JPH04141396A - Cutting method and cutting device - Google Patents
Cutting method and cutting deviceInfo
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- JPH04141396A JPH04141396A JP2262124A JP26212490A JPH04141396A JP H04141396 A JPH04141396 A JP H04141396A JP 2262124 A JP2262124 A JP 2262124A JP 26212490 A JP26212490 A JP 26212490A JP H04141396 A JPH04141396 A JP H04141396A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D45/00—Sawing machines or sawing devices with circular saw blades or with friction saw discs
- B23D45/10—Sawing machines or sawing devices with circular saw blades or with friction saw discs with a plurality of circular saw blades
- B23D45/107—Sawing machines or sawing devices with circular saw blades or with friction saw discs with a plurality of circular saw blades mounted on a turret
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
- B28D5/029—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with a plurality of cutting blades
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Abstract
Description
本発明はブレードを使用し、半導体ウェーハ、ガラス、
セラミックス、フェライト、大理石又は御影石等の板状
又はブロック状を呈する被加工物を所定形状のチップ又
はタイル状に切削する方法及び切削装置に関する。
【従来技術】
一般にブレードを使用して、この種の被加工物を複数の
所定形状のチップに切削する装置として、例えば半導体
ウェーハ等の場合には、精密切削を行うダイシング装置
が広く知られている。このダイシング装置は１本のスピ
ンドルを具備したスピンドル手段と、半導体ウェーハの
如き被加工物を保持する保持手段とから構成されており
、前記スピンドルの先端には被加工物を切削するために
ブレードが装着され、該ブレードによって前記保持手段
の保持されている被加工物を所要形状のチップに切削す
るものである。又、１本のスピンドルに代えて、２本の
スピンドルを装備したスピンドル手段を有するダイシン
グ装置も知られている。このダイシング装置は、被加工
物の切削効率を高めるために開発されたもので、前記２
本のスピンドルに夫々装着されているブレードが、被加
工物に対して実質的に同時に作用するように構成されて
いる。
更に、精密切削を要しない、フェライト又は大理石及び
御影石等の石材を切削する装置としては、ブレードを使
用しないワイヤーソー又は特殊な鋸等がある。The present invention uses a blade to process semiconductor wafers, glass,
The present invention relates to a method and a cutting apparatus for cutting a plate-shaped or block-shaped workpiece such as ceramics, ferrite, marble, or granite into chips or tiles of a predetermined shape. [Prior Art] A dicing machine that performs precision cutting is widely known as a device that generally uses a blade to cut this type of workpiece into a plurality of chips of a predetermined shape, for example, in the case of semiconductor wafers. There is. This dicing apparatus is composed of a spindle means equipped with one spindle and a holding means for holding a workpiece such as a semiconductor wafer, and a blade is installed at the tip of the spindle for cutting the workpiece. The blade is used to cut the workpiece held by the holding means into chips of a desired shape. Furthermore, a dicing apparatus having a spindle means equipped with two spindles instead of one spindle is also known. This dicing device was developed to increase the cutting efficiency of the workpiece, and is
The blades, each mounted on a book spindle, are configured to act on the workpiece substantially simultaneously. Furthermore, as a device for cutting ferrite or stone materials such as marble and granite that does not require precision cutting, there are wire saws or special saws that do not use blades.
前記従来例のダイシング装置において、１本のスピンド
ルに１個のブレードを取り付けたものは、作業性が悪い
と言う問題点を有している。
又、２本のスピンドルを具備したものは、各スピンドル
が被加工物に対して平行に且つ並列状態に設けられてお
り、各スピンドルの端部に装着されているブレードが被
加工物に対し実質的に同時に作用するように構成されて
いるので、前記１本のスピンドルのものよりも作業性に
は優れるが、被加工物をチップ又はタイル状に縦横に切
削する場合に、縦横の寸法が異なるとその都度両スピン
ドルにおけるブレードの間隔を調整しなければならず、
それによって作業性が低下すると言う問題点を有してい
る。特に、精密切削を必要としない石材等の場合には、
作業性の低下が生産性に大きく影響するのである。In the conventional dicing apparatus described above, one in which one blade is attached to one spindle has a problem of poor workability. In addition, in the case of a device equipped with two spindles, each spindle is installed parallel to and parallel to the workpiece, and the blade attached to the end of each spindle is substantially in contact with the workpiece. Because it is configured to work simultaneously, it has better workability than the single spindle method, but when cutting a workpiece into chips or tiles in the vertical and horizontal directions, the and the spacing between the blades on both spindles must be adjusted each time.
This poses a problem in that workability is reduced. In particular, in the case of stones etc. that do not require precision cutting,
Decrease in workability greatly affects productivity.
前記従来例における問題点を解決する具体的手段として
本発明は、複数のスピンドルを具備し、該複数のスピン
ドルには夫々所定の間隔をもって複数の異種又は同種の
ブレードが装着されており、前記複数のスピンドルを適
宜選択して前記複数のブレードを被加工物に対応させる
ことで連続的に切削を行うようにしたことを特徴とする
切削方法、並びに１本の主軸を中心としてその周囲に複
数のスピンドルを配設し、該複数のスピンドルには夫々
所定の間隔をもって同種又は異種の複数のブレードが装
着され、前記主軸の選択的な間欠回転により前記ブレー
ドを適宜被加工物に対応させて連続的に切削を行うよう
にしたことを特徴とする切削装置を提供するものであり
、各スピンドルに装着した複数のブレードを同時に被加
工物に作用させることで作業能率の向上を図り、更に縦
横の切削長さが異なる場合、又は切削溝が異なる場合に
は、予めその寸法に設定してブレードを取り付けである
スピンドル、又は異なる種類のブレードが取り付けられ
たスピンドルを、被加工物に作用する位置まで選択的に
回転させて位置させれば、直ちに予定した切削が行える
ようになり、それによっても作業能率が一段と向上する
のである。As a specific means for solving the problems in the conventional example, the present invention is provided with a plurality of spindles, each of which has a plurality of blades of different types or the same type installed at a predetermined interval, A cutting method characterized in that cutting is performed continuously by appropriately selecting a spindle and aligning the plurality of blades with the workpiece, and a plurality of blades arranged around one main shaft. A spindle is provided, and a plurality of blades of the same type or different types are attached to each of the plurality of spindles at predetermined intervals, and the blades are continuously rotated by selectively intermittent rotation of the main shaft to appropriately correspond to the workpiece. The present invention provides a cutting device that is characterized by being able to cut vertically and horizontally, and improves work efficiency by simultaneously applying multiple blades attached to each spindle to the workpiece. If the lengths are different or the cutting grooves are different, select a spindle with the blade set in advance to that dimension or a spindle with a different type of blade attached to the position where it will act on the workpiece. By rotating and positioning the tool, you can immediately start cutting as planned, which further improves work efficiency.
次に本発明を図示の実施例に基づき更に詳しく説明する
と、１は主軸であり、該主軸の周面に等間隔を持って複
数のアーム２を形成し、該アームの先端部に夫々スピン
ドル３を配設する。図示の実施例の場合は、４本のアー
ム２が形成されているが、これを例えば５〜８本程度ま
での範囲で任意に形成することができる。前記各スピン
ドル３には同種の又は異種のブレード４ａ〜４ｄが夫々
複数枚所定の間隔をもって取り付けられる。この場合の
同種又は異種とは、ブレードの特性、外形、刃厚等が同
−又は異なることであり、所定の間隔とは、例えばブレ
ード４ａは同種の７枚のブレードを等間隔をもって配設
し、ブレード４ｂはブレード４ａとは異なる種類の７枚
のブレードを等間隔に配設し、前記ブレード４Ｃは前記
ブレード４ａと同種のブレードを異なる間隔をもって均
等に４枚配設し、前記ブレード４ｄは更に異なる間隔を
もって５枚配設する等である。そして、各複数のブレー
ドは、所定のスペーサー１９を介在させて配設されるこ
とになるが、例えば各ブレード４ａ〜４ｄ毎に、夫々１
つのブレートコ、二・ソトとじて準備しておき、これを
スピンドルに取り付けるようにしても良い。
前記各ブレー１’４ａ〜４ｄは稼動位置、即ち、被加工
物の保持手段５に対面した時に駆動されるように構成さ
れており、前記主軸１は矢印ａで示す上下方向、矢印１
）で示す回転方向及び矢印Ｃで示す前後方向に夫々選択
的に移動又は駆動できるように構成されている。
前記保持手段５は、所謂チャックテーブルであって、−
射的なダイシング装置で使用されているものと同種のも
のであり、該チャックテーブル５は基台６上に位置させ
、該基台６はレール等を具備しており、前記チャックテ
ーブル５が、矢印ｄで示す方向及び該矢印方向に対して
水平に直交する矢印ｅで示す方向に適宜移動できるよう
になっている。そして、前記チャックテーブル５上には
被加工物７が、例えば吸着手段により安定して保持され
る。勿論、前記チャックテーブル５は、載置された被加
工物７を前記ブレードによる切削工程に対応して、及び
切削位置をアライメントするために回転方向にも駆動で
きることは従来例と同一である。
前記主軸１は全体として円柱状又は円筒状を呈し、その
基部はベース部材８に回転自在に取り付けられ、該ベー
ス部材８は支柱９に対して上下方向に摺動自在に取り付
けられている。前記ベース部材８にはモータ等の駆動源
１０が配設され、該駆動源１０により前記主軸１を任意
の方向、即ち前記矢印すで示した回転方向に所定角度回
転させることができるように構成されている。この場合
の主軸１の回転は、主軸１に取り付けられている夫々の
スピンドル３の各ブレード４ａ〜４ｄが夫々被加工物７
に作用する位置にセットされる位置範囲の角度回転であ
り、例えば主軸１に４本のスピンドル３が配設されてい
る場合には、９０〜１８０’の範囲において角度回転し
、スピン１！ルが６本の場合には６０〜１８０°の範囲
で角度回転するように設定されている。
前記ベース部材８は支柱９に対して上下動可能に取り付
けられており、該上下動は支柱θ内に配設された駆動機
構によって行われる。即ち、ベース部材８の一部８ａが
ネジ杆１１に係合し、該ネジ杆１．１はその端部に接続
したモータ等の駆動源１２により選択的に右回転又は左
回転して駆動され、それによって主軸１が前記矢印ａで
示した」二下方向に選択的に移動できるようになってい
る。
前記支柱９は、基台１３上に配設されたレールＩ４及び
ネジ杆１５を介して起立状態で且つ移動可能に配設され
る。そしてネジ杆１５はその端部に接続されたモータ等
の駆動源Ｉ６により任意の方向に駆動され、該駆動によ
って前記支柱９が前後方向に移動し、それによって前記
主軸１が矢印Ｃで示した方向に移動できるのである。
前記各スピンドル３は夫々その内部に駆動源１７と駆動
軸１８とを有し、該駆動軸１８の突出端に前記ブレード
４ａ〜４ｄが夫々取り付けられ、該ブレードは稼動位置
に来た時に、前記駆動源１７により回転駆動される構成
になっている。Next, the present invention will be described in more detail based on the illustrated embodiment. Reference numeral 1 denotes a main shaft, and a plurality of arms 2 are formed at equal intervals on the circumferential surface of the main shaft, and a spindle 3 is provided at the tip of each arm. to be placed. In the illustrated embodiment, four arms 2 are formed, but any number of arms 2 may be formed, for example, in the range of about 5 to 8. A plurality of blades 4a to 4d of the same type or different types are attached to each spindle 3 at predetermined intervals. In this case, the same type or different type refers to blades having the same or different characteristics, outer shape, blade thickness, etc., and the predetermined spacing means, for example, blade 4a has seven blades of the same type arranged at equal intervals. , the blade 4b has seven blades of a different type from the blade 4a arranged at equal intervals, the blade 4C has four blades of the same type as the blade 4a arranged evenly at different intervals, and the blade 4d has seven blades of a different type than the blade 4a arranged at equal intervals. Furthermore, five sheets may be arranged at different intervals. Each of the plurality of blades is arranged with a predetermined spacer 19 interposed therebetween. For example, each of the blades 4a to 4d has one spacer.
It is also possible to prepare two plates and two plates and attach them to the spindle. Each of the brakes 1'4a to 4d is configured to be driven when in the operating position, that is, when facing the holding means 5 for the workpiece, and the main shaft 1 is moved in the vertical direction indicated by arrow a, and in the vertical direction indicated by arrow 1.
) and can be selectively moved or driven in the rotation direction shown by arrow C and the front-rear direction shown by arrow C, respectively. The holding means 5 is a so-called chuck table, and -
The chuck table 5 is of the same kind as that used in an optical dicing device, and the chuck table 5 is located on a base 6, and the base 6 is equipped with a rail etc., and the chuck table 5 is It is possible to move appropriately in the direction shown by arrow d and in the direction shown by arrow e horizontally orthogonal to the arrow direction. The workpiece 7 is stably held on the chuck table 5 by, for example, suction means. Of course, as in the conventional example, the chuck table 5 can also be driven in the rotational direction in order to correspond to the cutting process of the workpiece 7 placed thereon by the blade and to align the cutting position. The main shaft 1 has a columnar or cylindrical shape as a whole, and its base is rotatably attached to a base member 8, and the base member 8 is attached to a column 9 so as to be slidable in the vertical direction. A drive source 10 such as a motor is disposed on the base member 8, and the drive source 10 is configured to rotate the main shaft 1 by a predetermined angle in any direction, that is, in the direction of rotation indicated by the arrow. has been done. In this case, the rotation of the main shaft 1 is such that each blade 4a to 4d of each spindle 3 attached to the main shaft 1 rotates toward the workpiece 7.
For example, when four spindles 3 are disposed on the main shaft 1, the angle rotation is in the range of 90 to 180', and the spin 1! When there are six wheels, the angle is set to rotate within a range of 60 to 180 degrees. The base member 8 is attached to the support column 9 so as to be movable up and down, and the vertical movement is performed by a drive mechanism disposed within the support support θ. That is, a portion 8a of the base member 8 engages with the threaded rod 11, and the threaded rod 1.1 is selectively driven to rotate clockwise or counterclockwise by a drive source 12 such as a motor connected to its end. , thereby making it possible for the main shaft 1 to selectively move in the downward direction indicated by the arrow a. The support column 9 is disposed in an upright and movable manner via a rail I4 disposed on a base 13 and a screw rod 15. The threaded rod 15 is driven in any direction by a drive source I6 such as a motor connected to its end, and this drive causes the support 9 to move in the front and back direction, thereby causing the main shaft 1 to move in the direction indicated by arrow C. It can move in any direction. Each of the spindles 3 has a drive source 17 and a drive shaft 18 therein, and the blades 4a to 4d are respectively attached to the protruding end of the drive shaft 18, and when the blades come to the operating position, It is configured to be rotationally driven by a drive source 17.
前記構成を有する本発明の切削装置を用いて切削方法を
説明すると、第３図及び第４図に示した切削を行う場合
に、各スピンドル３に取り付けられるブレード４ａ〜４
ｄを全て同種のものにし、例えば４枚のブレードを有す
るブレード４ｃと、５枚のブレードを有するブレード４
ｄとで切削するようにする。
先ず、切削溝２０を切削するために、駆動源＋０１１２
を駆動し主軸１を上下動及び９０’回転させてブレード
４ｄを稼働位置にセットし、チャックテーブル５を矢印
ｄ方向に移動させて切削を遂行する。次に、主軸１を」
１方に持ち」二げると同時に９０°回転させてブレード
４ｃを稼働位置にセット口、ターンテーブル５も９０°
回転させてがら、前記同様に矢印ｄ方向に移動させて切
削溝２１の切削を遂行させる。いずれにしても、予め設
定された間隔に配設された複数枚のブレードにより切削
することになるので、それに対応するスピンドルを稼働
位置に位置させるたけで、簡単に切削遂行が行えるので
ある。又、被切削物が大きい場合には、ターンテーブル
５を矢印ｅ方向に所定情死つ移動させ、複数回に亘って
切削を遂行させれば良い。
又、第５図及び第６図に示した切削を行う場合には、異
種のブレードを夫々同間隔に配設したブレードを使用す
る必要がある。例えばブレード４ａ刃厚が広く且つ質が
細がくてソフトなブレードを使用し、ブレード４ｂには
刃厚が薄く且つ／Ｓ−ドなブレードを使用する。そして
、先ず稼動位置にあるブレード４ａで、被処理物７を切
削加工して広い溝７ａを所定深さ切削し、次いで主軸１
を回転させてブレード４ｂを稼動位置にセ・ソトし、狭
い溝７ｂを切削するようにすれば良い。いずれにしても
、予め設定された質の異なるブレードを所定の順序で作
用させることで、能率良く切削遂行が出来るのである。
そして、必要があれば非稼動位置に退去した位置におい
て、各ブレード４ａ〜４ｄは新たなブレードに付は替え
られ、位置調整されて次の切削加工に寄与させられる。
又、４本のスピンドルの内、２木兄つがベアリングを組
んで切削を遂行する場合に、各ブレードの性能にバラツ
キがあったにしても一応そのベアリングのブレードは耐
用最大限まで使用するようになるが、必要があればその
都度ベアリングを変更することもできる。例えば、最初
の切削工程でブレード４ａ１４ｂがペアをなしているが
、ブレード４ｂが突然欠けた場合には、直ちにブレード
４Ｃとブレード４ｄとのベアリングに替えて切削工程を
続行させるようにすることも出来る。そして、非稼動位
置に来たブレード４１）は直ちに取り替えられて次の切
削のために待機している。これ等のベアリングの組み替
え等は、制御部においてプログラミングされており、直
ちにそれに対応できるのである。いずれにしても、切削
装置を停止させることなく切削作業を継続させることが
できるのである。To explain the cutting method using the cutting device of the present invention having the above configuration, when performing the cutting shown in FIGS. 3 and 4, the blades 4a to 4 attached to each spindle 3
All blades d are of the same type, for example, a blade 4c having four blades and a blade 4 having five blades.
Cut with d. First, in order to cut the cutting groove 20, the drive source +0112
is driven to move the main shaft 1 up and down and rotate it 90' to set the blade 4d in the operating position, and move the chuck table 5 in the direction of arrow d to perform cutting. Next, spindle 1
Hold it on one side and at the same time turn it 90 degrees to set the blade 4c in the operating position, and turn the turntable 5 also at 90 degrees.
While rotating, the cutting groove 21 is cut by moving in the direction of the arrow d in the same manner as described above. In any case, since cutting is performed using a plurality of blades arranged at preset intervals, cutting can be easily performed by simply positioning the corresponding spindle in the operating position. If the object to be cut is large, the turntable 5 may be moved a predetermined distance in the direction of the arrow e to perform the cutting a plurality of times. Further, when performing the cutting shown in FIGS. 5 and 6, it is necessary to use blades in which different types of blades are arranged at the same spacing. For example, the blade 4a is a wide, thin, and soft blade, and the blade 4b is a thin, soft blade. First, the workpiece 7 is cut with the blade 4a in the operating position to cut a wide groove 7a to a predetermined depth, and then the main shaft 1
What is necessary is to rotate the blade 4b to set it in the operating position and cut the narrow groove 7b. In any case, cutting can be carried out efficiently by using preset blades of different quality in a predetermined order. If necessary, each of the blades 4a to 4d is replaced with a new blade in the non-operating position, the position is adjusted, and the blades are made to contribute to the next cutting process. Also, when two of the four spindles are assembled with bearings to perform cutting, even if there are variations in the performance of each blade, the blades of that bearing should be used to the maximum extent of their useful life. However, you can change the bearings each time if necessary. For example, in the first cutting process, the blades 4a14b form a pair, but if the blade 4b suddenly breaks, the cutting process can be continued by immediately replacing the bearing with the blades 4C and 4d. . Then, the blade 41) that has come to the non-operating position is immediately replaced and is waiting for the next cutting. Replacement of these bearings, etc. is programmed in the control unit and can be done immediately. In any case, the cutting operation can be continued without stopping the cutting device.
以」二説明したように本発明に係る切削方法は、複数の
スピンドルを具備し、該複数のスピンドルには夫々所定
の間隔をもって複数の異種又は同種のブレードが装着さ
れており、前記複数のスピンドルを適宜選択して前記複
数のブレードを被加工物に対応させることで連続的に切
削を行うようにしたことにより、縦横の切削の間隔が異
なっていても、それに対応した複数枚のブレードが被加
工物に同時に作用して切削を遂行するので、作業能率が
著しく向上すると言う優れた効果を奏する。
又、本発明の切削装置は、１本の主軸を中心としてその
周囲に複数のスピンドルを配設し、該複数のスピンドル
には夫々所定の間隔をもって同種又は異種の複数のブレ
ードが装着され、前記主軸の選択的な間欠回転により前
記ブレードを適宜被加工物に対応させて連続的に切削を
行うように構成したことにより、縦横の切削幅の異なる
場合でも、又切削溝の幅が異なる場合でも、予定された
ブレードを直ちに選択して被加工物に対応させることが
できるので、装置を停止させることなく、連続稼動が可
能になり、装置１台当たりの生産効率を著しく向上させ
ることができると言う優れた効果を奏する。As explained above, the cutting method according to the present invention includes a plurality of spindles, each of which has a plurality of blades of different types or the same type attached at a predetermined interval, By appropriately selecting the blades and making the blades correspond to the workpiece, cutting can be performed continuously. Even if the vertical and horizontal cutting intervals are different, the corresponding blades can be used to cut the workpiece. Since they work simultaneously on the workpiece to perform cutting, they have the excellent effect of significantly improving work efficiency. Further, in the cutting device of the present invention, a plurality of spindles are arranged around one main shaft, and a plurality of blades of the same type or different types are attached to each of the plurality of spindles at a predetermined interval, and By selectively intermittent rotation of the spindle, the blade is adapted to suit the workpiece to perform continuous cutting, even when the vertical and horizontal cutting widths are different, or when the width of the cutting groove is different. Since the planned blade can be immediately selected and matched to the workpiece, continuous operation is possible without stopping the equipment, and production efficiency per equipment can be significantly improved. It has excellent effects.
第１図は本発明に係る切削装置の要部を略示的に示した
正面図、第２図は同装置の一部を断面で示した側面図、
第３図は被切削物の切削状態の一態様を示す説明図、第
４図は同切削後の１つのチップを示す斜視図、第５図は
被切削物の他の切削状態を示す説明図、第６図は同切削
後の１つのチップを示す斜視図である。
１・・・・・・主軸 ２・・・・・・アーム３
・・・・・・スピンドル ４ａ〜４ｄ・・・ブレー５
・・・・・・チャックテーブル
６．１３・・・・・・基台 ７・・・・・・被加工
物８・・・・・・ベース部材 ９・・・・・・支柱１
０、１２． ＩＧ、 ＋７・・・・・・駆動源１１、１
５・・・・・・ネジ杆 Ｉ４・・・・・・レール支柱
１８・・・・・・駆動軸 １９・・・・・・スペ
ーサー７ ａ 、 ７ ｂ 、 ２０．２＋−＝−・切
削溝ド
特許出願人 株式会社ディスコFIG. 1 is a front view schematically showing the main parts of a cutting device according to the present invention, and FIG. 2 is a side view showing a part of the device in cross section.
Fig. 3 is an explanatory diagram showing one aspect of the cutting state of the workpiece, Fig. 4 is a perspective view showing one tip after cutting, and Fig. 5 is an explanatory diagram showing another cutting state of the workpiece. , FIG. 6 is a perspective view showing one chip after cutting. 1... Main shaft 2... Arm 3
...Spindle 4a to 4d... Brake 5
...Chuck table 6.13 ... Base 7 ... Workpiece 8 ... Base member 9 ... Support 1
0, 12. IG, +7... Drive source 11, 1
5... Screw rod I4... Rail support 18... Drive shaft 19... Spacer 7 a, 7 b, 20.2+-=- Cutting groove Patent applicant DISCO Co., Ltd.
Claims (2)
には夫々所定の間隔をもって複数の異種又は同種のブレ
ードが装着されており、前記複数のスピンドルを適宜選
択して前記複数のブレードを被加工物に対応させること
で連続的に切削を行うようにしたことを特徴とする切削
方法。(1) A plurality of spindles are provided, and a plurality of blades of different types or the same type are attached to each of the plurality of spindles at predetermined intervals, and the plurality of blades are processed by selecting the plurality of spindles as appropriate. A cutting method characterized by continuous cutting by matching the object.
ドルを配設し、該複数のスピンドルには夫々所定の間隔
をもって同種又は異種の複数のブレードが装着され、前
記主軸の選択的な間欠回転により前記ブレードを適宜被
加工物に対応させて連続的に切削を行うようにしたこと
を特徴とする切削装置。(2) A plurality of spindles are arranged around one main shaft, and a plurality of blades of the same type or different types are attached to each of the plurality of spindles at a predetermined interval, and the main shaft is selectively intermittent. A cutting device characterized in that the blade is rotated to suitably correspond to the workpiece and perform continuous cutting.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2262124A JPH04141396A (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Cutting method and cutting device |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family
ID=17371384
Family Applications (1)
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| JP2262124A Pending JPH04141396A (en) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | Cutting method and cutting device |
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| JP (1) | JPH04141396A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1990
- 1990-09-28 JP JP2262124A patent/JPH04141396A/en active Pending
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