workpiece and processing head will not be able to follow changes in the control commands, and processing accuracy will deteriorate. In order to ensure machining accuracy, it is necessary to drive both tables at low speed, which greatly reduces machining efficiency. There were noodles.
また、第２に記載した従来の位置決め装置は以上のよう
に構成されているので、水平Ｘ軸駆動機構に対してはテ
ーブルおよびワークが負荷となり、水平Ｙ軸駆動機構に
対しては鉛直２軸駆動機構と加工ヘッドが負荷となり、
これらの負荷が非常に大きいためアクチーエータの駆動
力が不足し、高速に位置調整しようとすると、上記駆動
機構の動作が制御指令の変化に追従できず加工精度が悪
化してしまい、加工精度を確保するためには低速でテー
ブルや加工ヘッドを駆動することが必要で、加工効率が
非常に悪くなるという課題がおった。In addition, since the conventional positioning device described in the second section is configured as described above, the table and workpiece act as a load on the horizontal X-axis drive mechanism, and the two vertical axes act as a load on the horizontal Y-axis drive mechanism. The drive mechanism and processing head act as a load,
Because these loads are extremely large, the drive force of the actuator is insufficient, and if you try to adjust the position at high speed, the operation of the drive mechanism will not be able to follow the changes in the control commands, resulting in poor machining accuracy, making it difficult to ensure machining accuracy. In order to do this, it is necessary to drive the table and processing head at low speeds, which poses the problem of extremely poor processing efficiency.
この発明（σ上記のような課題を解消するためになされ
たもので、高速に位を調整しても制御指令の変化に追従
し、精度よく位置Ｖ＠整することができる位置決め装置
を得ることを目的とする。This invention (σ) was made to solve the above-mentioned problems, and to obtain a positioning device that can follow changes in control commands even when adjusting the position at high speed, and can adjust the position V@ with high accuracy. With the goal.
請求項（１）記載の発明に係る位置決め装置は、制御機
構にて、被加工体を固定しつつ、駆動機により、水平を
保持した状態で位置を直線的に移動される第１のテーブ
ル、または加工体を固定しつつ、駆動機により、水平を
保持した状態でその第１のテーブルの移動方向に対して
平行に位置を移動される第２０テーブルのうちの一方の
駆動機を目標値に基づいて制御するとともに、その目標
値に対して生じた追従誤差を補正指令値として他方の駆
動機を制御することにより、その被加工体および加工体
の相対位置ｔｐ整するものである。The positioning device according to the invention described in claim (1) includes: a first table whose position is linearly moved in a horizontal state by a drive machine while fixing the workpiece by a control mechanism; Or, while fixing the workpiece, the drive machine of one of the 20th tables, whose position is moved parallel to the moving direction of the first table while maintaining the horizontal state, is set to the target value. The relative position tp of the workpiece and workpiece is adjusted by controlling the other drive machine based on the target value and using the follow-up error generated with respect to the target value as a correction command value.
また、請求項（２）記載の発明に係る位置決め装置は、
被加工体または加工体のうちの一方を固定しつつ、駆動
機構により、水平を保持した状態で位置を直線的に移動
される第１のテーブル、その被加工体または加工体の他
方を固定しつつ、駆動機構により、水平を保持した状態
でその第１のテーブルの移動方向に対して平行及び垂直
に位置を移動される第３のテーブル、及びその第３のテ
ーブルを固定しつつ、駆動機構によシ、水平を保持した
状態でその第１のテーブルの移動方向に対して垂直に位
置を移動される第２のテーブルを備え、制御機構にて、
その第１および第２のテーブル駆動機構を目標値に基づ
めで制御するとともに、その目標値に対して生じた追従
哄差を補正指令値としてその第３のテーブルの駆動機を
制御することにより、その被加工体および加工体の相対
位置ｆ：調整するものである。Furthermore, the positioning device according to the invention as claimed in claim (2) includes:
A first table whose position is linearly moved while maintaining the horizontal state by a drive mechanism while fixing one of the workpiece or the workpiece, and fixing the other of the workpiece or the workpiece. At the same time, the third table is moved parallel and perpendicular to the moving direction of the first table while being held horizontally by the drive mechanism, and while the third table is fixed, the drive mechanism A second table is provided which is moved in position perpendicularly to the moving direction of the first table while maintaining the horizontal position, and a control mechanism:
By controlling the first and second table drive mechanisms based on the target value, and controlling the third table drive mechanism by using the difference in follow-up generated with respect to the target value as a correction command value, Relative position f of the workpiece and workpiece: To be adjusted.
請求項（１）記載の発明における位置決め装＃は、被加
工体を固定する第１のテーブル及び加工体を固定する第
２のテーブルを移動する駆動機をそれぞれに独立して設
けたことによｐ１第１または第２のテーブルを駆動する
一方の駆動機ＩＩ′ｉ、軽負荷となるため高速動作が可
能となる。また、制御機構によｐｌ どちらか一方のテ
ーブルの駆動機が目標値に基づいて制御された際に生じ
た追従誤差を補正指令値として他方のテーブルの駆動機
が制御されるので追従誤差が除去される。The positioning device # in the invention described in claim (1) is provided with drive machines that move the first table for fixing the workpiece and the second table for fixing the workpiece, respectively. p1 One of the driving machines II'i that drives the first or second table has a light load, so high-speed operation is possible. In addition, the control mechanism uses the following error that occurs when the driving machine of one of the tables is controlled based on the target value as a correction command value to control the driving machine of the other table, so the following error is eliminated. be done.
また、請求項（２）記載の発明における位置決め装置は
、第１および第２ｆ）テーブルの駆動機構が目標値に基
づいて制御された際に生じた追従誤差を補正指令値とし
て第３の駆動機構が制御されるので追従誤差が除去され
る。Further, the positioning device according to the invention described in claim (2) uses the following error generated when the drive mechanisms of the first and second f) tables are controlled based on the target value as a correction command value to the third drive mechanism. is controlled, so tracking errors are eliminated.
以下、請求項（１）記載の発明の一実施例を図について
説明する。第１図−）は請求項（１１記載の一実施例に
よる位置決め装置を示す構成図、第１図（ｂ）は請求項
ｆｌ）記載の一実施例による位置決め装置の制御機構を
示すブロック図である。図において、従来のものと同一
符号は同一 又は相当部分を示すので説明を省略する。Hereinafter, one embodiment of the invention as claimed in claim (1) will be described with reference to the drawings. Fig. 1-) is a block diagram showing a positioning device according to an embodiment of claim 11, and Fig. 1(b) is a block diagram showing a control mechanism of the positioning device according to an embodiment of claim fl). be. In the figures, the same reference numerals as in the conventional one indicate the same or corresponding parts, so the explanation will be omitted.
１１はワーク８の位置及び速度を検出する位置速度検出
器、１２はワーク８を固定しつつ、ボールねじ４を介し
てモータ３によシ、水平を保持した状態（ベース１に対
して水平）で位置を直線的に移動される第１のテーブル
、１３はリニアモータ、１４は加工ヘッド９の位置及び
速度を計測するリニアスケール、１５は加工ヘッド９全
固定しつつ、リニアモータ１３によｐ１水平を保持した
状態で第１／）テーブル１２の移動方向に対して平行（
同じ向き又は逆向き）に位置を移動される第２のテーブ
ル、１６は加工ヘッド９から照射された加工ビーム、１
１は第１のテーブル１２のモータ３を制御する制御系、
１８は第２ｆ）テーブル１５のリニアモータ１３を制ａ
する制御系、１７．１８によシ位置決め装置の制御機構
が構成される（この制御機構は第１のテーブル１２のモ
ータ３ｔｌ−目標値に基づいて制御するとともに、その
目標値に対して生じた追従誤差（被制御体の動作が制御
指令の変化に追従できずに、現実の制御結果が目標値と
ずれてしまう状態）を補正指令として第２のテーブル１
５のリニアモータ１３を市ＩＪ１０することにより、ワ
ーク８および刀ロエヘッド９の相対位置を調整する。）
。１９は直進回転変換係数、２０は回転直進変換係数、
２１はモータ３を制御する指令値を清らかにするスムー
ジングフィルタ、Ｘｒは相対位置指令値（目標値） 、
Ｘｔｌは第１ｆ）テーブル１２の位置、Ｘｔ２は第２の
テーブル１５ ／：）位置、Ｘａｉｌ：第１のテーブル
１２と第２のテーブル１５の相対位置％Ｘｅは相対位置
指令値Ｘｒと第１のテーブル１２ｆ）位置Ｘｔｌとの差
、θｒＦｉモータ３に対する位置指令値、θｂＦｉモー
タ３／）位置、Ｌはボールねじ４のリード、Ｔｆはスム
ージングフィルタ２１／）時定数、Ｊｂ＃：ｊモータ３
、ボールねじ４および第１／）テーブル１２をすべて合
わせたイナーシャ、Ｍｌはリニアモータ１３と第２のテ
ーブル１５を合わせた質量、ＫｐｂおよびＫｐｌは位置
制御ゲイン、ＫｖｂおよびＫｖｌは速度ｗ御ゲインであ
る。11 is a position and speed detector that detects the position and speed of the work 8; 12 is a position and speed detector that detects the position and speed of the work 8; while the work 8 is fixed, it is connected to the motor 3 via the ball screw 4 and held horizontally (horizontal with respect to the base 1); 13 is a linear motor; 14 is a linear scale that measures the position and speed of the processing head 9; 15 is a linear scale that measures the position and speed of the processing head 9; Parallel to the moving direction of the first/) table 12 while keeping it horizontal (
a second table whose position is moved in the same direction or the opposite direction; 16 a processing beam irradiated from the processing head 9;
1 is a control system that controls the motor 3 of the first table 12;
18 is the second f) which controls the linear motor 13 of the table 15.
17.18 constitutes a control mechanism for the positioning device (this control mechanism controls based on the motor 3tl-target value of the first table 12, and The tracking error (a state in which the operation of the controlled object cannot follow changes in the control command and the actual control result deviates from the target value) is used as a correction command in the second table 1.
The relative positions of the work 8 and the sword head 9 are adjusted by moving the linear motor 13 of No. 5 to the center IJ10. )
. 19 is a linear rotation conversion coefficient, 20 is a rotation linear conversion coefficient,
21 is a smoothing filter that purifies the command value for controlling the motor 3; Xr is the relative position command value (target value);
Xtl is the position of the 1f) table 12, Xt2 is the second table 15 /:) position, Xail: the relative position of the first table 12 and the second table 15 % Table 12f) Difference from position Xtl, θrFi position command value for motor 3, θbFi motor 3/) position, L is lead of ball screw 4, Tf is smoothing filter 21/) time constant, Jb#: j motor 3
, the combined inertia of the ball screw 4 and the first/) table 12, Ml is the combined mass of the linear motor 13 and the second table 15, Kpb and Kpl are position control gains, and Kvb and Kvl are speed w control gains. be.
次に動作について説明する。モータ３の回転運動をボー
ルねじ４によシ直進運動に変換し、ベース１に対して第
１のテーブル１２’？：駆動し、第１のテーブル１２に
固定されたワーク８を移動する。Next, the operation will be explained. The rotational motion of the motor 3 is converted into linear motion by the ball screw 4, and the first table 12' is moved relative to the base 1. : Drive to move the workpiece 8 fixed to the first table 12.
ワーク８の位置および速度は位置速度検出器１１によシ
計測される。リニアモータ１３はベース１０に対して第
２のテーブル１５を第１のテーブル１２と同じ向き又は
逆向きに直進駆動し、第２のテーブル１５に固定されて
いる加工ヘッド９ｔ−移動する。加工ヘッド９ｆ）位置
および速度はリニアスケール１４により計測される。加
工へラド９から放射される加工ビーム１６によシワーク
８は加工される。The position and speed of the workpiece 8 are measured by a position and speed detector 11. The linear motor 13 drives the second table 15 linearly with respect to the base 10 in the same direction as the first table 12 or in the opposite direction, and moves the processing head 9t fixed to the second table 15. Processing head 9f) position and speed are measured by linear scale 14. The workpiece 8 is processed by the processing beam 16 emitted from the processing radar 9.
次に制御機構について説明する。第１のテーブルの制御
系１７において、相対位置指令値Ｘｒを直進回転変換係
数１９により回転指令に変換し、それをスムージングフ
ィルタ２１に通してモータ３への滑らかな位置指令値θ
ｒｔ−得る。そして、モータ３ｔｖ笑際の位置θｂが位
置指令θｒＫするようにサーボｍＪ御を行なう。第１の
テーブル１２の位置すなわちワーク８の位置Ｘｔｌはモ
ータ３／：１位置θｂを回転直進変換係数２０によシ変
換して求まる。一方、第２のテーブルの制御系１Ｂに対
しては、位置指令として相対位置指令値Ｘｒと第１のテ
ーブル１２ｆ）位置Ｘｔ１ｆ）差Ｘｅ’に与え、第２／
）テーブル１５の位置Ｘｔ２’ｅこれに一致させるよう
にサーボ制御を行なう。こうして、第１のテーブル１２
と第２のテーブル１５の相対位置Ｘａを相対位置指令値
Ｘｒに追従させることができる。Next, the control mechanism will be explained. In the control system 17 of the first table, a relative position command value
rt-get. Then, the servo mJ is controlled so that the position θb at the end of the motor 3tv corresponds to the position command θrK. The position of the first table 12, ie, the position Xtl of the workpiece 8, is determined by converting the motor 3/:1 position θb using the rotation-linear conversion coefficient 20. On the other hand, for the control system 1B of the second table, the relative position command value Xr and the first table 12f) position Xt1f) difference Xe' are given as position commands.
) Servo control is performed to match the position Xt2'e of the table 15. In this way, the first table 12
The relative position Xa of the second table 15 can be made to follow the relative position command value Xr.
すなわち、第１／）テーブル１２の追従誤差を第２のテ
ーブル１５が補正するように動作し、高速で高精度な相
対的位置決めが実現される。上記実施例のように第１／
）テーブル１２側の重量が大きい場合は第１のテーブル
１５のサーボ系にはスムージングフィルタ２１によりス
ムージングをかけた滑らかな指令値を与えアクチュエー
タや機械系への負担を減らし、比較的軽量な第２のテー
ブル１５に対しては追従誤差を除去するため急加減速し
た指令値を与えることにより、全体として高速で高精度
な相対的位置決めを実現できる。また、第２のテーブル
１５のストロークは短いものでよく、長ストロークの第
１のテーブル１２とあわせて長ストロークにわたって加
工を行なうことができる。That is, the second table 15 operates to correct the tracking error of the first/) table 12, achieving high-speed and highly accurate relative positioning. As in the above embodiment, the first/first
) When the weight on the table 12 side is large, the servo system of the first table 15 is smoothed by the smoothing filter 21 to provide a smooth command value to reduce the burden on the actuator and mechanical system, and the relatively lightweight second table 15 is By giving command values that are rapidly accelerated or decelerated to the table 15 in order to eliminate tracking errors, high-speed and highly accurate relative positioning can be realized as a whole. Further, the stroke of the second table 15 may be short, and in combination with the first table 12 which has a long stroke, machining can be performed over a long stroke.
上記実施例では、第１のテーブル１２の相対位置指令値
Ｘｒに対する位置誤差Ｘｅ’５ｃ第２のテーブル１５ｇ
）指令値としたが、第２のテーブルの制ａ系１８ｆ）応
答遅れの存在によシ、追従誤差が残ることがある。そこ
で、第２図に示すように、第１ｆ）テーブル１２の速度
Ｘｔｌを第２７）テーブルの制御系１８／）速度指令と
して与えることによ遵、全体としてＯ応答特性を第２の
テーブルの制御系１８の応答特性とほぼ等しくすること
ができ、位置誤差を減らすことが可能である。In the above embodiment, the position error Xe'5c with respect to the relative position command value Xr of the first table 12, the second table 15g
) command value, but a tracking error may remain due to the existence of a response delay in the control system 18f of the second table. Therefore, as shown in Fig. 2, by giving the speed Xtl of the 1f) table 12 as the speed command of the control system 18/) of the 27th table, the O response characteristics as a whole can be adjusted to the control system of the 2nd table. The response characteristics can be made almost equal to the response characteristics of the system 18, and position errors can be reduced.
上記実施例では追従誤差として位置誤差のみを考えたが
、速度指令との誤差や加速度指令との誤差を利用するこ
ともできる。この場合の実施例を以下に述べる。即ち、
第３図は請求項（１）記載の発明の他の実施例の位置決
め装置の制御機構を示すフロック図で６９、図に示すよ
うに、相対位置指令値Ｘｒｖ微分値である相対速度指令
値Ｘｒと第１のテーブル１２の速度Ｘｔｌとの差Ｘｅ、
即ち速度勝差を第２のテーブルの制御系１８ｆ）速度指
令として与えることにより、位置誤差をさらに減らすこ
とが可能である。In the above embodiment, only the position error was considered as the tracking error, but it is also possible to use the error with the speed command or the error with the acceleration command. An example in this case will be described below. That is,
FIG. 3 is a block diagram 69 showing a control mechanism of a positioning device according to another embodiment of the invention as set forth in claim (1). and the speed Xtl of the first table 12,
That is, by giving the speed difference as a speed command to the control system 18f of the second table, it is possible to further reduce the position error.
さらに、第４図は請求項（１）記載の発明のさらに他の
実施例の位置決め装置の制御機構を示すブロック図であ
り、図に示すように、相対位置指令値Ｘｒの２階微分値
、すなわち相対加速度指令値Ｘｒと第１のテーブル１２
の加速度Ｘｔｌとの差Ｘｅ、即ち加速度誤差にリニアモ
ータ１３と第２のテーブル１５の質量Ｍｌをかけたもの
を第２のテーブルの制御系１８の駆動力指令として与え
ることによシ、慣性による位置誤差も補償することがで
き、−層／）高精度化を実現することができる。Furthermore, FIG. 4 is a block diagram showing a control mechanism of a positioning device according to still another embodiment of the invention as claimed in claim (1), and as shown in the figure, the second differential value of the relative position command value Xr, That is, the relative acceleration command value Xr and the first table 12
By giving the difference Xe from the acceleration Xtl of Position errors can also be compensated, and high accuracy can be achieved.
以上／：１説明では、アクチュエータとして第１Ｉｖテ
ーブル１２はモータ３、第２のテーブル１５１ケリニア
モータ１３を考えたが、アクチュエータとしてはどのよ
うなものを用すてもよい。また、レーザ加工機について
説明したが他の工作機械にでも適用できるのは言うまで
もない。さらに、上記実施例では一方向のみについて述
べたが、互いに直交する二方向や三方向の位置決めにも
適用できる。In the above /:1 description, the motor 3 for the first Iv table 12 and the Kellinia motor 13 for the second table 151 were considered as actuators, but any actuator may be used. Further, although the description has been made regarding a laser processing machine, it goes without saying that the invention can be applied to other machine tools as well. Further, in the above embodiment, only one direction was described, but the present invention can also be applied to positioning in two or three directions orthogonal to each other.
また、上ｂピ実施例では被加工体としてのワーク８′ｔ
−固定した第１のテーブル１２の追従誤差を、加工体と
して加工ヘッド９を固定した第２のテーブルの制御系１
８の補正指令値とし、第１および第２のテーブル１２．
１５の相対位ｆｋを制御する場合について示したが、例
えばワーク８０重蓋が加工ヘッド９のｉｔより軽い場合
は、第２のテーブル１５の追従誤差を、第１／）テーブ
ルの制御系１７の指令値とし、第１および第２ｆ）テー
ブル１２１５の相対位置全制御するのが望ましい。In addition, in the upper b-pi embodiment, the workpiece 8't is the workpiece.
- The tracking error of the fixed first table 12 is calculated by the control system 1 of the second table with the processing head 9 fixed as the workpiece.
8, and the first and second tables 12.
15, but for example, if the workpiece 80 heavy lid is lighter than the machining head 9 it, the tracking error of the second table 15 is controlled by the control system 17 of the first table 15. It is desirable that the relative positions of the first and second f) tables 1215 be completely controlled using the command value.
ざらに、請求項（］）記載の発明においては、一方のテ
ーブルは小ストロークでよいからコストモ安価ですみ、
他方のテーブルは急加減速しなくてもよいのでアクチュ
エータや機械への負担も少なくなる。In general, in the invention described in claim ( ]), one table requires only a small stroke, so it is inexpensive.
Since the other table does not have to suddenly accelerate or decelerate, the load on the actuator and machine is also reduced.
以下、請求項（２）記載の発明の一実施例を図について
説明する。第５図は請求項（２）記載の発明による位置
決め装置を示す構成図、第６図は請求項（２）記載の発
明による位置決め装置ｔｖＸ軸方向の制御機構を示すブ
ロック図、第７図は請求項（２）記載の発明による位置
決め装置のＹ軸方向の制ａ機構を示すブロック図である
。灰において、従来のものと同一符号は同一 又は相当
部分を示すので説明を省略する。３４はワーク８を固定
しつつ、第１のテーブル駆動機構３５により、水平を保
持した状態で位置を直線的（Ｘ軸方向）に移動される第
１のテーブル、３６は第３のテーブル３９を固定しつつ
、第２のテーブルＹ軸駆動機構３７によυ、水平を保持
した状態で第１Ｑテーブル３４の移動方向（Ｘ軸方向）
に対して垂直（Ｙ軸方向）に位置を移動される第２のテ
ーブル、３Ｂは第２のテーブル３６を鉛直方向（ｚ軸方
向）に移動させる第２のテーブル２軸駆動機構、３９は
加工ヘッド９を固定しつつ、第３／）Ｘ軸−Ｙ軸テーブ
ル駆動機構４０．４１により、水平を保持した状態で第
１のテーブル３４の移動方向（Ｘ軸方向）に対して平行
（Ｘ軸方向）及び垂直（Ｙａ方向）に位置を移動でれる
第３／：ｌテーブル、４２Ｆｉ第１のテーブル躯動磯楕
３５ｔ−電＋Ｊｍする第１のテーブルＸ動制御系、４３
は第３ｔｖＸ軸テーブル駆動機構４０を制御する第３の
テーブルＸ軸制御系、４４はスムージングフィルタ、４
５は第２のテーブルＹ軸駆動機傳３γを制御する第２の
テーブルＹ軸制御系、４６に第３のテーブルＹ軸駆動ａ
！構４１を制御する第３のテーブルＸ軸制御系、４７は
スムージングフィルタ、４２・４３・４５・４６により
位置決め装置 ｆ）７Ｂｌｉ御機構が構成される（この
制御機構は第１および第２のテーブル駆動機構３４・３
γを目標値に基づいて制御するとともに、その目標値に
対して生じた追従誤差を補正命令値として第３のＸ軸・
Ｙ軸テーブル駆動機４１！４０・４１を制御することに
より、ワーク８および加工ヘッド９／）相対位置を調整
する。）。An embodiment of the invention as claimed in claim (2) will be described below with reference to the drawings. FIG. 5 is a block diagram showing the positioning device according to the invention as claimed in claim (2), FIG. 6 is a block diagram showing the control mechanism of the positioning device in the tvX axis direction according to the invention as claimed in claim (2), and FIG. FIG. 7 is a block diagram showing a control mechanism in the Y-axis direction of the positioning device according to the invention set forth in claim (2). In gray, the same reference numerals as in the conventional one indicate the same or equivalent parts, so the explanation will be omitted. 34 is a first table whose position is moved linearly (in the X-axis direction) by a first table drive mechanism 35 while fixing the work 8 while keeping it horizontal; 36 is a third table 39; While fixed, the second table Y-axis drive mechanism 37 moves the first Q-table 34 in the moving direction (X-axis direction) while keeping it horizontal.
3B is a second table two-axis drive mechanism that moves the second table 36 in the vertical direction (Z-axis direction); 39 is a processing While fixing the head 9, the third/) 3rd/:l table whose position can be moved vertically (direction) and vertically (Ya direction);
4 is a third table X-axis control system that controls the third tvX-axis table drive mechanism 40; 44 is a smoothing filter;
5 is a second table Y-axis control system that controls the second table Y-axis drive mechanism 3γ, and 46 is a third table Y-axis drive a.
! 47 is a smoothing filter, and 42, 43, 45, and 46 constitute a positioning device f) 7Bli control mechanism (this control mechanism controls the first and second table Drive mechanism 34.3
γ is controlled based on the target value, and the tracking error that occurs with respect to the target value is used as a correction command value on the third X-axis.
By controlling the Y-axis table drive machines 41, 40 and 41, the relative positions of the workpiece 8 and the processing head 9/) are adjusted. ).
また、第６図において、Ｘｒは第１のテーブル３４と第
３のテーブル３９のＸ軸方向の相対位置指令値、Ｘａｌ
は第１のテーブル３４の現在位置、Ｘａ２は第３のテー
ブル３９の現在位置、Ｘａは第１ｆ）テーブル３４と第
３のテーブルの相対位置、Ｘｅは相対位置指令値Ｘｒと
第１のテーブル３４の現在位置Ｘａｌとの差、Ｔｆはス
ムージングフィルタ４４の時短数、Ｍχ１はワーク８、
テーブル、アクチュエータおよび減速機などの第１のテ
ーブル３４および第１のテーブル駆動機構３５の可動部
ｆ）質ｉ、Ｙａ２は加工へラド９およびアクチュエータ
など第３／）テーブル３９および第３ｆ）テーブルＸ軸
・Ｙ軸駆動機構４０・４１の可動部の質量、Ｋｐｘｌお
よびＫｐｘ２は位置制御ゲイン、ＫｖｃｌおよびＫｖｘ
２は速度制御ゲインである。In addition, in FIG. 6, Xr is the relative position command value of the first table 34 and the third table 39 in the X-axis direction,
is the current position of the first table 34, Xa2 is the current position of the third table 39, Xa is the relative position of the 1f) table 34 and the third table, and Xe is the relative position command value Xr and the first table 34. , Tf is the time saving number of the smoothing filter 44, Mχ1 is the workpiece 8,
Movable parts of the first table 34 and first table drive mechanism 35, such as tables, actuators, and reducers f) Quality i, Ya2 are the machining gear 9 and actuators, etc. 3rd/) Table 39 and 3rd f) Table X The masses of the movable parts of the axis/Y-axis drive mechanisms 40 and 41, Kpxl and Kpx2 are the position control gains, Kvcl and Kvx
2 is a speed control gain.
さらに、第７図において％Ｙｒは加工へラド９のＹ軸方
向の位置指令値、Ｙａｌは第２のテーブル３６の現在位
置、Ｙａ２は第２のテーブル３６の現在位置に対する第
３のテーブル３９の相対位置、Ｙａは加工ヘッド９の現
在位置、Ｙｅは位置指令値Ｙｒと第２のテーブルの現在
位置Ｙａｌとの差、Ｔｆはスムージングフィルタ４７／
）時定数、 Ｍ７１は第２および第３／）テーブル、ア
クチエエータおよび減速機など第２および第３のテーブ
ル駆動機構の可動部の質量、Ｍｙ２は加工ヘッド９およ
びアクチエエータなど第３のテーブル駆動機構の可動１
ｏｆｆｔ、Ｋｐ７１＞！びＫｐ７２は位置ｍＪＩＫＪゲ
イン、ＫｖｙｌおよびＫｖ７２は速度制御ゲイン、Ｆｙ
は駆動反力である。Furthermore, in FIG. 7, %Yr is the position command value of the machining rod 9 in the Y-axis direction, Yal is the current position of the second table 36, and Ya2 is the position command value of the third table 39 relative to the current position of the second table 36. The relative position, Ya is the current position of the processing head 9, Ye is the difference between the position command value Yr and the current position Yal of the second table, and Tf is the smoothing filter 47/
) time constant, M71 is the mass of the movable parts of the second and third table drive mechanisms such as the second and third/) tables, actuators and reducers, and My2 is the mass of the third table drive mechanisms such as the processing head 9 and actuator. Movable 1
off, Kp71>! and Kp72 are position mJIKJ gains, Kvyl and Kv72 are speed control gains, and Fy
is the driving reaction force.
次に動作について説明する。ワーク８は第１のテーブル
３４の上にセットされ、第１のテーブル駆動機構３５に
よりＸ軸方向に移動される。加工ヘッド９は第３のテー
ブル３９に固定され、第３のテーブルＸ軸駆動機＃１４
０によシＸ軸方向に移動され、第２のテーブルＸ軸駆動
機構３７と第３のテーブルＸ軸駆動機構４１によｊ７Ｙ
軸方向に移動され、第２のテーブル２軸駆動機構３８に
よｐＺ軸方向にｓｗＪされる。Ｘ軸方向とＹ軸方向は２
つの駆動機構が協調して動作することによシワーク８と
加工ヘッド９ｔｖ相対的位置が調整される。Next, the operation will be explained. The workpiece 8 is set on the first table 34 and moved in the X-axis direction by the first table drive mechanism 35. The processing head 9 is fixed to the third table 39, and the third table X-axis drive machine #14
j7Y is moved in the X-axis direction by the second table X-axis drive mechanism 37 and the third table X-axis drive mechanism 41.
It is moved in the axial direction and swjed in the pZ-axis direction by the second table two-axis drive mechanism 38. The X-axis direction and Y-axis direction are 2
The relative positions of the shear work 8 and the processing head 9tv are adjusted by the two drive mechanisms working together.
次に制御機構について説明する。Next, the control mechanism will be explained.
まず、Ｘ軸方向の相対位置指令Ｘｒはスムージングフィ
ルタ４４を通して滑らかな位置指令値にして第１のテー
ブルＸ＠制御系４２に与えられる。First, the relative position command Xr in the X-axis direction is passed through a smoothing filter 44 to be converted into a smooth position command value and given to the first table X@control system 42.
一方、第３のテーブルＸ軸制御系４３へは相対位置指令
［Ｘｒと第１のテーブル３４／）現在位置Ｘａｌの差す
なわち追従誤差であるＸｅを与え、この追従誤差がなく
なるように移動させる。第３ＦＩテーブルＸ軸−Ｙ軸部
動機１ｆ４０・４１の可蛎部の質量Ｍｘ２は第１のテー
ブル駆動ａ！構３５の可動部の質量ＭＸＩに比べて大幅
に小さいので第３のテーブルＸ軸駆動機構４０は高い応
答性をもつことができ、追従誤差を瞬時に補正すること
が可能になる。その結果、第１のテーブル３４と第３／
）テーブル３６の相対位置Ｘａは相対位置指令値Ｘｒに
ｔＸぼ一致させることができる。可動部の質量が大きい
第１／）テーブル駆動機構３５にはスムージングフィル
タ４４によりスムージングをかけた清らかな指令値を与
えアクチュエータや機械系への負担を減らし、可動部の
質量の小さい第３のテーブルＸ軸駆動機構４０には急加
減速した指令値を与え全体として高速で高精度の加工が
できる。また、第３のテーブルＸ軸駆動機構４０のスト
ロークは短いものでよく、長ストロークの第１のテーブ
ル駆動機構とあわせて長ストロークにわたって加工を行
なうことができる。On the other hand, the third table X-axis control system 43 is given the difference between the relative position command [Xr and the first table 34/) and the current position Xal, that is, the tracking error Xe, and is moved so that this tracking error is eliminated. 3rd FI table Since the mass MXI of the movable part of the mechanism 35 is significantly smaller than that of the third table X-axis drive mechanism 40, the third table X-axis drive mechanism 40 can have high responsiveness, making it possible to instantly correct the tracking error. As a result, the first table 34 and the third/
) The relative position Xa of the table 36 can be made to coincide with the relative position command value Xr by approximately tX. The first table drive mechanism 35, which has a large mass of moving parts, is given a clean command value that has been smoothed by a smoothing filter 44 to reduce the burden on the actuator and mechanical system. The X-axis drive mechanism 40 is given a command value that rapidly accelerates and decelerates, thereby enabling high-speed and highly accurate machining as a whole. Further, the stroke of the third table X-axis drive mechanism 40 may be short, and processing can be performed over a long stroke in combination with the first table drive mechanism, which has a long stroke.
次にＹ軸方向に関しては第３のテーブルＸ軸駆動機構４
１が第２のテーブル３６上を移動し、駆動反力が第２の
テーブルのＹ軸駆動ａｉ！！４１＄３７に作用する点が
Ｘ軸方向の場合と異なるが他は同じ動きをする。ワーク
８はＹ軸方向に対しては静止しておシ、加工ヘッド９の
みが移動して加工を行なう。第２のテーブル３６の追従
誤差を第３のテーブルＸ軸駆動機構４１が瞬時に補正す
ることにより、加工ヘッド９の現在位置Ｙａを位置指令
値Ｙｒにほぼ一致させることができる。Next, regarding the Y-axis direction, the third table X-axis drive mechanism 4
1 moves on the second table 36, and the drive reaction force is the Y-axis drive ai! of the second table. ! 41$37 is different from the case in the X-axis direction, but the other movements are the same. The workpiece 8 remains stationary in the Y-axis direction, and only the processing head 9 moves to perform processing. By instantaneously correcting the tracking error of the second table 36 by the third table X-axis drive mechanism 41, the current position Ya of the processing head 9 can be made to substantially match the position command value Yr.
上記実施例は第１のテーブル駆動機構３５によシワーク
８をＸ軸方向に、第２のテーブルＸ軸・２軸駆動機１１
１３７・３８により加工ヘッド５ｔ−Ｙ軸およびｚ軸方
向に移動させ、第３ｆ）テーブルＸ軸・Ｙ軸駆動機構４
０・４１によシ加工ヘッド９をＸ軸およびＹ軸方向に移
動させるレーザ加工機について説明したが、第１のテー
ブル駆動機１１３５によりワークＢｔＸ軸およびＹ軸方
向に、第２ｆ）テーブルＸ軸駆動機構３８により加工ヘ
ッド９’ｃＺ軸方同に移動させ、第３のテーブルＸ軸・
Ｙ軸駆動機構４０・４１により加工ヘッド９をＸ軸およ
びＹ軸方向に移動させることももちろん可Ｗしである。In the above embodiment, the first table drive mechanism 35 moves the workpiece 8 in the X-axis direction, and the second table X-axis/two-axis drive 11
137 and 38, the processing head 5t is moved in the Y-axis and Z-axis directions, and 3f) Table X-axis/Y-axis drive mechanism 4
Although we have described a laser processing machine that moves the machining head 9 in the X-axis and Y-axis directions by 0.41, the first table driver 1135 moves the workpiece Bt in the X-axis and Y-axis directions, and the 2f) table X-axis. The drive mechanism 38 moves the processing head 9'c along the Z-axis, and the third table
Of course, it is also possible to move the processing head 9 in the X-axis and Y-axis directions by the Y-axis drive mechanisms 40 and 41.
さらに、第３ｆ）テーブルＸ軸・Ｙ軸駆動機構４０・４
１によｐ加工ヘッド９をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動
させ、第２のテーブル駆動機構により加工ヘッドをＸ軸
、Ｙ軸およびｚ′＠方向の３方向に移動させることも可
能である。Furthermore, 3rd f) Table X-axis/Y-axis drive mechanism 40/4
It is also possible to move the p processing head 9 in the X-axis direction and the Y-axis direction by 1, and to move the processing head in three directions, the X-axis, Y-axis, and z'@ direction, by the second table drive mechanism. .
また、上記実施例では、第３のテーブルＸ軸・Ｙ軸制御
系４３・４６の指令値として、目標とする第１および第
２のテーブルの相対位置と第１および第２のテーブルの
現在の相対位置との誤差を与えていたが、速度指令との
誤差や、加速度指令とＩＯ誤差も指令値として与えるこ
ともできる。In the above embodiment, the target relative positions of the first and second tables and the current values of the first and second tables are used as command values for the third table X-axis/Y-axis control systems 43 and 46. Although the error with the relative position is given, the error with the speed command or the IO error with the acceleration command can also be given as the command value.
以上のように、請求項（１）記載の発明によれば、被加
工体を固定する第１のテーブル及び加工体を固定する第
２ｔｖテーブルを移動する駆動機をそれぞれ独立して設
けたので、第１または第２のテーブルを駆動する一方の
駆動機は軽負荷となるため高速に動作でき、また、どち
らか一方のテーブルの駆動機が目標値に基づいて制御す
る際に生じた追従誤差を補正指令値として他方のテーブ
ルの駆動機を制御する制御機構を設けたので、その追従
誤差を除去できる。従って、高速に位置調整しても位置
誤差が生じにくい精度のよい長ストロークの位置決め装
置を得ることができる効果がある。As described above, according to the invention set forth in claim (1), since the drive machines for moving the first table for fixing the workpiece and the second TV table for fixing the workpiece are each provided independently, One of the driving machines that drives the first or second table has a light load, so it can operate at high speed, and the following error that occurs when the driving machine of either table performs control based on the target value can be reduced. Since a control mechanism is provided to control the drive machine of the other table as a correction command value, the following error can be eliminated. Therefore, it is possible to obtain a highly accurate long-stroke positioning device that does not easily cause position errors even when the position is adjusted at high speed.
また、請求項（２）記載の発明によれば、第１および第
２のテーブルの駆動機構が目標値に基づいて制御する際
に生じた追従誤差を補正指令として第３の駆動機構を制
御する制御機構を設けたので、その追従誤差を除去でき
、高速に位置調整しても位置誤差が生じにくいａ度のよ
い位置決め装置を得ることができる効果がある。Further, according to the invention as set forth in claim (2), the third drive mechanism is controlled using a follow-up error that occurs when the drive mechanisms of the first and second tables perform control based on the target value as a correction command. Since the control mechanism is provided, the following error can be eliminated, and a positioning device with a good degree of a can be obtained in which position errors are unlikely to occur even when the position is adjusted at high speed.
第１図−）は請求項（１）記載の一実施例による位置決
め装置を示す構成図、第１図（ｂ）は請求項（１）記載
の一実施例による位置決め装置の制御機構を示すブロッ
ク図、第２図は請求項（１）記載の発明の他の実施例に
よる位置決め装置ｆ）制御機構を示すブロック図、第３
図は請求項（１）記載の発ＥＡｔｖ他の実施例による位
置決め装置の制御機構を示すブロック図、第４図Ｖｉ請
求項（１）記載の発明の他の実施例による位置決め装置
の制ａ８＆構を示すブロック図、第５図は請求項（２）
記載の発明による位置決め装置を示す構成図、第６図に
請求項（２）記載の発明に：る位置決め装置のＸ軸方向
の制御機構を示すブロック図、第７図は請求項（２）記
載の発明による位置決め装置のＹ軸方向ｅｒ）制御機構
を示すブロック図、第８図は従来の位置決め装置を示す
構成図、第９図は従来の位置決め装置を示す構成図であ
る。
３はモータ、８はワーク、９は加工ヘッド、１２は第１
のテーブル、１３はリニアモータ、１５は第２のテーブ
ル、１γは第１のテーブルの制御系、１８は第２のテー
ブルの制御系、３４は第１０テーブル、３５は第１のテ
ーブル駆動機構、３６は第２のテーブル、３７は第２の
テーブルＹ軸駆動機構、３９は第３ｃｌ）テーブル、４
０は第３のテーブルＸ軸駆動機構、４１は第３ｆ）テー
ブルＹ軸駆動機構、４２は第１のテーブルＸ軸制御系、
４３は第３のテーブルＸ軸制御系、４５は第２のテーブ
ルＹ軸制御系、４６は第３／：ＩテーブルＹ軸制御系。
なお、回申、同一符号は同一 又は相当部分を示す。
特許出願人 三菱電機株式会社
代理人 弁理士 圧 澤 博 昭
（外２名）
第１図
１６へ」
□
第８図FIG. 1-) is a block diagram showing a positioning device according to an embodiment of claim (1), and FIG. 1(b) is a block diagram showing a control mechanism of the positioning device according to an embodiment of claim (1). Figure 2 is a block diagram showing a positioning device f) control mechanism according to another embodiment of the invention as set forth in claim (1),
The figure is a block diagram showing a control mechanism of a positioning device according to another embodiment of the invention as set forth in claim (1), and FIG. A block diagram showing FIG. 5 is claim (2)
FIG. 6 is a block diagram showing a control mechanism in the X-axis direction of the positioning device according to the invention as claimed in claim (2), and FIG. 7 is a block diagram showing a control mechanism in the X-axis direction of the positioning device according to the invention as claimed in claim (2). FIG. 8 is a block diagram showing a Y-axis direction control mechanism of the positioning device according to the invention, FIG. 8 is a block diagram showing a conventional positioning device, and FIG. 9 is a block diagram showing a conventional positioning device. 3 is a motor, 8 is a workpiece, 9 is a processing head, 12 is a first
, 13 is a linear motor, 15 is a second table, 1γ is a first table control system, 18 is a second table control system, 34 is a 10th table, 35 is a first table drive mechanism, 36 is the second table, 37 is the second table Y-axis drive mechanism, 39 is the third cl) table, 4
0 is the third table X-axis drive mechanism, 41 is the 3rd table Y-axis drive mechanism, 42 is the first table X-axis control system,
43 is a third table X-axis control system, 45 is a second table Y-axis control system, and 46 is a third/:I table Y-axis control system. In addition, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. Patent applicant Mitsubishi Electric Co., Ltd. agent Patent attorney Hiroshi Otsuzawa (2 others) Go to Figure 1 16'' □ Figure 8
Claims (2)
持した状態で位置を直線的に移動される第１のテーブル
と、加工体を固定しつつ、 駆動機により、水平を保持した状態で上記第１のテーブ
ルの移動方向に対して平行に位置を移動される第２のテ
ーブルと、上記第１または第２のテーブルのうちの一方
の駆動機を目標値に基づいて制御するとともに、その目
標値に対して生じた追従誤差を補正指令値として他方の
駆動機を制御することにより、上記被加工体および加工
体の相対位置を調整する制御機構とを備えた位置決め装
置。(1) A first table whose position is moved linearly by a drive machine while fixing the workpiece and keeping it horizontal with a drive machine while fixing the workpiece. a second table whose position is moved parallel to the moving direction of the first table in the state, and a driving machine of one of the first or second table based on a target value; and a control mechanism that adjusts the relative positions of the workpiece and the workpiece by controlling the other drive machine using a follow-up error generated with respect to the target value as a correction command value.
、駆動機構により、水平を保持した状態で位置を直線的
に移動される第１のテーブルと、上記被加工体または加
工体の他方を固定しつつ、駆動機構により、水平を保持
し た状態で上記第１のテーブルの移動方向に対して平行Ｘ
及び垂直Ｙに位置を移動される第３のテーブルと、上記
第３のテーブルを固定しつつ、駆動機構により、水平を
保持した状態で上記第１のテーブルの移動方向に対して
垂直Ｙに位置を移動される第２のテーブルと、上記第１
および第２のテーブルの駆動機構を目標値に基づいて制
御するとともに、その目標値に対して生じた追従誤差を
補正指令値として上記第３のテーブルの駆動機構を制御
することにより、上記被加工体および加工体の相対位置
を調整する制御機構とを備えた位置決め装置。(2) A first table whose position is linearly moved while keeping the workpiece or workpiece fixed by a drive mechanism while keeping it horizontal; While fixing the other, the first table is moved parallel to the moving direction of the first table while being held horizontally by the drive mechanism.
and a third table whose position is moved vertically Y, and a drive mechanism that fixes the third table and positions it vertically Y with respect to the moving direction of the first table while maintaining the horizontal position. the second table to be moved; and the first table to be moved.
The drive mechanism of the second table is controlled based on the target value, and the drive mechanism of the third table is controlled using the tracking error generated with respect to the target value as a correction command value. A positioning device comprising a control mechanism for adjusting the relative positions of a workpiece and a workpiece.
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| JPS529186A (en) * | 1975-07-14 | 1977-01-24 | Hitachi Ltd | Machine tool |
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1990
- 1990-10-22 JP JP02283839A patent/JP3040448B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP3040448B2 (en) | 2000-05-15 |
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