JPH0412649U - - Google Patents

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JPH0412649U
JPH0412649U JP5248690U JP5248690U JPH0412649U JP H0412649 U JPH0412649 U JP H0412649U JP 5248690 U JP5248690 U JP 5248690U JP 5248690 U JP5248690 U JP 5248690U JP H0412649 U JPH0412649 U JP H0412649U
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lid
wafer container
protrusion
wafer
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JP5248690U
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【図面の簡単な説明】
第1図a及び第1図bは、この考案の第1の実
施例を説明する、ウエハー容器の外形図、第2図
は第1図のウエハー容器の断面図、第3図はこの
考案の他の実施例を示す、本体の外形図、第4図
はこの考案の他の実施例を示す、蓋の外形図、第
5図はこの考案の第2の実施例を説明する、ウエ
ハー容器の外形図、第6図は突起部分の拡大断面
図、第7図は従来のウエハー容器の外形図、第8
図はこの考案の別の実施例を示す、ウエハー容器
の外形図である。 1……本体、2……蓋、3……ウエハー、4…
…突起、5……爪、6……溝、7……突起部分の
厚み、14……バネ、41,42……突起。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハーを収納するための本体と蓋
    とからなる容器において、本体と蓋の両方または
    いずれか一方にウエハーを押圧固定するための突
    起を設けたことを特徴とするウエハー容器。 (2) 蓋に一体整形された弾性爪を設け、この弾
    性爪を本体に整形された溝に係合させることによ
    つて本体と蓋とを相互に固定することを特徴とす
    る請求項(1)記載のウエハー容器。 (3) 本体内壁が多角錐状の凹部をなすことを特
    徴とする請求項(2)記載のウエハー容器。 (4) 突起を形成する部分は、材質がポリプロピ
    レンまたはエチレンプロピレンであり、かつ厚み
    が0.2mm以上0.7mm以下であることを特徴と
    する請求項(1),(2)または(3)記載のウエハー容
    器。 (5) 突起を形成する部分は、材質がポリエチレ
    ンであり、かつ厚みが0.3mm以上1mm以下であ
    ることを特徴とする請求項(1),(2)または(3)記
    載のウエハー容器。
JP5248690U 1990-05-18 1990-05-18 Pending JPH0412649U (ja)

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JP5248690U JPH0412649U (ja) 1990-05-18 1990-05-18

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JPH0412649U true JPH0412649U (ja) 1992-01-31

Family

ID=31572830

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JP5248690U Pending JPH0412649U (ja) 1990-05-18 1990-05-18

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JP (1) JPH0412649U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7780440B2 (en) 2004-10-19 2010-08-24 Canon Anelva Corporation Substrate supporting/transferring tray

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7780440B2 (en) 2004-10-19 2010-08-24 Canon Anelva Corporation Substrate supporting/transferring tray

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