JPH0413915A - Ｘ線透視検査装置及びｘ線透視検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術（第１５図） 発明が解決しようとする課題（第１６図）課題を解決す
るための手段（第１図、第２図）作用 実施例 （ｉ）第１の実施例の説明（第３回〜第８回）（ｉｉ）
第２の実施例の説明（第９図、第１０図）（ｉｉｉ　）
第３の実施例の説明（第１１図）（ｉｖ）第４の実施例
の説明（第１２図〜第１４図）発明の効果 〔概　要〕 Ｘ線透視検査装置、特に絶縁基板に形成された電気導通
孔（以下バイアホールという）等の内部状態を光ファイ
バプレートからの蛍光に基づいて生成した厚み画像によ
り検査する装置に関し、該光ファイバプレートに封入し
た一種類の蛍光材料の発光スペクトルによるＸ線検出範
囲に依存することなく、多種類の蛍光材料の発光スペク
トルにより該Ｘ線検出範囲の向上を図り、高解像度の厚
み画像を取得することを目的とし、その第１の装置は、
被検査対象にＸ線を照射するＸ線照射手段と、前記被検
査対象を移動する第１の移動手段と、前記被検査対象を
透過したＸ線を検出するＸ線検出手段と、前記Ｘ線検出
手段を移動する第２の移動手段と、前記Ｘ線検出手段か
らの検出信号に基づいて被検査対象の透視画像を作成す
るＸ線透視画像生成手段とを具備し、前記Ｘ線検出手段
が、Ｘ線吸収特性の異なる二以上の蛍光材料を封入した
光ファイバプレートと、前記光ファイバプレートの蛍光
発生部に設けられた光学フィルタと、前記光学フィルタ
を通過した光を検出する光検出手段から成ることを含み
構成し、その第２の装置は、前記第１の装置であって、
前記Ｘ線検出手段が、Ｘ線吸収特性の異なる二以上の蛍
光材料を封入した光ファイバプレートと、前記光ファイ
バプレートの蛍光発生部の一方に設けられた第１の光学
フィルタと、前記光ファイバプレートの蛍光発生部の他
方に設けられた第２の光学フィルタと、前記第１．第２
の光学フィルタを通過した光を検出する第１．第２の光
検出手段から成ることを含み構成し、 その第３の装置は、第１．第２の装置であって、前記Ｘ
線吸収特性の異なる二以上の蛍光材料を封入した光ファ
イバプレートが二以上積層されて成ることを含み構成し
、 その第４の装置は、二以上のＸ線を被検査対象に照射す
る複数のＸ線照射手段と、前記被検査対象を移動する第
１の移動手段と、前記被検査対象を透過した二以上のＸ
線を検出するＸ線検出手段と、前記Ｘ線検出手段を移動
する第２の移動手段と、前記Ｘ線検出手段からの二以上
の検出信号に基づいて被検査対象の透視画像を作成する
Ｘ線透視画像生成手段とを具備し、前記Ｘ線照射手段と
被検査対象との間に複数のＸ線用フィルタが設けられ、
前記Ｘ線検出手段がＸ線吸収特性の異なる二以上の蛍光
材料を封入した光ファイバプレートと、前記光ファイバ
プレートの蛍光発生部に設けられた複数の光学フィルタ
と、前記光学フィルタを通過した光を検出する複数の光
検出手段から成り、前記光ファイバプレートが二以上積
層されて成ることを含み構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、Ｘ線透視検査装置及びＸ線透視検査方法に関
するもの、であり、更に詳しく言えば、絶縁基板に形成
されたバイアホール等の内部状態を光ファイバプレート
からの蛍光に基づいて生成した厚み画像により検査する
装置に関するものである。

近年、電子計算機等の高機能、高性能化の要求に伴って
、電子部品価々の信頼度の向上が要求されている。

これによれば、各種電子部品が実装された多層配線基板
等のバイアホールの厚み画像を広範囲に、かつ、効率良
く検査をすることができる装置と方法が望まれている。

〔従来の技術〕

第１５．１６図は、従来例に係る説明図である。

第１５図は、従来例に係るＸ線透視検査装置の構成図で
あり、本発明者らが先に出願（特願平１−３３５７０３
）ｌ、たＸ線透視検査装置を示している。

図において、該検査装置は、Ｘ線照射装置１゜マニュピ
レータ２．Ｘ線検出器３．センサ駆動装置４及びＸ線透
視画像作成装置５から成る。

また、Ｘ線検出器３はクラッド部３Ｄに囲まれたコア部
３Ｅに、一種類の蛍光材料３Ｂを封入した光ファイバプ
レート３Ａから成り、被検査対象６を透過したＸ線りを
検出するものである。

該検査装置の機能は、まず、被検査対象６となるプリン
ト基板７にＸ線りを照射する。次に、マニュピレータ２
とＸ線検出器３とを一定速度で移動する。次いで、Ｘ線
検出器３からの検出信号Ｓを画像処理することによりプ
リント基板７の厚み画像等が作成される。

これにより、第１６図に示すような中間層配線７ｂが形
成されたプリント基板７の目視点検をすることができな
いバイアホール７ａのボイド７ｄやそのパターン短絡部
分７ｃの検査をすることができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、本発明者らが先に出願（特願平１−３３５７
０３）したＸ線透視検査装置によれば、Ｘ線検出器の簡
略化による低廉価を図ること、及び物体の内部状態を非
接触、非破壊、かつ、高信頼度により検査することがで
きる。

しかし、一種類の蛍光材料３Ｂが封入された光ファイバ
プレート３Ａから成るＸ線検出器３では、第１６図に示
すような問題を生ずることがある。

すなわち、同図（ａ）の発光スペクトルにおいて、例え
ば、ＬａｚＯｚ　Ｓ　：　Ｔｂ３＋等の蛍光材料３Ｂは
、Ｋ吸収端が３８．９２　［Ｋｅｖｌ　、発光スヘクト
ルの主波長のピークが５４５［ｎｍｌ　　となる。

一般に、物質のＸ線吸収率がＸ線の波長により非線形に
変化をする。例えば、波長の短いＸ線は、エネルギーが
大きいことから、これを物質に照射すると、Ｘ線吸収率
の大きい部分を透過したＸ線の場合には、それを蛍光に
変換処理して光検出／画像処理することにより、高解像
度の厚み画像を取得することができる。

しかし、Ｘ線吸収率の小さい部分を透過したＸ線の場合
には、それを光検出／画像処理をしても、高解像度の厚
み画像を取得する・ことができない。

また、波長の長いＸ線は、先の場合と逆である。

すなわち、波長の長いＸ線は、エネルギーが小さいこと
から、Ｘ線吸収率の大きい部分を透過したＸ線の場合に
は、それを光検出／画像処理をしても、高解像度の厚み
画像を取得することができななお、Ｘ線吸収率の小さい
部分を透過したＸ線の場合には、それを蛍光に変換処理
して光検出／画像処理することにより、高解像度の厚み
画像を取得することができる。

このことで、同図（〕）のように、プリント基板７等を
構成する物質のＸ線吸収率の相違により、例えば、パタ
ーン短絡部分７Ｃとボイド７ｄの厚み画像にコントラス
ト差を生ずることがある。

これは、一種類の蛍光材料３Ｂが封入された光ファイバ
プレート３Ａから成るＸ線検出器３のＸ線検出範囲が狭
いためである。

本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創作されたもの
であり、光ファイバプレートに封入した一種類の蛍光材
料の発光スペクトルによるＸ線検出範囲に依存すること
なく、多種類の蛍光材料の発光スペクトルにより該Ｘ線
検出範囲の向上を図り、高解像度の厚み画像を取得する
ことを可能とするＸ線透視検査装置及びＸ線透視検査方
法の提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

第１図（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係るＸ線透視検査装
置の原理図であり、第２図（ａ）、（〕）は、本発明に
係るＸ線透視検査方法の原理フローチャートをそれぞれ
示している。

その第１の装置は、第１図（ａ）に示すように、被検査
対象１６にＸ線Ｌ１を照射するＸ線照射手段１１と、前
記被検査対象１６を移動する第１の移動手段１２と、前
記被検査対象１６を透過したＸ線Ｌ１を検出するＸ線検
出手段１３と、前記Ｘ線検出手段１３を移動する第２の
移動手段１４と、−前記Ｘ線検出手段１３からの検出信
号Ｓｉに基づいて被検査対象１６の透視画像を作成する
Ｘ線透視画像生成手段１５とを具備し、前記Ｘ線検出手
段１３が、Ｘ線吸収特性の異なる二以上の蛍光材料１３
Ｂ　（Ｂｌ、Ｂ２・・・Ｂｉ）を封入した光ファイバプ
レート１３Ａと、前記光ファイバプレート１３Ａの蛍光
発生部に設けられた光学フィルタ１３Ｃと、前記光学フ
ィルタ１３Ｃを通過した光Ｌ２を検出する光検出手段１
３Ｄから成ることを特徴とし、その第１の方法は、第２
図（ａ）に示すように、まず、ステップＰ１で被検査対
象１６にＸ線Ｌ１の照射処理をし、次にステップＰ２で
前記被検査対象１６を透過したＸ線Ｌ１を二以上の波長
λ１゜λ２・・・λｎの蛍光Ｌ２１．　　Ｌ２２・・・
Ｌ２ｎに変換処理し、次いで、ステップＰ３で前記変換
処理された蛍光Ｌ２１．　　Ｌ２２・・・Ｌ２ｎの選択
検出処理をし、その後、ステップＰ４で前記選択検出処
理された特定の蛍光Ｌ２ｉに基づいて前記被検査対象１
６の内部検査処理をすることを特徴とし、 その第２の装置は第１の装置であって、第１図（〕）に
示すように、前記Ｘ線検出手段１３が、Ｘ線吸収特性の
異なる二以上の蛍光材料１３Ｂ（ＢＩ　　Ｂ２・・・Ｂ
ｉ）を封入した光ファイバプレート１３Ａと、前記光フ
ァイバプレート１３Ａの蛍光発生部の一方に設けられた
第１の光学フィルタＣＩと、前記光ファイバプレート１
３Ａの蛍光発生部の他方に設けられた第２の光学フィル
タＣ２と、前記第１、第２の光学フィルタＣ１，Ｃ２を
通過した光Ｌ２１．　　Ｌ２２を検出する第１．第２の
光検出手段Ｄ１、Ｄ２から成ることを特徴とし、 その第３の装置は、第１又は第２の装置であって、第１
図（Ｃ）に示すように、前記Ｘ線吸収特性の異なる二辺
上の蛍光材料１３Ｂ　ＣＢ１．Ｂ２・・・Ｂｉ）を封入
した光ファイバプレート１３Ａが二以上積層されて成る
ことを特徴とし、 その第４の装置は、第１図（ｄ）に示すように、二辺上
のＸ線Ｌ３１．　　Ｌ３２・・・Ｌ３ｎを被検査対象１
６に照射する複数のＸ線照射手段Ａ１，Ａ２・・・Ａｎ
と、前記被検査対象１６を移動する％１の移動手段１２
と、前記被検査対象１６を透過した二辺上のＸ線Ｌ３１
，　　Ｌ３２・・・Ｌ３ｎを検出するＸ線検出手段１７
と、前記Ｘ線検出手段１７を移動する第２の移動手段１
４と、前記Ｘ線検出手段１７からの二辺上の検出信号Ｓ
１，Ｓ２・・・Ｓｎに基づいて被検査対象１６の透視画
像を作成するＸ線透視画像生成手段１８とを具備し、前
記Ｘ線照射手段ＡｌＡ２・・・Ａｎと被検査対象１６と
の間に複数のＸ線用フィルタＦ１，Ｆ２・・・Ｆｎが設
けられ、前記Ｘ線検出手段■７がＸ線吸収特性の異なる
二辺上の蛍光材料１３Ｂ　（Ｂｌ、Ｂ２・・・Ｂｉ）を
封入した光ファイバプレート１３Ａと、前記光ファイバ
プレート１３Ａの蛍光発生部に設けられた複数の光学フ
ィルタＣ１，Ｃ２・・・Ｃｎと、前記光学フィルタＣｌ
Ｃ２・・・Ｃｎを通過した光Ｌ４１．　　Ｌ４２・・・
Ｌ４ｎを検出する複数の光検出手段Ｄ１，Ｄ２・・・Ｄ
ｎから成り、前記光ファイバプレー目３Ａが二以上積層
されて成ることを特徴とし、 その第２の方法は、第２図（〕）に示すように、ます、
ステップＰ１で波長の異なるＸ線Ｌ３１．　　Ｌ３２・
・・Ｌ３ｎを多方向から被検査対象１６に照射処理をし
、次いで、ステップＰ２で前記被検査対象１Ｇを透過し
たＸ線Ｌ３１．　　Ｌ３２・・・Ｌ３ｎを複数の波長λ
１．λ２・・・Ａｎの蛍光Ｌ４１．　　Ｌ４２・・・Ｌ
４ｎに変換処理し、さらに、ステップＰ３で前記変換処
理された蛍光Ｌ４１，　　Ｌ４２・・・Ｌ４ｎの選択検
出処理をし、その後、ステップＰ４で前記選択検出処理
された複数の特定波長の蛍光Ｌ４ｉに基づいて前記被検
査対象１６の内部検査処理をすることを特徴とし、上記
目的を達成する。

〔作　用〕

本発明の第１の装置によれば、Ｘ線吸収特性の異なる二
辺上の蛍光材料１３Ｂ　（Ｂｌ、Ｂ２・・・Ｂｉ）を封
入した光ファイバプレート１３Ａと、該光ファイバプレ
ー目３Ａの蛍光発生部に設けられた光学フィルタ１３Ｃ
と、該光学フィルタ１３Ｃを通過した光Ｌ２を検出する
光検出手段１３Ｄから成るＸ線検出手段１３が設けられ
ている。

例えば、エネルギーの大きい短い波長のＸ線が被検査対
象１６に照射されたとすると、Ｘ線吸収率の大きい部分
を透過したＸ線Ｌ１が、蛍光材料Ｂ１の発光スペクトル
に基づく蛍光Ｌ２に変換され、その蛍光Ｌ２が光学フィ
ルタ１３Ｃを介して検出され、その後、光検出手段１３
Ｄから検出信号Ｓｉに基づいて画像処理がされることに
よって、被検査対象１Ｇの高解像度の厚み画像を取得す
ることができる。

また、Ｘ線吸収率の小さい部分を透過したＸ線Ｌ１が、
蛍光材料Ｂ２の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２に変換
され、その蛍光Ｌ２が光学フィルり１３Ｃを介して検出
され、その後、光検出手段１３Ｄから検出信号Ｓｔに基
づいて画像処理がされることによって、先の場合と同様
に、被検査対象１６の高解像度の厚み画像を取得するこ
とができる。

さらに、エネルギーの小さい長い波長のＸ線が被検査対
象１６に照射されたとすると、Ｘ線吸収率の大きい部分
を透過したＸ線Ｌ１が、蛍光材料Ｂ３の発光スペクトル
に基づいて蛍光Ｌ２に変換され、その蛍光Ｌ２が光学フ
ィルタ１３Ｃを介して検出され、その後、光検出手段１
３Ｄから検出信号Ｓｉに基づいて画像処理がされること
によって、先の場合と同様に、被検査対象１６の高解像
度の厚み画像を取得することができる。

また、Ｘ線吸収率の小さい部分を透過したＸ線Ｌ１も、
蛍光材料Ｂ４の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２に変換
され、その蛍光Ｌ２が光学フィルタ１３Ｃを介して検出
され、その後、光検出手段Ｉ３Ｄから検出信号Ｓｉに基
づいて画像処理がされることによって、先の場合と同様
に、被検査対象１６の高解像度の厚み画像を取得するこ
とができる。

このため、Ｘｉｓ検出手段１３のＸ線検出範囲の拡大を
図ることができることから、波長の異なる複数のＸ線透
視画像を広範囲に観測することが可能となる。

これにより、物質のＸ線吸収率がＸ線の波長により非線
形に変化をする場合、例えば、第１６図に示した従来例
のようにプリント基板７等を構成する物質のＸ線吸収率
の相違する場合であっても、パターン短絡部分７Ｃとボ
イド７ｄ等の厚み画像のコントラスト差の発生を極力抑
制することが可能となる。

また、本発明の第１の方法によれば、ステップＰ２で被
検査対象１６を透過したＸ線Ｌ１を二辺上の波長λ１．
λ２・・・Ａｎの蛍光Ｌ２１．　Ｌ２２・・・Ｌ２ｎに
変換処理し、ステップＰ４で、選択検出処理された特定
の蛍光Ｌ２ｉに基づいて被検査対象１６の内部検査処理
がされる。

このため、被検査対象１６の多種類の厚み画像が得られ
ることから、その中から観測者が要求するところの高解
像度の厚み画像を選択する選択抽出処理をすることがで
きる。

これにより、本発明者らが先に出願（特願平１−３３５
７０３）したＸ線透視検査装置と同様に、物体の内部状
態を非接触、非破壊、かつ、高信転度により検査するこ
とができる。

また、本発明の第２の装置によれば、第１の装置の光フ
ァイバプレート１３Ａと、該光ファイバプレート１３Ａ
の蛍光発生部の一方に設けられた第１の光学フィルタＣ
Ｉと、該光ファイバプレート１３Ａの蛍光発生部の他方
に設けられた第２の光学フィルタＣ２と、第１．第２の
光学フィルタＣＩ。

Ｃ２を通過した光Ｌ２１．　　Ｌ２２を検出する第１．
第２の光検出手段Ｄ１，Ｄ２から成るＸ線検出手段１３
が設けられている。

例えば、Ｘ線Ｌｌが被検査対象１６に照射されたとする
と、Ｘ線吸収率の大きい部分を透過したＸ線Ｌ１が、蛍
光材料Ｂ”１の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２に変換
され、その蛍光Ｌ２が第１の光学フィルタＣＩを介して
検出され、その後、第１の光検出手段ＤＩからの検出信
号Ｓｉに基づいて画像処理がされることによって、被検
査対象工６の高解像度の厚み画像を取得することができ
る。

また、同時にＸ線吸収率の小さい部分を透過したＸ線Ｌ
ｌが、蛍光材料Ｂ２の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２
に変換され、その蛍光Ｌ２が第２の光学フィルタＣ２を
介して検出され、その後、第２の光検出手段Ｄ２からの
検出信号Ｓｉに基づいて画像処理がされることによって
、先の場合と同様に、被検査対象１６の高解像度の厚み
画像を取得することができる。

このため、第１の装置に比べてＸ線検出手段工３のＸ線
検出機能の拡大を図ることができる。

これにより、波長の異なる複数のＸ線透視画像を同時に
検出することが可能となる。

さらに、本発明の第３の装置によれば、Ｘ線吸収特性の
異なる二辺上の蛍光材料１３Ｂ　（Ｂ　１．　Ｂ２・・
・Ｂｉ）を封入した光ファイバプレート１３Ａが以上積
層されて構成されている。

このため、被検査対象１６の多雨面分の厚み画像を同時
に取得することができる。また、蛍光材料１３Ｂ　ＣＢ
１．Ｂ２・・・Ｂｉ）の発光色を赤、青。

緑となるように選択することにより、模擬的にカラー画
像処理をすることもできる。

これにより、第１．第２の装置に比べてＸ線検出手段１
３のＸ線検出機能を、より一層拡大を図ることができる
。このことで、波長の異なる複数のＸ線透視画像を同時
に観測することが可能となる。

また、本発明の第４の装置によれば、複数のＸ線照射手
段Ａ１，Ａ２・・・Ａｎと、複数のＸ線用フィルタＦ１
，Ｆ２・・・Ｆｎと、複数の光学フィルタＣ１，Ｃ２・
・・Ｃｎと、複数の光検出手段Ｄ１，Ｄ２・・・Ｄｎが
設けられている。

例えば、複数のＸ線照射手段Ａ１，Ａ２・・・Ａｎから
出射された二辺上のＸ線Ｌ３１．　　Ｌ３２・・・Ｌ３
ｎが複数のＸ線用フィルタＦ１，Ｆ２・・・Ｆｎを介し
て被検査対象１６に照射されると、該被検査対象１６を
透過した二辺上のＸ線Ｌ３１．　　Ｌ３２・・・Ｌ３ｎ
が移動走査されるＸ線検出手段１７により検出される。

この際に、Ｘ線検出手段１７では、Ｘ線Ｌ３１．　　Ｌ
３２・・・Ｌ３ｎがＸ線吸収特性の異なる二辺上の蛍光
材料１３Ｂ　〔Ｂ１，Ｂ２・・・Ｂｉ〕により、蛍光処
理される。また、二以上積層されて成る光ファイバプレ
ート１３Ａの蛍光発生部に設けられた光学フィルタＣ１
，Ｃ２・　Ｃｎを介して、光Ｌ４１．　　Ｌ４２・・・
Ｌ４ｎが複数の光検出手段Ｄ１，Ｄ２・・・Ｄｎにより
検出される。これにより、該Ｘ線検出手段１７からの二
辺上の検出信号ＳＬ、Ｓ２・・・Ｓｎに基づいてＸ線透
視画像生成手段１８により被検査対象１６の透視画像が
作成処理される。

このため、被検査対象１６の多方向同時透視検査をする
ことができる。

これにより、本発明者らが先に出［（特願平１−３３５
７０３）したＸ線透視検査装置の機能向上を図ることが
可能となる。

また、本発明の第２の方法によれば、波長の異なるＸ線
Ｌ３１，　　Ｌ３２・・・Ｌ３ｎを多方向から被検査対
象１６に照射処理をし、ステップＰ２で被検査対象１６
からのＸ線Ｌ３１．　Ｌ３２・・・Ｌ３ｎを複数の波長
λ１．λ２・・・λｎの蛍光Ｌ４１．　　Ｌ４２・・・
Ｌ４ｎに変換処理し、ステップＰ４で選択検出処理され
た複数の特定波長の蛍光Ｌ４ｉに基づいて被検査対象１
６の内部検査処理がされている。

このため、多方向から被検査対象１６に照射処理をした
複数の特定波長の蛍光Ｌ４ｉに基づいて、該被検査対象
１６の奥行き画像を再構成することできる。

これにより、第１の装置のＸ線透視検査装置の機能に比
べて、より一層の機能向上を図ることが可能となる。

〔実施例〕

次に図を参照しながら本発明の実施例について説明をす
る。

第３〜第１４図は、本発明の実施例に係るＸ線透視検査
装置及びＸ線透視検査方法を説明する図である。

（ｉ）第１の実施例の説明 第３図は、本発明の第１の実施例に係るＸ線通視検査装
置の構成図を示している。

図において、２１はＸ線照射手段１１の一実施例となる
Ｘ線源であり、マニュピレータ２２に保持された被検査
対象２６にＸ線Ｌ１を照射するものである。

２２は第１の移動手段１２の一実施例となるマニュピレ
ータ２２であり、被検査対象２６をＸＹＺ方向に移動走
査するものである。これは、本発明者らが先に出願（特
願平１−３３５７０３）したＸ線透視検査装置と同様で
ある。

２３はＸ線検出手段１３の一実施例となるＸ線検出器で
あり、被検査対象２６からのＸ線Ｌ１を蛍光Ｌ２に変換
処理して、それをＣＣＤ　（光電撮像素子）２３Ｄによ
り検出するものである。なお、Ｘ線検出器２３について
は、第４〜第６図において詳述する。

２４は第２の移動手段１４の一実施例となるステージ回
転装置であり、Ｘ線検出器２３を保持してＸＹｚ方向に
移動走査するものである。

２５はＸ線透視画像生成手段１５の一実施例となるＸ線
透視画像生成装置であり、Ｘ線検出器２３からの検出信
号Ｓに基づいて、被検査対象２６の厚み画像を作成処理
をするものである。Ｘ線透視画像生成装置２５は、Ｉ１
０回路２５Ａ、濃淡画像入力回路２５Ｂ１画像メモリ２
５Ｃ２画像転送回路２５Ｄ１表示回路２５Ｅ及びＣＰＵ
　（中央演算処理装置）２５Ｆから成る。

２６は被検査対象であり、第１６図に示したような内部
検査を必要とするプリント基板等である。

３０はデイスプレィであり、プリント基板等の厚み画像
を表示するものである。

第４図（ａ）、（〕）は、本発明の第１の実施例に係る
Ｘ線検出器の構成図であり、同図（ａ）は、その斜視図
を示している。

同図（ａ）において、Ｘ線検出器２３はＸ線遮蔽板２３
Ｅ上に配設された複数の光ファイバから成る光ファイバ
プレート２３Ａと、不図示の光学フィルタ１３を介して
接続されたＣＣＤ２３Ｄ等から構成されている。

同図（〕）は、Ｘ線検出器２３の断面図であり、２３Ｃ
は光学フィルタ１３の一実施例となる薄膜フィルタを示
している。

薄膜フィルタ２３Ｃは、光ファイバプレート２３Ａの発
光部の一端に設けられ、特定の波長）４の光を通過させ
、それをＣＣＤ２３Ｄに導くものである。

第５図（ａ）、（〕）は、本発明の各実施例に係るＸ線
検出器の機能を説明する図であり、同図（ａ）は、光フ
ァイバプレートの部分斜視図を示している。

同図（ａ）において、光ファイバプレート２３Ａはクラ
ッド部２３Ｇに囲まれたコア部２３Ｆがら成り、斜線に
示した部分の断面図において、Ｘ線吸収特性の異なる蛍
光材料２３Ｂが二以上コア部２３Ｆに封入されている。

蛍光材料２３Ｂには、例えば、Ｇｄｚ０２Ｓ：　Ｔｂ”
　十、ＬａｚＯｚＳ：　Ｔｂ３＋、Ｙ２０２ｓ：Ｔｂ３
＋及びＬａ　ＯＢｒ　：　Ｔｂ３＋等を用いる（第６図
発光スペクトル特性図参照）。

同図（〕）は、光ファイバプレート２３Ａのコア部２３
Ｆの斜視図であり、８１〜Ｂ３は蛍光材料を示している
。

蛍光材料Ｂ１は、例えば、Ｘ線吸収係数がＡＩであり、
被検査対象２６からのＸ線Ｌ１に対して主波長λ１の発
光スペクトルを示す蛍光Ｌ２を発光するものである。

また、蛍光材料Ｂ２は、例えば、Ｘ線吸収係数がΔ２で
あり、被検査対象２６からのＸ線Ｌ１に対して主波長λ
２の発光スペクトルを示す蛍光Ｌ２を発光するものであ
る。

同様に、蛍光材料Ｂ３は、例えば、Ｘ線吸収係数がΔ３
であり、被検査対象２６からのＸ線Ｌ１に対して主波長
λ３の発光スペクトルを示す蛍光Ｌ２を発光するもので
ある。

これにより、被検査対象２６からのＸ線Ｌ１の波長に基
づいて、二辺上の発光スペクトルを示す蛍光Ｌ２を薄膜
フィルタ２３Ｃに導くことができる。

第６図は、本発明の各実施例に係る希土類Ｘ線用蛍光体
の発光スペクトル特性図である。

図において、縦軸は各蛍光体の相対強度Ｃ％〕であり、
横軸は波長（ｎｍ）をそれぞれ示している。

Ｓｌ’ｌは蛍光体Ｇ　ｄ　ｚ　Ｏ７Ｓ：Ｔｂ’十の発光
スペクトル特性であり、主波長が５５０　［ｎｍ］とな
る。ＳＦ３は蛍光体Ｌ　ａ　２０□Ｓ：Ｔｂ３＋の発光
スペクトル特性であり、主波長が４００　［ｎｍｌとな
る。ＳＦ３は蛍光体Ｙ２０□Ｓ：Ｔｂ３＋の発光スペク
トル特性であり、主波長が５５０　Ｅｎｍｌ、！！ｌ−
なる。ＳＦ３は蛍光体Ｌａ０Ｂｒ：　Ｔｂ’十の発光ス
ペクトル特性であり、主波長が４３０　［ｎｍ］となる
。

第７図は、本発明の各実施例に係るＣＴ処理を説明する
図であり、当該装置のＸ線透視画像装置２５の画像生成
機能の補足説明図を示している。

図において、ＣＴ　（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ　Ｔｏｍｏｇｒ
ａｐｈｔｙ）処理は、本発明者らが先に出ＩＪ　（特願
平１−３３５７０３）したＸ線透視検査装置ＯＣＴ処理
と同様である。ここで、該処理を簡単に説明する。

例えば、被検査対象Ｃｆ　（ｘ、ｙ〕）２６に、Ｘ線Ｌ
１が照射された場合、ある点に）ｌａＬｌを吸収する箇
所が存在していた場合、Ｘ線検出器２３を角度θ１に移
動して、角度θ１方向から検出された蛍光Ｌ２の光強度
（線積分値に対応する量）と、Ｘ線検出器２３を角度θ
２に移動して、角度θ２方向から検出された蛍光Ｌ２の
光強度との一つのデータからある点（ｆ　（ｘｏ　、　
ｙｏ）　）が特定されて、この位置に係る濃淡画像を生
成処理することにより、被検査対象２６の厚み画像等を
得ることができる。

このようにして、本発明の第１の実施例の装置によれば
、Ｘ線吸収特性の異なる二辺上の蛍光材料２３Ｂ　（Ｂ
ｌ、Ｂ２・・・Ｂｉ〕を封入した光ファイバプレート２
３Ａと、該光ファイバプレート２３Ａの蛍光発生部に設
けられた光学フィルタ２３Ｃと、該光学フィルタ２３Ｃ
を通過した光Ｌ２を検出するＣＣＤ２３Ｄから成るＸ＆
’ｉ！検出器２３が設けられている。

例えば、エネルギーの大きい短い波長のＸ線Ｌ１が被検
査対象２６に照射されたとすると、Ｘ線吸収率の大きい
部分を透過したＸ線Ｌ１が、蛍光材料Ｂｌの発光スペク
トルに基づく蛍光Ｌ２に変換され、その蛍光Ｌ２が光学
フィルタ２３Ｃを介して検出され、その後、ＣＣＤ２３
Ｄから検出信号Ｓに基づいて画像処理がされることによ
って、被検査対象２６の高解像度の厚み画像を取得する
ことができる。

また、Ｘ線吸収率の小さい部分を透過したＸ線Ｌ１が、
蛍光材料Ｂ２の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２に変換
され、その蛍光Ｌ２が光学フィルタ２３Ｃを介して検出
され、その後、ＣＣＤ２３Ｄから検出信号Ｓに基づいて
画像処理がされることによって、先の場合と同様に、被
検査対象２６の高解像度の厚み画像を取得することがで
きる。

さらに、エネルギーの小さい長い波長のＸ線が被検査対
象２６に照射されたとすると、Ｘ線吸収率の大きい部分
を透過したＸ線Ｌ１が、蛍光材料Ｂ３の発光スペクトル
に基づく蛍光Ｌ２に変換され、その蛍光Ｌ２が光学フィ
ルタ２３Ｃを介して検出され、その後、ＣＣＤ２３Ｄか
ら検出信号Ｓに基づいて画像処理がされることによって
、先の場合と同様に、被検査対象２６の高解像度の厚み
画像を取得することができる。

また、Ｘ線吸収率の小さい部分を透過したＸ線Ｌｌも、
蛍光材料Ｂ４の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２に変換
され、その蛍光Ｌ２が光学フィルタ２３Ｃを介して検出
され、その後、ＣＣＤ２３Ｄから検出信号Ｓに基づいて
画像処理がされることによって、先の場合と同様に、被
検査対象２６の高解像度の厚み画像を取得することがで
きる。

このため、Ｘ線検出器２３のＸ線検出範囲を本発明者ら
が先に出願（特願平１−３３５７０３）したＸ線透視検
査装置のＸ線検出器に比べて、その検出範囲の拡大を図
ることができる。このことから、波長の異なる複数のＸ
線透視画像を広範囲に観測することが可能となる。

これにより、物質のＸ線吸収率がＸ線の波長により非線
型に変化をする場合、例えば、従来例のようにプリント
基板７等を構成する物質のＸ線吸収率の相違する場合で
あっても、パターン短絡部分７Ｃやボイド７ｄ等の厚み
画像のコントラスト差の発生を極力抑制することが可能
となる。

次に、本発明の第１の実施例に係るＸ線透視検査方法を
当該装置の動作を補足しながら説明をす３す る。

第８図は、本発明の第１の実施例に係るＸ線透視検査方
法のフローチャートを示している。

図において、例えば、第１６図に示すようなプリント基
板等の内部検査をする場合、まず、ステップＰ１でプリ
ント基板等にＸ線Ｌ１の照射処理をする。この際に、プ
リント基板等をマニュピュレ・−夕２２にセットし、Ｘ
線源２１からＸ線Ｌ１を発生する。

次に、ステップＰ２でプリント基板等を透過したＸ線Ｌ
１を三つの主波長λ１．λ２．・λ３の蛍光Ｌ２１．　
　Ｌ２２．　　Ｌ２３に変換処理をする。ここで、例え
ば、光ファイバプレート２３Ａのコア部２３Ｆに封入さ
れた３種類の蛍光材料Ｂ１〜Ｂ３等にＸ線Ｌ１が作用す
ることにより、三つの主波長λ１゜λ２．λ３の蛍光Ｌ
２１．　　Ｌ２２．　　Ｌ２３が全反射をして、その発
光部の薄膜フィルタ２３Ｃに至る。

次いで、ステップＰ３で変換処理された蛍光Ｌ２１、　
　Ｌ２２．　　Ｌ２３の選択検出処理をする。この際に
、薄膜フィルタ２３Ｃのフィルタ特性を変えることで、
最も光強度の大きい光Ｌ２を選択して検出することがで
きる。

その後、ステップＰ４で選択検出処理された特定の蛍光
Ｌ２１に基づいてプリント基板等の内部検査処理をする
。例えば、蛍光Ｌ２１が薄膜フィルタ２３Ｃを通過して
ＣＣＤ２３Ｄに検出されたものとすれば、ＣＣＤ２３Ｄ
からの検出信号Ｓに基づいてＸ線透視画像生成装置２５
がＣＴ処理をすることにより、プリント基板等に係る濃
淡画像の生成処理をする。

これにより、プリント基板等の厚み画像を取得すること
ができる。

このようにして、本発明の実施例に係る検査方法によれ
ば、ステップＰ２でプリント基板を透過したＸ線Ｌ１を
三つの主波長λ１．λ２．λ３の蛍光Ｌ２１．　　Ｌ２
２．　　Ｌ２３に変換処理し、ステップＰ４で、選択検
出処理された特定の蛍光Ｌ２１に基づいて該基板の内部
検査処理がされる。

このため、プリント基板の多種類の厚み画像が得られる
ことから、その中から観測者が要求するところの高解像
度の厚み画像を選択する選択抽出処理をすることができ
る。

これにより、本発明者らが先に出願（特願平ｌ−３３５
７０３）Ｌ、たＸ線透視検査装置と同様に、物体の内部
状態を非接触、非破壊、かつ、高信顛度により検査する
ことができる。

（１１）第２の実施例の説明 第９図は、本発明の第２の実施例に係るＸ線透視検査装
置の構成図を示している。

図において、第１の実施例と異なるのは、第２の実施例
ではＸ線検出器３３から同時に二種類の検出信号Ｓ１，
Ｓ２が出力されるものである。

なお、第１の実施例の名称と同じものは、同じ機能を有
しているため説明を省略する。

また、Ｘ線検出器３３については、第１０図において説
明をする。ここで、Ｘ線透視画像生成装置３５内の濃淡
画像入力回路３５Ｂは、Ｘ線検出器３３から二種類の検
出信号３１．Ｓ２を同時に入力する。これにより、二種
類の検出信号Ｓ１，Ｓ２に基づいてＣＰＵ３５Ｆや画像
転送回１３５Ｄを介して被検査対象２６の厚み画像が生
成処理される。

第１０図（ａ）、　　（〕）は、本発明の第２の実施例
に係るＸ線検出器の構成図であり、同図（ａ）は、その
斜視図を示している。

同図（ａ）において、Ｘ線検出器３３はＸ線遮蔽板３３
Ｅ上に複数の光ファイバを配設した光ファイバプレート
３３Ａと、その両端に接続された第１゜第２のＣＣＤ３
３１，３３２から成る。

また、同図（〕）は、Ｘ線検出器３３の断面図であり、
Ｃ１，Ｃ２は第１．第２の薄膜フィルタをそれぞれ示し
ている。

同図（〕）において、光ファイバプレート３３Ａは、第
１の実施例のようにＸ線吸収特性の異なる二辺上の蛍光
材料Ｂｌ、Ｂ２・・・Ｂｉが封入されている。また、Ｃ
１は第１の光学フィルタの一実施例となる第１の薄膜フ
ィルタであり、該光ファイバプレート３３Ａの蛍光発生
部の一方に設けられている。その機能は、特定波長λ１
の光Ｌ２１を通過させるものである。

Ｃ２は第２の光学フィルタの一実施例となる第２の薄膜
フィルタであり、該光ファイバプレート３３Ａの蛍光発
生部の他方に設けられている。その機能は、特定波長λ
２の光Ｌ２２を通過させるものである。

３３１は、第１のＣＣＤであり、第１の薄膜フィルタＣ
１を通過した光Ｌ２１を検出して検出信号Ｓ１を出力す
るものである。同様に３３２は、第２のＣＣＤであり、
第２の薄膜フィルタＣ２を通過した光Ｌ２２を検出して
検出信号Ｓ２を出力するものである。

このようにして、本発明の第２の実施例の装置によれば
、第１の装置のような光ファイバプレート３３Ａと、該
光ファイバプレート３３Ａの蛍光発生部の一方に設けら
れた第１の薄膜フィルタＣＩと、該光ファイバプレート
３３Ａの蛍光発生部の他方に設けられた第２の薄膜フィ
ルタＣ２と、第１．第２の薄膜フィルタＣ１，Ｃ２を通
過した光Ｌ２１゜Ｌ膝を検出する第１．第２のＣＣＤ３
３１，３３２がら成るＸ線検出器３３が設けられている
。

例えば、Ｘ線Ｌ１が被検査対象２６に照射されたとする
と、Ｘ線吸収率の大きい部分を透過したＸ線Ｌ１が、蛍
光材料Ｂｌの発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２に変換さ
れ、その蛍光Ｌ２が第１の薄膜フィルタＣＩを介して検
出され、その後、第１のＣＣＤ３３１からの検出信号Ｓ
１に基づいて画像処理がされることによって、被検査対
象２６の高解像度の厚み画像を取得することができる。

また、同時にＸ線吸収率の小さい部分を透過したＸＭＬ
Ｉが、蛍光材料Ｂ２の発光スペクトルに基づく蛍光Ｌ２
に変換され、その蛍光Ｌ２が第２の薄膜フィルタＣ２を
介して検出され、その後、第２のＣＣＤ３３２からの検
出信号Ｓ２に基づいて画像処理がされることによって、
先の場合と同様に、被検査対象２６の高解像度の厚み画
像を取得することができる。

このため、第１の装置に比べてＸ線検出器３３のＸ線検
出機能の拡大を図ることができる。

これにより、波長の異なる複数のＸ線透視画像を同時に
検出することが可能となる。

（ｉｉｉ　）第３の実施例の説明 第１１図（ａ）、（〕）は、本発明の第３の実施例に係
るＸ線検出器の構成図であり、同図（ａ）は、その斜視
図を示している。

同図（ａ）において、第１．第２の実施例のＸ線検出器
２３．３３と異なるのは、第３の実施例のＸ線検出器４
３では光ファイバプレート２３Ａが積層されるものであ
る。

これにより、Ｘ線検出器４３から同時に多種類の検出信
号Ｓ１，Ｓ２・・・Ｓｎを出力することができる。

すなわち、Ｘ線検出器４３はＸ線遮蔽板４３Ｅ上に複数
の光ファイバを配設した光ファイバプレート４３Ａが三
層に積層され、その一端に第１〜第３のＣＣＤ４３１〜
４３３が接続されて成るものである。

また、同図（〕）は、Ｘ線検出器４３の断面図であり、
０１〜Ｃ３は第１〜第３の薄膜フィルタをそれぞれ示し
ている。

同図（〕）において、光ファイバプレート４３Ａは、第
１．第２の実施例のようにＸ線吸収特性の異なる二辺上
の蛍光材料Ｂｌ、Ｂ２．Ｂ３が封入されている。また、
第１の薄膜フィルタＣ１は該光ファイバプレート４３Ａ
の蛍光発生部の一方に設けられている。その機能は、特
定波長λ１の光Ｌ２１を通過させるものである。

第２の薄膜フィルタＣ２は、第１の薄膜フィルタＣ１と
同様に該光ファイバプレート４３Ａの蛍光発生部の一方
に設けられている。その機能は、特定波長λ２の光Ｌ２
２を通過させるものである。

第３の薄膜フィルタＣ３は、第１、第２の薄膜フィルタ
Ｃ１，Ｃ２と同様に該光ファイバプレート４３Ａの蛍光
発生部の一方に設けられている。その機能は、特定波長
λ３の光Ｌ２３を通過させるものである。

４３１は、第１のＣＣＤであり、第１の薄膜フィルタＣ
１を通過した光Ｌ２１を検出して検出信号Ｓ１を出力す
るものである。同様に４３２　、４３３は、第２．第３
のＣＣＤであり、第２．第３の薄膜フィルタＣ２，Ｃ３
を通過した光Ｌ２２．　　Ｌ２３を検出して、検出信号
Ｓ２．Ｓ３を出力するものである。

二のようにして、本発明の第３の実施例の装置によれば
、Ｘ線吸収特性の異なる二辺上の蛍光材料Ｂｌ、Ｂ２．
Ｂ３を封入した光ファイバプレート４３Ａが三層に積層
して構成されている。

このため、少なくとも、被検査対象２６の三画面分の厚
み画像を同時に取得することができる。

このことで、蛍光材料Ｂｌ、Ｂ２．Ｂ３の発光色を赤、
青、緑となるように選択することにより、模擬的にカラ
ー画像処理をすることができる。

これにより、第１．第２の装置に比べてＸ線検出器４３
のＸ線検出機能を、より一層拡大を図ることができる。

このことで、波長の異なる複数のＸ線透視画像を同時に
観測することが可能となる。

（ｉｖ　）第４の実施例の説明 第１２図は、本発明の第４の実施例に係るＸ線透視検査
装置の構成図であり、第Ｉ３図は、本発明の第４の実施
例に係るＸ線検出器の構成図を示している。

第１２図において、第１の実施例と異なるのは第４の実
施例では、波長の異なる三つのＸ、ｖｉ！Ｌ３１〜Ｌ３
３を被検査対象２６に照射するために、Ｘ線照射手段に
三つのＸ線源５１１〜５１３を用い、各Ｘ線源５１１〜
５１３毎にＸ線フィルタＦ１〜Ｆ３を用いている。また
、Ｘ線検出器５３には第３の実施例のようなＸ線検出器
４３を用いている（第１３図参照）。

これにより、被検査対象２６の奥行き画像を再構成する
ことができる。

すなわち、５１１〜５１３は複数のＸ線照射手段Ａ１、
Ａ２・・・Ａｎの一実施例となる三つのＸ線源であり、
Ｘ線Ｌ３１〜Ｌ３３を被検査対象２６に照射するもので
ある。

Ｆ１〜Ｆ３は複数のＸ線用フィルタＦ１，Ｆ２・・・Ｆ
ｎの一実施例となる三つのＸ線フィルタであり、Ｘ線源
５１１〜５１３と被検査対象２６との間に設けられてい
る。その機能は、Ｘ線Ｌ３１〜Ｌ３３の波長を選択する
ものである。

なお、マニュピイレータ５２．ステージ駆動装置５４．
Ｘ線検出手段１７の一実施例となるＸ線検出器５３．Ｘ
線透視画像生成手段１８の一実施例となるＸ線透視画像
生成装置５５については、第１〜第３の実施例の動作機
能を説明しているので説明を省略する（第３図参照）。

このようにして、本発明の第４の実施例の装置によれば
、三つのＸ線源５１１〜５１３と、三つのＸ線フィルタ
Ｆ１，Ｆ２．Ｆ３と、第１３図に示すような三つの薄膜
フィルタＣ１，Ｃ２，Ｃ３と、三つのＣＣＤ５３１〜５
３３が設けられている。

例えば、Ｘ線源５１１〜５１３から出射された三つのＸ
線Ｌ３１，　　Ｌ３２．　　Ｌ３３が三つのＸ線フィル
タＦ１、Ｆ２．Ｆ３を介して被検査対象２６に照射され
ると、該被検査対象２６を透過した三つのＸ線Ｌ３１．
　　Ｌ３２　　Ｌ３３が移動走査されるＸ線検出器５３
により検出される。この際に、Ｘ線検出器５３では、Ｘ
線Ｌ３１，　　Ｌ３２．Ｌ３３がＸ線吸収特性の異なる
三つの蛍光材料Ｂ１．Ｂ２．Ｂ３により、蛍光処理され
る。また、三層に積層されて成る光ファイバプレート５
３Ａの蛍光発生部に設けられた薄膜フィルタＣ１，Ｃ２
，Ｃ３を介して、光Ｌ４１．　　Ｌ４２・・・Ｌ４３が
三つのＣＣＤ５３］〜５３３により検出される。これに
より、該Ｘ線検出器５３からの三つの検出信号Ｓ１，Ｓ
２．Ｓ３に基づいてＸ線透視画像生成装置５５により被
検査対象２６の透視画像が作成処理される。

このため、被検査対象２６の多方向同時透視検査をする
ことができる。

これにより、本発明者らが先に出Ｗｉ（特願平１−３３
５７０３）したＸ線透視検査装置の機能向上を図ること
が可能となる。

次に本発明の第２のＸ線透視検査方法について、第４の
実施例に係る装置の動作を補足しながら説明をする。

第１４図は、本発明の第２の実施例に係るＸ線透視検査
方法のフローチャートを示している。

図において、例えば、第１の実施例のように、第１６図
に示すようなプリント基板等の内部検査をする場合、ま
ず、ステップＰ１で波長の異なるＸ線Ｌ３１，　　Ｌ３
２．　　Ｌ３３を三方向からプリント基板等に照射処理
をする。この際に、プリント基板等をマニュピユレータ
２２にセットし、Ｘ線源５１１〜５１３からＸ線フィル
タＦ１〜Ｆ３を介してＸ！ａＬ３１、　　Ｌ３２．　　
Ｌ３３をプリント基板等に照射する。

次に、ステップＰ２でプリント基板等を透過したＸ線Ｌ
３１．　　Ｌ３２．　　Ｌ３３を三つの主波長λ１．λ
２、λ３の蛍光Ｌ４１．　　Ｌ４２．　　Ｌ４３に変換
処理をする。ここで、例えば、光ファイバプレート５３
Ａのコア部５３Ｆに封入された３種類の蛍光材料Ｂ１〜
Ｂ３等にＸ線Ｌ３１．　　Ｌ３２．　　Ｌ３３が作用す
ることにより、三つの主波長λ１．λ２．λ３の蛍光Ｌ
４１゜Ｌ４２．　　Ｌ４３が全反射をして、その発光部
の薄膜フィルタ０１〜Ｃ３に至る。

次いで、ステップＰ３で変換処理された蛍光Ｌ４’ｌ、
　　Ｌ４２．　　Ｌ４３の選択検出処理をする。この際
に、薄膜フィルタ０１〜Ｃ３のフィルタ特性を予め整合
させておくことにより、最も光強度の大きい波長の光Ｌ
４１．　　Ｌ４２．　　Ｌ４３を検出することができる
。

その後、ステップＰ４で選択検出処理された特定の蛍光
Ｌ４１．　　Ｌ４２．　　Ｌ４３に基づいてプリント基
板等の内部検査処理をする。例えば、蛍光Ｌ４１Ｌ４２
　　Ｌ４３が薄膜フィルタ０１〜Ｃ３を通過してＣＣＤ
５３１〜５３３に検出されたものとすれば、各ＣＣＤ５
３１〜５３３からの検出信号８１〜Ｓ３に基づいてＸ線
透視画像生成装置５５がＣＴ処理をすることにより、プ
リント基板等に係る濃淡画像の生成処理をする。

これにより、プリント基板等の奥行き画像を取得するこ
とができる。

このようにして、本発明の第２の実施例に係るＸ線透視
検査方法によれば、波長の異なるＸ線Ｌ３１，　　Ｌ３
２．　　Ｌ３３を三方向から被検査対象２６に照射処理
をし、ステップＰ２で被検査対象２６からのＸ＆？！Ｌ
３１．　　Ｌ３２．　　Ｌ３３を三つの主波長λ１．λ
２、λ３の蛍光Ｌ４１，　　Ｌ４２．Ｌ４３に変換処理
し、ステップＰ４で選択検出処理された三つの特定波長
の蛍光Ｌ４１，　　Ｌ４２．Ｌ４３に基づいて被検査対
象２６の内部検査処理がされている。

このため、三方向から被検査対象２６に照射処理をした
三つの特定波長の蛍光Ｌ４１．　　Ｌ４２．　　Ｌ４３
に基づいて、該被検査対象２６の奥行き画像を再構成す
ることできる。

これにより、第１の装置のＸ線透視検査装置の機能に比
べて、より一層の機能向上を図ることが可能となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の各装置によれば、Ｘ線吸
収特性の異なる二辺上の蛍光材料を封入した光ファイバ
プレートと、その蛍光発生部の光学フィルタを通過した
光を検出する光検出手段から成るＸ線検出手段が設けら
れている。

このため、エネルギーの異なる波長のＸ線が被検査対象
に照射された場合であっても、その蛍光材料の発光スペ
クトルに基づいて該検査対象からの蛍光を検出すること
ができる。このことで、Ｘ線検出手段のＸ線検出範囲の
拡大を図ることができることから、波長の異なる複数の
Ｘ線透視画像を広範囲に観測することが可能となる。

また、本発明の各検査方法によれば、被検査対象を透過
したＸ線を二辺上の波長の蛍光に変換処理し、選択検出
処理された特定の蛍光に基づいて該検査対象の内部検査
処理がされる。

このため、被検査対象の多種類の厚み画像が得られるこ
とから、その中から観測者が要求するところの高解像度
の厚み画像を選択する選択抽出処理をすることができる
。

これにより、本発明者らが先に出願（特願平１−３３５
７０３）したＸ線透視検査装置と同様に、物体の内部状
態を非接触、非破壊、かつ、高信頼度により検査するこ
とができる。これに加えて、多方向同時検査処理や奥行
き画像等のＸ線透視検査機能の向上を図ることが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るＸ線透視検査装置の原理図、 第２図は、本発明に係るＸ線透視検査方法の原理フロー
チャート、 第３図は、本発明の第１の実施例に係るＸ線透視検査装
置の構成図、 第４図は、本発明の第１の実ｔｉｔｆ１例に係るＸ線検
出器の構成図、 第５図は、本発明の各実施例に係るＸ線検出器の機能を
説明する図、 第６図は、本発明の各実施例に係る希土類Ｘ線用蛍光体
の発光スペクトル特性図、 第７図は、本発明の各実施例に係るＣＴ処理を説明する
図、 第８図は、本発明の第１の実施例に係るＸ線透視検査方
法のフローチャート、 第９図は、本発明の第２の実施例に係るＸ線透視検査装
置の構成図、 第１０図は、本発明の第２の実施例に係るＸ線検出器の
構成図、 第１１図は、本発明の第３の実施例に係るＸ線検出器の
構成図、 第１２図は、本発明の第４の実施例に係るＸ線透視検査
装置の構成図、 第１３図は、本発明の第４の実施例に係るＸ線検出器の
構成図、 第１４図は、本発明の第２の実施例に係るＸ線透視検査
方法のフローチャート、 第１５図は、従来例に係るＸ線透視検査装置の構成図、 第１６図は、従来例に係る問題点を説明する図である。 （符号の説明） １］、ＡＩ〜Ａｎ・・・Ｘ線照射手段、１２・・・第１
の移動手段、 １３．１７・・・Ｘ線検出手段、 １４・・・第２の移動手段、 １５．１８・・・Ｘ線透視画像生成手段、１３Ａ・・・
光ファイバプレート、 １３Ｂ、Ｂ　ｉ、Ｂ　Ｉ〜Ｂｎ−蛍光材料、Ｌ　Ｉ、Ｌ
３１〜Ｌ３ｎ−Ｘ線、 Ｌ２．Ｌ２１〜Ｌ２ｎ、Ｌ４１〜Ｌ４ｎ−蛍光（光学フ
ィルタを通過した光）、 Ｆ１〜Ｆｎ・・・Ｘ線フィルタ、 １３Ｃ，Ｃ１〜Ｃｎ・・・光学フィルタ、１３Ｄ、Ｄｌ
〜Ｄｎ・・・光検出手段、Ｓｉ、Ｓｌ−Ｓｎ・・・検出
信号。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検査対象（１６）にＸ線（Ｌ１）を照射するＸ
   線照射手段（１１）と、前記被検査対象（１６）を移動
   する第１の移動手段（１２）と、前記被検査対象（１６
   ）を透過したＸ線（Ｌ１）を検出するＸ線検出手段（１
   ３）と、前記Ｘ線検出手段（１３）を移動する第２の移
   動手段（１４）と、前記Ｘ線検出手段（１３）からの検
   出信号（Ｓｉ）に基づいて被検査対象（１６）の透視画
   像を作成するＸ線透視画像生成手段（１５）とを具備し
   、前記Ｘ線検出手段（１３）が、Ｘ線吸収特性の異なる
   二以上の蛍光材料（１３Ｂ〔Ｂ１，Ｂ２・・・Ｂｉ〕）
   を封入した光ファイバプレート（１３Ａ）と、前記光フ
   ァイバプレート（１３Ａ）の蛍光発生部に設けられた光
   学フィルタ（１３Ｃ）と、前記光学フィルタ（１３Ｃ）
   を通過した光（Ｌ２）を検出する光検出手段（１３Ｄ）
   から成ることを特徴とするＸ線透視検査装置。
2. （２）被検査対象（１６）にＸ線（Ｌ１）の照射処理を
   し、前記被検査対象（１６）を透過したＸ線（Ｌ１）を
   二以上の波長（λ１，λ２・・・λｎ）の蛍光（Ｌ２１
   ，Ｌ２２・・・Ｌ２ｎ）に変換処理し、前記変換処理さ
   れた蛍光（Ｌ２１，Ｌ２２・・・Ｌ２ｎ）の選択検出処
   理をし、前記選択検出処理された特定の蛍光（Ｌ２ｉ）
   に基づいて前記被検査対象（１６）の内部検査処理をす
   ることを特徴とするＸ線透視検査方法。
3. （３）請求項１記載のＸ線透視検査装置であって、前記
   Ｘ線検出手段（１３）が、Ｘ線吸収特性の異なる二以上
   の蛍光材料（１３Ｂ〔Ｂ１，Ｂ２・・・Ｂｉ〕）を封入
   した光ファイバプレート（１３Ａ）と、前記光ファイバ
   プレート（１３Ａ）の蛍光発生部の一方に設けられた第
   １の光学フィルタ（Ｃ１）と、前記光ファイバプレート
   （１３Ａ）の蛍光発生部の他方に設けられた第２の光学
   フィルタ（Ｃ２）と、前記第１，第２の光学フィルタ（
   Ｃ１，Ｃ２）を通過した光（Ｌ２１，Ｌ２２）を検出す
   る第１，第２の光検出手段（Ｄ１，Ｄ２）から成ること
   を特徴とするＸ線透視検査装置。
4. （４）請求項１又は３記載のＸ線透視検査装置であって
   、 前記Ｘ線吸収特性の異なる二以上の蛍光材料（１３Ｂ〔
   Ｂ１，Ｂ２・・・Ｂｉ〕）を封入した光ファイバプレー
   ト（１３Ａ）が二以上積層されて成ることを特徴とする
   Ｘ線透視検査装置。
5. （５）二以上のＸ線（Ｌ３１，Ｌ３２・・・Ｌ３ｎ）を
   被検査対象（１６）に照射する複数のＸ線照射手段（Ａ
   １，Ａ２・・・Ａｎ）と、前記被検査対象（１６）を移
   動する第１の移動手段（１２）と、前記被検査対象（１
   ６）を透過した二以上のＸ線（Ｌ３１，Ｌ３２・・・Ｌ
   ３ｎ）を検出するＸ線検出手段（１７）と、前記Ｘ線検
   出手段（１７）を移動する第２の移動手段（１４）と、
   前記Ｘ線検出手段（１７）からの二以上の検出信号（Ｓ
   １，Ｓ２・・・Ｓｎ）に基づいて被検査対象（１６）の
   透視画像を作成するＸ線透視画像生成手段（１８）とを
   具備し、 前記Ｘ線照射手段（Ａ１，Ａ２・・・Ａｎ）と被検査対
   象（１６）との間に複数のＸ線用フィルタ（Ｆ１，Ｆ２
   ・・・Ｆｎ）が設けられ、 前記Ｘ線検出手段（１７）がＸ線吸収特性の異なる二以
   上の蛍光材料（１３Ｂ〔Ｂ１，Ｂ２・・・Ｂｉ〕）を封
   入した光ファイバプレート（１３Ａ）と、前記光ファイ
   バプレート（１３Ａ）の蛍光発生部に設けられた複数の
   光学フィルタ（Ｃ１，Ｃ２・・・Ｃｎ）と、前記光学フ
   ィルタ（Ｃ１，Ｃ２・・・Ｃｎ）を通過した光（Ｌ４１
   ，Ｌ４２・・・Ｌ４ｎ）を検出する複数の光検出手段（
   Ｄ１，Ｄ２・・・Ｄｎ）から成り、前記光ファイバプレ
   ート（１３Ａ）が二以上積層されて成ることを特徴とす
   るＸ線透視検査装置。
6. （６）波長の異なるＸ線（Ｌ３１，Ｌ３２・・・Ｌ３ｎ
   ）を多方向から被検査対象（１６）に照射処理をし、前
   記被検査対象（１６）を透過したＸ線（Ｌ３１，Ｌ３２
   ・・・Ｌ３ｎ）を複数の波長（λ１，λ２・・・λｎ）
   の蛍光（Ｌ４１，Ｌ４２・・・Ｌ４ｎ）に変換処理し、
   前記変換処理された蛍光（Ｌ４１，Ｌ４２・・・Ｌ４ｎ
   ）の選択検出処理をし、前記選択検出処理された複数の
   特定波長の蛍光（Ｌ４ｉ）に基づいて前記被検査対象（
   １６）の内部検査処理をすることを特徴とするＸ線透視
   検査方法。