JPH04115884A - Slide mechanism - Google Patents
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- JPH04115884A JPH04115884A JP23501090A JP23501090A JPH04115884A JP H04115884 A JPH04115884 A JP H04115884A JP 23501090 A JP23501090 A JP 23501090A JP 23501090 A JP23501090 A JP 23501090A JP H04115884 A JPH04115884 A JP H04115884A
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- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 claims description 28
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明スライド機構を以下の項目に従って詳細に説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The slide mechanism of the present invention will be described in detail according to the following items.
A、産業上の利用分野
B1発明の概要
C1従来技術[第12図乃至第14図]D1発明が解決
しようとする課題
E9課題を解決するための手段
F、実施例[第1図乃至第11図]
a、外観[第1図乃至第3図]
b、x軸ユニット[第1図乃至第6図]c、Y軸ユニッ
ト[第1図乃至第3図、第5図、第6図コ
d、ツール駆動ユニット[第1図乃至第3図]
e、中空パイプ[第1図乃至第3図、第7図乃至第9図
コ
10回動連結部[第1図乃至第3図、第7図乃至第9図
コ
g、エア配管、電気配線[第1図、第7図、第8図]
h、動作[′tS9図]
i、別の適用例[3410図、第11図]G0発明の効
果
(A、産業上の利用分野)
本発明は新規なスライド機構に関する。詳しくは、固定
側部材と移動側部材との間を接続するエア配管及び/又
は電気配線の引き回しを工夫することにより、移動側部
材の移動に伴ない外部に露出したエア配管及び/又は電
気配線等から発生する塵埃の飛散を防止することができ
、また、スライド機構全体の専有スペースを小さくする
ことができる新規なスライド機構を提供しようとするも
のである。A. Industrial field of application B1 Overview of the invention C1 Prior art [Figs. 12 to 14] D1 Problems to be solved by the invention E9 Means for solving the problems F. Examples [Figs. 1 to 11] Figures] a, Appearance [Figures 1 to 3] b, X-axis unit [Figures 1 to 6] c, Y-axis unit [Figures 1 to 3, Figures 5, 6] d. Tool drive unit [Fig. 1 to 3] e. Hollow pipe [Fig. 1 to 3, Fig. 7 to 9] Figures 7 to 9 g, Air piping, electrical wiring [Figure 1, Figure 7, Figure 8] h, Operation ['tS9 figure] i, Another application example [Figure 3410, Figure 11] G0 Effects of the Invention (A. Field of Industrial Application) The present invention relates to a novel slide mechanism. Specifically, by devising the routing of the air piping and/or electrical wiring that connects the fixed side member and the moving side member, air piping and/or electrical wiring that is exposed to the outside as the moving side member moves It is an object of the present invention to provide a novel slide mechanism that can prevent the scattering of dust generated from such objects and that can also reduce the space occupied by the entire slide mechanism.
(B、発明の概要)
本発明スライド機構は固定側部材と移動側部材とを接続
するエア配管及び/又は電気配線を第1の中空パイプ及
び第2の中空パイプ内に挿通すると共に、第1の中空パ
イプをその一端が固定側部材に水平方向に回動自在に連
結し、また、第2の中空パイプをその一端が移動側部材
に水平方向に回動自在に連結し、かつ、他端を上記第1
の中空パイプの他端に回動自在に連結し、更に、上記固
定側部材、移動側部材、第1及び第2の中空パイプの互
いに回動自在に連結されている回動連結部にシール性の
高いシール部材を配設し、第1の中空パイプ及び第2の
中空パイプによって連通された空間が外部と遮断される
ようにしたので、移動側部材の移動に伴なうエア配管と
電気配線又は電気配線同士の接触摩耗により生じた塵埃
を外部に飛散させることなく、また、エア配管及び電気
配線の引き回し方向を水平方向にしたので、上方への突
出量を少なくすることができ、その分、スライド機構の
占有面積を小さくすることができる。(B. Summary of the Invention) The slide mechanism of the present invention inserts air piping and/or electric wiring connecting a stationary side member and a movable side member into a first hollow pipe and a second hollow pipe. A hollow pipe is connected at one end to a fixed side member so as to be horizontally rotatable, and one end of a second hollow pipe is connected to a movable side member so as to be horizontally rotatable, and the other end is connected to a movable side member so as to be horizontally rotatable. The above 1st
A sealing member is rotatably connected to the other end of the hollow pipe, and further rotatably connects the fixed side member, the moving side member, and the first and second hollow pipes to each other. A sealing member with a high sealing temperature is provided so that the space communicated by the first hollow pipe and the second hollow pipe is isolated from the outside, so that air piping and electrical wiring are prevented as the moving member moves. Also, dust generated by contact wear between electrical wirings is not scattered outside, and since the air piping and electrical wiring are routed horizontally, the amount of upward protrusion can be reduced. , the area occupied by the slide mechanism can be reduced.
(C,従来技術)[第12図乃至第14図コ第12図乃
至第14図は従来のスライド機構を直交型ロボットに適
用したm個aを示すものである。(C, Prior Art) [Figs. 12 to 14] Figs. 12 to 14 show m pieces a in which a conventional slide mechanism is applied to a Cartesian robot.
直交型ロボットaは図示しない基台に固定されたX軸ユ
ニットbと該X軸ユニットbの移動体に支持されX軸ユ
ニットbに対して直交する方向に延びるY軸ユニットC
とY軸ユニットCの一端部に取着されたツール駆動ユニ
ットd等とから成る。The orthogonal robot a includes an X-axis unit b fixed to a base (not shown) and a Y-axis unit C supported by a moving body of the X-axis unit b and extending in a direction perpendicular to the X-axis unit b.
and a tool drive unit d attached to one end of the Y-axis unit C.
X軸ユニットbはその筐体eの内部において長手方向に
延びるボールネジと螺合されボールネジの回転によって
移動されるナツト体と結合された移動体fを備えている
。The X-axis unit b includes a moving body f coupled to a nut body which is threadedly engaged with a ball screw extending in the longitudinal direction inside the housing e and is moved by the rotation of the ball screw.
Y軸ユニットCは支持枠gと該支持枠gに摺動自在に支
持された筐体りとを備えており、支持枠gがX軸ユニッ
トbの移動体fに支持され、上記筐体り内に位置し、同
じく筐体り内に位置したボールネジの回転によって筐体
りの長手方向に移動するナツト体が支持枠gと連結され
ており、ボールネジが回転することにより筐体りはX軸
ユニットbの移動体fの移動方向と直交する方向に移動
するようになっている。そして、筐体りの一方の端部に
上記ツール駆動ユニットdが取着されている。The Y-axis unit C includes a support frame g and a housing slidably supported by the support frame g.The support frame g is supported by the movable body f of the X-axis unit b, and the housing A nut body located inside the housing and moved in the longitudinal direction of the housing by the rotation of a ball screw also located inside the housing is connected to the support frame g, and the rotation of the ball screw causes the housing to move along the X axis. It is configured to move in a direction perpendicular to the moving direction of the moving body f of unit b. The tool drive unit d is attached to one end of the housing.
ツール駆動ユニットdにはツールlが取着されるように
な)ており、該ツールiは図示しないモータ及びエアシ
リンダにより上下動、回転及び吸引動作等を行ない、図
示しないワークに対して所定の作業を行なうようになっ
ている。A tool l is attached to the tool drive unit d, and the tool i is moved vertically, rotated, sucked, etc. by a motor and an air cylinder (not shown), and is moved to a predetermined position on a workpiece (not shown). It is ready to work.
jはツール駆動用のエアシリンダとX軸ユニットbを固
定する基台側の図示しない負圧発生手段とを結ぶエア配
管であり、比較的柔軟性のある合成樹脂から成る。An air pipe j connects an air cylinder for driving the tool and negative pressure generating means (not shown) on the base side for fixing the X-axis unit b, and is made of relatively flexible synthetic resin.
エア配管jはX軸ユニットbの一端部の筐体eの上面か
ら上方へ突出され、円弧を描くようにしてY軸ユニット
Cの他端部の筐体りの上面からY軸ユニットCの筐体り
内に導入され、さらにY軸ユニットCの筐体り内を通っ
て、ツール駆動用のエアシリンダに達している。The air pipe j protrudes upward from the top surface of the casing e at one end of the It is introduced into the body, further passes through the housing of the Y-axis unit C, and reaches the air cylinder for driving the tool.
また、エア配管jのうち、外部に露出している部分はX
軸ユニットbの移動体fの動き及びY軸ユニットCの動
ぎに伴ない、これらに追従できるように比較的長く形成
されている。Also, the part of the air pipe j that is exposed to the outside is
It is formed relatively long so that it can follow the movement of the moving body f of the axis unit b and the movement of the Y-axis unit C.
kはボールネジ駆動用のモータ・やツール駆動用のモー
タ等に電気を供給するための電気配線であり、基台側の
図示しない電力供給部から基台及びX軸ユニットbの内
部を通った後、上記エア配管jと共に外部に延出されて
、エア配管jに沿フて延びた後Y軸ユニットC内に導入
されてY軸ユニットCのボールネジ用モータ及びツール
駆動用のモータに接続されている。K is an electrical wiring for supplying electricity to a motor for driving a ball screw, a motor for driving a tool, etc., and after passing through the inside of the base and X-axis unit b from the power supply part (not shown) on the base side. , is extended to the outside together with the air pipe j, and after extending along the air pipe j is introduced into the Y-axis unit C and connected to the ball screw motor and tool drive motor of the Y-axis unit C. There is.
β、1、・・・は上記電気配線kをエア配管jに沿わせ
るためのバンドであり、これにより電気配線にはエア配
管jに沿うように結束されて垂れ下がることがないよう
にされている。β, 1, . . . are bands for making the electrical wiring k run along the air piping j, so that the electrical wiring is tied along the air piping j so that it does not hang down. .
m、mはエア配管j及び電気配線にの各軸ユニットb、
cからの引出部にこれらエア配管j及び電気配線kを囲
むように配設されたゴムブッシングであり、これにより
エア配管j及び電気配線kが保護されている。m, m are air piping j and electric wiring for each axis unit b,
A rubber bushing is disposed in the lead-out portion from c so as to surround the air piping j and the electric wiring k, thereby protecting the air piping j and the electric wiring k.
しかして、X軸ユニットbの駆動によりY軸ユニットC
はX軸ユニットbの軸方向に移動され、また、Y軸ユニ
ットCの駆動によりY軸ユニットCの筐体りを含む大部
分がX軸ユニットbの軸方向と直交する方向に移動する
こととなり、従って、ツールiはいわゆるX−Y方向に
移動することとなる。Therefore, by driving the X-axis unit b, the Y-axis unit C
is moved in the axial direction of the X-axis unit b, and by driving the Y-axis unit C, most of the Y-axis unit C, including the casing, is moved in a direction perpendicular to the axial direction of the X-axis unit b. , Therefore, the tool i will move in the so-called X-Y direction.
そして、このとき、エア配管j及び電気配線にのうち外
部に露出している部分は、その部分の長さが変わらない
ため、その姿勢が低くなって大きな円弧を描いたり、高
くなって小さな円弧を描いたりするように動くこととな
る。At this time, the length of the air piping j and the electrical wiring exposed to the outside does not change, so the posture may become lower and draw a large arc, or become higher and draw a small arc. It will move as if drawing.
(D、発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記従来の直交型ロボットaにあフては
エア配管j及び電気配線kが外部に露出している部分を
有するため、X軸ユニットb及びY軸ユニットCの移動
に伴ない、エア配管j、電気配線k及びバンド℃、1、
・・・等が互いに擦れたり、接触したり、また、ゴムブ
ッシングm1mとエア配管j及び電気配線にとの間で擦
れたりしてこれらが摩耗して発生した塵埃が周囲に飛散
するという問題があった。(D. Problem to be Solved by the Invention) However, in the conventional orthogonal robot a, since the air piping j and the electric wiring k have exposed parts to the outside, the X-axis unit b and the Y As the axis unit C moves, air piping j, electrical wiring k and band °C, 1,
...etc. may rub or come into contact with each other, or the rubber bushing m1m may rub against the air piping j and electrical wiring, causing the dust generated by these to be scattered around. there were.
また、ロボットの非稼動時にはクリーンルーム内におけ
るダウンフローによりその各部に塵埃が沈降付着し、ロ
ボットaの稼動によりその各部に付着した塵埃が飛散す
ることがあるが、上記直交型ロボットaのようにエア配
管j及び電気配線kが上方に延出されて高い姿勢を取っ
ているときは、これらに付着した塵埃がより広範囲に飛
散し、そのために、ワークに塵埃が付着してしまうとい
う問題があった。Furthermore, when the robot is not in operation, dust settles and adheres to various parts of the clean room due to downflow, and when robot a is in operation, the dust that has adhered to each part of the robot may be scattered. When the piping j and the electrical wiring k are extended upward and are in a high position, there is a problem in that the dust attached to them is scattered over a wider area, and therefore the dust is attached to the workpiece. .
(E、 課題を解決するための手段)
そこで、本発明スライド機構は、固定側部材と移動側部
材とを接続するエア配管及び/又は電気配線を第1の中
空パイプ及び第2の中空パイプ内に挿通すると共に、第
1の中空パイプをその一端が固定側部材に水平方向に回
動自在に連結し、また、第2の中空パイプをその一端が
移動側部材に水平方向に回動自在に連結し、かつ、他端
を上記第1の中空パイプの他端に回動自在に連結し、更
に、上記固定側部材、移動側部材、第1及び第2の中空
パイプの互いに回動自在に連結されている回動連結部に
シール性の高いシール部材を配設し、第1の中空パイプ
及び第2の中空パイプによって連通された空間が外部と
遮断されるようにしたものである。(E. Means for Solving the Problems) Therefore, the slide mechanism of the present invention connects the air piping and/or electrical wiring between the stationary side member and the movable side member within the first hollow pipe and the second hollow pipe. At the same time, one end of the first hollow pipe is connected to the fixed side member so as to be horizontally rotatable, and one end of the second hollow pipe is connected to the movable side member so that the second hollow pipe is horizontally rotatable. and the other end is rotatably connected to the other end of the first hollow pipe, and the fixed side member, the movable side member, and the first and second hollow pipes are rotatably connected to each other. A sealing member with high sealing performance is disposed on the connected rotary connecting portion, so that the space communicated by the first hollow pipe and the second hollow pipe is cut off from the outside.
従フて、本発明スライド機構によれば、移動側部材の移
動に伴なうエア配管と電気配線又は電気配線同士の接触
摩耗により生じた塵埃を外部に飛散させることがなく、
また、エア配管及び電気配線の引き回し方向を水平方向
にしたので、上方への突出量を少なくすることができ、
その分、スライド機構の占有面積を小さくすることがで
き、更に、これにより、スライド機構の非稼動時にその
各部に沈降付着した塵埃がスライド機構の稼動と共に飛
散してそれが広範囲に亘ることはなくワークに廖埃が付
着することを少なくすることができる。Therefore, according to the slide mechanism of the present invention, dust generated by contact abrasion between the air piping and the electrical wiring or between the electrical wirings due to the movement of the movable member is not scattered to the outside.
In addition, since the air piping and electrical wiring are routed horizontally, the amount of upward protrusion can be reduced.
Accordingly, the area occupied by the slide mechanism can be reduced, and furthermore, this prevents the dust that settles and adheres to various parts of the slide mechanism when it is not in operation to scatter and spread over a wide area when the slide mechanism is in operation. It is possible to reduce the adhesion of dust to the workpiece.
(F、実施例)[第1図乃至第11図コ以下に、本発明
スライド機構の詳細を図示した実施例に従って説明する
。(F. Embodiment) [The details of the slide mechanism of the present invention will be explained in accordance with the illustrated embodiments below in FIGS. 1 to 11.
尚、図示した実施例は本発明スライド機構を直交型ロボ
ット1に適用したものである。In the illustrated embodiment, the slide mechanism of the present invention is applied to an orthogonal robot 1.
(a、外観)[第1図乃至第3因]
直交型ロボット1は図示しない基台に固定されたX軸ユ
ニツト2と該X軸ユニット2の移動体に支持され、X軸
ユニツト2に対して直交する2方向に移動可能なY軸ユ
ニット3と該Y軸ユニット3の一端部に取着されたツー
ル駆動ユニット4等から成る。(a, Appearance) [Figures 1 to 3] The orthogonal robot 1 is supported by an X-axis unit 2 fixed to a base (not shown) and a movable body of the X-axis unit 2. It consists of a Y-axis unit 3 that is movable in two orthogonal directions, and a tool drive unit 4 attached to one end of the Y-axis unit 3.
(b、X軸ユニット)[第1図乃至第6図]X軸ユニッ
ト2は細長い箱状をした筐体5と、該筺体5の内部にそ
の長手方向(以下、「X軸方向」という。)に延び、か
つ、互いに平行に配置された円棒状のガイドレール6.
6と、その両端部が筐体5内の両端寄りの部分に設けら
れた内部仕切壁7.7に支持された軸受8.8に回転自
在に支持され、一端部がモータ9の回転軸に連結された
ボールネジ10と、上記ボールネジ1oに螺合されたナ
ツト部材11を回転不能に支持した移動体12等から成
る。(b, X-axis unit) [FIGS. 1 to 6] The X-axis unit 2 includes an elongated box-shaped casing 5 and a longitudinal direction (hereinafter referred to as "X-axis direction") inside the casing 5. ) and arranged parallel to each other, circular guide rails 6.
6, both ends of which are rotatably supported by bearings 8.8 supported by internal partition walls 7.7 provided near both ends of the housing 5, and one end of which is connected to the rotating shaft of the motor 9. It consists of a connected ball screw 10, a moving body 12 that non-rotatably supports a nut member 11 screwed onto the ball screw 1o, and the like.
移動体12には上記ガイドレール6.6が貫通されてこ
れに案内される被ガイド部13.13が形成されており
、被ガイド部13.13が上記ガイドレール6.6に各
別に摺動自在に支持されることによって移動体12が筐
体5に移動自在に支持され、そして、ボールネジ1oが
回転することによってナツト部材11が送られて移動体
12がX軸方向に移動される。The movable body 12 is formed with guided portions 13.13 that are guided by the guide rails 6.6, and the guided portions 13.13 individually slide on the guide rails 6.6. By being freely supported, the movable body 12 is movably supported by the housing 5, and when the ball screw 1o rotates, the nut member 11 is sent and the movable body 12 is moved in the X-axis direction.
また、移動体12の上面には支持脚14.14が突設さ
れており、該支持脚14.14は筐体5の天板に移動体
12の移動方向に延びるように形成されたスリット15
.15を通してその上方に突出されている。Further, a support leg 14.14 is provided protruding from the upper surface of the movable body 12, and the support leg 14.14 has a slit 15 formed in the top plate of the housing 5 so as to extend in the moving direction of the movable body 12.
.. 15 and protrudes above it.
16は前記Y軸ユニット3を内嵌状に支持する四角筒状
をした支持枠であり、該支持枠16はその長さがX軸ユ
ニツト2の幅寸法と略同じで、その支持孔16aがX軸
ユニツト2の長手方向に直交する向きで上記支持脚14
.14上に固定されている。Reference numeral 16 denotes a square cylindrical support frame that supports the Y-axis unit 3 in an internally fitted manner. The support legs 14 are arranged perpendicularly to the longitudinal direction of the X-axis unit 2.
.. It is fixed on 14.
17はX軸ユニツト2の筐体5のうちモータ9が取り付
けられた側の端部の側面に突設されたエア配管等の引出
部であり、該引出部17は小さな箱形をして、その下面
に円筒部18が突設されている。Reference numeral 17 denotes a pull-out portion for air piping, etc., which is protruded from the side surface of the end of the housing 5 of the X-axis unit 2 on which the motor 9 is attached, and the pull-out portion 17 has a small box shape. A cylindrical portion 18 is provided protruding from its lower surface.
(c、Y軸ユニット)[第1図乃至第3図、第5図、第
6図]
Y軸ユニット3は前記X軸ユニット2と略同じ構造をし
ているので、Y軸ユニット3の各部の符号はX軸ユニツ
ト2の対応する各部の符号にr′」を付して説明する。(c, Y-axis unit) [Figures 1 to 3, 5, 6] Since the Y-axis unit 3 has approximately the same structure as the X-axis unit 2, each part of the Y-axis unit 3 The symbols will be explained by adding "r'" to the symbols of the corresponding parts of the X-axis unit 2.
Y軸ユニット3は細長い箱状をした筐体5′と、該筐体
5′の内部にその長手方向(以下、「Y軸方向」という
。)に延び、かつ、互いに平行に配置された円棒状のガ
イドレール6′ 6′と、その両端部が筐体5′内の両
端寄りの部分に設けられた内部仕切壁7′ 7′に支持
された軸受8′ 8′に回転自在に支持され、一端部が
モータ9′の回転軸に連結されたボールネジ10′と、
上記ボールネジ10′に螺合されたナツト部材11′を
回転不能に支持した移動体12′等から成る。The Y-axis unit 3 includes an elongated box-shaped housing 5' and circles extending in the longitudinal direction (hereinafter referred to as the "Y-axis direction") inside the housing 5' and arranged parallel to each other. The rod-shaped guide rails 6', 6', and both ends thereof are rotatably supported by bearings 8', 8' supported by internal partition walls 7', 7' provided in portions near both ends within the housing 5'. , a ball screw 10' whose one end is connected to the rotating shaft of the motor 9';
It consists of a movable body 12' that non-rotatably supports a nut member 11' screwed onto the ball screw 10'.
筐体5′はその横断面形状が、前記支持枠16の支持孔
16aの横断面形状よりひと回り小さくされ、支持枠1
6の支持孔16aに摺動自在に挿通されている。The cross-sectional shape of the housing 5' is made one size smaller than the cross-sectional shape of the support hole 16a of the support frame 16, and
It is slidably inserted into the support hole 16a of No. 6.
19はY軸ユニット3の外筐5′のうちモータ9′が取
り付けられた側の端部の下面に突設された円筒部であり
、該円筒部19はX軸ユニツト2の引出部17に形成さ
れた円筒部18とその内径及び外径が略同じになってい
る。Reference numeral 19 denotes a cylindrical portion protruding from the lower surface of the end of the outer casing 5' of the Y-axis unit 3 on the side where the motor 9' is attached. The inner and outer diameters of the formed cylindrical portion 18 are approximately the same.
移動体12′には上記ガイドレール6′、6′が貫通さ
れてこれに案内される被ガイド部13′、13′が形成
されており、被ガイド部13’ 13′が上記ガイド
レール6′ 6′に各別に摺動自在に支持されることに
よって移動体12′が筐体5′に移動自在に支持され、
そして、ボールネジ10’が回転することによつてナツ
ト部材11′が送られて移動体12′が移動される。The movable body 12' is formed with guided parts 13', 13' that are guided by the guide rails 6', 6' passing through the guide rails 6'. The movable body 12' is movably supported by the housing 5' by being individually and slidably supported by the housing 5'.
As the ball screw 10' rotates, the nut member 11' is fed and the movable body 12' is moved.
また、移動体12′の上面には支持脚14′14′が突
設されており、該支持脚14′14′が筐体5′の天板
に移動体12′の移動方向に延びるように形成されたス
リット15′15′を通してその上方に突出される。そ
して、移動体12′の支持脚14′、14′の上端部が
前記支持枠16の上板の下面にそれぞれ固定されており
、移動体12′は支持枠16と一体化されている。Further, support legs 14'14' are provided protruding from the upper surface of the movable body 12', and the support legs 14'14' are provided on the top plate of the housing 5' so as to extend in the moving direction of the movable body 12'. It projects upwardly through the formed slit 15'15'. The upper ends of the support legs 14', 14' of the movable body 12' are respectively fixed to the lower surface of the upper plate of the support frame 16, and the movable body 12' is integrated with the support frame 16.
しかして、X軸ユニツト3はモータ9′の回転によりボ
ールネジ10′が回転され、ナツト部材11′の送り動
作に伴ない、移動体12′が筐体5′に対して相対的に
移動されることとなり、移動体12′がX軸ユニツト2
の支持枠16に固着されているためX軸ユニツト3の移
動体12′を除く部分がX軸ユニツト2の移動体12の
移動方向に対して直交する方向、即ち、Y軸方向に移動
されることとなる。Thus, in the X-axis unit 3, the ball screw 10' is rotated by the rotation of the motor 9', and as the nut member 11' is fed, the moving body 12' is moved relative to the housing 5'. Therefore, the moving body 12' is connected to the X-axis unit 2.
Since the X-axis unit 3 is fixed to the support frame 16 of That will happen.
(d、ツール駆動ユニット)[第1図乃至第3図]
ツール駆動ユニット4にはツール20が取着されるよう
になっており、該ツール20は図示しないモータ及びエ
アシリンダにより上下動、回転及び吸引動作等を行ない
、ワーク21に対して所定の作業を行なうようになって
いる。(d. Tool drive unit) [Figures 1 to 3] A tool 20 is attached to the tool drive unit 4, and the tool 20 is moved up and down and rotated by a motor and an air cylinder (not shown). and a suction operation, etc., to perform a predetermined operation on the workpiece 21.
(e、中空パイプ)[第1図乃至第3図、第7図乃至第
9図]
22はその一端がX軸ユニツト2のモータ9が取付けら
れた側の端部に水平方向に回動自在に連結された第1の
中空パイプであり、該第1の中空パイプ22の両端部2
2a、22bはその開口が上方を向くようにそれぞれ折
り曲げられている。(e, hollow pipe) [Figures 1 to 3, Figures 7 to 9] One end of 22 is attached to the end of the X-axis unit 2 on the side where the motor 9 is attached, so that it can rotate in the horizontal direction. a first hollow pipe connected to the first hollow pipe 22, and both ends 2 of the first hollow pipe 22
2a and 22b are each bent so that their openings face upward.
23はX軸ユニツト3のモータ9′が取付けられた側の
端部に水平方向に回動自在に連結された第2の中空パイ
プであり、該第2の中空パイプ23は上記第1の中空パ
イプ22とその内径及び外径が同じで、その一方の端部
23aがその開口が上方を向くように、また、他方の端
部23bがその開口が下方を向くようにそれぞれ折り曲
げられている。Reference numeral 23 denotes a second hollow pipe that is horizontally rotatably connected to the end of the X-axis unit 3 on which the motor 9' is attached, and the second hollow pipe 23 is connected to the first hollow pipe 23. The inner and outer diameters are the same as those of the pipe 22, and one end 23a is bent so that its opening faces upward, and the other end 23b is bent so that its opening faces downward.
また、第2の中空パイプ23の開口が下方を向いた端部
23bのうち屈曲部より稍下側の位置から下端までの部
分が大径部23cに形成されており、該大径部23cは
前記円筒部18.19とその内径及び外径が同じに形成
されている。Furthermore, a portion of the end portion 23b of the second hollow pipe 23 whose opening faces downward, from a position slightly below the bent portion to the lower end is formed as a large diameter portion 23c; The inner and outer diameters of the cylindrical portions 18 and 19 are the same.
そして、第1の中空パイプ22の支点側の端部22aは
後述する回動連結部を介してX軸ユニツト2に連結され
、また、回動端側の端部22bは後述する回動連結部を
介して第2の中空パイプ23の回動端側の端部23bに
それぞれ連結され、更に、第2の中空パイプ23の支点
側の端部23aは後述する回動連結部を介してX軸ユニ
ツト3に連結されている。An end 22a on the fulcrum side of the first hollow pipe 22 is connected to the X-axis unit 2 via a rotational connection, which will be described later, and an end 22b on the rotational end side is connected to a rotational connection, which will be described later. are connected to the rotating end side ends 23b of the second hollow pipe 23, and furthermore, the fulcrum side end 23a of the second hollow pipe 23 is connected to the X-axis via a rotating connecting portion to be described later. Connected to unit 3.
(f、回動連結部)[第1図乃至′s3図、第7図乃至
第9図]
24はX軸ユニツト2の筐体5のうちモータ9が取付け
られた側の端部の側面に突設された引出部17の円筒部
18と第1の中空パイプ22の支点側の端部22aとを
連結している第1の回動連結部である。(f, rotational connection part) [Figs. 1 to 's3, Figs. 7 to 9] 24 is a side surface of the end of the housing 5 of the X-axis unit 2 on which the motor 9 is attached. This is a first rotational connection portion that connects the cylindrical portion 18 of the protruding drawer portion 17 and the end portion 22a of the first hollow pipe 22 on the fulcrum side.
25はX軸ユニツト3の筐体5′のうちモータ9′が取
付けられた側の下面に突設された円筒部19と第2の中
空パイプ23の支点側の端部23aとを連結している第
2の回動連結部である。25 connects the cylindrical portion 19 protruding from the lower surface of the housing 5' of the X-axis unit 3 on the side where the motor 9' is attached and the end 23a of the second hollow pipe 23 on the fulcrum side. This is the second rotational connection part.
26は第1の中空パイプ22の回動端側の端部22bと
第2の中空パイプ23の回動端側の端部23bとを連結
している第3の回動連結部である。Reference numeral 26 denotes a third rotational connection portion that connects the rotational end side end 22b of the first hollow pipe 22 and the rotational end side end 23b of the second hollow pipe 23.
尚、各回動連結部24.25及び26は全く同様に構成
されているので、第1の回動連結部24について詳細に
説明し、他の回動連結部25及び26については第1の
回動連結部24の同様の部分に付した符号にr′」を付
した符号を付することによりその説明を省略する。Note that each of the rotational connections 24, 25 and 26 is constructed in exactly the same way, so the first rotational connection 24 will be described in detail, and the other rotational connections 25 and 26 will be explained in detail with reference to the first rotational connection. By adding the numerals ``r''' to the numerals given to similar parts of the dynamic coupling portion 24, the explanation thereof will be omitted.
第1の回動連結部24は、前記引出部17の円筒部18
と、第1の中空パイプ22の支点側の端部22aに一体
的に取着され上記円筒部18に対して回動自在に支持さ
れた連結管27と、該連結管27と円筒部18との間に
介在されたボールベアリング28.28と、連結管27
と円筒部18との間に介在されたラビリンスシール29
等とから成る。The first rotational connection part 24 is connected to the cylindrical part 18 of the drawer part 17.
, a connecting pipe 27 that is integrally attached to the fulcrum side end 22a of the first hollow pipe 22 and rotatably supported with respect to the cylindrical part 18, and the connecting pipe 27 and the cylindrical part 18. Ball bearings 28, 28 interposed between the connecting pipe 27
a labyrinth seal 29 interposed between and the cylindrical portion 18
Consists of etc.
連結管27は上記円筒部18よりも長く、かつ、円筒部
18の内径よりもその外径が細い円筒状をしており、上
下方向における中央より下端に寄った位置に外方に突出
したフランジ30が一体に形成され、また、該フランジ
30より下側の部分はその内周面が上側の部分より拡径
した拡径部31に形成され、更に、上端部の外周面には
環状の溝32が形成されている。The connecting pipe 27 has a cylindrical shape that is longer than the cylindrical part 18 and has an outer diameter smaller than the inner diameter of the cylindrical part 18, and has an outwardly protruding flange located closer to the lower end than the center in the vertical direction. 30 is integrally formed, and the inner peripheral surface of the lower part of the flange 30 is formed into an enlarged diameter part 31 whose diameter is larger than that of the upper part, and an annular groove is formed on the outer peripheral surface of the upper end part. 32 is formed.
また、上記フランジ30の外径は円筒部18の内径より
稍小さく、両者の間には適宜な間隙が形成されていると
共に、該間隙を塞ぐように上記ラビリンスシール29が
フランジ30の外周面に外嵌されており、また、フラン
ジ30の上面にはフランジ30の外径より小径な環状を
した突部33が形成されている。Further, the outer diameter of the flange 30 is slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical portion 18, and an appropriate gap is formed between the two, and the labyrinth seal 29 is attached to the outer peripheral surface of the flange 30 to close the gap. Further, an annular protrusion 33 having a smaller diameter than the outer diameter of the flange 30 is formed on the upper surface of the flange 30 .
ボールベアリング28.28はそのインナーレースが連
結管27のフランジ30より上側の部分に圧入状に外嵌
され、また、そのアウターレースが円筒部18に圧入状
に内嵌される。The ball bearings 28, 28 have their inner races fitted externally in a press-fitted manner onto a portion above the flange 30 of the connecting pipe 27, and their outer races fitted internally in a press-fitted manner into the cylindrical portion 18.
しかして、第1の回動連結部24は以下のようにして組
み立てられる。Thus, the first rotational connection part 24 is assembled as follows.
まず、−のボールベアリング28を連結管27の上部か
らフランジ30の突部33の上面に突き当るまで嵌挿す
る。次にスペーサ34、他のボールベアリング28の順
に連結管27に嵌挿する。この上側のボールベアリング
28はそのインナーレースの上面が連結管27の溝32
の下側周縁と略同じ高さに位置され、該溝32に抜止リ
ング35が係着されて、2つのボールベアリング28.
28及びスペーサ34の上下方向の位置規制が為される
。First, the negative ball bearing 28 is inserted from the top of the connecting pipe 27 until it hits the top surface of the protrusion 33 of the flange 30. Next, the spacer 34 and the other ball bearing 28 are fitted into the connecting pipe 27 in this order. This upper ball bearing 28 has an upper surface of its inner race that corresponds to the groove 3 of the connecting pipe 27.
A retaining ring 35 is engaged with the groove 32, and the two ball bearings 28.
28 and spacer 34 are regulated in the vertical direction.
次にラビリンスシール29を連結管27のフランジ30
に外嵌固定する。Next, attach the labyrinth seal 29 to the flange 30 of the connecting pipe 27.
Fix it externally.
更に、連結管27の上記拡径部31はその内径が第1の
中空パイプ22の支点側の端部22aの外径と略同じに
形成されていて、第1の中空パイプ22の支点側の端部
22aの路上半部が該拡径部31に圧入固定される。Further, the enlarged diameter portion 31 of the connecting pipe 27 is formed so that its inner diameter is approximately the same as the outer diameter of the end 22a of the first hollow pipe 22 on the fulcrum side. The road half of the end portion 22a is press-fitted and fixed to the enlarged diameter portion 31.
そして、このようにボールベアリング28.28及びラ
ビリンスシール29等が組み付けらけた連結管27を円
筒部18にその下方から嵌挿し、ボールベアリング26
,28のアウターレースが円筒部18の内周面に圧入固
定されることにより第1の回動連結部24が構成される
。Then, the connecting pipe 27 with the ball bearings 28, 28, labyrinth seal 29, etc. assembled in this way is inserted into the cylindrical part 18 from below, and the ball bearings 28.
, 28 are press-fitted and fixed to the inner circumferential surface of the cylindrical portion 18, thereby forming the first rotational connection portion 24.
しかして、第1の回動連結部24においては、第1の中
空パイプ22がX軸ユニツト2の引出部17の下部から
水平方向に延び、かつ、水平方向に回動自在に連結され
ることとなるとともに、ラビリンスシール29により外
部と遮断される。Thus, in the first rotational connection part 24, the first hollow pipe 22 extends horizontally from the lower part of the drawer part 17 of the X-axis unit 2, and is connected to the first rotational connection part 24 so as to be rotatable in the horizontal direction. At the same time, it is isolated from the outside by the labyrinth seal 29.
尚、第2の回動連結部25において、第1の回動連結部
24の円筒部18に相当する部材はY軸ユニット3の筐
体5′の一端部の下面から下方へ突設された円筒部19
であり、また、第3の回動連結部26において、第1の
回動連結部24の円筒部18に相当する部材は第2の中
空パイプ23の回動端部23bの太径部23cである。In addition, in the second rotation connection part 25, a member corresponding to the cylindrical part 18 of the first rotation connection part 24 is provided to protrude downward from the lower surface of one end of the housing 5' of the Y-axis unit 3. Cylindrical part 19
In addition, in the third rotational connection portion 26, the member corresponding to the cylindrical portion 18 of the first rotation connection portion 24 is the large diameter portion 23c of the rotation end portion 23b of the second hollow pipe 23. be.
従って、第2の回動連結部25においては、第2の中空
パイプ23がY軸ユニット3の筐体5′のうちモータ9
′の取付けられた側の端部の下面から水平方向に延び、
がっ、水平方向に回動自在に連結されると共に、ラビリ
ンスシール29′により外部と遮断される。Therefore, in the second rotational connection part 25, the second hollow pipe 23 is connected to the motor 9 in the housing 5' of the Y-axis unit 3.
’ extends horizontally from the lower surface of the end on which it is attached;
are horizontally rotatably connected and are isolated from the outside by a labyrinth seal 29'.
また、第3の回動連結部26においては、第1の中空パ
イプ22の回動端部22bと第2の中空パイプ23の回
動端部23bとが回動自在に連結されると共に両中空パ
イプ22.23の内部はラビリンスシール29′により
外部と遮断される。In addition, in the third rotation connecting portion 26, the rotation end 22b of the first hollow pipe 22 and the rotation end 23b of the second hollow pipe 23 are rotatably connected, and both hollow The inside of the pipes 22, 23 is isolated from the outside by a labyrinth seal 29'.
(g、エア配管、電気配線)[第1図、第7図、第8図
コ
36はツール駆動ユニット4のツール20を駆動するた
めの図示しないエアシリンダと図示しない基台側に配設
された図示しない負圧発生手段との間を結ぶエア配管で
あり、該エア配管36は基台の負圧発生手段からX軸ユ
ニツト2−引出部17−第1の回動連結部24−第1の
中空パイプ22−第3の回動連結部26−第2の中空パ
イプ23−第2の回動連結部25−X軸ユニツト3を経
てツール駆動ユニット4のエアシリンダに接続されてい
る。(g, air piping, electrical wiring) [Figs. 1, 7, and 8] Fig. 36 shows an air cylinder (not shown) for driving the tool 20 of the tool drive unit 4 and an air cylinder (not shown) disposed on the base side (not shown). The air pipe 36 connects the negative pressure generating means (not shown) on the base to the The hollow pipe 22 - the third rotational connection part 26 - the second hollow pipe 23 - the second rotational connection part 25 - are connected to the air cylinder of the tool drive unit 4 via the X-axis unit 3.
37はXNユニット2のモータ9、X軸ユニツト3のモ
ータ9′及びツール駆動ユニット4のツール20を駆動
するための図示しないモータに給電するための電気配線
であり、基台側の給電部から、X軸ユニツト2の筐体5
内に導入されてモータ9に接続され、また、上記エア配
管36と共に引出部17−第1の回動連結部24−第1
の中空パイプ22−第3の回動連結部26−第2の中空
パイプ23−第2の回動連結部25を経てX軸ユニツト
3の筐体5′内に導入されてモータ9′に接続され、更
に、X軸ユニツト3の筐体5′内を通ってツール駆動ユ
ニット4のモータに接続されている。Reference numeral 37 designates electrical wiring for supplying power to the motors (not shown) for driving the motor 9 of the XN unit 2, the motor 9' of the X-axis unit 3, and the tool 20 of the tool drive unit 4, and is connected from the power supply section on the base side. , the housing 5 of the X-axis unit 2
It is connected to the motor 9 and connected to the air pipe 36 as well as the drawer part 17 - the first rotary connection part 24 - the first
It is introduced into the housing 5' of the X-axis unit 3 via the hollow pipe 22 - the third rotational connection part 26 - the second hollow pipe 23 - the second rotational connection part 25 and is connected to the motor 9'. It is further connected to the motor of the tool drive unit 4 through the casing 5' of the X-axis unit 3.
(h、動作)[第9図コ
しかして、直交型ロボット1はX軸ユニツト2のモータ
9の回転により移動体12及びX軸ユニツト3をX軸方
向に送り、また、X軸ユニツト3のモータ9′の回転に
より、X軸ユニツト3の移動体12′を除いた部分をY
軸方向に移動させることとなる。(H, Operation) [Fig. 9] However, the orthogonal robot 1 sends the movable body 12 and the X-axis unit 3 in the X-axis direction by the rotation of the motor 9 of the X-axis unit 2, and also moves the By rotation of the motor 9', the portion of the X-axis unit 3 excluding the moving body 12' is moved to the Y direction.
It will be moved in the axial direction.
即ち、X軸ユニツト2のモータ9が回転するとその移動
体12及び支持枠16がX軸方向に移動され、支持枠1
6に支持されたY軸ユニット3全体がX軸方向に移動さ
れることになる。That is, when the motor 9 of the X-axis unit 2 rotates, the movable body 12 and the support frame 16 are moved in the X-axis direction, and the support frame 1
The entire Y-axis unit 3 supported by 6 is moved in the X-axis direction.
また、X軸ユニツト3のモータ9′が回転するとX軸ユ
ニツト3の移動体12′がX軸ユニツト2の移動体12
に支持されているため、該移動体12′は移動せずにX
軸ユニツト3の移動体12′を除いた部分がY軸方向に
移動することになる。Furthermore, when the motor 9' of the X-axis unit 3 rotates, the movable body 12' of the X-axis unit 3 rotates.
Since the moving body 12' is supported by
The portion of the shaft unit 3 excluding the movable body 12' moves in the Y-axis direction.
そのため、ツール20は、X軸ユニツト2によりX軸方
向に、また、X軸ユニツト3によりY軸方向に移動され
ることになり、それぞれの各軸ユニット2.3の移動量
に応じてその移動範囲が決定される。Therefore, the tool 20 is moved in the X-axis direction by the X-axis unit 2 and in the Y-axis direction by the X-axis unit 3, and the movement depends on the amount of movement of each axis unit 2.3. The range is determined.
また、X軸ユニツト3の移動体12′を除く部分がX−
Y方向に移動されるため、′s1の中空パイプ22及び
第2の中空パイプ23はその移動に伴ない、姿勢を変え
、かつ、各回動連結部24.25及び26においてそれ
ぞれ回動することとなる。Furthermore, the portion of the X-axis unit 3 excluding the moving body 12' is
Since they are moved in the Y direction, the 's1 hollow pipe 22 and the second hollow pipe 23 change their postures and rotate at their respective rotational connections 24, 25 and 26, respectively. Become.
第9図は直交型ロボット1のX軸ユニツト3の移動範囲
を示すもので、−点鎖線で示す範囲は第20回動連結部
25の移動範囲である。FIG. 9 shows the movement range of the X-axis unit 3 of the orthogonal robot 1, and the range indicated by the - dotted chain line is the movement range of the 20th rotation coupling part 25.
また、同図に実線で示す状態はX軸ユニツト2の移動体
12がそのモータ9側に位置し、かつ、X軸ユニツト3
の移動体12′を除く部分が最も左方に位置した状態(
第1の状態)を示し、細い二点鎖線で示す状態は上記第
1の状態からX軸ユニツト3のモータ9′が回転してX
軸ユニツト3の移動体12′を除く部分が最も右方に位
置した状態(第2の状態)を示し、太い二点鎖線で示す
状態は上記第1の状態からX軸ユニツト2、のモータ9
が回転して、Y軸ユニット3全体をX軸方向のモータ9
から最も遠ざかった位置に移動させた状態を示し、破線
で示す状態は第2の状態からX軸ユニツト2のモータ9
が回転して、X軸ユニツト3の移動体12′を除く部分
が最も右方で、かつ、最もモータ9から遠ざかった位置
に移動された状態を示すものである。Further, in the state shown by the solid line in the figure, the movable body 12 of the X-axis unit 2 is located on the motor 9 side, and the X-axis unit 3
The state in which the part excluding the moving body 12' is located furthest to the left (
In the state shown by the thin two-dot chain line, the motor 9' of the X-axis unit 3 rotates from the first state to the
This shows a state (second state) in which the portion of the axis unit 3 excluding the movable body 12' is located at the rightmost position (second state), and the state indicated by the thick two-dot chain line is the motor 9 of the X-axis unit 2 from the first state.
rotates, and the entire Y-axis unit 3 is moved by the motor 9 in the X-axis direction.
The broken line indicates the state in which the motor 9 of the X-axis unit 2 has been moved from the second state to the farthest position.
The figure shows a state in which the X-axis unit 3 has been rotated and the portion of the X-axis unit 3 excluding the movable body 12' has been moved to the farthest position to the right and farthest from the motor 9.
そして、上記したようなX軸ユニット3の移動に伴ない
第1の中空パイプ22及び第2の中空パイプ23が移動
し、かつ、各回動連結部24.25.26において亙い
に回動するため、各中空パイプ22.23内に挿通され
たエア配管36及び電気配線37はその中で接触し、擦
れ合う等して摩耗して発塵することがある。Then, as the X-axis unit 3 moves as described above, the first hollow pipe 22 and the second hollow pipe 23 move, and further rotate at each rotation connecting portion 24, 25, and 26. Therefore, the air piping 36 and the electric wiring 37 inserted into each of the hollow pipes 22, 23 come into contact therein, and may rub against each other, resulting in wear and dust generation.
ところが、中空パイプ22.23内で発塵しても、その
塵埃は各中空パイプ22.23の内部がラビリンスシー
ル29.29’ 29’により外部と遮断されている
ので外部にもれることはない。However, even if dust is generated inside the hollow pipes 22.23, the dust will not leak to the outside because the inside of each hollow pipe 22.23 is isolated from the outside by the labyrinth seals 29.29'29'. .
特に、直交型ロボット1にあっては筐体5.5′内を移
動体12.12′が移動すること(X軸ユニット3にあ
っては移動体12′がX軸ユニット3の筐体5′に対し
て相対的に移動する。)により筺体5.5′の内部に正
圧又は負圧が生ずることがあるが、このような内部の圧
力変化があっても、各回動連結部24.25.26にお
いてはラビリンスシール29.29’ 29′により
、内部の空気が外部に流出し又は流入することはなく、
従って、外部に塵埃を飛散させることはない。In particular, in the orthogonal robot 1, the movable body 12.12' moves within the housing 5.5' (in the X-axis unit 3, the movable body 12' moves within the housing 5.5' of the X-axis unit 3). Even with such internal pressure changes, each pivot connection 24 . In 25.26, the labyrinth seal 29.29'29' prevents the internal air from flowing out or flowing into the outside.
Therefore, no dust is scattered outside.
(i、別の適用例)[第10図、第11図コ上記実施例
においては本発明スライド機構を直交型ロボット1で、
X軸ユニット3のうち移動体12′を除く部分がY軸方
向に移動するものについて通用したものについて説明し
たが、これに限らず、Y軸ユニットの移動体が他の部分
に対してY軸方向に移動し、該移動体にツール駆動ユニ
ットが固定された直交型ロボットにも適用することがで
きる。(i. Another application example) [FIGS. 10 and 11] In the above embodiment, the slide mechanism of the present invention is used in the orthogonal robot 1,
Although the description has been made regarding a case where the portion of the X-axis unit 3 excluding the moving body 12' moves in the Y-axis direction, the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to an orthogonal robot in which the tool drive unit is fixed to the movable body.
第10図及び第11図はそのような直交型ロボットIA
を示すもので、該直交型ロボットIAが前記実施例の直
交型ロボット1と相違する点は、X軸ユニットの移動体
にY軸ユニットの筐体が固定さね、Y軸ユニットのわ動
体にツール駆動ユニットが固定された点と、これに伴な
い、ツール駆動ユニットのエアシリンダ及びモータへの
エア配管、電気配線を通す中空パイプをX軸ユニットと
ツール駆動ユニットとの間を連結するように追加した点
である。Figures 10 and 11 show such an orthogonal robot IA.
The difference between the orthogonal robot IA and the orthogonal robot 1 of the above embodiment is that the casing of the Y-axis unit is fixed to the moving body of the X-axis unit, and the housing of the Y-axis unit is fixed to the moving body of the Y-axis unit. At the point where the tool drive unit is fixed, a hollow pipe for passing air piping and electrical wiring to the air cylinder and motor of the tool drive unit is connected between the X-axis unit and the tool drive unit. This is an added point.
従って、この直交型ロボットIAの説明については前記
実施例における直交型ロボット1と相違する点について
主として行ない、他の部分については前記実施例におけ
る同一ないしは同様の部分に付した符号と同じ符号を付
することによってその説明を省略する。Therefore, the explanation of this orthogonal robot IA will mainly focus on the points that are different from the orthogonal robot 1 in the embodiment described above, and other parts will be designated by the same reference numerals as those assigned to the same or similar parts in the embodiment described above. By doing so, the explanation will be omitted.
X軸ユニット3の筐体5′はX軸ユニツト2の移動体1
2の支持脚14.14上に固定されている。The housing 5' of the X-axis unit 3 is the movable body 1 of the X-axis unit 2.
It is fixed on two support legs 14.14.
X軸ユニット3の筐体5′はその一方の側面にY軸方向
に、かつ、互いに平行に延びる2つのスリット15’
15’が形成されている。The housing 5' of the X-axis unit 3 has two slits 15' extending in the Y-axis direction and parallel to each other on one side thereof.
15' is formed.
X軸ユニット3の移動体12′は筐体5′内において上
下方向に適宜間隔を空けて互いに平行にY軸方向に延び
るガイドレール6′ 6′に支持され、また、支持脚1
4′ 14”は上記スリット15” 15”から側方
に突出されている。The movable body 12' of the X-axis unit 3 is supported by guide rails 6' and 6' extending parallel to each other in the Y-axis direction at appropriate intervals in the vertical direction within the housing 5'.
4'14'' project laterally from the slits 15''15''.
ツール駆動ユニット4は上記支持脚14′14′の先端
間に架は渡されるように固定されており、従って、移動
体12′のY軸方向への移動に伴ないこれと一体的に移
動するようになっている。The tool drive unit 4 is fixed so that the frame is passed between the ends of the support legs 14'14', and thus moves integrally with the movable body 12' as it moves in the Y-axis direction. It looks like this.
38は上記ツール駆動ユニット4のX軸ユニツト2側の
側面に突設された引込部であり、ここからエア配管36
及び電気配線37がツール駆動ユニット4内に引き込ま
れるようになっている。Reference numeral 38 denotes a lead-in portion protruding from the side surface of the tool drive unit 4 on the X-axis unit 2 side, from which the air pipe 36 is connected.
and electrical wiring 37 are drawn into the tool drive unit 4.
39は第1の中空パイプであり、両端部39a、39b
が共に下方を向くように折り曲げられており、一方の端
部39aは他方の端部39bよりも長く、かつ、X軸ユ
ニツト2の引出部17の上面に第4の回動連結部40を
介して回動自在に支持されている。39 is a first hollow pipe, with both ends 39a and 39b.
are both bent so as to face downward, one end 39a is longer than the other end 39b, and is connected to the upper surface of the drawer part 17 of the X-axis unit 2 via a fourth rotational connection part 40. It is rotatably supported.
41は第2の中空パイプであり、両端部41a、41b
が共に上方を向くように折り曲げられており、一方の端
部41aは上記ツール駆動ユニット4の引込部38の下
面に第5の回動連結部42を介して回動自在に支持され
ていると共に、他方の端部41bは前記第1の中空パイ
プ39の他方の端部39bに第6の回動連結部43を介
して互いに回動自在に連結されている。41 is a second hollow pipe, with both ends 41a and 41b.
are both bent so as to face upward, and one end 41a is rotatably supported on the lower surface of the retracting portion 38 of the tool drive unit 4 via a fifth rotary connecting portion 42. , the other end portion 41b is rotatably connected to the other end portion 39b of the first hollow pipe 39 via a sixth rotational connection portion 43.
そして、エア配管36は基台側の図示しない負圧発生手
段からX軸ユニツト2−引出部17−第4の回動連結部
41−第1の中空パイプ39−第6の回動連結部43−
第2の中空パイプ41−第5の回動連結部42−引込部
38を経てツール駆動ユニット4内に引ぎ込まれている
。The air pipe 36 is connected from negative pressure generating means (not shown) on the base side to the X-axis unit 2 - the drawer part 17 - the fourth rotational connection part 41 - the first hollow pipe 39 - the sixth rotational connection part 43. −
It is drawn into the tool drive unit 4 via the second hollow pipe 41 - the fifth rotating connection part 42 - the drawing part 38 .
また、電気配線37は、Y軸ユニット3のモータ9′へ
の配線が、X軸ユニツト2−引出部17−第1の回動連
結部24−第1の中空パイプ22−第3の回動連結部2
6−第2の中空パイプ23−第2の回動連結部25を経
てY軸ユニット3のモータ9′に接続され、また、ツー
ル駆動ユニット4のモータへの配線が、上記エア配管3
6と共にX軸ユニツト2−引出部17−第4の回動連結
部4〇−第1の中空パイプ39−第6の回動連結部43
−第2の中空パイプ41−第5の回動連結部42−引込
部38を経てツール駆動ユニット4のモータに接続され
ている。Further, the electrical wiring 37 is connected to the motor 9' of the Y-axis unit 3, which connects the Connecting part 2
6 - Second hollow pipe 23 - Connected to the motor 9' of the Y-axis unit 3 via the second rotational connection part 25, and the wiring to the motor of the tool drive unit 4 is connected to the air pipe 3.
6 together with the X-axis unit 2 - the drawer part 17 - the fourth rotational connection part 40 - the first hollow pipe 39 - the sixth rotational connection part 43
- the second hollow pipe 41 - the fifth rotary connection part 42 - is connected to the motor of the tool drive unit 4 via the retracting part 38.
しかして、X軸ユニツト2の移動体12がX軸方向に移
動すると、Y軸ユニット3がX軸方向に移動され、Y軸
ユニット3の移動体12′がY軸方向に移動すると、ツ
ール駆動ユニット4がY軸方向に移動されることになり
、また、これに伴ない、各中空パイプ22.23.39
及び41が各回動連結部24.25.26.40.42
及び43において回動されながらその姿勢を変えること
となる。Therefore, when the movable body 12 of the X-axis unit 2 moves in the X-axis direction, the Y-axis unit 3 is moved in the X-axis direction, and when the movable body 12' of the Y-axis unit 3 moves in the Y-axis direction, the tool is driven. The unit 4 will be moved in the Y-axis direction, and along with this, each hollow pipe 22, 23, 39
and 41 are each rotating connection part 24.25.26.40.42
and 43, the position is changed while being rotated.
尚、上記別の適用例おいてはツール駆動ユニット4への
エア配管36及び電気配線37をX軸ユみット2の引出
部17から直接、第1の中空パイプ39と第2の中空パ
イプ41を介してツール駆動ユニット4に連結するよう
に引き回したものについて説明したが、これに限らず、
ツール駆動ユニット4へのエア配管36及び電気配線3
7をY軸ユニット3を経由して引き回すようにしても良
い。In addition, in the above-mentioned other application example, the air piping 36 and the electric wiring 37 to the tool drive unit 4 are directly connected to the first hollow pipe 39 and the second hollow pipe from the pull-out part 17 of the X-axis unit 2. Although the description has been given of a device connected to the tool drive unit 4 via the tool drive unit 41, the present invention is not limited to this.
Air piping 36 and electrical wiring 3 to tool drive unit 4
7 may be routed through the Y-axis unit 3.
(G、発明の効果)
以上に記載したところから明らかなように、本発明スラ
イド機構は、固定側部材と、該固定側部材に対して案内
手段により移動自在に支持された移動側部材と、該移動
側部材を上記固定側部材に対して移動させるための移動
手段と、一端が固定側部材に水平方向に回動自在に連結
された第1の中空パイプと、一端が移動側部材に水平方
向に回動自在に連結されると共に他端が上記第1の中空
パイプの他端に回動自在に連結された第2の中空パイプ
と、固定側部材と移動側部材との間を接続するエア配管
及び/又は電気配線とを備え、該エア配管及び/又は電
気配線は第1の中空パイプ及び第2の中空パイプ内を挿
通されていると共に、上記固定側部材、移動側部材、第
1及び第2の中空パイプの互いに回動自在に連結されて
いる回動連結部にシール性の高いシール部材を配設して
第1の中空パイプ及び第2の中空パイプによって連通さ
れた空間が外部と遮断されるようにしたことを特徴とす
る。(G. Effects of the Invention) As is clear from the above description, the slide mechanism of the present invention includes a fixed side member, a movable side member movably supported by a guide means with respect to the fixed side member, a moving means for moving the movable member relative to the fixed member; a first hollow pipe having one end rotatably connected to the fixed member in a horizontal direction; and a first hollow pipe having one end horizontally connected to the movable member; a second hollow pipe that is rotatably connected in the direction and whose other end is rotatably connected to the other end of the first hollow pipe, and a fixed side member and a movable side member. The air piping and/or the electric wiring are inserted into the first hollow pipe and the second hollow pipe, and the fixed side member, the movable side member, and the first A sealing member with high sealing properties is disposed at the rotary connection portions of the second hollow pipes that are rotatably connected to each other, so that the space communicated by the first hollow pipe and the second hollow pipe is sealed to the outside. It is characterized by being cut off.
従って、本発明スライド機構によれば、移動側部材の移
動に伴なうエア配管と電気配線又は電気配線同士の接触
摩耗により生じた塵埃を外部に飛散させることがなく、
また、エア配管及び電気配線の引き回し方向を水平方向
にしたので、上方への突出量を少なくすることができ、
その分、スライド機構の占有面積を小さ(することがで
き、更に、これにより、スライド機構の非稼動時にその
各部に沈降付着した塵埃がスライド機構の稼動と共に飛
散してそれが広範囲に亘ることばなくワークに塵埃が付
着することを少なくすることができる。Therefore, according to the slide mechanism of the present invention, dust generated by contact abrasion between the air piping and the electrical wiring or between the electrical wirings due to the movement of the moving member is not scattered to the outside.
In addition, since the air piping and electrical wiring are routed horizontally, the amount of upward protrusion can be reduced.
As a result, the area occupied by the slide mechanism can be reduced, and this also prevents dust that settles and adheres to various parts of the slide mechanism when it is not in operation from scattering and spreading over a wide area when the slide mechanism is in operation. It is possible to reduce dust adhesion to the workpiece.
尚、上記実施例において各回動連結部におけるシール部
材にラビリンスシールを用いたものについて説明したが
、これに限らず、例えば、磁性流体シール等を用いるこ
ともできる。In the above embodiments, a labyrinth seal is used as the seal member in each rotary connection portion, but the present invention is not limited to this, and for example, a magnetic fluid seal or the like may also be used.
また、上記実施例では本発明を直交型ロボットに適用し
たものを示したが、本発明の適用範囲はこのようなもの
にのみ限定されるものではなく、リニアスライド機構と
して広く通用することができる。Further, although the above embodiment shows the application of the present invention to an orthogonal robot, the scope of application of the present invention is not limited to such a robot, and can be widely used as a linear slide mechanism. .
更に、上記実施例において示した具体的な形状や構造は
、本発明の実施に当っての具体化のほんの一例を示した
ものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限
定的に解釈されるものではない。Furthermore, the specific shapes and structures shown in the above embodiments are merely examples of embodiments of the present invention, and the technical scope of the present invention should not be construed as limited by these. It is not something that will be done.
第1図乃至第11図は本発明スライド機構を直交型ロボ
ットに適用した実施の一例を示すもので、第1図は斜視
図、第2図は平面図、第3図は正面図、第4図はX軸ユ
ニットの一部を切り欠いて示す斜視図、第5図は第2図
におけるV−V線に沿う拡大断面図、¥S6図は第2図
における■−■線に沿う拡大断面図、第7図は第1の回
動連結部の拡大断面図、第8図は第3の回動連結部の拡
大断面図、第9図は移動範囲を示す概略平面図、第10
図及び第11図は本発明スライド機構の別の適用例を示
すもので、第10図は平面図、第11図は正面図、第1
2図乃至第14図は従来の直交型ロボットを示すもので
、第12図は斜視図、第13図は平面図、第14図は正
面図である。
符号の説明
1・・・スライド機構、
2・・・固定側部材、 3・・・移動側部材、4・・・
移動側部材、
6.13.6′ 13’・・・案内手段、10.11.
10 .11′・・・移動手段、22・・・第1の中空
パイプ、
23・・・第2の中空パイプ、
24・・・回動連結部、
25・・・回動連結部、
26・・・回動連結部、
29.29′・・・シール部材、
A
・エア配管、 37・・・電気配線、・スライド機構
、
・第1の中空パイプ、
・回動連結部、
・第2の中空パイプ、
・回動連結部、
・回動連結部
1・・ スライに機構
平面図
第2図
゛ Nの
Fへの寸〜へ
: 唖
eJ K) (j)
固定91部材
電気西こ櫟
1・・・スライド機構
24.25.26・・
回勧迷結部
擺略平面図
第9、図
平面図(別の通用例)
第10図
区
目線1 to 11 show an example of an embodiment in which the slide mechanism of the present invention is applied to an orthogonal robot, in which FIG. 1 is a perspective view, FIG. 2 is a plan view, FIG. 3 is a front view, and FIG. The figure is a perspective view with a part of the X-axis unit cut away, Figure 5 is an enlarged sectional view taken along line V-V in Figure 2, and Figure ¥S6 is an enlarged sectional view taken along line ■-■ in Figure 2. 7 is an enlarged sectional view of the first rotational connection part, FIG. 8 is an enlarged sectional view of the third rotational connection part, FIG. 9 is a schematic plan view showing the movement range, and FIG.
Figures 11 and 11 show another example of application of the slide mechanism of the present invention. Figure 10 is a plan view, Figure 11 is a front view, and Figure 11 is a front view.
2 to 14 show a conventional orthogonal robot, with FIG. 12 being a perspective view, FIG. 13 being a plan view, and FIG. 14 being a front view. Explanation of symbols 1... Slide mechanism, 2... Fixed side member, 3... Moving side member, 4...
Moving side member, 6.13.6'13'...Guiding means, 10.11.
10. 11'...Moving means, 22...First hollow pipe, 23...Second hollow pipe, 24...Rotating connection part, 25...Rotating connection part, 26... Rotation connection part, 29. 29' Seal member, A Air piping, 37 Electric wiring, Slide mechanism, First hollow pipe, Rotation connection part, Second hollow pipe , ・Rotating connection part, ・Rotation connection part 1... Mechanism plan view 2゛ Dimensions from N to F: (j) Fixed 91 member Electric west column 1...・Slide mechanism 24, 25, 26... Simplified plan view of the rotating joint part No. 9, drawing plan view (another common example) Fig. 10 Division line
Claims (1)
れた移動側部材と、 該移動側部材を上記固定側部材に対して移動させるため
の移動手段と、 一端が固定側部材に水平方向に回動自在に連結された第
1の中空パイプと、 一端が移動側部材に水平方向に回動自在に連結されると
共に他端が上記第1の中空パイプの他端に回動自在に連
結された第2の中空パイプと、固定側部材と移動側部材
との間を接続するエア配管及び/又は電気配線とを備え
、 該エア配管及び/又は電気配線は第1の中空パイプ及び
第2の中空パイプ内を挿通されていると共に、 上記固定側部材、移動側部材、第1及び第2の中空パイ
プの互いに回動自在に連結されている回動連結部にシー
ル性の高いシール部材を配設して第1の中空パイプ及び
第2の中空パイプによって連通された空間が外部と遮断
されるようにしたことを特徴とするスライド機構[Scope of Claims] A fixed member; a movable member movably supported by a guide means relative to the fixed member; and a moving means for moving the movable member relative to the fixed member. a first hollow pipe whose one end is horizontally rotatably connected to the stationary member; and one end which is horizontally rotatably connected to the movable member and whose other end is the first hollow pipe. A second hollow pipe rotatably connected to the other end of the pipe, and air piping and/or electrical wiring connecting between the fixed side member and the movable side member, the air piping and/or electrical wiring The wiring is inserted through the first hollow pipe and the second hollow pipe, and the fixed side member, the movable side member, and the first and second hollow pipes are rotatably connected to each other. A slide mechanism characterized in that a sealing member with high sealing performance is disposed at the connecting portion so that a space communicated by the first hollow pipe and the second hollow pipe is isolated from the outside.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23501090A JPH04115884A (en) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | Slide mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23501090A JPH04115884A (en) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | Slide mechanism |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04115884A true JPH04115884A (en) | 1992-04-16 |
Family
ID=16979733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23501090A Pending JPH04115884A (en) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | Slide mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04115884A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07186072A (en) * | 1993-12-24 | 1995-07-25 | Kilony Sangyo Kk | Shaft driving mechanism |
US6116841A (en) * | 1997-07-30 | 2000-09-12 | Tokyo Electron Limited | Substrate transferring apparatus and substrate processing apparatus using the same |
JP2008229826A (en) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Yamaha Motor Co Ltd | Orthogonal type robot |
JP2014159076A (en) * | 2014-04-16 | 2014-09-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Substrate transport robot |
CN107932490A (en) * | 2017-12-30 | 2018-04-20 | 贾军霞 | A kind of intelligent robot |
-
1990
- 1990-09-05 JP JP23501090A patent/JPH04115884A/en active Pending
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