JPH0396902A - Optical element - Google Patents
Optical elementInfo
- Publication number
- JPH0396902A JPH0396902A JP1234204A JP23420489A JPH0396902A JP H0396902 A JPH0396902 A JP H0396902A JP 1234204 A JP1234204 A JP 1234204A JP 23420489 A JP23420489 A JP 23420489A JP H0396902 A JPH0396902 A JP H0396902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- optical element
- linear grating
- linear
- phase difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 64
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 12
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば、直線偏光を円偏光又は楕円偏光に変
換するための位相差制御素子又は光学部材の表面での反
射を防止する反射防止素子等として使用される光学素子
に関するものである。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to an antireflection method that prevents reflection on the surface of a phase difference control element or optical member for converting linearly polarized light into circularly polarized light or elliptically polarized light, for example. The present invention relates to optical elements used as elements and the like.
位相差制御素子は、光磁気ディスクへの記録再生用の光
ピックアップを初めとする光学機器において使用される
基本的な光学素子である。この位相差制御素子は互いに
直交する方向の２つの偏光成分の位相差を制御するもの
であり、従来は結晶体を利用して作威していた。A phase difference control element is a basic optical element used in optical equipment including optical pickups for recording and reproducing information on magneto-optical disks. This phase difference control element controls the phase difference between two polarized light components in directions orthogonal to each other, and has conventionally been achieved using a crystal.
第７図に従来例を示す。位相差制御素子１は厚さがＴの
結晶板、例えば、水晶板からなり、その光学軸がＸ軸と
平行になるように配置されている。水晶板は、例えば、
対象とする光の波長を７８０ｎｍとすると、その光学軸
に平行な電界威分を存ずるＸ方向の偏光威分に対ずる屈
折率ｎ１はｎ＝１．．４８、上記光学軸と直交する雷界
成分を有ずるＹ方向の偏光成分に対ずる屈折率ｎ２はｎ
２−１．５２となる。FIG. 7 shows a conventional example. The phase difference control element 1 is made of a crystal plate having a thickness of T, for example, a quartz plate, and is arranged so that its optical axis is parallel to the X-axis. For example, the crystal plate is
When the wavelength of the target light is 780 nm, the refractive index n1 for the polarized light component in the X direction, which has an electric field component parallel to the optical axis, is n=1. ．． 48. The refractive index n2 for the Y-direction polarization component having the lightning field component orthogonal to the optical axis is n
2-1.52.
従って、位相差制御素子１の厚さＴを調整ずることによ
り、第８図中（ａ）（ｂ）のようにＸ方向の偏光成分の
位相とＹ方向の偏光成分の位相との等しい直線偏光Ｐ，
（第１０図（ａ）に模式的に示す）を、位相差制御素子
１を通過させることにより、第９図中（ａ）（ｂ）に示
す如く、Ｘ方向の偏光成分に対しＹ方向の偏光成分の位
相が、例えば、ほぼ９０゜だけ遅れた円偏光又は楕円偏
光Ｐ２ （第１０図（’ ｂ ）に模式的に示す）に変
換することができる。Therefore, by adjusting the thickness T of the phase difference control element 1, linearly polarized light whose phase of the polarized light component in the X direction is equal to that of the polarized light component in the Y direction, as shown in (a) and (b) in FIG. P,
(Schematically shown in FIG. 10(a)) is passed through the phase difference control element 1, and as shown in FIG. 9(a) and (b), the polarized light component in the Y direction is The phase of the polarized light component can be converted into circularly polarized light or elliptically polarized light P2 (schematically shown in FIG. 10('b)), for example, with the phase delayed by approximately 90°.
一方、従来、光学部材の表面における反射防止は、光学
部材の表面に反射防止膜を形戒することにより行われて
いる。第１１図にその一例を示す。On the other hand, conventionally, antireflection on the surface of an optical member has been achieved by forming an antireflection film on the surface of the optical member. An example is shown in FIG.
光学部材２の表面には光学部材２の屈折率より若干小さ
い屈折率を有する誘電体物質、例えば、ＭｇＦ（屈折率
ｎ＝１．３６）からなる反射防止膜３が草着されている
。ここで、光学部材２の屈折率ｎ。に対し、屈折率ｎ−
、Ｆ１コー なる物質を反射防止膜３として使用し、
かつ、対象となる光の波長λに対して、ｎＴ’ 一λ／
４となる厚さＴ′だけ反射防止膜３を形或すれば良い。An antireflection film 3 made of a dielectric material having a refractive index slightly smaller than that of the optical member 2, for example, MgF (refractive index n=1.36) is deposited on the surface of the optical member 2. Here, the refractive index n of the optical member 2 is. , the refractive index n-
, F1 Co is used as the anti-reflection film 3,
And for the wavelength λ of the target light, nT' - λ/
It is sufficient to form the antireflection film 3 by a thickness T' of 4.
ところが、上記の位相差制御素子１は結晶体で形成され
ているので、一般に高価になるばかりでなく、結晶軸の
方向を見極めて加工しなければならない煩雑さがある。However, since the above-mentioned phase difference control element 1 is formed of a crystal, it is generally not only expensive, but also complicated in that the direction of the crystal axis must be determined during processing.
又、厚さＴの調整も研磨により行うので、研磨加工と測
定を繰り返し行わねばならず、加工に多犬な時間を要す
るものである。しかも、他の光学部品と一体化する場合
は、個別に作戒し、作或後に貼り付ける以外の方法が在
在しないので、製作及び貼付け作業が極めて煩雑になる
問題を有していた。Further, since the thickness T is also adjusted by polishing, polishing and measurement must be repeated, and the machining requires a lot of time. Furthermore, when integrating with other optical components, there is no other method other than preparing them individually and pasting them after manufacturing, which has the problem of making the manufacturing and pasting work extremely complicated.
又、従来の反射防止膜３においては、光学部祠２の屈折
率ｎ。の平方根となる屈折率ｎを有する誘電体物質を反
射防止膜３の材料として選択せねばならず、そのような
誘電体物質が存在しない場合には複数の誘電体物質を使
用した多層の反射防止膜３を形或せねばならないという
煩雑さが生しる。In addition, in the conventional antireflection film 3, the refractive index n of the optical part 2. A dielectric material having a refractive index n that is the square root of n must be selected as the material for the antireflection film 3. If such a dielectric material does not exist, a multilayer antireflection film using multiple dielectric materials must be selected. The complexity of having to shape the membrane 3 arises.
本発明に係る光学素子は、」二記の課題を解決するため
に、透光性を有する基利に格子間隔が対象となる光の波
長程度である直線格子が形成されてなることを基本的な
特徴とするものである。In order to solve the problems described in item 2, the optical element according to the present invention is basically formed by forming a linear grating with a grating interval on the order of the wavelength of the target light on a transparent substrate. It has the following characteristics.
ここで、上記基材の屈折率をｎ、対象となる光の波長を
λ、上記直線格子の格子間隔をＡとする時、Ａ≦λ／ｎ
とするのが好ましい。Here, when the refractive index of the base material is n, the wavelength of the target light is λ, and the lattice spacing of the linear grating is A, A≦λ/n
It is preferable that
又、上記直線格子は凹凸の断面形状とすることができる
。Further, the linear grating may have an uneven cross-sectional shape.
その場合、直線格子の断面形状は、例えば、矩形状又は
正弦波状とすることができる。In that case, the cross-sectional shape of the linear grating can be, for example, rectangular or sinusoidal.
なお、上記光学素子は、具体的には、例えば、上記直線
格子の方向と平行な方向の偏光成分と上記直線格子の方
向に直交する方向の偏光成分の相対的位相差を制御する
位相差制御素子として使用することができる。Note that the optical element specifically performs, for example, phase difference control that controls the relative phase difference between a polarized light component in a direction parallel to the direction of the linear grating and a polarized light component in a direction orthogonal to the direction of the linear grating. It can be used as an element.
その場合、上記基材はガラス又は透光性を有するプラス
チックで形或するのが好適である。In that case, the base material is preferably made of glass or translucent plastic.
又、上記光学素子は光学部材の表面に形成される反射防
止素子であっても良い。Further, the optical element may be an antireflection element formed on the surface of the optical member.
〔作 用］
上記の構威によれば、結晶体等の高価で、かつ、加工の
困難な材料を使用しないでも、透光性の基材の表面部に
直線格子を設けるのみで、位相差制９卸機能等を有する
光学素子を簡単、安価に構成することができる。[Function] According to the above structure, even without using expensive and difficult-to-process materials such as crystals, a phase difference can be achieved by simply providing a linear grating on the surface of a transparent base material. An optical element having a control function, etc. can be easily and inexpensively constructed.
この光学素子は、例えば、位相差制御素子として使用す
ることができる。その場合、光学素子の直線格子の部分
で、この直線格子の方向と平行な方向の偏光成分と直線
格子の方向と直交する方向の偏光成分との相対的位相差
が制御される。上記の位相差は、例えば、直線格子の深
さを調整することにより所望の値に制御できる。This optical element can be used, for example, as a phase difference control element. In this case, the relative phase difference between the polarized light component in the direction parallel to the direction of the linear grating and the polarized light component in the direction orthogonal to the direction of the linear grating is controlled in the linear grating portion of the optical element. The above phase difference can be controlled to a desired value by adjusting the depth of the linear grating, for example.
又、本発明者は、透光性の基材の表面部に直線格子を設
けることによって、透過率が向上するという知見を得た
。これにより、上記の光学素子は反射防止素子として利
用することもできる。この場合も、例えば、直線格子の
深さを調整することにより透過率が好適な値となるよう
に制御すれば良い。なお、反則防止素子として利用する
際、反則を防止したい光学部材自体に上記の直線格子を
形戒し、本反射防止素子を光学部材と一体化することも
可能であり、このように反射防止素子を目的の光学部材
と一体化することにより、構造の簡素化及び作或作業の
容易化を図ることができる。Furthermore, the present inventor has found that transmittance is improved by providing a linear grating on the surface of a translucent base material. Thereby, the above optical element can also be used as an antireflection element. In this case as well, the transmittance may be controlled to a suitable value by, for example, adjusting the depth of the linear grating. In addition, when using it as an anti-fouling element, it is also possible to form the above-mentioned linear grating onto the optical member itself to prevent fouling, and to integrate this anti-reflection element with the optical member. By integrating the optical member with the target optical member, the structure can be simplified and the manufacturing process can be facilitated.
又、本発明の光学素子からなる反射防止素子は、反射防
止用の直線格子を設けるのみであるから、いかなる屈折
率を有する基材にも対応できる。Further, since the antireflection element made of the optical element of the present invention is only provided with a linear grating for antireflection, it can be used with a base material having any refractive index.
従って、従来の如く、誘電体物質を使用する必要もなく
、かつ、適切な屈折率を有する誘電体物質を選択したり
、そのような誘電体物質が存在しない場合に複数の誘電
体物質からなる多層の反射防止膜を形成する等の煩雑さ
をなくすことができるものである。Therefore, there is no need to use a dielectric material as in the past, and it is not necessary to select a dielectric material with an appropriate refractive index, or to use a combination of multiple dielectric materials when such a dielectric material does not exist. This eliminates the complexity of forming a multilayer antireflection film.
〔実施例１〕
本発明の一実施例を第１図乃至第４図に基づいて説明す
れば、以下の通りである。[Embodiment 1] An embodiment of the present invention will be described below based on FIGS. 1 to 4.
第２図に示すように、光学素子としての位相差制御素子
１１は、ガラス又は透光性を有するプラスチック等から
なる基材としての基板１２を備えている。基板１２の一
方の表面部、つまり、光の出射側の表面部には、図中Ｘ
方向に延びる直線格子１３・１３・・・が設けられてい
る。As shown in FIG. 2, the phase difference control element 11 as an optical element includes a substrate 12 as a base material made of glass, translucent plastic, or the like. One surface of the substrate 12, that is, the surface on the light output side, is marked with an X in the figure.
Linear grids 13, 13, . . . extending in the direction are provided.
第１図に示すように、直線格子１３・１３・・・は断面
矩形状の溝から構威されている。格子間隔Ａは、対象と
する光の波長程度となるように設定され、かつ、各直線
格子ｌ３は所定の深さｔを有している。なお、基板１２
の屈折率をｎ、対象とする光の波長をλ、直線格子１３
・１３・・・の格子間隔をＡとする時、Ａ≦λ／ｎとす
るのが好ましい。As shown in FIG. 1, the linear gratings 13, 13, . . . are composed of grooves having a rectangular cross section. The grating interval A is set to be approximately the wavelength of the target light, and each linear grating l3 has a predetermined depth t. Note that the substrate 12
The refractive index of is n, the wavelength of the target light is λ, and the linear grating 13
When the lattice spacing of ・13... is A, it is preferable that A≦λ/n.
上記の構威において、位相制御素子１１に入射した光は
、直線格子１３・ｌ３・・・を介して出射する際に、直
線格子１３・１３・・・により直線格子ｌ３・１３・・
・と平行な方向の電界成分を有するＸ方向の偏光成分と
、直線格子ｌ３・１３・・・と直交ずる方向の電界威分
を有するＹ方向の偏光成分との間に所定の位相差が与え
られる。ここでは、Ｘ方向の偏光成分の位相がＹ方向の
偏光成分の位相より進む関係となる。これにより、例え
ば、第１０図（ａ）に示す直線偏光Ｐ１を同図（ｂ）に
示す円偏光又は楕円偏光Ｐ２に変換することができる。In the above structure, when the light incident on the phase control element 11 is outputted through the linear gratings 13, l3, . . .
A predetermined phase difference is given between the polarized light component in the X direction, which has an electric field component in a direction parallel to It will be done. Here, the phase of the polarized light component in the X direction leads the phase of the polarized light component in the Y direction. Thereby, for example, linearly polarized light P1 shown in FIG. 10(a) can be converted into circularly polarized light or elliptically polarized light P2 shown in FIG. 10(b).
第３図に直線格子１３・１３・・・の格子間隔Ａを０．
４６μｍ、隣接する直線格子１３・ｌ３間の凸部の幅Ａ
１を０．２３μｍ，基板１２の屈折率ｎをｎ＝１．５、
対象とする光の波長を０．７８μｍとした場合に得られ
る位相差を数値計算により求めた結果を示す。同図から
明らかなように、直線格子１３の深さｔ＝２．４μｍに
設定すれば、Ｘ方向の偏光威分とＹ方向の偏光威分の位
相差を９０゜とすることができ、これにより、例えば、
直線偏光を円又は楕円変更に変換することができる。な
お、位相制御素子Ｉ１への光の入射角は０゜ （垂直入
射）とした。In Fig. 3, the lattice spacing A of the linear gratings 13, 13... is 0.
46 μm, width A of the convex portion between adjacent linear gratings 13 and l3
1 is 0.23 μm, the refractive index n of the substrate 12 is n=1.5,
The results of numerical calculation of the phase difference obtained when the wavelength of the target light is 0.78 μm are shown. As is clear from the figure, if the depth t of the linear grating 13 is set to 2.4 μm, the phase difference between the polarization power in the X direction and the polarization power in the Y direction can be set to 90°. For example,
Linearly polarized light can be converted to circular or elliptical modification. Note that the angle of incidence of light on the phase control element I1 was 0° (vertical incidence).
なお、上記の位相差は各パラメータの組合せにより変化
させることができるが、以上では直線格子１３の深−さ
しにより位相差を調整する場合を説明した。Although the above phase difference can be changed by a combination of parameters, the case where the phase difference is adjusted by the depth of the linear grating 13 has been described above.
第４図に位相差制御素子１１から出射されるＸ方向の偏
光成分の透過率を曲線Ｉで示し、Ｙ方向の偏光成分の透
過率を曲線■で示す。同図から明らかなように、透過率
は少なくとも９６％となる。In FIG. 4, the transmittance of the polarized light component in the X direction emitted from the phase difference control element 11 is shown by a curve I, and the transmittance of the polarized light component in the Y direction is shown by a curve ■. As is clear from the figure, the transmittance is at least 96%.
〔実施例２〕 次に、第２実施例を説明する。[Example 2] Next, a second embodiment will be explained.
第２実施例は反射防止素子に関するものである。第６図
に示すように、光学素子としての反射防止素子１４は表
面での反射の防止を図りたい光学部材１５と一体に設け
られている。この場合、光学部材１５自体が基材を威し
、この光学部材１５の表面部に、χ方向に延びる直線格
子１６・■６・・・が形成されている。第５図に示すよ
うに、直線格子１６・１６・・・ば、例えば、第１実施
例の直線格子１３・１３・・・と同様、矩形状の断面を
有する溝により構成される。The second embodiment relates to an antireflection element. As shown in FIG. 6, an antireflection element 14 as an optical element is provided integrally with an optical member 15 whose surface is intended to prevent reflection. In this case, the optical member 15 itself attacks the base material, and on the surface of the optical member 15, linear gratings 16, 6, . . . extending in the χ direction are formed. As shown in FIG. 5, the linear gratings 16, 16, .
上記の構或によれば、光学部利１５から直線格子１６・
１６・・・を介して出射しようとする光は、直線格子１
６・１６・・・により反射を抑制され、大部分が光学部
材１５を透過して出射するようになる。According to the above structure, the linear grating 16 and
16... The light that is going to be emitted through the linear grating 1
6, 16, etc., reflection is suppressed, and most of the light passes through the optical member 15 and is emitted.
ここで、上記の第１実施例と同様に、直線格子１６・１
６・・・の格子間隔Ａを０．４６μｍ、隣接する直線格
子ｌ６・１６間の凸部の幅Ａ，を０．２３μｍ、光学部
材１５の屈折率ｎ＝１．５、対象とする光の波長λを０
．７８μｍとすれば、χ方向の偏光成分の透過率は第４
図中曲線Ｉの如くになり、Ｙ方向の偏光成分の透過串は
同図中曲線■の如くになる。Here, as in the first embodiment, the linear grating 16.1
The grating interval A of 6... is 0.46 μm, the width A of the convex portion between adjacent linear gratings l6 and 16 is 0.23 μm, the refractive index n of the optical member 15 is 1.5, and the target light wavelength λ to 0
．． If it is 78 μm, the transmittance of the polarized light component in the χ direction is the fourth
The curve I shows in the figure, and the transmission of the polarized light component in the Y direction becomes the curve II in the figure.
同図から明らかなように、直線格子１６・ｌ６の深さＬ
を０，１５μｍとすれば、Ｘ方向の偏光成分の透過率は
ほぼ９９％、Ｙ方向の偏光成分の透過率は９９％以上と
なる。又、直線格子１６・１６・・・の深さｔを０．１
８μｍとすれば、Ｙ方向の偏光威分の透過率はほぼ１０
０％となる。なお、本実施例による反射防止を行わない
場合の透過率は９６％程度であるので、本実施例の直線
格子１６・１６・・・は反射防止対策として充分な効果
を有するものである。又、直線格子１６・ｌ６・・・の
深さｔ＠０．１５〜０．１８μｍに設定した時のＸ方向
とＹ方向の各偏光成分間の位相差は高々５゜程度であり
、充分に小さい。As is clear from the figure, the depth L of the linear gratings 16 and l6
If it is 0.15 μm, the transmittance of the polarized light component in the X direction is approximately 99%, and the transmittance of the polarized light component in the Y direction is 99% or more. Also, the depth t of the linear gratings 16, 16... is 0.1
If it is 8 μm, the transmittance of polarized light in the Y direction is approximately 10
It becomes 0%. Incidentally, since the transmittance without antireflection according to this embodiment is about 96%, the linear gratings 16, 16, . . . of this embodiment have a sufficient effect as an antireflection measure. Furthermore, when the depth t of the linear gratings 16, l6, etc. is set to 0.15 to 0.18 μm, the phase difference between each polarization component in the X direction and the Y direction is about 5° at most, which is sufficient. small.
上記第２実施例では、反射防止素子１４を光学部材１５
と一体に設けたが、反射防止素子１４は光学部材１５と
別個に構威し、光学部材１５に接合するようにしても良
い。In the second embodiment, the antireflection element 14 is attached to the optical member 15.
Although the antireflection element 14 is provided integrally with the optical member 15, the antireflection element 14 may be constructed separately from the optical member 15 and may be joined to the optical member 15.
なお、上記の各実施例では、直線格子１３・１３・・・
又は１６・１６・・・の断面形状を矩形状としたが、そ
れ以外に、例えば、正弦波状とすることもできる。In addition, in each of the above embodiments, the linear gratings 13, 13...
Alternatively, the cross-sectional shape of 16, 16, etc. is rectangular, but it can also be, for example, sinusoidal.
ｌ２
本発明に係る光学素子は、以上のように、基本的には、
透光性を有する基材に格子間隔が対象となる光の波長程
度である直線格子が形成されてなる構戒である。l2 As described above, the optical element according to the present invention basically has the following features:
This is a structure in which a linear grating whose lattice spacing is approximately the wavelength of the target light is formed on a translucent base material.
これにより、高価で、かつ、加工の困難な結晶体等を使
用しないでも、透光性の基材の表面部に直線格子を設け
るのみで、位相差制御機能等を有する光学素子を簡単、
安価に構或することができる。As a result, without using expensive and difficult-to-process crystals, it is possible to easily create optical elements with phase difference control functions by simply providing a linear grating on the surface of a translucent base material.
It can be constructed at low cost.
この光学素子は、例えば、位相差制御素子として使用す
ることができる。その場合、光学素子の直線格子の部分
で、この直線格子の方向と平行な方向の偏光威分と直線
格子の方向と直交する方向の偏光成分との相対的位相差
が制御される。This optical element can be used, for example, as a phase difference control element. In this case, the relative phase difference between the polarization component in the direction parallel to the direction of the linear grating and the polarization component in the direction perpendicular to the direction of the linear grating is controlled in the linear grating portion of the optical element.
又、上記の光学素子は反射防止素子とすることもできる
。その場合、反射を防止したい光学部材自体に上記の直
線格子を形成し、本反射防止素子を光学部材と一体に設
けることも可能であり、このように反射防止素子を反Ω
Ｊを防止したい光学部祠と一体化することにより、構造
の簡素化及び作戒作業の容易化を図ることができる。Furthermore, the above optical element can also be an antireflection element. In that case, it is also possible to form the above-mentioned linear grating on the optical member itself to prevent reflection and provide the present anti-reflection element integrally with the optical member.
By integrating it with the optical part shrine that is desired to prevent J, the structure can be simplified and the discipline work can be made easier.
又、本発明の光学素子を反射防止素子として利用すれば
、反射防止用の直線格子を設けるのみであるから、いか
なる屈折率を有する基材にも対応でき、従来の如く、誘
電体を使用する必要もなく、かつ、適切な屈折率を有す
る誘電体物質を選択したり、そのような誘電体物質が存
在しない場合に複数の誘電体物質からなる多層の反射防
止膜を形成する等の煩雑さをなくすことができるもので
ある。Furthermore, if the optical element of the present invention is used as an anti-reflection element, since only a linear grating for anti-reflection is provided, it can be used with a base material having any refractive index, and instead of using a dielectric material as in the past. It is unnecessary and complicated to select a dielectric material with an appropriate refractive index, or to form a multilayer anti-reflection film made of multiple dielectric materials when such a dielectric material does not exist. can be eliminated.
第ｌ図乃至第４図は本発明の一実施例を示すものである
。
第１図は直線格子部を示す部分断面図である。
第２図は位相制御素子としての光学素子を示す斜視図で
ある。
第３図は直線格子の深さと位相差との関係を示すグラフ
である。
第４図は直線格子の深さと光の透過率との関係を示すグ
ラフである。
第５図及び第６図は第２実施例を示すものである。
第５図は直線格子部を示す部分断面図である。
第６図は反射防止素子としての直線格子を備えた光学部
材の斜視図である。
第７図乃至第１１図は従来例を示すものである。
第７図は位相差制御素子の斜視図である。
第８図は直線偏光における各偏光威分の位相を示すタイ
ムチャートである。
第９図は円又は楕円偏光における各偏光成分の位相を示
すタイムヂャートである。
第１０図（ａ）（ｂ）はそれぞれ直線偏光及び円又は楕
円偏光を模式的に示す説明図である。
第１１図は反射防止膜を設けた光学部材を示す説明図で
ある。
１ｌは位相差制御素子、１２は基板（基材）、１３・１
６は直線格子、１４は反射防止素子、１５は光学部材（
基材を兼用）である。
ｌ５
−１５
第１０
図（ａ）
第１０
図
（ｂ）
Ｙ
第１１
図FIGS. 1 to 4 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a linear lattice section. FIG. 2 is a perspective view showing an optical element as a phase control element. FIG. 3 is a graph showing the relationship between the depth of the linear grating and the phase difference. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the depth of the linear grating and the light transmittance. FIGS. 5 and 6 show a second embodiment. FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing the linear lattice section. FIG. 6 is a perspective view of an optical member equipped with a linear grating as an antireflection element. 7 to 11 show conventional examples. FIG. 7 is a perspective view of the phase difference control element. FIG. 8 is a time chart showing the phase of each polarization component in linearly polarized light. FIG. 9 is a time chart showing the phase of each polarization component in circularly or elliptically polarized light. FIGS. 10(a) and 10(b) are explanatory diagrams schematically showing linearly polarized light and circularly or elliptically polarized light, respectively. FIG. 11 is an explanatory diagram showing an optical member provided with an antireflection film. 1l is a phase difference control element, 12 is a substrate (base material), 13.1
6 is a linear grating, 14 is an antireflection element, and 15 is an optical member (
(also serves as a base material). l5 -15 Figure 10 (a) Figure 10 (b) Y Figure 11
Claims (1)
長程度である直線格子が形成されてなることを特徴とす
る光学素子。 ２、基材の屈折率がｎ、対象となる光の波長がλ、上記
直線格子の格子間隔がＡの時、Ａ≦λ／ｎであることを
特徴とする請求項第１項に記載の光学素子。 ３、上記直線格子が凹凸の断面形状を有することを特徴
とする請求項第１項に記載の光学素子。 ４、上記直線格子の断面形状が矩形状又は正弦波状であ
ることを特徴とする請求項第３項に記載の光学素子。 ５、上記光学素子は上記直線格子の方向と平行な方向の
偏光成分と上記直線格子の方向に直交する方向の偏光成
分の相対的位相差を制御する位相差制御素子であること
を特徴とする請求項第１項乃至第４項のいずれかに記載
の光学素子。 ６、上記基材がガラス又は透光性を有するプラスチック
からなることを特徴とする請求項第５項に記載の光学素
子。 ７、上記光学素子が光学部材の表面に形成される反射防
止素子であることを特徴とする請求項第１項乃至第４項
のいずれかに記載の光学素子。[Scope of Claims] 1. An optical element characterized in that a linear grating having a grating interval approximately equal to the wavelength of target light is formed on a light-transmitting base material. 2. When the refractive index of the base material is n, the wavelength of the target light is λ, and the lattice spacing of the linear grating is A, A≦λ/n, according to claim 1. optical element. 3. The optical element according to claim 1, wherein the linear grating has an uneven cross-sectional shape. 4. The optical element according to claim 3, wherein the cross-sectional shape of the linear grating is rectangular or sinusoidal. 5. The optical element is a phase difference control element that controls a relative phase difference between a polarization component in a direction parallel to the direction of the linear grating and a polarization component in a direction perpendicular to the direction of the linear grating. The optical element according to any one of claims 1 to 4. 6. The optical element according to claim 5, wherein the base material is made of glass or translucent plastic. 7. The optical element according to any one of claims 1 to 4, wherein the optical element is an antireflection element formed on the surface of an optical member.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1234204A JPH0396902A (en) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | Optical element |
| US07/500,292 US5085496A (en) | 1989-03-31 | 1990-03-28 | Optical element and optical pickup device comprising it |
| DE69033972T DE69033972T2 (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Optical component and optical playback device provided with it. |
| CA002013538A CA2013538C (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Optical element and optical pickup device comprising it |
| EP97111248A EP0803868B1 (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Optical element and optical pickup device comprising the same |
| DE69032301T DE69032301T2 (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Optical element and optical scanning device containing the same |
| KR1019900004358A KR0144569B1 (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Optical elements and optical pick-up device comprising it |
| EP90303482A EP0390610B1 (en) | 1989-03-31 | 1990-03-30 | Optical element and optical pickup device comprising the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1234204A JPH0396902A (en) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | Optical element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0396902A true JPH0396902A (en) | 1991-04-22 |
Family
ID=16967325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1234204A Pending JPH0396902A (en) | 1989-03-31 | 1989-09-08 | Optical element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0396902A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170902A (en) * | 1986-01-22 | 1987-07-28 | Nec Corp | Wavelength plate |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP1234204A patent/JPH0396902A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170902A (en) * | 1986-01-22 | 1987-07-28 | Nec Corp | Wavelength plate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60015289T2 (en) | Phase shifter and optical head equipped therewith | |
| JP2703930B2 (en) | Birefringent diffraction grating polarizer | |
| US5029988A (en) | Birefringence diffraction grating type polarizer | |
| US5748368A (en) | Polarization optical element | |
| US6665119B1 (en) | Wire grid polarizer | |
| US7075722B2 (en) | Diffractive optical element and optical system having the same | |
| JP2000304933A (en) | Polarizing filter and its manufacture | |
| JP2001051122A (en) | Double refraction periodic structure, phase plate, diffraction grating type polarizing beam splitter and their manufacture | |
| JP2001242314A (en) | Optical reflection grating, spectrophotometer using the same and method of finding optical reflection grating with high diffraction efficiency | |
| JP2995985B2 (en) | Depolarizing plate | |
| JP2000137109A (en) | Reflection preventive device using diffraction grating | |
| JPH0396902A (en) | Optical element | |
| JP4178583B2 (en) | Anti-reflection coating | |
| US10795174B1 (en) | Flat-top narrow bandpass filters based on cascaded resonant gratings | |
| JPH028802A (en) | Polarizing element | |
| JPH0225803A (en) | Polarized beam splitter | |
| JPH02205802A (en) | Polarizing element | |
| JPH06258534A (en) | Optical device | |
| US7173759B2 (en) | Monochromator mirror for the EUV-spectral range | |
| JP2009300689A (en) | Wavelength selection filter and optical equipment | |
| JP2004070299A (en) | Polarization conversion element and manufacturing method therefor | |
| JPH05281897A (en) | Holographic filter and its formation | |
| JPS5986010A (en) | Light splitter | |
| WO2017195810A1 (en) | Phase difference element, phase difference element manufacturing method, and optical member | |
| JPH0643305A (en) | Optical coupler film |