JPH04100558A - Coating apparatus - Google Patents
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- JPH04100558A JPH04100558A JP21541190A JP21541190A JPH04100558A JP H04100558 A JPH04100558 A JP H04100558A JP 21541190 A JP21541190 A JP 21541190A JP 21541190 A JP21541190 A JP 21541190A JP H04100558 A JPH04100558 A JP H04100558A
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、流動物塗布装置に関するもので、特に箱型形
状封止部品の製造に当り箱型形状封止部品のウェットエ
ツチングを行なうためのレジストを箱型形状封止部品の
所定場所へ高精度に塗布する塗布装置に関するものであ
る。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a fluid coating device, and particularly to a fluid coating device for performing wet etching of a box-shaped sealing component in the production of a box-shaped sealing component. The present invention relates to a coating device that applies resist to a predetermined location of a box-shaped sealing component with high precision.
箱型形状封止部品の製造においては、箱型形状封止部品
の母材に他の半導体基板または実装すべき素子とはんだ
若しくはろう材による接合を行なうため、母材の底面と
なる一面を除きその他の面全面に金属層を形成し、所定
の部分にレジストを塗布し、ウェットエツチングを行な
い所定の場所以外の金属層を除去する必要がある。In the manufacture of box-shaped encapsulation components, the base material of the box-shaped encapsulation component is joined to other semiconductor substrates or elements to be mounted using solder or brazing material, so all surfaces except one surface of the base material, which will be the bottom surface, are bonded to the base material of the box-shaped encapsulation component. It is necessary to form a metal layer on the entire other surface, apply a resist to a predetermined portion, and perform wet etching to remove the metal layer from other than the predetermined portions.
従来このレジストを塗布する方法としては次に示すもの
があった。Conventionally, the following methods have been used to apply this resist.
１） 人手により筆等を用いて塗布する方法。1) Manual application using a brush, etc.
２） バッド印刷機による塗布方法。2) Coating method using a bad printing machine.
３） ディスペンサを用いた塗布装置による塗布方法。3) Coating method using a coating device using a dispenser.
箱型形状封止部品１０の形状は第１６図に示すように一
面が開放された箱型形状をしており、金属層を形成する
部分即ちレジストを塗布する部分は第１６図でハンチン
グを行なっている箱型の内側底面１１０とヘリの立上り
部分の内側面上部部分１１１、外側面上部部分１１２お
よび端面１１３である。また第１７図は理想的にレジス
トを塗布した状態の箱型形状封止部品１０の断面を表わ
しており粗くハツチングしである部分が母材であり、細
か（パッチングしである部分が塗布されたレジスト１１
４である。The box-shaped sealing component 10 has a box shape with one side open as shown in FIG. 16, and the portion where the metal layer is to be formed, that is, the portion where the resist is applied, is hunted as shown in FIG. These are the box-shaped inner bottom surface 110, the inner surface upper portion 111 of the rising portion of the edge, the outer surface upper portion 112, and the end surface 113. Furthermore, FIG. 17 shows a cross section of the box-shaped sealing component 10 in a state where resist is ideally applied. resist 11
It is 4.
前記ｌ）の方法であると、ＩＣキャップは一辺が１０数
ｍｍの大きさであり、所定の場所にレジストを塗布する
ためには、顕微鏡を用い、塗布場所を観察しながら塗布
を行なうため非常に能率が悪い。In method l) above, the IC cap is about 10 mm on each side, and in order to apply the resist to a predetermined location, a microscope is used to observe the application location, so it is extremely time consuming. is inefficient.
前記２）の方法を第１８図、第１９図、第２０図、第２
１図に示す。この方法ではまず版にレジストをのせブレ
ードにて凹部以外のレジストを掻き取り、そこヘパノド
を押し当てパッド上でレジストの塗布パターンを作り、
その後第１８図に示すようにパッド１００を箱型形状封
止部品１０を押し当て、パッド上のレジストパターン１
０１を箱型形状封止部品１０に転写する。この方法では
第１９図〜第２１図に示すようにヘリの立上り部分のエ
ツジの部分１０ａにレジストを塗布することができず、
立上り部分の外側面のレジスト塗布面のレジストエツジ
１０１ａの直線精度が悪く、塗布したレジストに穴１０
１ｂが明き、箱型内側底面でも塗布したレジストに穴１
０１ｃが明きこれらの修正乙こ筆塗りによる人手を要し
、非常に能率が悪かった。The method of 2) above is shown in Figs. 18, 19, 20, and 2.
Shown in Figure 1. In this method, first place the resist on the plate, use a blade to scrape off the resist other than the concave areas, and then press Hepanod there to create a resist application pattern on the pad.
Thereafter, as shown in FIG. 18, the pad 100 is pressed against the box-shaped sealing component 10, and the resist pattern 1 on the pad is
01 is transferred onto the box-shaped sealing component 10. With this method, as shown in FIGS. 19 to 21, it is not possible to apply resist to the edge portion 10a of the rising portion of the hem.
The linear accuracy of the resist edge 101a on the resist coating surface on the outer surface of the rising portion is poor, and holes 10 are formed in the applied resist.
1b is clear and there is a hole 1 in the resist coated on the inside bottom of the box shape.
01c was completed, and these corrections required manual brush painting, which was extremely inefficient.
前記３）の方法では、実際に箱型形状封止部品にレジス
トを塗布した公知例は無いが、従来技術及びその問題点
を次に述べる。In the method 3), there is no known example of actually applying a resist to a box-shaped sealing component, but the prior art and its problems will be described below.
実開昭６０−９５９７５公報では、キャップ内面への接
着剤塗布装置が提案されているが、この接着剤塗布装置
ではキャップを回転させることによりキャップ内面に接
着剤を塗布する装置であり、箱型形状封止部品は一辺が
１０数ｍｍの箱型形状であり円筒形ではないので塗布は
不可能である。Japanese Utility Model Application Publication No. 60-95975 proposes an adhesive coating device for the inner surface of the cap, but this adhesive coating device applies adhesive to the inner surface of the cap by rotating the cap, and is a box-shaped device. The shape-sealing component has a box-like shape with a side of about 10 mm and is not cylindrical, so it is impossible to coat it.
特開昭６０−２５１６２３公報では、半導体装置用液体
材料吐出装置が提案されている。この半導体装置用液体
材料吐出装置は液体を吐出するニードルを液体塗布面に
対して垂直及び平行な二方向に移動させる制御機構を備
えたことを特徴としているが、ニードルを移動させるた
め、ニードル先端が振動し、箱型形状封止部品のレジス
ト塗布のようにレジストエツジの直線性が必要なものに
は、前記振動のために必要な直線性が得られず適用でき
ない。JP-A-60-251623 proposes a liquid material discharging device for semiconductor devices. This liquid material discharging device for semiconductor devices is characterized by being equipped with a control mechanism that moves a needle for discharging liquid in two directions perpendicular and parallel to the liquid application surface. The method cannot be applied to applications where the resist edges vibrate and linearity of the resist edges is required, such as when applying resist to a box-shaped sealing component, because the necessary linearity cannot be obtained due to the vibrations.
また、箱型形状封止部品のヘリの立上り部分の外側面上
部部分特にコーナ部の曲面部分の塗布もニードルを塗布
面に対して一定の距離で対向して移動させることができ
ないため不可能である。Furthermore, it is impossible to coat the upper part of the outer surface of the rising edge of a box-shaped sealing part, especially the curved surface part of the corner, because the needle cannot be moved at a fixed distance from the coating surface. be.
特開昭６１−７４６７０公報では、塗布装置が提案され
ている。この塗布装置はディスペンサと、ディスペンサ
を移動させる移動部と、把持部と、制御部とから成る塗
布装置であるが、ディスペンサを移動させるためニード
ル先端が振動し、箱型形状封止部品のレジスト塗布のよ
うにレジストエツジの直線性が必要なものには前記振動
のため必要な直線性が得られず適用できない。また、箱
型形状封止部品のヘリの立上り部分の外側面上部部分特
にコーナ部の曲面部分の塗布もニードルを塗布面に対し
て一定の距離で対向して移動させることができないため
不可能である。JP-A-61-74670 proposes a coating device. This coating device consists of a dispenser, a moving part that moves the dispenser, a grip part, and a control part.The tip of the needle vibrates to move the dispenser, and it coats the box-shaped sealing part with resist. This method cannot be applied to applications where linearity of the resist edge is required, as the necessary linearity cannot be obtained due to the vibration. Furthermore, it is impossible to coat the upper part of the outer surface of the rising edge of a box-shaped sealing part, especially the curved surface part of the corner, because the needle cannot be moved at a fixed distance from the coating surface. be.
特開昭６２−６５７６６公報では、流動物塗布法が提案
されている。この流動物塗布法は流動物塗布へノドを案
内して予め定められた位置に予め定められた手順で流動
物を塗布するものであり、塗布ヘッドが移動する際塗布
ヘッドに付属している二ドル先端が振動し、箱型形状封
止部品のレジスト塗布のようにレジストエツジの直線性
が必要なものには前記振動のため必要な直線性が得られ
ず通用できない。JP-A-62-65766 proposes a fluid coating method. This fluid application method involves guiding the throat to the fluid application and applying the fluid to a predetermined position in a predetermined procedure.When the application head moves, the two attached to the application head The tip of the dollar vibrates, and it cannot be used in applications where linearity of the resist edge is required, such as when applying resist to a box-shaped sealing component, because the necessary linearity cannot be obtained due to the vibration.
また、箱型形状封止部品のヘリの立上り部分の外側面上
部部分特にコーナ部の曲面部分の塗布もニードルを塗布
面に対して一定の距離で対向して移動させることができ
ないため不可能である。Furthermore, it is impossible to coat the upper part of the outer surface of the rising edge of a box-shaped sealing part, especially the curved surface part of the corner, because the needle cannot be moved at a fixed distance from the coating surface. be.
特開平１−１６８３７４公報では、塗布装置が提案され
ている。この塗布装置では、ワークに対してニードルを
三次元に移動させるため、ニードル先端が移動し、箱型
形状封止部品のレジスト塗布のようにレジストエツジの
直線性が必要なものには前記振動のため必要な直線性が
得られず適用できない。JP-A-1-168374 proposes a coating device. In this coating device, the needle is moved three-dimensionally with respect to the workpiece, so the needle tip moves, and the above-mentioned vibration can be applied to applications where linearity of the resist edge is required, such as resist coating on box-shaped encapsulation parts. Therefore, the necessary linearity cannot be obtained and it cannot be applied.
また、箱型形状封止部品のヘリの立上り部分の外側面上
部部分特にコーナ部の曲面部分の塗布もニードルを塗布
面に対して一定の距離で対向して移動させることができ
ないため不可能である。Furthermore, it is impossible to coat the upper part of the outer surface of the rising edge of a box-shaped sealing part, especially the curved surface part of the corner, because the needle cannot be moved at a fixed distance from the coating surface. be.
本発明：ま上記問題点に着目巳てなされたものであり、
その目的はレジストエツジの直線精度を満たし、箱型形
状封止部品の内側底面とヘリの立上り部分の内側面上部
部分、外側面上部部分、特に四隅の曲面部、および端面
にレジストを塗布することができる塗布装置を提供する
ことにある。The present invention was made by focusing on the above problems,
The purpose is to satisfy the linear accuracy of the resist edge and apply resist to the inner bottom surface of the box-shaped sealing part, the upper inner surface part of the rising part of the edge, the upper part of the outer surface, especially the curved surfaces at the four corners, and the end surface. The purpose of the present invention is to provide a coating device that can perform the following steps.
上記問題点を解決するため本発明では、被塗布物を固定
可能な同定部と、この固定部を水平方向及び垂直方向に
移動可能な移動部と、塗布流動物を吐出するニードルお
よびシリンジと、このシリンジを水平方向に回転可能に
保持する保持部と、前記シリンジ内と連通ずるチューブ
を介して加圧可能なディスペンサと、前記固定部の固定
指命と前記移動部の移動動作と前記保持部の回転動作と
前記ディスペンサの吐出指定を制御する制御部とで構成
した。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention includes an identification part that can fix the object to be coated, a moving part that can move this fixing part in horizontal and vertical directions, and a needle and a syringe that discharge a coating fluid. A holding part that holds the syringe rotatably in a horizontal direction, a dispenser that can pressurize through a tube that communicates with the inside of the syringe, a fixing instruction of the fixed part, a moving operation of the moving part, and the holding part. and a control unit that controls the rotational operation of the dispenser and the discharge designation of the dispenser.
以下本発明の一実施例の塗布装置について、第１図〜第
１５図を参照しながら説明する。A coating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 15.
第１図は本発明の一実施例を示すノステム構成図、第２
図は固定部を示す平面図、第３図：よ第２図のＡ−Ａ矢
視断面図、第４図は第２図のＢ−Ｂ矢視断面図、第５図
は第２図のＣ−Ｃ矢視断面図、第６１は第２図のＩ）−
Ｄ矢視断面図である。第７図は本発明の一実施例の塗布
装置の全体側面図、第８図は保持部の詳細図、第９図は
保持部のなかの特にシリンジ５０とボールプランジャ６
３の取付関係について示したものである。Fig. 1 is a nostem configuration diagram showing one embodiment of the present invention;
The figure is a plan view showing the fixing part, Figure 3: A cross-sectional view taken along the line A-A in Figure 2, Figure 4 is a cross-sectional view taken along the line B-B in Figure 2, and Figure 5 is a cross-sectional view taken along the line B-B in Figure 2. C-C arrow sectional view, No. 61 is I)- in Fig. 2
It is a sectional view taken along arrow D. FIG. 7 is an overall side view of a coating device according to an embodiment of the present invention, FIG. 8 is a detailed view of the holding section, and FIG. 9 is a detailed view of the holding section, particularly the syringe 50 and the ball plunger 6.
This figure shows the installation relationship of No. 3.
第１０図は被塗布物の箱型内側底面とヘリの立上り部分
の端部を塗布する場合の被塗布物とシリンジ・ニードル
の位置関係を示す図面、第１１図は被塗布物のへりの立
上り部分の内側面上部部分及び外側面上部部分を塗布す
る場合の被塗布物とシリンジ・ニードルの位置関係を示
す図面、第１２図は被塗布物のヘリの立上り部分の端部
および内側面上部部分を塗布する場合の塗布径路を示す
図面、第１３図は被塗布物の箱型内側底面の縁取り塗布
を行なう場合の塗布径路を示す図面、第１４図は被塗布
物の箱型外側面上部部分を塗布する場合の塗布径路を示
す図面、第１５図は被塗布物の箱型内側底面の塗りつぶ
し塗布を行なう場合の塗布径路を示す図面である。Figure 10 is a drawing showing the positional relationship between the object to be coated and the syringe needle when coating the box-shaped inner bottom surface of the object to be coated and the edge of the rising edge of the object, and Figure 11 is a diagram showing the rising edge of the object to be coated. A drawing showing the positional relationship between the object to be coated and the syringe needle when coating the upper part of the inner side and the upper part of the outer side of the part, Figure 12 shows the end of the rising part of the edge of the object to be coated and the upper part of the inner side Fig. 13 is a drawing showing the coating route when applying edge coating to the inside bottom of the box-shaped object to be coated, and Fig. 14 is the upper part of the box-shaped outer side of the object to be coated. FIG. 15 is a drawing showing a coating route when coating the inner bottom surface of a box-shaped object to be coated.
第１図〜第９図において、被塗布物１０は固定部２０上
に載置される。固定部２０は突き当て部２１と載置部２
２を密着した状態でボルト２３により締結され、被塗布
物１０を載置する載置部２２直下には真空吸着用の穴２
４が設けられており、この穴２４はチューブ９４を介し
、負圧力検出センサ、電磁弁９１、バルブ９３、真空ポ
ンプ９２に連結されている。突き当て部２１は載置部２
２とボルト２３により締結された状態で上側表面がわず
かに載置部より上方へでている。In FIGS. 1 to 9, the object 10 to be coated is placed on the fixing part 20. As shown in FIGS. The fixing part 20 has a butting part 21 and a placing part 2.
2 are in close contact with each other with bolts 23, and a hole 2 for vacuum suction is provided directly below the mounting portion 22 on which the object to be coated 10 is placed.
4, and this hole 24 is connected to a negative pressure detection sensor, a solenoid valve 91, a valve 93, and a vacuum pump 92 via a tube 94. The abutment part 21 is the mounting part 2
2 and bolts 23, the upper surface slightly protrudes above the mounting portion.
固定部２０は垂直方向に移動する移動テーブル（以下“
Ｚテーブル”という）３３に載置され、２テーブル３３
は前後方向乙こ移動する移動チーフル３２ （以下“Ｘ
テーブル”という）に載置され、Ｘテーブル３２は左右
方向に移動する移動チーフル３１ （以下“Ｘテーブル
”という）に載置され、Ｘテーブル３１・Ｘテーブル３
２・Ｘテーブル３３で移動部を構成している。Ｘテーブ
ル３１はボールネジ（図示せず）を介しサーボモータ３
１ａにて駆動され、直線軸受（図示せず）に支承されて
いる。Ｘテーブルはボールネジ（図示せず）を介しサー
ボモータ３２ａにて駆動され、直線軸受（図示せず）に
支承されている。Ｚテーブルはサーボモータ３３ａにて
駆動されている。The fixed part 20 is a movable table (hereinafter referred to as “
Z table”) 33, and two tables 33
is a moving chifur 32 that moves in the front and rear directions (hereinafter referred to as “X
The X table 32 is placed on a moving table 31 (hereinafter referred to as the "X table") that moves in the left and right direction.
The 2.X table 33 constitutes a moving section. The X table 31 is connected to the servo motor 3 via a ball screw (not shown).
1a and supported on a linear bearing (not shown). The X table is driven by a servo motor 32a via a ball screw (not shown) and supported by a linear bearing (not shown). The Z table is driven by a servo motor 33a.
シリンジ５０はチューブ７６を介し、ディスペンサ７５
、レギュレータ７７、フィルタ７８、バルブ７９ｂ、コ
ンプレッサ７９ａと連通している。The syringe 50 is connected to the dispenser 75 through the tube 76.
, regulator 77, filter 78, valve 79b, and compressor 79a.
シリンジ５０は、中空軸６１に内設されており、一部に
窪み５Ｑａが設けられている。中空軸は軸受６２・６４
を介し軸受箱６５に回転可能に固定されている。The syringe 50 is installed inside a hollow shaft 61, and a recess 5Qa is provided in a part of the syringe 50. The hollow shaft has bearings 62 and 64.
It is rotatably fixed to the bearing box 65 via.
中空軸６１の下側にはタイミングプーリ６７が固定され
ており、タイミングヘルド６８・タイミングプーリ７１
を介し、サーボモータ７２により回転可能に駆動できる
ように、軸受箱６５およびサーボモータ７２は支柱１０
１に固定されており、この支柱１０１はフレーム１００
に固定されている。A timing pulley 67 is fixed to the lower side of the hollow shaft 61, and a timing heald 68 and a timing pulley 71
The bearing box 65 and the servo motor 72 are connected to the support column 10 so that the bearing box 65 and the servo motor 72 can be rotatably driven by the servo motor 72 via the servo motor 72.
1, and this support 101 is fixed to the frame 100.
is fixed.
ボールプランジャ６３はボール５０ａが後退可能でかつ
先端部より外れないようスプリング６３Ｃネジ６３ｄで
前方に付勢された状態で中空軸に取付けられている。The ball plunger 63 is attached to the hollow shaft in such a manner that the ball 50a can be retracted and is urged forward by a spring 63C and a screw 63d so that the ball 50a cannot be removed from the tip.
制御部８０は制′４Ｂ盤８８、ＮＣ８１およびノぐソコ
ン８９で構成されている。制御盤８８はシーケンサ８２
と操作盤８３で構成されており、ＮＣ８１との相互通信
、電磁弁９１およびディスペンサ７５に信号出力が行な
えるよう結線されている。ＮＣ８１はサーボモータ３１
ａ・３２ａ−３３ａ−１２およびパソコン８９と相互通
信ができるよう結線されている。キーボード８５の出力
信号はパソコン本体８４へ、パソコン本体８４の出力信
号はＣＲＴ８６およびプリンタ８７へ出力され、かつノ
マソコン本体８４はＮＣ８１と相互に通信できるよう結
線され、パソコン本体８４・キーボード８５・ＣＲＴ８
６・プリンタ８７でパソコン８９を構成している。The control section 80 is composed of a control panel 88, an NC 81, and a control panel 89. The control panel 88 is the sequencer 82
and an operation panel 83, which are connected to enable mutual communication with the NC 81 and signal output to the solenoid valve 91 and dispenser 75. NC81 is servo motor 31
32a-33a-12 and a personal computer 89 so as to be able to communicate with each other. The output signal of the keyboard 85 is output to the personal computer main body 84, and the output signal of the personal computer main body 84 is output to the CRT 86 and printer 87.The personal computer main body 84 is connected to the NC81 so as to be able to communicate with each other, and the personal computer main body 84, the keyboard 85, and the CRT8
6. The printer 87 constitutes a personal computer 89.
次に作用について説明する。Next, the effect will be explained.
第８図・第９図においてレノストの充てんされたシリン
ジを＄備し、シリンジの窪み５ｏａの位置がボールプラ
ンジャ６３の位置と合うよう中空軸６１に挿入する。ミ
ニボールプランジャ６３はボール６３ｂが後退可能でか
つ先端より外れないようスプリング６３ｃ・ネジ６３ｄ
で前方に付勢された状態で中空軸に取付けられているの
で、シリンジの窪み５０ａがボール６３ｈと合致した時
点でボール６３ｂがシリンジ５０を中空軸６１のボール
プランジャ６３の反対側の内壁へ押し付けることにより
固定される。こうすることにより中空軸６１とシリンジ
５０の取付状態が一定となり、シリンジの取付誤差バラ
ツキを一定の範囲内とすることができる。In FIGS. 8 and 9, a syringe filled with Lennost is prepared and inserted into the hollow shaft 61 so that the position of the recess 5OA of the syringe matches the position of the ball plunger 63. The mini ball plunger 63 is equipped with a spring 63c and a screw 63d so that the ball 63b can retreat and not come off the tip.
The ball 63b presses the syringe 50 against the inner wall of the hollow shaft 61 on the opposite side of the ball plunger 63 when the recess 50a of the syringe matches the ball 63h. It is fixed by this. By doing so, the mounting state of the hollow shaft 61 and the syringe 50 becomes constant, and the variation in the mounting error of the syringe can be kept within a certain range.
被塗布物１０を例えば７字形の押え工具等を用いて突き
当て部２１に、斜め左奥へ向って押え付けながら、操作
盤８３の電磁弁９１を通電するスイ、７チを操作するこ
とにより、電磁弁９１が開状態となり、真空ポンプ９２
の負圧力により、被塗布物１０は固定部２０に固定され
る。被塗布物１０は、突き当て部２１のカギ形の二辺に
密着した状態で前記負圧力により固定されるので、位置
の誤差が少ない状態で固定される。この状態で例えば被
塗布物１０または固定部２０にゴミが付着して、被塗布
物１０と固定部２０が密着しなかった場合は、位置の精
度が充分でない状態であるが、そのような場合は、穴２
４より空気が入りチューブ９４内の圧力が充分下らない
ので、これを負圧力検出センサー９０で検知し、シーケ
ンサ８２に取込み警報出力およびディスペンサ７５へ吐
出信号を出さないようにする。そうすることにより、位
置精度の悪い被塗布物１０に対し、塗布を行なわなくて
済むことにより塗布不良を防止できる。While pressing the object 10 to be coated onto the abutment part 21 diagonally toward the back left using a 7-shaped holding tool, etc., operate the switch 7, which energizes the solenoid valve 91 on the operation panel 83. , the solenoid valve 91 is opened, and the vacuum pump 92 is opened.
The object to be coated 10 is fixed to the fixing part 20 by the negative pressure. Since the object 10 to be coated is fixed by the negative pressure in close contact with the two hook-shaped sides of the abutting portion 21, it is fixed with little positional error. In this state, for example, if dust adheres to the object 10 or the fixing part 20 and the object 10 and the fixing part 20 do not come into close contact with each other, the positional accuracy is not sufficient. is hole 2
Since air enters through tube 94 and the pressure within tube 94 does not drop sufficiently, this is detected by negative pressure detection sensor 90 and taken in by sequencer 82 to prevent outputting an alarm and discharging signal to dispenser 75. By doing so, it is not necessary to apply coating to the object 10 to be coated with poor positional accuracy, thereby preventing coating defects.
被塗布物のヘリの立上部分の端部の幅は狭いため、例え
ば内径０．１７ｍｍ・外径０．３５ｍｍ程度の細いニー
ドルを用い第１０図・４０Ａに示す位置関係となるよう
セ−／ トし、ヘリの立上り部分の内側面上部部分塗布
は塗布幅が狭いため、例えば内径０．１７ｍｍ・外径０
．３５＋ａｍ程度の細いニードル４０Ｃを用い第１１図
・４０ｃに示す位置関係となるよラセフトし、第１２図
においてニードル４０の先端位置が被塗布物に対して相
対的にＡｓ０点よりスタートしＡ−Ｂ−Ｃの径路を辿り
Ｃｅの点でストップするように第１図の移動部３１・３
２・３３を制御部８０で制御し、第１２図で示しである
径路を辿っている間は制御部８０でディスペンサ７５を
制御し吐出を行なえば、被塗布物のヘリの端面部分とヘ
リの内側面上部部分の塗布を行なうことができる。Since the width of the rising end of the edge of the object to be coated is narrow, use a thin needle with an inner diameter of 0.17 mm and an outer diameter of 0.35 mm to obtain the positional relationship shown in Figure 10, 40A. However, since the application width is narrow when applying the upper part of the inner surface of the rising part of the edge, for example, the inner diameter is 0.17 mm and the outer diameter is 0.
．． Using a thin needle 40C of about 35+am, latheft so that the positional relationship shown in FIG. 11 and 40c is achieved, and in FIG. - The moving parts 31 and 3 in Fig. 1 follow the path C and stop at the point Ce.
2 and 33 are controlled by the control unit 80, and the dispenser 75 is controlled by the control unit 80 to dispense while following the path shown in FIG. The upper part of the inner surface can be coated.
被塗布物の箱形の内側底面のレジストエツジは直線精度
が要求されるため、例えば内径０．１７ｍｍ・外径０．
３５ｍｍ程度の細いニードルを用い第１０図の４０Ｂに
示す位置関係となるようセントし、第１３図においてニ
ードル４０の先端位置が被塗布物に対して相対的にＤの
点よりスタートしＥ・Ｆ−Ｇ−Ｅの径路を辿りＤの点で
ストップするように第１図の移動部３１・３２・３３を
制御部８０で制御し、第１３図で示しである径路を辿っ
ている間は制御部８０でディスペンサ７５を制御し吐出
を行なえば、被塗布物の箱形の内側底面の縁取り塗布を
行なうことができる。Since the resist edge on the inside bottom of the box-shaped object to be coated requires linear accuracy, for example, the inner diameter is 0.17 mm and the outer diameter is 0.17 mm.
Using a thin needle of about 35 mm, insert it so that the positional relationship shown at 40B in FIG. - The moving parts 31, 32, and 33 in FIG. 1 are controlled by the control part 80 so as to follow the route G-E and stop at point D, and are controlled while following the route shown in FIG. If the dispenser 75 is controlled and discharged by the section 80, it is possible to perform edge coating on the box-shaped inner bottom surface of the object to be coated.
被塗布物のヘリの立上り部分の外側面上部部分塗布のレ
ジストエツジの直線精度が要求されるため、例えば内径
０．１７ｍｍ・外径０．３５ｍｍ程度の細いくの字形に
曲ったニードルを用い第１１図の４０Ｄに示す位置関係
となるようセットし、第１４図においてニードル４０の
先端位置が被塗布物に対して相対的にＨの点よりスター
トしＪ−に−Ｌの径路を辿りＭの点でストップするよう
に第１図の移動部３１・３２・３３及び保持部６０を制
御部８０で制御し、第１４図で示しである径路を辿って
いる間は制御部８０でディスペンサ７５を制御し吐出を
行なえば、被塗布物のヘリの泣上り部分の外側面上部部
分の塗布を行なうことができる。Since linear precision of the resist edge is required for coating the upper part of the outer surface of the rising edge of the object to be coated, for example, a thin dogleg-shaped needle with an inner diameter of 0.17 mm and an outer diameter of 0.35 mm is used. The needle 40 is set to have the positional relationship shown at 40D in Fig. 11, and in Fig. 14, the tip position of the needle 40 starts from point H relative to the object to be coated, follows the path J- to -L, and reaches M. The controller 80 controls the moving parts 31, 32, 33 and the holding part 60 shown in FIG. 1 so as to stop the dispenser 75 at a certain point. By controlling the discharge, it is possible to coat the upper part of the outer surface of the edge of the object to be coated.
被塗布物の箱型内側底面の塗りつぶし塗布はそノ前の工
程で縁取り塗布を行なっているので、縁取り塗布の塗布
線の太さに見合ったレジストエツジの凹凸のある直線精
度を満せばよく、塗布能率の面からは太いニードル程よ
く、例えば内径０．３０１・外径０．５５＋ａｌｌ程度
のニードルを用い第１０図の４０Ｂに示す位置関係とな
るようセットし、第１５図においてニードル４０Ｂの先
端位置が被塗布物に対して相互的にＮの点よりスタート
′−Ｐ・Ｑ・Ｒ−３−Ｔの径路を辿りＮの点でストップ
するように第１Ｍの移動部３１・３２・３３を制御部８
０で制御し、第１５図で示しである径路を辿っている間
は制御部８０でディスペンサ７５を制御し吐出を行なえ
ば、被塗布物の箱型内側底面の塗りつぶし塗布を行なう
ことができる。Since edging is applied in the process before filling the inside bottom of the box-shaped object to be coated, it is only necessary to satisfy the linear accuracy of the irregularities of the resist edge commensurate with the thickness of the application line for edging. In terms of coating efficiency, a thicker needle is better; for example, a needle with an inner diameter of 0.301 and an outer diameter of 0.55 The first M moving parts 31, 32, and 33 are moved so that the positions start from point N with respect to the object to be coated, follow the path '-P, Q, R-3-T, and stop at point N. Control unit 8
0, and the controller 80 controls the dispenser 75 to discharge while following the path shown in FIG. 15, thereby coating the inside bottom of the box-shaped object to be coated.
被塗布物のへりの立上り部分の端面と内側面で形成され
る稜部および前記端面と外側面で形成される稜部はレジ
ストの表面張力により塗布されるレジストの厚さが薄（
なりやすい。そのような場合は第１１図の４０ｃおよび
第１Ｏ図の４０Ａの位置にセットし第１２図Ａｓ−Ａ−
Ｂ−Ｃ−Ｃｃ径路で塗布を再度行なうと、前の工程で稜
部は少なくとも薄くは塗布されているので、薄＜塗布さ
れてい′るレジストと２回目に塗布するレジストの濡れ
性は母材上の金属層に対する水濡れ性よりも向上してい
るので、充分な塗布厚さが得られる重ね塗布を行なうこ
とができる。The ridge formed by the end surface and the inner surface of the rising part of the edge of the object to be coated, and the ridge formed by the end surface and the outer surface, are formed by the surface tension of the resist so that the thickness of the applied resist is thin (
Prone. In such a case, set it to the position 40c in Fig. 11 and 40A in Fig. 1O, and then
When coating is performed again using the B-C-Cc route, the ridges have been coated at least thinly in the previous process, so the wettability of the thinly coated resist and the second coated resist is similar to that of the base material. Since the water wettability of the upper metal layer is improved, multiple coatings can be performed to obtain a sufficient coating thickness.
以上説明した工程は５工程であるが、ヘリの立上り部分
の端面・内側面上部部分と箱型内側底面の縁取り塗布は
同一のニードル径・同一のニードル形状を使用すること
ができるので、同一の工程とすることができ、箱型内側
底面の塗りつぶし塗布と重ね塗布は両方とも塗布後のレ
ジストエツジの直線性はあまり高精度の必要はなくニー
ドル形状も同一でよく例えば中径０．１９ｎｕａ・外径
０．４１Ｗ１ｍのニードルを使用し同一の工程とするこ
とができ、全部で３工程とすることができる。The process explained above is a 5-step process, but the same needle diameter and shape can be used for the edge coating of the end face of the rising part of the edge, the upper part of the inner face, and the bottom of the box-shaped inner face, so the same needle diameter and shape can be used. The linearity of the resist edge after coating does not need to be very precise in both filling coating and overlapping coating of the inner bottom of the box shape, and the needle shape may be the same, for example, with a medium diameter of 0.19 nua and an outer diameter of 0.19 nua. The same process can be performed using a needle with a diameter of 0.41W1m, and a total of three processes can be performed.
以上説明したように本発明による塗布装置を用いること
により次に示す効果がある。As explained above, the use of the coating apparatus according to the present invention provides the following effects.
（１） 被塗布物とニードルの相互的な動きを作りだ
すのにニードルではなく被塗布物を左右・前後・上下に
動かしているので、ニードルに振動が発生せず、充分な
レジストエツジの直線精度を持つレジストの塗布を行な
うことができる。(1) To create mutual movement between the object and the needle, the object to be applied is moved left and right, back and forth, and up and down instead of the needle, so there is no vibration in the needle and sufficient linear accuracy of the resist edge is achieved. It is possible to apply a resist with a
（２）くの字形のニードルを使用し、シリンジを水平方
向に回転可能に保持する保持部をＸＹＺテーブルと共に
制御部により制御することにより、従来塗布不可能であ
った被塗布物のヘリの立上り部分の外側面上部部分の特
に四隅の曲面部の塗布を行なうことができる。(2) By using a dogleg-shaped needle and controlling the holding part that holds the syringe so that it can rotate horizontally, together with the XYZ table, the edge of the object to be coated can be coated, which was previously impossible. It is possible to coat the curved surface of the upper part of the outer surface of the part, especially the four corners.
（３）実施例にて説明した工程にて塗布を行なうことに
より、箱型形状封止部品の内側底面とヘリの立上り部分
の内側面上部部分、外側面上部部分および端面を充分な
レジストエツジの直線精度を持つレジストの塗布を行な
うことができる。(3) By applying the coating according to the process described in the example, the inner bottom surface of the box-shaped sealing part, the upper inner surface part of the rising part of the edge, the upper part of the outer surface, and the end surface are coated with a sufficient resist edge. It is possible to apply resist with linear accuracy.
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示すシステム構成図、第２
図は固定部を示す平面図、第３図は第２図のＡ−Ａ矢視
断面図、第４図は第２図のＢ−Ｂ矢視断面図、第５図は
第２図のＣ−Ｃ矢視断面図、第６図は第２図のＤ−Ｄ矢
視断面図である。第７図は本発明の一実施例の塗布装置
の全体側面図、第８図は保持部の詳細図、第９図は保持
部のなかの特にシリンジ５０とボールプランジャ６３の
取付関係二こついて示したものである。
第１０図は被塗布物の箱型内側底面とヘリの立上り部分
の端部を塗布する場合の被塗布物とシリンジ・ニードル
の位置関係を示す図面、第１１図は被塗布物のヘリの立
上り部分の内側面上部部分及び外側面上部部分の塗布す
る場合の被塗布物とシリンジ・ニードルの位置関係を示
す図面、第１２図は被塗布物のヘリの立上り部分の端部
および内側面上部部分を塗布する場合の塗布径路を示す
図面、第１３図は被塗布物の箱型内側底面の縁取り塗布
を行なう場合の塗布径路を示す図面、第１４図は被塗布
物の箱型外側面上部部分を塗布する場合の塗布径路を示
す図面、第１５図は被塗布物の箱型内側底面の塗りつぶ
し塗布を行なう場合の塗布径路を示す図面である。
第１６図は箱型形状封止部品の形状を示す図面、第１７
図は理想的にレジストを塗布した状態の箱型形状封止部
品の断面を示す図面、第１８図は従来方法であるバンド
印刷法による方法を示す図面、第１９図は従来方法であ
るパッド印刷法によるレジスト塗布後の被塗布物の塗布
状態の断面を示す図面、第２０図は従来方法であるバッ
ト印別法によるレジスト塗布後の被塗布物の箱型内側底
面の塗布状態を示す図面、第２１図は従来方法であるパ
ッド印刷法によるレジスト塗布後の被塗布物σへりの立
上り部分の外側面上部部分の塗布状態を示す図面である
。
１０・・・被塗布物、２０・・・固定部、３１．３２３
３・・・移動部、４０・・・ニードル、５０・・・シリ
ンジ、６０・・・保持部、７５・・・ディスペンサ、８
０・・・Ｍ ’＋Ｂ部。
第
図
第
図
第
図
第
図
第
図
第
図
第９
図[Brief Description of the Drawings] Fig. 1 is a system configuration diagram showing one embodiment of the present invention;
The figure is a plan view showing the fixing part, FIG. 3 is a sectional view taken along the line A-A in FIG. 2, FIG. 4 is a sectional view taken along the line B-B in FIG. 2, and FIG. 6 is a sectional view taken along the line D-D in FIG. 2. FIG. 7 is an overall side view of a coating device according to an embodiment of the present invention, FIG. 8 is a detailed view of the holding section, and FIG. 9 is a detailed view of the holding section, particularly the attachment relationship between the syringe 50 and the ball plunger 63. This is what is shown. Figure 10 is a diagram showing the positional relationship between the object to be coated and the syringe needle when coating the box-shaped inner bottom surface of the object to be coated and the edge of the rising edge of the object, and Figure 11 is a drawing showing the positional relationship between the object to be coated and the edge of the edge. A drawing showing the positional relationship between the object to be coated and the syringe needle when applying the upper part of the inner side and the upper part of the outer side of the part, Figure 12 shows the end of the rising part of the edge of the object to be coated and the upper part of the inner side Fig. 13 is a drawing showing the coating route when applying edge coating to the inside bottom of the box-shaped object to be coated, and Fig. 14 is the upper part of the box-shaped outer side of the object to be coated. FIG. 15 is a drawing showing a coating route when coating a box-shaped inner bottom surface of an object to be coated. FIG. 16 is a drawing showing the shape of a box-shaped sealing component, and FIG.
The figure shows a cross section of a box-shaped encapsulation component ideally coated with resist, Figure 18 shows a conventional band printing method, and Figure 19 shows a conventional method of pad printing. FIG. 20 is a drawing showing a cross section of the applied state of the object to be coated after resist application by the conventional method, ie, the bat stamping method; FIG. FIG. 21 is a drawing showing the coating state of the upper portion of the outer surface of the rising portion of the σ edge of the object to be coated after resist coating by the conventional pad printing method. 10...Object to be coated, 20...Fixed part, 31.323
3... Moving part, 40... Needle, 50... Syringe, 60... Holding part, 75... Dispenser, 8
0...M'+B section. Figure Figure Figure Figure Figure 9
Claims (11)
平方向及び垂直方向に移動可能な移動部と、塗布流動物
を吐出するニードルおよびシリンジと、このシリンジを
水平方向に回転可能に保持する保持部と、前記シリンジ
内と連通するチューブを介して加圧可能なディスペンサ
と、前記固定部の固定指命と前記移動部の移動動作と前
記保持部の回転動作と前記ディスペンサの吐出指命を制
御する制御部とから成ることを特徴とする塗布装置。(1) A fixed part that can fix the object to be coated, a moving part that can move this fixed part horizontally and vertically, a needle and a syringe that discharge the coating fluid, and this syringe that can be rotated horizontally. a dispenser that can be pressurized via a tube that communicates with the inside of the syringe, a fixing instruction of the fixed part, a moving operation of the moving part, a rotating action of the holding part, and a discharge of the dispenser. A coating device comprising: a control section that controls commands;
る突き当て部及び被塗布物の下方の位置にチューブと電
磁弁と真空ポンプに連通した穴を有し、被塗布物の端部
を固定部の突き当て部に突き当てた後電磁弁を開状態に
し真空ポンプの負圧力により被塗布物を固定する請求項
１記載の塗布装置。(2) The fixing part has an abutment part that abuts and positions the end of the object to be applied, and a hole below the object that communicates with the tube, solenoid valve, and vacuum pump. 2. The coating apparatus according to claim 1, wherein after the part abuts against the abutting part of the fixing part, a solenoid valve is opened and the object to be coated is fixed by negative pressure from a vacuum pump.
る突き当て部と、この突き当て部と密着対向し、被塗布
物を載置する載置部とで成り、前記突き当て部と前記載
置部とをネジ締結した請求項２記載の塗布装置。(3) The fixing part consists of an abutment part that abuts two adjacent surfaces of the end of the object to be coated, and a mounting part that closely faces this abutment part and places the object to be coated, and the abutment part 3. The coating device according to claim 2, wherein the part and the mounting part are screwed together.
請求項２記載の塗布装置。(4) The coating device according to claim 2, wherein the fixed portion has a negative pressure detection sensor attached to the tube.
後方向に移動する移動テーブルと、垂直方向に移動する
移動テーブルとで成る請求項１記載の塗布装置。(5) The coating device according to claim 1, wherein the moving section comprises a moving table that moves in the left-right direction, a moving table that moves in the front-back direction, and a moving table that moves in the vertical direction.
中空軸を支承する軸受と、この軸受を保持する軸受箱と
を有する請求項１記載の塗布装置。(6) The coating device according to claim 1, wherein the holding portion includes a hollow shaft for inserting and holding the syringe, a bearing for supporting the hollow shaft, and a bearing box for holding the bearing.
ャを取付けるメネジとを有する請求項６記載の塗布装置
。(7) The coating device according to claim 6, wherein the hollow shaft has a ball plunger and a female thread to which the ball plunger is attached.
の塗布装置。(8) The coating device according to claim 1, wherein the needle has a dogleg shape.
を有し、金属にて成る請求項１記載の塗布装置。(9) The coating device according to claim 1, wherein the syringe has a recessed hole for receiving the ball of the ball plunger and is made of metal.
とを有する請求項１記載の塗布装置。(10) The coating apparatus according to claim 1, wherein the control section includes an NC, a computer, and a sequencer.
定範囲の負圧力の場合、前記ディスペンサの吐出指命を
出力せず警報出力出す請求項１０記載の塗布装置。(11) The coating device according to claim 10, wherein the control section receives the signal from the negative pressure detection sensor and outputs an alarm without outputting a discharge instruction for the dispenser when the negative pressure is within a certain range.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21541190A JPH04100558A (en) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | Coating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21541190A JPH04100558A (en) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | Coating apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04100558A true JPH04100558A (en) | 1992-04-02 |
Family
ID=16671884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21541190A Pending JPH04100558A (en) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | Coating apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04100558A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010123097A1 (en) | 2009-04-24 | 2010-10-28 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | Nozzle rotation mechanism and coating device provided therewith |
| CN103785576A (en) * | 2012-10-31 | 2014-05-14 | 苏州市星光精密机械有限公司 | Bent needle dispensing method |
| KR20160140786A (en) | 2014-03-27 | 2016-12-07 | 신메이와 고교 가부시키가이샤 | Application device |
-
1990
- 1990-08-15 JP JP21541190A patent/JPH04100558A/en active Pending
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| KR20160140786A (en) | 2014-03-27 | 2016-12-07 | 신메이와 고교 가부시키가이샤 | Application device |
| US10086398B2 (en) | 2014-03-27 | 2018-10-02 | Shinmayawa Industries, Ltd. | Application device |
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