JPH0412649U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0412649U JPH0412649U JP5248690U JP5248690U JPH0412649U JP H0412649 U JPH0412649 U JP H0412649U JP 5248690 U JP5248690 U JP 5248690U JP 5248690 U JP5248690 U JP 5248690U JP H0412649 U JPH0412649 U JP H0412649U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- lid
- wafer container
- protrusion
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims 1
- HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N ethene;prop-1-ene Chemical group C=C.CC=C HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第1図a及び第1図bは、この考案の第1の実
施例を説明する、ウエハー容器の外形図、第2図
は第1図のウエハー容器の断面図、第3図はこの
考案の他の実施例を示す、本体の外形図、第4図
はこの考案の他の実施例を示す、蓋の外形図、第
5図はこの考案の第2の実施例を説明する、ウエ
ハー容器の外形図、第6図は突起部分の拡大断面
図、第7図は従来のウエハー容器の外形図、第8
図はこの考案の別の実施例を示す、ウエハー容器
の外形図である。 1……本体、2……蓋、3……ウエハー、4…
…突起、5……爪、6……溝、7……突起部分の
厚み、14……バネ、41,42……突起。
施例を説明する、ウエハー容器の外形図、第2図
は第1図のウエハー容器の断面図、第3図はこの
考案の他の実施例を示す、本体の外形図、第4図
はこの考案の他の実施例を示す、蓋の外形図、第
5図はこの考案の第2の実施例を説明する、ウエ
ハー容器の外形図、第6図は突起部分の拡大断面
図、第7図は従来のウエハー容器の外形図、第8
図はこの考案の別の実施例を示す、ウエハー容器
の外形図である。 1……本体、2……蓋、3……ウエハー、4…
…突起、5……爪、6……溝、7……突起部分の
厚み、14……バネ、41,42……突起。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハーを収納するための本体と蓋
とからなる容器において、本体と蓋の両方または
いずれか一方にウエハーを押圧固定するための突
起を設けたことを特徴とするウエハー容器。 (2) 蓋に一体整形された弾性爪を設け、この弾
性爪を本体に整形された溝に係合させることによ
つて本体と蓋とを相互に固定することを特徴とす
る請求項(1)記載のウエハー容器。 (3) 本体内壁が多角錐状の凹部をなすことを特
徴とする請求項(2)記載のウエハー容器。 (4) 突起を形成する部分は、材質がポリプロピ
レンまたはエチレンプロピレンであり、かつ厚み
が0.2mm以上0.7mm以下であることを特徴と
する請求項(1),(2)または(3)記載のウエハー容
器。 (5) 突起を形成する部分は、材質がポリエチレ
ンであり、かつ厚みが0.3mm以上1mm以下であ
ることを特徴とする請求項(1),(2)または(3)記
載のウエハー容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5248690U JPH0412649U (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5248690U JPH0412649U (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0412649U true JPH0412649U (ja) | 1992-01-31 |
Family
ID=31572830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5248690U Pending JPH0412649U (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0412649U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7780440B2 (en) | 2004-10-19 | 2010-08-24 | Canon Anelva Corporation | Substrate supporting/transferring tray |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP5248690U patent/JPH0412649U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7780440B2 (en) | 2004-10-19 | 2010-08-24 | Canon Anelva Corporation | Substrate supporting/transferring tray |