JPH0394822A - 低沸点液体のフィルタ装置 - Google Patents
低沸点液体のフィルタ装置Info
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- JPH0394822A JPH0394822A JP23221489A JP23221489A JPH0394822A JP H0394822 A JPH0394822 A JP H0394822A JP 23221489 A JP23221489 A JP 23221489A JP 23221489 A JP23221489 A JP 23221489A JP H0394822 A JPH0394822 A JP H0394822A
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- filter
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- Pending
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、高清浄度が必要とされる低沸点液体を炉過
するための低沸点液体のフィルタ装置に間するものであ
る． 〔従来の技術〕 従来、常温より沸点の低い、窒素、アルゴン、ヘリウム
、水素、二酸化炭素等の低沸点液体をフィルタリングす
る場合、低沸点液体の配管が主にステンレスや銅等の金
属配管を使用しているために、第３図に示すように、金
属製（主にステンレス鋼製）のメッシュ状フィルタや焼
結状フィルタ（６）を通過させていた．また、第４図に
示すように、樹脂製フィルタ（７〉の場合、主にフィル
タ出口側のフィルタサポート（９）に設けられたＯリン
グ（８〉によって固定され、フィルタハウジング（１０
）内部でのフィルタ入口側へのリークを防いでいる． 〔発明が解決しようとする課題〕 以上のような従来の低沸点液体のフィルタ装置は、金属
製のメッシュ状フィルタや焼結鋼状フィルタでは、比較
的大粒径の異物のみしか除去できないという問題点があ
った． また、樹脂製フィルタを使用すると０．１μ輪レベルの
ダストが除去できるが、金属製配管と樹脂製フィルタを
接続した場合、従来のフィルタ形状では、金属部分と樹
脂製フィルタの膨張率の差によって、低沸点液体を通過
させた場合、低温のため樹脂製フィルタが収縮し、フィ
ルタでの内部リークが発生し、フィルタ出口側にダスト
が流出する問題があった． この発明は上記のような！？Ｆ！題点を解消するために
なされたもので、樹脂製のフィルタを低沸点液体に使用
したときに、フィルタ出目側にダストがリークすること
が無い低沸点液体のフィルタ装置を得るこヒを目的とす
る． Ｃ課題を解決するための手段〕 この発明に係る低沸点液体のフィルタ装置は、樹脂製フ
ィルタの出口側に流体の進行方向と垂直に樹脂製のツバ
部を溶着または一体成形し、、このツバ部がブイルタハ
ヴジングのフランジのパッキンとして圓定されている． 〔作 用〕 この発明においては、フランジハウジングのパッキンに
樹脂製フィルタの一部を使用し氾ことにより、フィルタ
の流体入日側と出目側が断絶され，超低温になってもハ
ウジング向部で内部リークがない． 〔実施例〕 以ｒ、この発明の−・実施例を第１図、第２図について
説明Ｊる．図において、フィルタ炉過脱（１）より低沸
点液体出１１側に、フィルタハウジング（２）のフラン
ジ（３〉に樹脂製のツバ部（４〉が挟持されている．こ
のツバ部（４）は、フィルタ炉過膜（ １．）を支持す
る円筒状樹脂製のフィルタサポート（５）に溶着あるい
はフィルタサポート（５》 と一体或形されており、フ
ィルタハウジング（２）のフランジ（３）と同一寸法で
ボルト通し穴（４ａ）があけられている．このフランジ
サポート（５）とツバ部（４）は同一材料より作られ、
ツバ部（４）はフィルタハウジング（２）のフランジ（
３）のパッキンとして機能している． また、低沸点液体の入口側圧力が高い場合は、フィルタ
ハウジング（２〉の内周・ｆ法と、フィルタサポート（
５）およびフィルタ炉過膜（】）の外周・１゛法との差
をできるだけ小さくするか、あるいはフィルタハウジン
グ（２）より内開ヘサボー｝（２ａ）を突出形成してお
く．また、フィルタハウジング（２）は金属製（例えば
】８−８ステンレス鋼〉を使用し、フィルタ炉過膜（１
）およびフィルタサボ− ｌ− （５）は流体の温度に
よって劣化や破壊が起こらない材質を選定する８ 以．Ｌの槽或により、フィルタの流体入口劇と出口測が
ツバ部で断絶され、低沸点液体はフィルタ炉過膜の入日
側から出目側へ内部リークすることなく流れる． 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、フィルタサポートに
ツバ部を形或してフィルタハウジングのフランジのパッ
キンとして機能するようにしたので、低温でもフィルタ
内部のリークのないフィルタリングが可能となる．また
、樹脂製フィルタ炉過膜を使用することができるので、
０．１μ−レベルのダスト除去が可能となる．
するための低沸点液体のフィルタ装置に間するものであ
る． 〔従来の技術〕 従来、常温より沸点の低い、窒素、アルゴン、ヘリウム
、水素、二酸化炭素等の低沸点液体をフィルタリングす
る場合、低沸点液体の配管が主にステンレスや銅等の金
属配管を使用しているために、第３図に示すように、金
属製（主にステンレス鋼製）のメッシュ状フィルタや焼
結状フィルタ（６）を通過させていた．また、第４図に
示すように、樹脂製フィルタ（７〉の場合、主にフィル
タ出口側のフィルタサポート（９）に設けられたＯリン
グ（８〉によって固定され、フィルタハウジング（１０
）内部でのフィルタ入口側へのリークを防いでいる． 〔発明が解決しようとする課題〕 以上のような従来の低沸点液体のフィルタ装置は、金属
製のメッシュ状フィルタや焼結鋼状フィルタでは、比較
的大粒径の異物のみしか除去できないという問題点があ
った． また、樹脂製フィルタを使用すると０．１μ輪レベルの
ダストが除去できるが、金属製配管と樹脂製フィルタを
接続した場合、従来のフィルタ形状では、金属部分と樹
脂製フィルタの膨張率の差によって、低沸点液体を通過
させた場合、低温のため樹脂製フィルタが収縮し、フィ
ルタでの内部リークが発生し、フィルタ出口側にダスト
が流出する問題があった． この発明は上記のような！？Ｆ！題点を解消するために
なされたもので、樹脂製のフィルタを低沸点液体に使用
したときに、フィルタ出目側にダストがリークすること
が無い低沸点液体のフィルタ装置を得るこヒを目的とす
る． Ｃ課題を解決するための手段〕 この発明に係る低沸点液体のフィルタ装置は、樹脂製フ
ィルタの出口側に流体の進行方向と垂直に樹脂製のツバ
部を溶着または一体成形し、、このツバ部がブイルタハ
ヴジングのフランジのパッキンとして圓定されている． 〔作 用〕 この発明においては、フランジハウジングのパッキンに
樹脂製フィルタの一部を使用し氾ことにより、フィルタ
の流体入日側と出目側が断絶され，超低温になってもハ
ウジング向部で内部リークがない． 〔実施例〕 以ｒ、この発明の−・実施例を第１図、第２図について
説明Ｊる．図において、フィルタ炉過脱（１）より低沸
点液体出１１側に、フィルタハウジング（２）のフラン
ジ（３〉に樹脂製のツバ部（４〉が挟持されている．こ
のツバ部（４）は、フィルタ炉過膜（ １．）を支持す
る円筒状樹脂製のフィルタサポート（５）に溶着あるい
はフィルタサポート（５》 と一体或形されており、フ
ィルタハウジング（２）のフランジ（３）と同一寸法で
ボルト通し穴（４ａ）があけられている．このフランジ
サポート（５）とツバ部（４）は同一材料より作られ、
ツバ部（４）はフィルタハウジング（２）のフランジ（
３）のパッキンとして機能している． また、低沸点液体の入口側圧力が高い場合は、フィルタ
ハウジング（２〉の内周・ｆ法と、フィルタサポート（
５）およびフィルタ炉過膜（】）の外周・１゛法との差
をできるだけ小さくするか、あるいはフィルタハウジン
グ（２）より内開ヘサボー｝（２ａ）を突出形成してお
く．また、フィルタハウジング（２）は金属製（例えば
】８−８ステンレス鋼〉を使用し、フィルタ炉過膜（１
）およびフィルタサボ− ｌ− （５）は流体の温度に
よって劣化や破壊が起こらない材質を選定する８ 以．Ｌの槽或により、フィルタの流体入口劇と出口測が
ツバ部で断絶され、低沸点液体はフィルタ炉過膜の入日
側から出目側へ内部リークすることなく流れる． 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、フィルタサポートに
ツバ部を形或してフィルタハウジングのフランジのパッ
キンとして機能するようにしたので、低温でもフィルタ
内部のリークのないフィルタリングが可能となる．また
、樹脂製フィルタ炉過膜を使用することができるので、
０．１μ−レベルのダスト除去が可能となる．
第１図はこの発明の一実施例の縦断面図、第２図は第１
図の一部斜視図、第３図は金属フィルタでなる従来の低
沸点液体のフィルタ装置の側断面図、第４図は樹脂製フ
ィルタでなる従来の低沸点液体のフィルタ装置の（ａ）
斜視図と（ｂ） Ｉ断面図である． （１〉 ・・フィルタ炉過膜、（２）・・フィルタハ
ウジング，（３〉 ・・フランジ、（４）・・ツバ部
、（５）・・フィルタサポート。 なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す．
図の一部斜視図、第３図は金属フィルタでなる従来の低
沸点液体のフィルタ装置の側断面図、第４図は樹脂製フ
ィルタでなる従来の低沸点液体のフィルタ装置の（ａ）
斜視図と（ｂ） Ｉ断面図である． （１〉 ・・フィルタ炉過膜、（２）・・フィルタハ
ウジング，（３〉 ・・フランジ、（４）・・ツバ部
、（５）・・フィルタサポート。 なお、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す．
Claims (1)
- 低沸点液体の入口側と出口側の間にフランジが形成され
ているフィルタハウジングと、フィルタ炉過膜を支持し
て前記フィルタハウジングに収納される樹脂製のフィル
タサポートと一体に形成され前記フランジにより挟持さ
れているツバ部とを備えてなる低沸点液体のフィルタ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23221489A JPH0394822A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 低沸点液体のフィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23221489A JPH0394822A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 低沸点液体のフィルタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0394822A true JPH0394822A (ja) | 1991-04-19 |
Family
ID=16935774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23221489A Pending JPH0394822A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 低沸点液体のフィルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0394822A (ja) |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP23221489A patent/JPH0394822A/ja active Pending
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