JPH04142026A - 変位測定機能付ニードル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は粘度を持つ液体を吐出する変位測定機能付ニー
ドルに関し、特に半導体製造装置であるフォトレジスト
吐出装置のフォトレジスト吐出口となるニードルに関す
る。

〔従来の技術〕

従来のフォトレジスト吐出装置では、フォトレジスト（
以下、液体と称す）の吐出口の構造は、第３図の断面図
に示すように、液体の貯蔵部であるシリンジ７の先端に
吐出部であるニードル６がはめ込まれ、他端にはＯリン
グ８を介してアダプターヘッド８が取り付けられ、さら
に加圧ボート接続部１０がねじ込まれている。又、第４
図はニードル６の拡大断面図である。このように、従来
の吐出口はシリンジ７内のエア圧を変化させる事で、ニ
ードル６から吐出する液体の量をコントロールするとい
う機能を有している。

吐出量のばらつきに影響を与える要素としては、シリン
ジ７内の液体の残量、液体の温度、液体の粘度等がある
。液体の温度の制御は従来から行なわれているが、近年
は液体の残量の影響を少なくする為に、吐出時のシリン
ジ内のエア圧と、このエア圧が一定のエア圧になる迄の
時間を測定し、吐出時間の補正を行うという機能を持っ
な吐吊装置もある。

〔発明が解決しようとする課題〕

この従来の吐出装置のシリンジ及びニードルの構造では
、液体の温度、残量の影響を補正する事が出来ても、液
体の粘度が経時変化する様な場合は補正不可能となり、
吐出量がばらついてしまうという問題があった。

この問題を解決するには、液体の粘度を逐次測定し、吐
出装置にフィードバックを行う事が必要となる。その為
にはシリンジ内に小型粘度計を設けるか、シリンジ外に
別に流路を設け、粘度計に接続しなければならない。

しかし、そうすると今度は測定条件によって粘度が変化
してしまい、ニードル先端での粘度と異なった測定値と
なってしまうという問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の変位測定機能付きニードルは、シリンジ内に粘
度検呂部を設けるのではなく、液体の粘性によるニード
ル自体の変位量を差動変圧器によって検出し、この電気
信号により液体を押し出すエア圧を制御するという機能
を備えている。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の変位測定機能付ニードルの
縦断面図、また第２図は一実施例の動作を説明する縦断
面図である。

本実施例のニードルは、シリンジ・ニードル接続部５の
部分でシリンジと接続して使用する。シリンジから液体
が流入すると、その液体の粘性により、ニードル１と液
体との間に摩擦力か発生する。その摩擦力によりスプリ
ング２が収縮し、ニードル１が下方へ押し下げられる（
第２図）。この変位量ａを差動変圧器３で電気信号に変
換し、この信号をリード線４によってティスペンサー等
の吐出装置の制御部へ逐次フィードバックし、液体を押
し比すためのエア圧を制御することによって吐出量の制
御を行なう。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、液体の吐出口のニードル
部に変位測定機能を付加したので、吐出する毎に粘度の
チエツクを行ない、その値をデイスペンサー等の吐出装
置に逐次フィードバックしてエア圧を制御し、吐出量の
ばらつきを少なくする事が出来るという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は第１図
に示しな一実施例の吐出時の動作を示す縦断面図、第３
図は従来の吐出口の縦断面図、第４図は従来のニードル
の縦断面図である。 １・・・ニードル、２・・・スプリング、３・・・差動
変圧器、４・・・リード線、５・・・シリンジ・ニード
ル接続部、６・・・ニードル、７・・・シリンジ、８・
・・０リング、９・・・アダプターヘッド、１０・・・
加圧ポート接続部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　シリンジ・ニードル接続部に設けられた差動変圧器と
   、この差動変圧器内をスプリングを介して上下に可動す
   るニードルと、シリンジから前記ニードルに送り込まれ
   た液体の粘性によって生ずるニードルの変位量を前記差
   動変圧器により検出し、この信号により液体を押し出す
   ためのエア圧の制御を行なう制御部とを有することを特
   徴とする変位測定機能付ニードル。