JPH04128390A - エッチング液滴打圧分布シミュレーション方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はチャンバ内を通して鉄板等の被エツチング処理
板を搬送し、エツチング液を噴霧するエツチング処理に
おける打圧分布の最適化技術に係わり、被エツチング処
理板上における噴霧液滴の打圧分布を求めるシミュレー
ション方式に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、シャドウマスクを製造する場合、複数のノズル
を取り付けたバンクを複数本設けたチャンバを直列に複
数配置して鉄板を搬送し、バンクを揺動させなからエツ
チング液を鉄板の表側および裏側から噴霧させてエツチ
ング処理し、鉄板を均一に搾孔することが行われている
。

〔発明か解決すべき課題〕

ところで、鉄板を搾孔する場合にエツチング液が均一に
噴霧されていないと、シャドウマスクの孔の大きさにむ
らが生じ、高速の走査線でブラウン管を通して画像を見
た時に、シャドウマスクの孔のむらが顕在化して観察さ
れてしまう。これはテレビ不良の原因の一つとされ、孔
の均一化のためには鉄板上のエツチング液滴打圧分布を
調べることが極めて重要なことになっている。

しかし、エツチング液は極めて腐蝕性か強いので、チャ
ンバ内に測定器を配置して液滴打圧分布を求めることは
不可能である。

本発明は上記課題を解決するためのもので、チャンバの
配列、バンクの取り付は位置、ノズルピッチ、ノズル高
さ等のチャンバ構成データ、ノズル振り角等の揺動条件
データ、板幅、仮搬送速度等の搬送条件データを設定し
た時に、ノズルの噴霧量分布実験データを基に、板上の
各点ての液滴打圧分布を計算機によるンミュレーソヨン
により求め、求めた液滴打圧分布を画像化して容易に板
上での液滴打圧分布を知ることかできるようにすること
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のシミュレーション方式は、エツチングチャンバ
を通して被エツチング処理板を搬送し、揺動バンクに取
付けられた複数のノズルより工・ノチンダ液を噴霧する
エツチング処理における液滴打圧分布を計算機によるシ
ミュレーションで求めるエツチング液滴打圧シミュレー
ション方式であって、チャンバ構成データ、揺動条件デ
ータ、搬送条件データからなるラインスペックを入力す
るラインスペック入力手段と、ラインスペックを読み取
るとともに、ＸＹステージ上を移動する打圧センサにノ
ズルよりエツチング液を噴霧させて得たエツチング液打
圧分布実験データを参照してエツチング液滴打圧分布を
求める液滴打圧分布演算処理手段と、算出したエツチン
グ液滴打圧分布を可視化するための出力処理手段とを備
え、前記液滴打圧分布演算処理手段は、被エツチング処
理板上の着目点が噴霧エリアに入る対象ノズルを判定す
る対象ノズル判定処理部と、噴霧ノズルの先端軌道を求
めるノズル先端軌道算出処理部と、エツチング液打圧分
布実験データから、ノズル高さ、ノズル圧力の補間をす
るとともに、打圧分布を連続化する補間処理部と、算出
したノズル先端軌道、補間処理した打圧分布とから、鉛
直噴霧打圧分布特性より斜方噴霧打圧分布特性を算出す
る斜方噴霧変換処理部と、鉛直噴霧打圧分布特性及び斜
方噴霧打圧分布特性より、被エツチング処理板上各点で
の液滴打圧を算出する液滴打圧算出処理部と、所定タイ
ミングでサンプリングした液滴打圧を積算して各点の液
滴打圧分布を求める積算処理部とを有することを特徴と
する。

〔作用〕

本発明は計算機によるシミュレーションによりエツチン
グ液滴打圧分布を求めるようにしたものであり、チャン
バ配列、バンク取り付は位置、ノズルピッチ、ノズル高
さ等のチャンバ構成のデータ、ノズル振り角等の揺動条
件データ、板幅、仮搬送速度等の搬送条件データを設定
し、１ケのノズルからの打圧分布を実験により求め、こ
のデータを計算機に読み込んでノズルの鉛直方向噴霧量
特性から揺動時の打圧分布特性を斜方噴霧変換則により
導き、時々刻々、板上の各点でのエツチング液滴打圧を
求めて積算処理し、積算値を階調画像データとして処理
することにより画像化し、容易に板上での液滴打圧分布
を目視により知ることが可能となる。

〔実施例〕

以下、実施例を図面を参照して説明する。

まず第２図、第３図により本発明のエッチング装置につ
いて説明する。図中、１０はチャンバ１３はバンク、１
４はノズル、１５は板、３０は駆動部材、３１は押しロ
ット、３２はロット、３６は被駆動軸、３７はリンクで
ある。

第２図に示したものはチャンバの例であり、チャンバを
通して細い管からなるバンク１３か、エツチング処理さ
れるシャドウマスク用の鉄板等の板１５の表と裏側に搬
送方向に複数本設けられ、これら各バンク１３には複数
のノズル１４か設けられている。板１５は矢印の方向に
一定速度で搬送され、チャンバｌＯ内でノズルよりエツ
チング液か噴霧され、エツチング処理される。

バンク１３の揺動は次のようになっている。

すなわち、第３図に示すように駆動部材３０の回動によ
り、駆動部材に固定された押しロッド３１の端部が回転
運動し、その結果押しロッド３１に連結したロッド３２
か左右に揺動する。ロッド３２には回転可能にリンク３
７か取り付けられたているのでロッド３２は左右へ動く
とともに、上下への動きか加わることになる。二〇ロッ
ド３２によりリンク３７か左右に揺動し、被駆動軸３６
を所定角度回転させることにより、被駆動軸３６に連結
されたバンク１３を回動してノズルを所定振れ角で揺動
する。

このようにノズルを振りなから、搬送される板にエツチ
ング液を噴霧した時に板の各点における噴霧量かどのよ
うになりいるか調べることは極めて重要であるか、エツ
チング液は極めて腐蝕性が強いのて測定器をチャンバ内
に入れて測定することは極めて難しい。そこで、本発明
においては、この噴霧量分布を計算機によるシミレーシ
ョンにより求めたものである。

第１図は本発明のシミューション方式の全体構成を示す
図である。図中、ｌはラインスペック入力手段、２は液
滴打圧分布演算処理手段、２１はノズル先端軌道算出処
理部、２２は補間処理部、２３は対象ノズル判定処理部
、２４は斜方噴霧変換処理部、２５は液滴打圧算出処理
部、２６は積算処理部、３はスプレー実験データ、４は
出力処理手段、５は表示手段、６はプリンタである。

ラインスペック入力手段ｌはシミュレーションに当たっ
ての基礎データを入力するためのもので、キーボード等
からの手動入力、フロッピ、磁気ディスク等に入力され
ているデータの読み込みによりデータ入力される。ライ
ンスペック入力手段ｌて入力されるデータは、主として
チャンバ構成データ、揺動条件データ、搬送条件データ
からなっている。

チャンバ構成データは、第４図（ａ）に示すようにチャ
ンバ配列数、チャンバの幅Ｗ、チャンバ長さＬ１エツチ
ングされる板のレベルからチャンバの底までの深さＰ１
エツチングされる板のレベルがらチャンバの頂部までの
高さＨ１バンクの取り付は位置（Ｘ、　　Ｙ、　　Ｚ）
　、ノズル特性Ｔ１ノズル高さＮＨ，ノズル特性Ｔ１ノ
ズル長さＮＬ、ノズルのベーン角度θ等からなっている
。

また揺動条件データは、第４図（ｂｌに示すように、回
転速度ω、ノズルの振れ角α等からなっており、搬送条
件データは、第４図ｆｃ）に示すように、エツチングさ
れる板の幅Ｗ１搬送速度Ｖ、板の端点座標（Ｘ、　Ｙ）
なとからなっている。

液滴打圧分布演算処理手段２は、ラインスペック入力手
段１から前述したデータをそれぞれ読みこみ、ノズル先
端軌道算出処理部２１、補間処理部２２において、それ
ぞれノズル先端軌道の算出、補間処理を行う。

ノズル先端軌道算出処理部２１の処理について、第３図
に示すような揺動系を使用する場合について以下に説明
する。

駆動部材３０の回動により端点か回転運動する押しロッ
ド３１に一端か接続されたロッド３２か上下動しなか、
ら左右に往復動すると、リンク３７か左右に揺動して被
駆動軸３６を回動させることによりバンクが回動し、バ
ンクに取り付けられているノズルか振られることになる
。いま、第５図に示すように、駆動側中心と揺動部材の
揺動中心間の水平距離をＤ１押しロッド３１の長さをｌ
。

ロッド３２の長さをＲ１駆動部材３０の中心の高さをＨ
、リンク３７の回転半径をＲ１駆動部材３０により駆動
される押しロッドの駆動点Ｑの回転半径をｒとし、駆動
側の回転角をφ、 揺動角をχとすると、 ノズル側の Ｒｃｏｓχ ＝　Ｈ＋ｒｃｏｓφ−１！　　−Ｄ−Ｌ　＋　Ｒ５１ｎ
χ−ｒ　ｓｉｎφが成立する。これをχについて解くと
、ここで、 Ｃ−Ａｃｏｓχ ｓｉｎχ＝ Ａ＝２　　（ＨＲ＋ｒＲｃｏｓφ） Ｂ＝２　（ｒＲｓｉｎφ−（Ｄ−Ｌ）Ｒ）Ｃ＝Ｒ”＋ｒ
”十Ｈ”＋（Ｄ−Ｌ）”−Ａ’　”＋２Ｈｒｃｏｓφ−
２（Ｄ−Ｌ）ｒ　　ｓｉｎφとなる。

これらの式からχを求めることにより、リンク３７の運
動状態が分かるので、これによって回動される被駆動軸
３６に接続されたバンクのノズル１４の先端軌道を求め
ることかできる。

補間処理部２３はラインスペックとスプレー実験データ
３とからノズル高さ、噴霧圧力に対する補間処理を行う
とともに、打圧分布を連続化させる補間処理を行う。

スプレー実験データは、使用するノズル１４か決まると
、ノズル１４を一定の高さに設定し、第６図に示すよう
にＸ−Ｙステージ４０上に設置された打圧センサ４１を
矢印で示すようにＸ、Ｙ方向に移動させなからノズル１
４から鉛直下方へスプレー噴霧し、各地点ての打圧を実
験により求め、得られたデータを、例えばパーソナルコ
ンピュータ（もしくはデータレコーダ）４２に蓄えてお
く。

この際ノズルの高さ、噴霧圧力を変えて各地点ての打圧
を求め、スプレー実験データとして記憶させておく。

補間処理では、スプレー実験データにより第７図に示す
ような実測分布５０．５１が与えられているとき、ノズ
ル高さ、噴霧圧力を変えたときの予想分布５２を補間に
より求める処理と、実測分布、予想分布が階段状の分布
をしているので、打圧算出処理に適するように分布を連
続化して、それぞれ分布５３，５４．５５を得るような
処理を行う。

分布を連続化する補間処理は、各区間を直線近似するか
、あるいは２次曲線、３次曲線等で近似することにより
行われる。

ノズル高さに関する補間処理は、例えば、第８図に示す
ように、高さ旦、の値が実験値として与えられている時
に、高さＲ７に対する噴霧量分布は、微小立体角ｄωに
対する高さＲ３における面積Ｓ、での噴霧量と、高さＲ
２における面積Ｓ２での噴霧量とが等しいものとして、
Ｈ！における分布を求めるものである。

また圧力補間処理は、例えば、第９図に示すように、Ｐ
、、Ｐ、、Ｐ、、Ｐ、、Ｐ、、Ｐ、というように圧力に
対する噴霧量が実験データとして与えられている時、そ
の間の噴霧量は各点を３次°曲線で結ぶことによって補
間するものである。

こうしてノズル先端軌道が求められ、補間処理が行われ
ると、まず対象ノズル判定処理部２３により搬送される
板の各地点について、噴霧の対象となるノズルを判定す
る。

板の各地点での対象ノズルの判定は、板の進行方向の位
置において大まかなノズルの絞りこみと、絞りこまれた
ノズルに対する厳密な判定との２つのプロセスにより行
つ。

通常１つのエツチングラインには多数のノズルを含むチ
ャンバが複数個直列に配列されており、その全てを合計
すると膨大な個数のノズルか揺動することになる。その
ため、ノズル全ての厳密な対象判定を行おうとすると、
処理か膨大になってしまう。

そこで厳密な対象判定を行う前に、まずある程度ノズル
の個数の絞り込みを行う。即ち、全てのノズルは周期的
な往復運動をしているのであるから、各ノズルについて
板の上に液を噴霧し得る範囲を、例えば第】０図の矩形
６０のように範囲を特定することがてきる。矩形６０は
ノズルを左右に振った時に噴霧される範囲の全てをカバ
ーできる矩形としたもので、鉛直下方における噴霧領域
は小さく、最大に振った時は液が拡がるために噴霧され
る領域は広くなる。

このように各ノズルについて液が噴霧される範囲を板の
進行方向について求め、これらの値から、第１１図に示
すように着目点Ｐに対して液か吹きかけられるためにノ
ズルかなくてはならない板進行方向に対する範囲か得ら
れる。この範囲にノズルか入るか否かを各ノズルに対し
て判定を行う。

例えば第１１図についてはＯ印をつけた２つのノズルか
該当することか表している。

なお、着目点の判定のための範囲の大きさは、１度だけ
行えばよく、この処理により厳密な判定の必要な個数は
バンクの構成にもよるが、およそ２０〜４０個に絞るこ
とかできる。

次に絞りこまれたノズルに対する厳密な対象ノズルの判
定を行うが、ここではノズルによる噴霧領域は矩形領域
で定義されていると仮定する。

ノズルか揺動されると、揺動角に応して前記仮定した矩
形領域の大きさか変化するので、矩形領域を揺動した時
の領域の４つの端点内に着目点か入るか否かを判定する
ことになるか、このことは、着目点を揺動肉分だけ逆変
換して鉛直下方の方へ移動させた時に、鉛直下方の矩形
領域内に入るか否かの判定を行うのと等価である。

いま、第１２図に示すように、着目点をＰとし、ノズル
の噴霧口から着目点Ｐの方向を示すベクトルを（α、、
αア、α□）とし、その時のノズルの斜方噴霧軸を示す
ベクトルを（１，，１ア、ｔ、）とし、斜方噴霧軸を鉛
直下方になるようにした時の噴霧口から着目点の方向を
示すベクトルを（β８．βア、β、）とする。そして鉛
直下方（または上方）を示す単位ベクトルを（０，Ｏ。

ε）（但しε＝±１）とし、原点をノズル揺動中心へ平
行移動させた正規直交系を（ｅ＊＋ｅｙ＋ｅ、）とする
と、変換行列Ｔは（１１式に示すようになる。

・・・・・・（１） ここで、 Ｄ＝、／−已１１「丁７１ である。

この変換により得られたベクトル（β。

、β８） βア の延長と板との交点Ｑ　（Ｑ、、Ｑ、、Ｑ、）が着目点
Ｐの逆変換された点であり、この点かノズルの噴霧矩形
領域に入っているか否かの判定を行えば良い。但し、実
際にはノズルのベーン角度によりノズルは回転されてい
るため、Ｑ（Ｑ、、Ｑア、Ｑ、）が対象であるか否かを
判定するための矩形は斜めになっている。

矩形領域内に入っているか否かの判断は、例えば第１３
図（ａ）に示すように、逆変換して求めた０点と、矩形
領域の４端点（Ｃ，、Ｃ，、Ｃ，、Ｃ４）を結ぶ線分同
士かなす角θ１．θ２．θ、。

θ４の総和を求め、この総和か第１３図（ａ）に示すよ
うに２πとなれば矩形内の点であると判断することかで
き、一方、第１３図（ｂｌに示すようにθ。

θ２．θ１．θ４の総和が０となれば矩形外の点と判断
することができる。

このようにして予め絞りこんだノズルの１つ１つについ
て厳密な判定処理を行うことにより、対象ノズルを決定
することができる。

次に斜方噴霧変換処理部２４の変換処理について説明す
る。

斜方噴霧変換処理は、第１４図ｆａ）に示すような補間
処理部２２から受は取った鉛直下方向静止状態での打圧
分布６０を、ノズル軌道先端処理部２１から受は取った
ノズル揺動特性に基づき、第１４図（ｂｌに示すような
揺動時の打圧分布６１に変換するものであり、微小立体
角に対する噴霧量６２と６３とが等しいと仮定し、面積
比から分布の高さを求めるものである。

いま第１５図（ａ）に示すように、Ｒをバンク中心から
ノズル先端までの距離、Ｈを鉛直噴霧時のノズル先端と
板面との距離、Ｈ′を斜方向噴霧時のノズル先端と板面
との距離、θをバンク揺動角、φを噴霧軸と液滴発射方
向のなす角度、ηを揺動方向と板幅方向の成す角、ψを
噴霧方向と板の進行方向とのなす角、χを斜方噴霧時の
噴霧方向とＺ軸（鉛直方向）とのなす角、ｄωを鉛直噴
霧時の微小立体角、ｄω′を斜方噴霧時の微小立体角、
■を液滴の平均速度、μを鉛直噴霧時の液滴空間占有率
、μ′を斜方噴霧時の液滴空間占有率、ｄＦを単位時間
当たり微小立体角ｄωを通して噴霧される液量、ρを液
密度、ｄｉを微小時間とする。

いま、鉛直下方噴霧において、噴霧軸と液滴発射方向と
のなす角φにおける微小立体角ｄωに対する噴霧量を求
めるために、第１５図ｆｃ）に示すように噴霧方向に沿
って長さがｖｄｔ、噴霧方向に垂直な面積ｄＫからなる
空間を考え、同様にバンク揺動角θの時、斜方噴霧軸方
向と液滴発射方向のなす角φにおける微小立体角ｄωに
おいて、長さｖｄｔ、噴霧方向に垂直な面積ｄＳ−の空
間を考えると、 ｄＳ Ｈ２ＳｅＣ２φ Ｈ−２ｓｅｃ２χ ・・・（３） か成立する。

この体積内の液滴量はそれぞれ となる。

次に第１ ５図（ｄｉに示すように噴霧方向に沿って円筒形である
とともに、 上下か板の面に平行な空 間を考えると、 噴霧量 が成立する。

これら（３）〜（５）式より か得られる。

ｍを液滴平均質量、 Ｎを時間ｄｔ中にｄＳを通 過する液滴総数、Ｈ′を時間ｄｔ中にｄＳ−を通過する
液滴総数とすると、 が成立する。

いま、ｋを仮想弾性係数、Ｔを入射方向を示す単位ベク
トル、ξを仮想的な運動量の方向を示すベクトルとする
と、 ｍｖλ・Ｎ＝ｋｍ■・ξ・Ｎ＋　ｄ　Ｐ　　　　　−＝
・（８］か成立する。

即ち、左辺は板に対して噴霧される液滴の総運動量で、
右辺第１項は板に衝突後の液滴の総運動量であるので、
その差は液滴打圧ｄＰとなる。

λ＝（λ１．λ７．λ２．） ξ；（ξｘ１ξ２、ξ３．）のときに（８）式における
板面に垂直な成分について考えると、ｍｖ・λ３　　・
Ｎ＝ｋｍｖξｓ　Ｎ　十ｄ　Ｐとなる。

ここで、ｋ・ξ２を新ためてＫ　（ｖ、　　λ、）と仮
定すると、次のようになる。

ｄＰ＝ｍｖλｓ　Ｎ　　Ｋ　（ｖ、λｚ）・ｍｖＮｄＳ
に対応するλ３はＣＯＳφ、ｄＳ−に対応するλ３はｃ
ｏｓχとなるので・ ｄ　Ｐ＝ｍｖＮ　（ｃｏｓφ−Ｋ　（Ｖ、　ＣＯ３φ）
）ｄ　Ｐ　−＝ｍｖＮ　（ｃｏｓχ−Ｋ　（ｖ、　ＣＯ
５Ｉ：））・・・・（９） 式となる。

この式でｍｖＮを消去すると、 αＯ） 式となる。従って、 ｃｏｓρ−Ｋ　　（ｖ、　　ｃｏｓρ）として打圧変換
式か求められる。

ここでＶはノズル種類とその圧力とにより決まるとみな
せるので、ノズル種類を固定すると、ＫはＶのかわりに
圧力Ｐの関数とみなせ、従って、Ｋ（Ｐ、ｃｏｓφ）と
置くことか可能である。函数Ｋ（Ｐ、ｃｏｓφ）はＰを
固定した時のφについてのフーリエ展開式を、実験値か
ら重回帰分析により求めることかできる。

Ｋ（ｐ、ｃｏｓφ）ζΣ　ａｋ　（ｐ）　Ｔｈ　（ｃｏ
ｓφ）ここてＴｈ　　（χ）　−ｃｏｓ（ｋ　、　ＣＯ
Ｓ　−’χ）（チエビシエフの多項式） の形にＫか書けるものとして、重回帰分析により係数ａ
ｋ　（１１）を実験値より決定する。

こうして鉛直下方噴霧と、斜方噴霧との変換式％式％ 次に、打圧算出処理部２５において、判定した対象ノズ
ルと斜方噴霧変換特性とから、各着目点について液滴打
圧を算出する。

液滴打圧算出処理は、第１６図に示すようにノズル１４
−１．１４−２・・・・・・１４−７の噴霧について考
えたとき、ある時刻において着目点Ｐに対してノズル１
４２．１４−３．１４−４．１４−５か対象ノズルであ
るとすると、斜方噴霧変換により求めた噴霧特性から着
目点Ｐにおける液滴打圧を各４つのノズルについて算出
し、各ノズルからの噴霧による打圧の総和として、時々
刻々各着目点について打圧を算出する。

こうして着目点の各時刻（ｔ＋、ｔｚ・・・・・・ｔ。

＋、１．）における液滴打圧か、例えば第１７図に示す
ように求められたとすると、積算処理部２６では各時刻
での値ｆ（ｔ＋）を、例えば４点ごとの区間に分割し、
各区間毎にラグランシュ補間を行って得られる３次函数
で近似し、その積分値によってその区間の積算量とする
。もちろん、サンプリング点をより細かくし、各区間の
矩形の面積の和として算出してもよい。こうして各着目
点における全時刻にに対する積算量か算出され、打圧分
布か求められる。

このように、第１８図（ａ）に示すように斜線で示した
シミュレーション対象域の各点について経時的に液滴打
圧を求め、板の進行方向について順次積算することによ
り、第１８図（Ｃ１に示すようにエツチングチャンバか
ら送り出された板上には所定の液滴打圧分布が得られる
ことになる。なお、複数のノズルにより噴霧される干渉
部分は、それぞれの液滴打圧の単純和でよいことは実験
により確認されている。

出力処理手段４では、各着目点ごとに求められた液滴打
圧の積算データを第１９図（ａｌに示すように、複数の
スライスレベルを設定して階調データとして処理し、例
えば、第１９１１（ｂ）に示すように１６階調の濃度を
持つ画像データとして表現することかできる。この場合
、白黒の階調表現としても良く、あるいはカラー画像の
階調表現としてもよい。このように、画像処理されたデ
ータはＣＲＴ等の表示手段５により液滴打圧分布か輝度
変調された形で表示され、あるいは昇華転写等のプリン
タ６によりプリントアウトすることにより、板上の液滴
打圧分布を一目で知ることが可能となる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、チャンバ構成、搬送条件
、搬送速度等のラインスペックを設定し、かつ与えられ
たノズルについてスプレー実験データを求めることによ
り、計算機によるシミュレーションによりエツチングチ
ャンバ内における板上への液滴打圧分布を容易に求める
ことか可能となるので、均一にエツチングさせるための
チャンバ構成、噴霧のさせがた等について、貴重なデー
タを得ることか可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のシミューション方式の全体構成を示す
、第２図はエツチング処理装置の概略図、第３図はバン
ク揺動系を示す図、第４図はデータ構成を示す図、第５
図は揺動解析の説明図、第６図はスプレー実験データを
求める方法を説明するための図、第７図は補間処理を説
明するだめの図、第８図は高さに関する補間処理方法を
説明するための図、第９図は圧力に対する補間処理方法
を説明するための図、第１０図、第１１図、第１２図、
第１３図は対象ノズル判定処理を説明するための図、第
１４図、第１５図は斜方噴霧変換を説明するための図、
第１６図は着目点における打圧算出を説明するための図
、第１７図、第１８図は積算処理を説明するための図、
第１９図は出力処理を説明するための図である。 ｌ・・・ラインスペック入力手段、２・・・液滴打圧分
布演算処理手段、２１・・・ノズル先端軌道算出処理部
、２２・・・補間処理部、２３・・・対象ノズル判定処
理部、２４・・・斜方噴霧変換処理部、２５・・・打圧
算出処理部、２６・・・積算処理部、３・・・スプレー
実験データ、４・・・出力処理手段、５・・・表示手段
、６・・・プリンタ、１０・・・チャンバ、１３・・・
バンク、１４・・・ノズル、１５・・・板、３０・・・
駆動部材、３１・・・押しロッド、３２・・・ロッド、
３６・・・被駆動軸、３７・・・リンク。 出　　願　　人　　大日本印刷株式会社代理人　弁理士
　　蛭　川　昌　信（外７名）ｊＩｌ属 第２図 第 図 第８ 図 第９ 図 ノコし二〜 第１０図 第１１ 図 第１２ 図 第１３ 図 （ａ） （ｂ） 出 Ｑ　（Ｑｘ、Ｑｙ、Ｑｚ） 第１４ 図 （ａ） （ｂ） 第１５ 図 （ａ’） 第１６図 １４−４１４−ｓ　１４−６ ビ 第１７図 １Ｏ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　エッチングチャンバを通して被エッチング処理板を搬
   送し、揺動バンクに取付けられた複数のノズルよりエッ
   チング液を噴霧するエッチング処理における液滴打圧分
   布を計算機によるシミュレーションで求めるエッチング
   液滴打圧シミュレーション方式であって、チャンバ構成
   データ、揺動条件データ、搬送条件データからなるライ
   ンスペックを入力するラインスペック入力手段と、ライ
   ンスペックを読み取るとともに、ＸＹステージ上を移動
   する打圧センサにエッチング液を噴霧させて得たエッチ
   ング液打圧分布実験データを参照してエッチング液滴打
   圧分布を求める液滴打圧分布演算処理手段と、算出した
   エッチング液滴打圧分布を可視化するための出力処理手
   段とを備え、前記液滴打圧分布演算処理手段は、被エッ
   チング処理板上の着目点が噴霧エリアに入る対象ノズル
   を判定する対象ノズル判定処理部と、噴霧ノズルの先端
   軌道を求めるノズル先端軌道算出処理部と、エッチング
   液打圧分布実験データから、ノズル高さ、ノズル圧力の
   補間をするとともに、打圧分布を連続化する補間処理部
   と、算出したノズル先端軌道、補間処理した打圧分布と
   から、鉛直噴霧打圧分布特性より斜方噴霧打圧分布特性
   を算出する斜方噴霧変換処理部と、鉛直噴霧打圧分布特
   性及び斜方噴霧打圧分布特性より、被エッチング処理板
   上各点での液滴打圧を算出する液滴打圧算出処理部と、
   所定タイミングでサンプリングした液滴打圧を積算して
   各点の液滴打圧分布を求める積算処理部とを有すること
   を特徴とするエッチング液滴打圧分布シミュレーション
   方式。