JPH04171741A - Automatic transfer apparatus for electronic component - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To improve transfer efficiency by arranging two carriages in a horizontal movement division which are coupled with two wires, respectively, with a plurality of pulleys pivoted and by providing each carriages with a vacuum chuck hand. CONSTITUTION:A swivel column is erected upright so as to descend, ascend, and swivel and tipped with a horizontal movement division 10. Next, two carriages are arranged within the horizontal movement division 10 so as to run independently in parallel with a plurality of pulleys including carriage driving pulleys pivoted within the horizontal movement division 10. These pulleys are spanned with two wires coupled with the carriages, respectively. Successively, the tops of the carriages are fixed with the respective vacuum chuck hands 25, 26 horizontally and unevenly at an interval, which are so arranged as to move within the horizontal movement division 10. This design can improve the efficiency of take-in and -out of components and their transfer.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、シリコンウェハー、ＬＣＤの表面ガラス、Ｉ
Ｃのフォトマスク等の電子部品を収納カセットから各種
処理装置や測定器等に搬入或は搬出する電子部品の自動
搬送装置に関する。[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention is applicable to silicon wafers, LCD surface glass, I
This invention relates to an automatic transport device for electronic components that carries in or out electronic components such as photomasks of C from storage cassettes to various processing devices, measuring instruments, etc.

〈従来の技術〉 例えば、シリコンウェハーに各種処理を施したり測定器
にかけてその性能を測定する場合、クリーンルーム内で
、シリコンウェハーを収納した棚式のカセットから各々
のシリコンウェハーを、搬送装置によって取り出し、そ
のウェハーを処理装置等のステージまで搬送してそこに
載置し、その後再びカセットに戻すような搬送が行われ
ている〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、従来のこの種の搬送装置として、ベルトコンベ
ヤ式の搬送装置が一般に使用されているが、この装置は
、上下動や左右の動きができないため、ウェハーを収納
したカセットに昇降装置が必要となり、また、ウェハー
の出し入れを位置方向のみしか行えず、カセットや処理
装置の配置が限定され、クリーンルーム内の設置スペー
スが制限される問題があった。<Conventional technology> For example, when silicon wafers are subjected to various treatments or their performance is measured using a measuring device, each silicon wafer is taken out from a shelf-type cassette containing silicon wafers in a clean room using a transport device. The wafer is transported to a stage of a processing device, placed there, and then returned to the cassette. <Problem to be Solved by the Invention> However, conventional transport devices of this type , a belt conveyor-type transport device is generally used, but this device cannot move vertically or horizontally, so a lifting device is required for the cassette that stores the wafers, and wafers can only be loaded and unloaded in the position direction. However, there were problems in that the placement of cassettes and processing equipment was limited, and the installation space in the clean room was limited.

そこで、従来、シリコンウェハーを吸着する吸着ハント
を上部から水平に突設したキャリッジを、水平移動部内
に走行可能に配設し、その水平移動部を旋回柱の上に固
定し、旋回柱を昇降台上に旋回可能に垂直に取付けた構
成の搬送装置が擢案されている（例えば、特開昭６２−
９３１１２号公報参照）。Therefore, in the past, a carriage with a suction hunt protruding horizontally from the top for adsorbing silicon wafers was installed in a horizontally movable section so that it could travel, and the horizontally movable section was fixed on top of a rotating column, and the pivoting column was raised and lowered. A conveying device configured to be vertically mounted on a table so as to be rotatable has been proposed (for example, Japanese Patent Application Laid-open No.
(See Publication No. 93112).

この種の吸着ハントを備えた搬送装置は、カセット内の
シリコンウェハーを一枚づつ取り出して、任意の位置に
設置された処理装置や測定器のステージまでそれを搬送
し、処理されたシリコンウェハーを再び吸着してカセッ
ト内に正確に載置することができるが、シリコンウェハ
ーを一枚つつハンドに吸着させて搬送するため、搬送効
率が低く、シリコンウェハーなどの電子部品をより高い
効率で搬送できる搬送装置が要望されていた。A transfer device equipped with this type of suction hunt picks up silicon wafers one by one from a cassette, transfers them to the stage of a processing device or measuring instrument installed at an arbitrary position, and transfers the processed silicon wafers to the stage of a processing device or measuring instrument installed at an arbitrary position. Although it can be sucked again and placed accurately in the cassette, the transfer efficiency is low because the silicon wafers are transferred one by one by suction to the hand, but electronic components such as silicon wafers can be transferred with higher efficiency. A transport device was requested.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので
、多数の電子部品をより高い効率で搬送することができ
る電子部品の自動搬送装置を提供することを目的とする
。The present invention was made in order to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an automatic transport device for electronic components that can transport a large number of electronic components with higher efficiency.

〈課題を解決するための手段〉 上記の目的を達成するために、本発明の電子部品の自動
搬送装置は、昇降及び旋回可能に垂直に立設された旋回
柱上に水平移動部が水平に固定され、吸着ハンドを水平
に備えたキャリッジが水平移動部内に移動可能に配設さ
れてなる電子部品の自動搬送装置において、水平移動部
内に第一キャリッジと第二キャリッジが並行に独立して
走行可能に配設され、第一キャリッジと第二キャリッジ
の駆動用に回転駆動されるプーリを含む複数のプーリが
水平移動部内に軸支され、それらのプーリ間にかけ渡さ
れた２本のワイヤに各々第一キャリッジと第二キャリッ
ジが連結され、第一キャリッジと第二キャリッジの上部
に各々の吸着ハンドが上下段違い状に間隔をおいて水平
に固定されて構成される。<Means for Solving the Problems> In order to achieve the above-mentioned object, the automatic transport device for electronic components of the present invention has a horizontal moving part horizontally mounted on a vertically erected turning column that can be raised and lowered and turned. In an automatic electronic component transport device in which a fixed carriage with a suction hand horizontally is movably disposed within a horizontally moving section, a first carriage and a second carriage independently run in parallel within the horizontally moving section. A plurality of pulleys, including a pulley rotatably arranged to drive the first carriage and the second carriage, are pivotally supported in the horizontal moving part, and each pulley is connected to two wires stretched between the pulleys. The first carriage and the second carriage are connected, and each suction hand is horizontally fixed to the upper part of the first carriage and the second carriage at intervals in a vertically different manner.

〈作用〉 このよう構成された自動搬送装置では、水平移動部内の
プーリと２本のワイヤが独立して駆動され、水平移動部
上の第一キャリッジと第二キャリッジはそれらのワイヤ
により独立して水平方向に移動可能である。<Operation> In the automatic conveyance device configured as described above, the pulley and two wires in the horizontal movement section are driven independently, and the first carriage and second carriage on the horizontal movement section are driven independently by these wires. Can be moved horizontally.

したがって、シリコンウェハーを収納したカセット内か
ら、−枚のシリコンウェハーを第一キャリッジの吸着ハ
ントに吸着して取り出し、処理装置や位置決め装置のス
テージまで、水平移動部を旋回させるなどして搬送する
。そこで、次に第二キャリッジを移動させて、既にその
ステージ上に載置されている処理済みのシリコンウェハ
ーを、第二キャリッジの吸着ハンドに吸着させる。そし
て、次に第一キャリッジを走行させてその吸着ハンドで
吸着していた処理前のシリコンウェハーを、処理装置な
どのステージ上に載置する。そして、再び水平移動部を
旋回させ、第一、第二キャリッジを移動させて、カセッ
ト前まで進み、第二キャリッジの吸着ハンドに吸着され
たシリコンウェハーをカセット内に挿入してそこに載置
し、さらに第一キャリッジの吸着ハントをカセット内に
挿入して新たなシリコンウェハーを吸着する。Therefore, the - silicon wafers are taken out from the cassette containing the silicon wafers by suction to the suction hunt of the first carriage, and transported by rotating the horizontal moving unit to the stage of the processing device or positioning device. Then, the second carriage is moved and the processed silicon wafer already placed on the stage is sucked into the suction hand of the second carriage. Then, the first carriage is caused to travel, and the unprocessed silicon wafer that has been suctioned by the suction hand is placed on a stage of a processing device or the like. Then, the horizontal moving part is rotated again, the first and second carriages are moved, and the silicon wafer is placed in front of the cassette. Then, the suction hunt of the first carriage is inserted into the cassette to suction a new silicon wafer.

このような動作が繰り返されることにより、カセット内
のシリコンウェハーが一枚づつ処理装置へ搬送され、処
理された後、再びカセットへ搬送されるが、２本の吸着
ハンドを使用して各ウェハーを出し入れし搬送するため
、１本の吸着ハントを持つ自動搬送装置に比べ、遥かに
効率良く作業を行うことができる。By repeating this operation, the silicon wafers in the cassette are transported one by one to the processing equipment, and after being processed, they are transported to the cassette again, but each wafer is separated using two suction hands. Because it takes in and out and transports, it can work much more efficiently than an automatic transport device with a single suction hunt.

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。<Example> Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.

第１図は自動搬送装置の正面図を、第２図はその平面図
を示している。FIG. 1 shows a front view of the automatic conveyance device, and FIG. 2 shows a plan view thereof.

１は箱形のケース内に旋回柱２の旋回機構と昇降機構を
内蔵した本体である。本体１内には、昇降板３が複数の
ガイド軸４に支持されて昇降可能に配設され、昇降板３
上の中央に旋回柱２がその軸を中心に回転可能に立設し
て支持される。本体１内にボールねじのスクリューシャ
フト５が回転可能に立設され、昇降板３の一部にめねじ
孔が設けられ、そのめねじ孔にスクリューシャフト５が
多数の鋼球な介して螺合する。スクリューシャフト５は
底部に設けた昇降モータ６にベルト、プーリ、又は歯車
を介して連係される。Reference numeral 1 denotes a main body in which a rotating mechanism and an elevating mechanism for a rotating column 2 are built into a box-shaped case. Inside the main body 1, an elevating plate 3 is supported by a plurality of guide shafts 4 so as to be movable up and down.
A pivoting column 2 is rotatably erected and supported at the top center so as to be rotatable about its axis. A screw shaft 5 of a ball screw is rotatably installed in the main body 1, and a female screw hole is provided in a part of the elevating plate 3, and the screw shaft 5 is screwed into the female screw hole through a large number of steel balls. do. The screw shaft 5 is linked to a lifting motor 6 provided at the bottom via a belt, pulley, or gear.

したがって、昇降モータ６によってスクリューシャフト
５が回転駆動され、これにより、昇降板３つまり旋回柱
２がその先端を本体１から上方へ突出させて上昇又は下
降する。昇降板３の下側に旋回モータ７が取付けられ、
そのモータの軸がベルト又は歯車を介して旋回柱２の軸
に連係され、旋回モータ７によって旋回柱２は軸を中心
に回転する。Therefore, the screw shaft 5 is rotationally driven by the elevating motor 6, and thereby the elevating plate 3, that is, the rotating column 2, projects its tip upward from the main body 1 and rises or descends. A swing motor 7 is attached to the lower side of the lifting plate 3,
The shaft of the motor is linked to the shaft of the rotating column 2 via a belt or a gear, and the rotating column 2 is rotated about the axis by the rotating motor 7.

本体１の上部から突出した旋回柱２の上には、水平移動
部ｌＯが水平に固定される。A horizontally moving part 1O is horizontally fixed on a pivot column 2 protruding from the top of the main body 1.

第３図〜第５図の断面図に示すように、水平移動部１０
内には、角柱状の２本のレール１１．１２（所謂リニア
ウェーのレール）が長手方向に並行に取付けられる。一
方のレール１１には第一キャリッジ１３が鋼球な介して
走行自在に係合され、他方のレール第二キャリッジ１４
が鋼球を介して走行自在に係合される。As shown in the cross-sectional views of FIGS. 3 to 5, the horizontal moving section 10
Inside, two prismatic rails 11 and 12 (so-called linear way rails) are installed in parallel in the longitudinal direction. A first carriage 13 is movably engaged with one rail 11 via steel balls, and a second carriage 14 on the other rail
are movably engaged via steel balls.

水平移動部１０内の一側には、第一キャリッジ１３の駆
動用に、プーリ１５．１５が両端の壁部に軸支され、中
央に駆動プーリ１６が軸支される。両端のプーリ１５．
１５間に合成樹脂で被覆したワイヤ１７がかけ渡され、
駆動プーリ１６にはワイヤ１７の両端が固定され複数回
巻き付けられ、ワイヤ１７の一部が第一キャリッジ１３
のフック部に連結される。水平移動部１０の側部に第一
キャリッジ１３を移動させる移動モータ１８が固定され
、その軸が内部に入り駆動プーリ１６に連結される。On one side of the horizontal moving section 10, pulleys 15.15 for driving the first carriage 13 are pivotally supported by walls at both ends, and a drive pulley 16 is pivotally supported in the center. Pulleys at both ends 15.
A wire 17 coated with synthetic resin is stretched between the wires 15 and 15.
Both ends of a wire 17 are fixed to the drive pulley 16 and wound around the drive pulley 16 multiple times, and a portion of the wire 17 is attached to the first carriage 13.
It is connected to the hook part of. A moving motor 18 for moving the first carriage 13 is fixed to the side of the horizontal moving unit 10, and its shaft enters the interior and is connected to a drive pulley 16.

水平移動部１０内の他側には、第二キャリッジ１４の駆
動用に、プーリ１９．１９が両端の壁部に軸支され、中
央に駆動プーリ２ｏが軸支される。上記と同様、両端の
プーリ１９．１９間に合成樹脂で被覆したワイヤ２１が
かけ渡され、駆動プーリ１９にはワイヤ２１の両端が固
定されて複数回巻き付けられ、ワイヤ２１の一部が第二
キャリッジ１４のフック部に連結される。また水平移動
部１０の側部に、第二キャリッジ１４を移動させる移動
モータ２２が固定され、その軸が内部に入り駆動プーリ
２０に連結される。On the other side of the horizontal moving section 10, pulleys 19, 19 for driving the second carriage 14 are pivotally supported by walls at both ends, and a drive pulley 2o is pivotally supported in the center. Similarly to the above, the wire 21 coated with synthetic resin is stretched between the pulleys 19 and 19 at both ends, and both ends of the wire 21 are fixed to the drive pulley 19 and wound multiple times, and part of the wire 21 is wrapped around the drive pulley 19. It is connected to the hook portion of the carriage 14. Further, a moving motor 22 for moving the second carriage 14 is fixed to the side of the horizontal moving section 10, and its shaft enters inside and is connected to the drive pulley 20.

第３図に示すように、水平移動部１０の上部に長手方向
に沿った開口部が形成され、その開口部から上方へ突出
するように、第一キャリッジ１３の上部にハンド取付部
２３が固定され、且つ第二キャリッジ１４の上部にハン
ド取付部２４が固定される。As shown in FIG. 3, an opening along the longitudinal direction is formed in the upper part of the horizontal moving part 10, and the hand attachment part 23 is fixed to the upper part of the first carriage 13 so as to protrude upward from the opening. At the same time, a hand attachment section 24 is fixed to the upper part of the second carriage 14.

第二キャリッジ１４のハンド取付部２４は大きく上方へ
湾曲し、第一キャリッジ１３のハンド取付部２３の真上
にその先端を位置させるように形成される。そして、第
一キャリッジ１３のハンド取付部２３の先端に、吸着ハ
ンド２５が走行方向に向けて水平に固定され、同様に、
第二キャリッジ１４のハンド取付部２４の先端に、吸着
ハンド２６が走行方向に向けて水平に固定される。よっ
て、第一、第二キャリッジ１３．１４が同じ位装置にあ
るとき、吸着ハンド２６が小間隔をおいて吸着ハンド２
５の真上に位置し、両吸着ハンド２５．２６はその高さ
位置つまり上下二段の状態で走行するように構成される
。The hand attachment portion 24 of the second carriage 14 is curved upward significantly, and is formed such that its tip is located directly above the hand attachment portion 23 of the first carriage 13 . Then, a suction hand 25 is fixed horizontally to the tip of the hand attachment part 23 of the first carriage 13 facing the traveling direction, and similarly,
A suction hand 26 is fixed horizontally to the tip of the hand attachment portion 24 of the second carriage 14 in the traveling direction. Therefore, when the first and second carriages 13, 14 are in the same position in the device, the suction hand 26 is attached to the suction hand 2 at a small interval.
5, and both suction hands 25 and 26 are configured to run at that height position, that is, in two stages, upper and lower.

なお、吸着ハンド２５．２６の上面には吸着孔が設けら
れ、吸着孔には図示しない吸気通路、吸気チューブ等が
接続される。また、吸着ハンド上にはその上のシリコン
ウェハーを検出するための光電検出器が設けられる。Note that suction holes are provided on the upper surfaces of the suction hands 25 and 26, and an intake passage, an intake tube, etc. (not shown) are connected to the suction holes. Further, a photoelectric detector is provided on the suction hand to detect the silicon wafer thereon.

上記構成の自動搬送装置は、操作盤のスイッチ等を使用
して各モータ等を動作させてシリコンウェハーの搬送を
手動で行うこともできるが、制御系にマイクロコンピュ
ータ、シーケンスコントローラを使用し、全自動のプロ
グラム制御により搬送動作を行うこともできる。その場
合、コントローラにティーチング機能をもたせ、各カセ
ットの各欄の座標を記憶させ、カセットの棚の高さや位
置を自由に決めて使用することができる。The automatic transfer device with the above configuration can manually transfer silicon wafers by operating each motor using switches on the operation panel, but the automatic transfer device uses a microcomputer and a sequence controller for the control system. The conveyance operation can also be performed under automatic program control. In that case, the controller is provided with a teaching function, the coordinates of each column of each cassette are memorized, and the height and position of the cassette shelf can be freely determined and used.

次に、自動搬送装置の動作を説明する。Next, the operation of the automatic transport device will be explained.

この自動搬送装置は、第６図に示すように、処理装置３
０の前に設置され、反対側には多段状の棚を持つシリコ
ンウェハーのカセット３１が設置される。As shown in FIG. 6, this automatic conveyance device includes a processing device 3
0, and on the opposite side a silicon wafer cassette 31 with multi-tiered shelves is installed.

カセット３１内のシリコンウェハー３２を取り出す場合
、自動搬送装置は、昇降モータ６を駆動して水平移動部
１０を上昇させ、例えば下段の吸着ハンド２５を取り出
そうとするシリコンウェハーの位置まで上げ、さらに、
旋回モータ７を駆動して水平移動部１０を旋回させ、吸
着ハント２５をカセット３１の方向に向ける。When taking out the silicon wafer 32 in the cassette 31, the automatic transport device drives the lifting motor 6 to raise the horizontal moving unit 10, for example, raises the lower suction hand 25 to the position of the silicon wafer to be taken out, and further,
The swing motor 7 is driven to swing the horizontal moving section 10 to direct the suction hunt 25 toward the cassette 31.

そして、移動モータ１８を駆動して第一キャリッジ１３
を走行させ、吸着ハント２５をカセット３１内のシリコ
ンウェハーの真下に挿入する。吸着ハンド２５の吸着作
用を行いながら、昇降モータ６を作動させて水平移動部
１０つまり吸着ハンド２５を少し上げて、吸着ハンド２
５上にシリコンウェハー３２を吸着させる。Then, the moving motor 18 is driven to move the first carriage 13
is run, and the suction hunt 25 is inserted directly below the silicon wafer in the cassette 31. While performing the suction action of the suction hand 25, the lifting motor 6 is operated to slightly raise the horizontal moving unit 10, that is, the suction hand 25, and the suction hand 2
A silicon wafer 32 is adsorbed onto the silicon wafer 5.

次に、移動モータ１８を逆方向に駆動して第一キャリッ
ジ１３を後退させ、吸着ハンド２５とシリコンウェハー
３２をカセット３１内から出し、旋回モータ６を駆動し
て水平移動部１０つまり吸着ハント２５を旋回させ、処
理装置側に向ける。Next, the moving motor 18 is driven in the opposite direction to move the first carriage 13 backward, and the suction hand 25 and the silicon wafer 32 are taken out from the cassette 31. Turn it around and point it toward the processing equipment.

そして、昇降モータ６を駆動して水平移動部１０を下降
させ、上段の吸着ハント２６を処理装置３０のステージ
位置に合せ、移動モータ２２を駆動して第二キャリッジ
１４を前進させ、吸着ハンド２６をステージ下に差し入
れる。そこで、吸着ハンド２６の吸着作用を開始しなが
ら昇降モータ６を駆動して吸着ハンド２６を少し上げ、
ステージ上のシリコンウェハー３２（処理を終了したウ
ェハー）を吸着ハンド２６上に吸着させる。Then, the lifting motor 6 is driven to lower the horizontal moving unit 10, the upper suction hand 26 is aligned with the stage position of the processing device 30, the movement motor 22 is driven to advance the second carriage 14, and the suction hand 26 is moved forward. Insert it under the stage. Therefore, while starting the suction action of the suction hand 26, the lifting motor 6 is driven to raise the suction hand 26 a little.
The silicon wafer 32 (processed wafer) on the stage is sucked onto the suction hand 26.

次に、移動モータ２２を逆方向に駆動して第二キャリッ
ジつまり吸着ハンド２６を後退させ、吸着ハンド２６と
シリコンウェハー３２をステージ上から退出させる。Next, the moving motor 22 is driven in the opposite direction to move the second carriage, that is, the suction hand 26, backward, and the suction hand 26 and the silicon wafer 32 are removed from the stage.

次に、昇降モータ６を駆動して水平移動部１０を少し上
げ、下段の吸着ハンド２５をステージの高さに合せた後
、移動モータ１８を駆動して第一キャリッジ１３を前進
させ、未処理のウェハーを持った下段の吸着ハンド２５
をステージ上に挿入し、その吸着作用を停止すると共に
、少し下降してそのシリコンウェハー３２をステージ上
に載置し、吸着ハンド２５を後退させる。Next, the lifting motor 6 is driven to raise the horizontal moving part 10 a little, and the lower suction hand 25 is adjusted to the height of the stage.Then, the moving motor 18 is driven to move the first carriage 13 forward, and the unprocessed Lower suction hand 25 holding a wafer
is inserted onto the stage, its suction action is stopped, the silicon wafer 32 is lowered a little, and the silicon wafer 32 is placed on the stage, and the suction hand 25 is retreated.

その後、再び、旋回モータ７を駆動して水平移動部】Ｏ
を旋回させ、吸着ハンド２５．２６をカセット側に向け
、第二キャリッジ１４を前進させ、処理されたシリコン
ウェハー３２を保持した吸着ハンド２６をカセット３１
内に差し入れ、上記と同様に、吸着を停止しながら少し
下降してそのウェハーをカセット３１内に置く。そして
、空になった吸着ハンド２６又は２５を、カセット３１
内の未処理のシリコンウェハー３２の真下に、上述のよ
うに挿入し、その吸着ハンドによりウェハーを吸着して
取り出し、上記と同様に、それを処理装置３０のステー
ジまで搬送する。After that, the swing motor 7 is driven again to horizontally move the unit ]O
, the suction hands 25 and 26 face the cassette side, the second carriage 14 is advanced, and the suction hands 26 holding the processed silicon wafer 32 are moved to the cassette 31.
In the same way as above, while stopping suction, the wafer is lowered a little and placed in the cassette 31. Then, attach the empty suction hand 26 or 25 to the cassette 31.
As described above, the wafer is inserted directly below the unprocessed silicon wafer 32 in the wafer, and the wafer is sucked and taken out by the suction hand, and then transported to the stage of the processing apparatus 30 in the same manner as described above.

このように、独立して前進、後退する２本の吸着ハンド
２５．２６を用いてシリコンウェハー３２を搬送し、そ
の出し入れを行うため、従来のように、１本の吸着ハン
ドで出し入れする場合に比べ、遥かに効率良くウェハー
を搬送し、カセットや処理装置のステージへそれを出し
入れすることができる。In this way, the two suction hands 25 and 26, which move forward and backward independently, are used to transport the silicon wafer 32 and take it in and out. In comparison, wafers can be transported much more efficiently and moved into and out of cassettes and processing equipment stages.

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の電子部品の自動搬送装置
によれば、水平移動部内に第一キャリッジと第二キャリ
ッジが並行に独立して走行可能に配設され、第一キャリ
ッジと第二キャリッジの駆動用に回転駆動されるプーリ
を含む複数のプーリが水平移動部内に軸支され、それら
のプーリ間にかけ渡された２本のワイヤに各々第一キャ
リッジと第二キャリッジが連結され、第一キャリッジと
第二キャリッジの上部に各々の吸着ハンドが上下段違い
状に間隔をおいて水平に固定されて構成したから、第一
、第二キャリッジに設けた２本の吸着ハンドを独立して
前進後退させるようにして、シリコンウェハー等の電子
部品をカセットや処理装置から出し入れするため、従来
の１本の吸着ハンドを持った搬送装置に比べ、効率良く
電子部品を搬送することができる。また、従来の搬送装
置に対し、１本の吸着ハンドと１台のキャリッジを増設
する構成で、水平移動部、旋回機構、昇降機構は兼用し
て使用できるため、比較的簡単な構造で、極めて効率の
良い搬送装置とすることができる。<Effects of the Invention> As explained above, according to the automatic transport device for electronic components of the present invention, the first carriage and the second carriage are disposed in the horizontal moving section so as to be able to run in parallel and independently. A plurality of pulleys, including a pulley that is rotatably driven to drive the carriage and the second carriage, are pivotally supported in the horizontal moving part, and the first carriage and the second carriage are connected to two wires that are passed between the pulleys. The two suction hands provided on the first and second carriages can be connected to each other, and each suction hand is fixed horizontally to the upper part of the first carriage and the second carriage at different intervals. Because it moves electronic components such as silicon wafers in and out of cassettes and processing equipment by independently advancing and retracting them, electronic components can be transported more efficiently than conventional transport devices with a single suction hand. can. In addition, compared to the conventional transfer device, it has a configuration in which one suction hand and one carriage are added, and the horizontal movement part, rotation mechanism, and lifting mechanism can be used together, so it has a relatively simple structure and is extremely It is possible to provide an efficient conveyance device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図は本発明の一実施例を示し、 第１図は自動搬送装置の正面図、 第２図は同平面図、 第３図は第１図の（３）　−（３）拡大断面図、第４図
は第１図の（４）　−（４）拡大断面図、第５図は第４
図の（５）　−（５）断面図、第６図は使用態様を示す
正面図である。 ２・・・旋回柱、 ３・・・昇降板、 １０・・・水平移動部、 １３・・・第一キャリッジ、 １４・・・第二キャリッジ、 １５．１９・・・プーリ、 １６．２０・・・駆動プーリ、 １７．２１・・・ワイヤ、 ２５．２６・・・吸着ハンド。The figures show one embodiment of the present invention, FIG. 1 is a front view of the automatic conveyance device, FIG. 2 is a plan view thereof, and FIG. Figure 4 is an enlarged sectional view (4)-(4) of Figure 1, and Figure 5 is an enlarged cross-sectional view of Figure 4.
(5)-(5) sectional view of the figure, and FIG. 6 is a front view showing the mode of use. 2... Swivel column, 3... Elevating plate, 10... Horizontal moving part, 13... First carriage, 14... Second carriage, 15.19... Pulley, 16.20. ...Drive pulley, 17.21...Wire, 25.26...Suction hand.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 昇降及び旋回可能に垂直に立設された旋回柱上に水平移
動部が水平に固定され、吸着ハンドを水平に備えたキャ
リッジが該水平移動部内に移動可能に配設されてなる自
動搬送装置において、該水平移動部内に第一キャリッジ
と第二キャリッジが並行に独立して走行可能に配設され
、該第一キャリッジと第二キャリッジの駆動用に回転駆
動されるプーリを含む複数のプーリが水平移動部内に軸
支され、それらのプーリ間にかけ渡された２本のワイヤ
に各々該第一キャリッジと第二キャリッジが連結され、
該第一キャリッジと第二キャリッジの上部に各々の吸着
ハンドが上下段違い状に間隔をおいて水平に固定されて
いることを特徴とする電子部品の自動搬送装置。In an automatic conveyance device, a horizontal moving part is fixed horizontally on a vertically erected turning column that can be raised and lowered and rotated, and a carriage provided with a suction hand horizontally is movably disposed within the horizontal moving part. , a first carriage and a second carriage are arranged to be able to run in parallel and independently in the horizontal moving part, and a plurality of pulleys including a pulley that is rotationally driven for driving the first carriage and the second carriage are horizontally moved. The first carriage and the second carriage are each connected to two wires that are pivotally supported within the moving part and spanned between the pulleys,
An automatic transport device for electronic components, characterized in that suction hands are horizontally fixed to the upper portions of the first carriage and the second carriage, spaced apart from each other in a vertically different manner.