JPH04148099A - Siegbahn type vacuum pump - Google Patents
Siegbahn type vacuum pumpInfo
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- JPH04148099A JPH04148099A JP27236190A JP27236190A JPH04148099A JP H04148099 A JPH04148099 A JP H04148099A JP 27236190 A JP27236190 A JP 27236190A JP 27236190 A JP27236190 A JP 27236190A JP H04148099 A JPH04148099 A JP H04148099A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空機能を有する各種設備機器に適用するジ
ーグバーン型真空ポンプに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a Siegbahn type vacuum pump that is applied to various types of equipment having a vacuum function.
（従来の技術）
従来のジーグバーン型真空ポンプを第２．３゜４図によ
り説明すると、第２，３図の（１）がロータ、 （ｌａ
）が同ロータ（１）の外周面に多段に設けた回転円板、
（ｌｂ）が同各回転円板（１）の後記固定円板（２ａ
）対向面に設けたスパイラル状溝（第４図参照）、（２
）が上記ロータ（１）を取り囲むケーシング。(Prior Art) A conventional Siegbahn vacuum pump will be explained with reference to Figures 2.3 and 4. (1) in Figures 2 and 3 is the rotor, (la
) is a rotating disk provided in multiple stages on the outer peripheral surface of the rotor (1),
(lb) is the fixed disk (2a) of each rotating disk (1).
) spiral groove provided on the opposing surface (see Figure 4), (2
) is a casing surrounding the rotor (1).
（２ａ）が同ケーシング（２）の内周面に多段に設けた
静止円板、 （２ｂ）が同各静止円板（２ａ）の回転円
板（１ａ）対向面に設けたスパイラル状溝（第４図参照
）で、同各静止円板（２ａ）と上記固定円板（１ａ）と
が狭い間隔を置いて対向している。また（３）が上記ロ
ータ（１）を回転可能に支持した主軸、 （１０）が上
記ケーシング（２）の下部に取付けたモータケーシング
、（４）が上記主軸（３）に取付けたモータ回転子、（
５）が上記モータケーシング（１０）に取付けたモータ
ステータ、（６）が上記主軸（３）の上部軸受、（７）
が上記主軸（３）の下部軸受、（８）が上記ケーシング
（２）の上部に設けた吸入口、（９）が上記ケーシング
（２）の下部に設けた排気口、 （１１）が上記モータ
ケ−シング（１０）の周りに設けた冷却ジャケット。(2a) is a stationary disk provided in multiple stages on the inner peripheral surface of the casing (2), and (2b) is a spiral groove provided on the surface of each stationary disk (2a) facing the rotating disk (1a). (see FIG. 4), each of the stationary disks (2a) and the fixed disk (1a) face each other with a narrow interval therebetween. In addition, (3) is a main shaft rotatably supporting the rotor (1), (10) is a motor casing attached to the lower part of the casing (2), and (4) is a motor rotor attached to the main shaft (3). ,(
5) is the motor stator attached to the motor casing (10), (6) is the upper bearing of the main shaft (3), and (7) is the motor stator attached to the motor casing (10).
is the lower bearing of the main shaft (3), (8) is the intake port provided at the top of the casing (2), (9) is the exhaust port provided at the bottom of the casing (2), and (11) is the motor casing. - a cooling jacket around the thing (10);
（１２）が同冷却ジャケット（１１）の冷却水供給口（
１３）が同冷却ジャケツ） （１１）の冷却水排水口。(12) is the cooling water supply port (
13) is the same cooling jacket) (11) is the cooling water drain port.
（１５）が上記モータケーシング（１０）の下部に取付
けた油タンク兼下部ケーシング、 （１６）が同下部ケ
ーシング（１５）の下部に取付けた合板、 （１４）が
上記油タンク兼下部ケーシング（１５）内の潤滑油で、
モータ回転子（４）とモータステータ（５）とにより主
軸（３）とロータ（１）と各回転円板（１ａ）とを回転
させて、大気圧状態の真空容器（図示せず）から吸入口
（８）を経て吸入したガスをガス粘性を利用して加速さ
せる。またこのガスを各静止円板（２ａ）の回転円板（
１ａ）対向面に設けたスパイラル状溝（２ｂ）により旋
回させながら排気口（９）を経て排気するようになって
いる。(15) is the oil tank/lower casing attached to the lower part of the motor casing (10), (16) is the plywood attached to the lower part of the lower casing (15), (14) is the oil tank/lower casing (15) ) with the lubricating oil in
The main shaft (3), rotor (1), and each rotating disk (1a) are rotated by the motor rotor (4) and motor stator (5), and suction is taken from a vacuum container (not shown) at atmospheric pressure. The gas inhaled through the port (8) is accelerated using gas viscosity. In addition, this gas is transferred to the rotating disk (2a) of each stationary disk (2a).
1a) The spiral groove (2b) provided on the opposing surface allows the gas to be exhausted through the exhaust port (9) while being rotated.
なおこのジーグバーン型真空ポンプは、油回転ポンプの
ように油等の液体を使用しないので、ベーパが真空チャ
ンバーへ逆拡散して、真空の純度を落とすことがない。Note that this Siegbahn type vacuum pump does not use liquid such as oil unlike an oil rotary pump, so vapor does not diffuse back into the vacuum chamber and reduce the purity of the vacuum.
（発明が解決しようとする課題）
前記第２．３．４図に示す従来のジーグバーン型真空ポ
ンプには９次の問題があった。即ち１回転円板（１ａ）
及び静止円板（２ａ）のうち、静止円板（２ａ）に、方
向の異なるスパイラル状溝（２ｂ） （第４図参照）を
設けているが、このスパイラル状溝（２ｂ）の溝とラン
ド（１７）の幅とはその全域で等しくなっている。また
ねじれ角がその全域で一定になっており、流路面積が外
径側にゆくに従い大きくなって、内径側の流路面積が小
さくなる。そのため。(Problems to be Solved by the Invention) The conventional Siegbahn vacuum pump shown in FIG. 2.3.4 has the following nine problems. That is, one rotation disk (1a)
Of the stationary disk (2a), the stationary disk (2a) is provided with a spiral groove (2b) (see Figure 4) in a different direction. The width of (17) is equal over the entire area. Further, the twist angle is constant over the entire area, and the flow path area increases toward the outer diameter side, and the flow path area decreases toward the inner diameter side. Therefore.
外向流を形成する段では、流速が大きくなり、流動抵抗
が大きくなって、排気能力が低下する。この排気能力の
低下には５回転円板（ｌａ）及び静止円板（２ａ）の段
数（枚数）増加で対処している。In the stage that forms an outward flow, the flow velocity increases, the flow resistance increases, and the exhaust capacity decreases. This decrease in exhaust capacity is dealt with by increasing the number of stages (number of sheets) of the 5-rotation disk (la) and the stationary disk (2a).
本発明は前記の問題点に鑑み提案するものであり、その
目的とする処は、大きな排気能力を得られて１回転円板
及び静止円板の段数（枚数）を低減できるジーグバーン
型真空ポンプを提供しようとする点にある。The present invention has been proposed in view of the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a Siegbahn type vacuum pump that can obtain a large exhaust capacity and reduce the number of stages (number of plates) of single-rotation disks and stationary disks. This is what we are trying to provide.
（課題を解決するための手段）
上記の目的を達成するために１本発明は、多段の回転円
板及び同各回転円板に狭い間隔を置いて対向した多段の
静止円板の少なくとも一方の対向面に設けたスパイラル
状溝により、ガスを旋回させながら排気するジーグバー
ン型真空ポンプにおいて、前記各回転円板及び前記各静
止円板のうち。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides at least one of a multi-stage rotating disk and a multi-stage stationary disk facing each of the rotating disks at a narrow interval. Of the rotating disks and the stationary disks in a Siegbahn vacuum pump that exhausts gas while swirling it with a spiral groove provided on the opposing surface.
外向流を形成する少なくとも１組の回転円板及び静止円
板の対向面に、方向が異なり、外径側にゆくに従いねじ
れ角が大きく、しかも溝幅が等しいか、外径側にゆくに
従い小さくなるスパイラル状溝を設けている。At least one pair of rotating disks and stationary disks forming an outward flow have grooves on opposing surfaces that have different directions, a helix angle that increases toward the outer diameter, and groove widths that are equal or smaller toward the outer diameter. A spiral groove is provided.
（作用）
本発明のジーグバーン型真空ポンプは前記のように構成
されており、モータ回転子とモータステータとにより主
軸とロータと各回転円板とを回転させて、大気圧状態の
真空容器から吸入口を経て吸入したガスをガス粘性を利
用して加速させ、またこのガスを各静止円板の回転円板
対向面に設けたスパイラル状溝により旋回させながら排
気口を経て排気するが、このとき、各回転円板及び各静
止円板のうち、外向流を形成する少なくとも１組の回転
円板及び静止円板の対向面に、方向が異なり、外径側に
ゆくに従いねじれ角が大きく、しかも溝幅が等しいか、
外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝を設けて
おり、外向流を形成する段では、流速が小さくなって、
流動抵抗が減少する。そのため、大きな排気能力を得ら
れて１回転円板及び静止円板の段数（枚数）低減が可能
になる。(Function) The Siegbahn vacuum pump of the present invention is configured as described above, and the motor rotor and motor stator rotate the main shaft, rotor, and each rotating disk, and suction is drawn from a vacuum container at atmospheric pressure. The gas inhaled through the mouth is accelerated using gas viscosity, and this gas is exhausted through the exhaust port while being swirled by a spiral groove provided on the surface of each stationary disc facing the rotating disc. , among the rotating disks and the stationary disks, at least one set of rotating disks and stationary disks forming an outward flow has opposing surfaces having different directions and a twist angle increasing toward the outer diameter side, and Are the groove widths equal?
A spiral groove is provided that becomes smaller as it goes toward the outer diameter side, and at the stage where outward flow is formed, the flow velocity becomes smaller.
Flow resistance is reduced. Therefore, it is possible to obtain a large exhaust capacity and to reduce the number of stages (number of disks) of one-rotation disks and stationary disks.
（実施例）
次に本発明のジーグバーン型真空ポンプを第１図に示す
一実施例により説明すると１本ジーグバーン型真空ポン
プでも、第２，３図に示すようにロータ（１）の外周面
に複数枚の回転円板（ｌａ）を多段に設け、ケーシング
（２）の内周面に複数枚の固定円板（２ａ）を多段に設
けて、同各回転円板（１ａ）と同各固定円板（２ａ）と
を狭い間隔を置いて対向させている。そしてこれら回転
円板（ｌａ）及び静止円板（２ａ）のうち、外向流を形
成する少なくとも１組の回転円板（ｌａ）及び静止円板
（２ａ）の対向面に１次のスパイラル状溝（２ｃ）及び
ランド（１７ａ）、即ち、方向が異なり、外径側にゆく
に従いねじれ角が大きくしかも溝幅が等しいか、外径側
にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝（２ｃ）及びラ
ンド（１７ａ）を設けている。なお前記従来のジーグバ
ーン型真空ポンプでは１回転円板（１ａ）及び固定円板
（２ａ）のうち固定円板（２ａ）に設けたスパイラル状
溝（２ｂ）の幅とランド（１７）の幅とをその全域で等
しくしている。(Embodiment) Next, the Siegbahn type vacuum pump of the present invention will be explained with reference to an embodiment shown in Fig. 1.Even in the case of a single Siegbahn type vacuum pump, as shown in Figs. A plurality of rotating disks (la) are provided in multiple stages, and a plurality of fixed disks (2a) are provided in multiple stages on the inner peripheral surface of the casing (2), and each rotating disk (1a) and each fixed disk are provided in multiple stages. The disc (2a) is placed opposite to the disc (2a) with a narrow interval therebetween. Of these rotating disks (la) and stationary disks (2a), at least one pair of rotating disks (la) and stationary disks (2a) forming an outward flow has primary spiral grooves on opposing surfaces. (2c) and land (17a), that is, the spiral groove (2c) and land (17a) have different directions, and the helix angle increases toward the outer diameter side, and the groove width is the same, or decreases toward the outer diameter side. ) has been established. In addition, in the conventional Siegbahn type vacuum pump, the width of the spiral groove (2b) and the width of the land (17) provided in the fixed disk (2a) of the one-rotation disk (1a) and the fixed disk (2a) are are made equal over the entire area.
またねじれ角をその全域で一定にしており、流路面積が
外径側にゆくに従い大きくなって、内径側の流路面積が
小さくなっている。Further, the twist angle is constant over the entire area, and the flow passage area increases toward the outer diameter side, and the flow passage area on the inner diameter side becomes smaller.
次に前記第１図に示すジーグバーン型真空ポンプの作用
を具体的に説明する。モータ回転子（４）とモータステ
ータ（５）とにより主軸（３）とロータ（１）と各回転
円板（１ａ）とを回転させて、大気圧状態の真空容器か
ら吸入口（８）を経て吸入したガスをガス粘性を利用し
て加速させる。またこのガスを各静止円板（２ａ）の回
転円板（１ａ）対向面に設けたスパイラル状溝（２ｂ）
により旋回させながら排気口（９）を経て排気するとき
に、各回転円板（１ａ）及び各静止円板（２ａ）のうち
、外向流を形成する少なくとも１組の回転円板（ｌａ）
及び静止円板（２ａ）の対向面に、方向が異なり、外径
側にゆくに従いねじれ角が大きく、しかも溝幅が等しい
か、外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝（２
ｃ）及びランド（１７ａ）を設けており、外向流を形成
する段では。Next, the operation of the Siegbahn vacuum pump shown in FIG. 1 will be explained in detail. The main shaft (3), rotor (1), and each rotating disk (1a) are rotated by the motor rotor (4) and motor stator (5), and the suction port (8) is removed from the vacuum container at atmospheric pressure. Accelerates the gas inhaled by using gas viscosity. In addition, this gas is passed through spiral grooves (2b) provided on the surface of each stationary disk (2a) facing the rotating disk (1a).
When exhausting air through the exhaust port (9) while being rotated by
and spiral grooves (2
c) and a land (17a) in the stage forming an outward flow.
流速が小さくなって、流動抵抗が減少し、大きな排気能
力が得られて１回転円板及び静止円板の段数（枚数）が
低減する。The flow velocity is reduced, the flow resistance is reduced, a large exhaust capacity is obtained, and the number of stages (number of plates) of the rotating disk and the stationary disk is reduced.
（発明の効果）
本発明のジーグバーン型真空ポンプは前記のようにモー
タ回転子とモータステータとにより主軸とロータと各回
転円板とを回転させて、大気圧状態の真空容器から吸入
口を経て吸入したガスをガス粘性を利用して加速させ、
またこのガスを各静止円板の回転円板対向面に設けたス
パイラル状溝により旋回させながら排気口を経て排気す
るが。(Effects of the Invention) As described above, the Siegbahn type vacuum pump of the present invention rotates the main shaft, rotor, and each rotating disk by the motor rotor and motor stator, and pumps air from the vacuum container at atmospheric pressure through the suction port. Accelerates the inhaled gas using gas viscosity,
Further, this gas is exhausted through the exhaust port while being swirled by a spiral groove provided on the surface of each stationary disk facing the rotating disk.
このとき、各回転円板及び各静止円板のうち、外向流を
形成する少なくとも１組の回転円板及び静止円板の対向
面に、方向が異なり、外径側にゆくに従いねじれ角が大
きく、しかも溝幅が等しいか。At this time, among the rotating disks and stationary disks, at least one pair of rotating disks and stationary disks forming an outward flow have different directions on opposing surfaces, and a twist angle that increases toward the outer diameter side. , and are the groove widths the same?
外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル状溝を設けて
おり、外向流を形成する段では、流速を小さくできて、
流動抵抗を減少させるので、大きな排気能力を得られて
１回転円板及び静止円板の段数（枚数）を低減できる効
果がある。A spiral groove that becomes smaller toward the outer diameter side is provided, and the flow velocity can be reduced at the stage where outward flow is formed.
Since the flow resistance is reduced, a large exhaust capacity can be obtained and the number of stages (number) of single rotation disks and stationary disks can be reduced.
第１図は本発明に係わるジーグバーン型真空ポンプの静
止円板の一実施例を示す平面図、第２図１よ従来のジー
グバーン型真空ポンプの一部を拡大して示す縦断側面図
、第３図はその全体を示す縦断側面図、第４図は同ジー
グバーン型真空ポンプの静止円板のを示す平面図である
。
（１）・・・ロータ、 （ｌａ） ・・・回転円板、
（２）・・・ケーシング、 （２ａ） ・・・静止円
板、 （２ｃ） ・・・スパイラル状溝。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a stationary disk of a Siegbahn vacuum pump according to the present invention; FIG. 2 is a vertical sectional side view showing an enlarged part of a conventional Siegbahn vacuum pump; The figure is a longitudinal sectional side view showing the whole, and FIG. 4 is a plan view showing a stationary disk of the Siegbahn type vacuum pump. (1)...rotor, (la)...rotating disk,
(2)...Casing, (2a)...Stationary disk, (2c)...Spiral groove.
Claims (1)
向した多段の静止円板の少なくとも一方の対向面に設け
たスパイラル状溝により、ガスを旋回させながら排気す
るジーグバーン型真空ポンプにおいて、前記各回転円板
及び前記各静止円板のうち、外向流を形成する少なくと
も１組の回転円板及び静止円板の対向面に、方向が異な
り、外径側にゆくに従いねじれ角が大きく、しかも溝幅
が等しいか、外径側にゆくに従い小さくなるスパイラル
状溝を設けたことを特徴とするジーグバーン型真空ポン
プ。In a Siegbahn type vacuum pump that exhausts gas while swirling it by a spiral groove provided on at least one opposing surface of a multi-stage rotating disk and a multi-stage stationary disk facing each rotating disk at a narrow interval. , among the rotating disks and the stationary disks, at least one pair of rotating disks and stationary disks forming an outward flow have opposing surfaces having different directions and a twist angle increasing toward the outer diameter side. , a Siegbahn vacuum pump characterized by having a spiral groove whose groove width is equal or becomes smaller toward the outer diameter side.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27236190A JPH04148099A (en) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | Siegbahn type vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27236190A JPH04148099A (en) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | Siegbahn type vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04148099A true JPH04148099A (en) | 1992-05-21 |
Family
ID=17512812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27236190A Pending JPH04148099A (en) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | Siegbahn type vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04148099A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5846055A (en) * | 1993-06-15 | 1998-12-08 | Ksb Aktiengesellschaft | Structured surfaces for turbo-machine parts |
| JP2013519033A (en) * | 2010-02-01 | 2013-05-23 | アジレント・テクノロジーズ・インク | High vacuum pump |
| JP2016008611A (en) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | Shiegbahn step |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63147989A (en) * | 1986-12-09 | 1988-06-20 | Daikin Ind Ltd | Combination vacuum pump |
| JPH0220798B2 (en) * | 1981-05-20 | 1990-05-10 | Acf Ind Inc |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP27236190A patent/JPH04148099A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0220798B2 (en) * | 1981-05-20 | 1990-05-10 | Acf Ind Inc | |
| JPS63147989A (en) * | 1986-12-09 | 1988-06-20 | Daikin Ind Ltd | Combination vacuum pump |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5846055A (en) * | 1993-06-15 | 1998-12-08 | Ksb Aktiengesellschaft | Structured surfaces for turbo-machine parts |
| JP2013519033A (en) * | 2010-02-01 | 2013-05-23 | アジレント・テクノロジーズ・インク | High vacuum pump |
| JP2016008611A (en) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | Shiegbahn step |
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