JPH039117A - Control circuit - Google Patents

Control circuit

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JPH039117A
JPH039117A JP14270689A JP14270689A JPH039117A JP H039117 A JPH039117 A JP H039117A JP 14270689 A JP14270689 A JP 14270689A JP 14270689 A JP14270689 A JP 14270689A JP H039117 A JPH039117 A JP H039117A
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JP
Japan
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compensation
unbalanced
rotor
displacement
command signal
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JP14270689A
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Japanese (ja)
Inventor
Takumi Yoshida
巧 吉田
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Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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Publication of JPH039117A publication Critical patent/JPH039117A/en
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

PURPOSE:To allow the effective performance of unbalanced rigidity compensation by having an unbalanced rigidity compensation means, which outputs the quantity of compensation required to cancel unbalanced rigidity, output the greater quantity of compensation all times than the quantity of unbalanced rigidity which is actually caused, in accordance with the output of displacement sensors. CONSTITUTION:An unbalanced rigidity compensator 11 outputs the quantity of compensation SC1 required to cancel unbalanced rigidity due to magnetic suction force (F) in accordance with the output signals of displacement sensor S1, S2. The quantity of compensation SC1 has the d.c. element removed by a d.c. removal circuit 12 and the variation element (the ripple element) only supplied to an add point 10 where it is added to a force instruction signal (Sf). The unbalanced rigidity compensator 11 is adapted to output the greater quantity of compensation SC1 all times than the quantity of unbalanced rigidity which is actually caused, within the range of the displacement x=+x1 to -x1 of a rotor 2. In this way, the unbalanced rigidity outputs the greater quantity of compensation than the quantity of unbalanced rigidity which is actually caused, and so it is possible to obtain a sufficient quantity of compensation all times even if the displacement sensor has incomplete offset and gain adjustment.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、宇宙関連機器や高速回転機器等に適用され
、回転体を非接触で磁気的に支持する磁気軸受の制御回
路に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] "Field of Industrial Application" This invention is applied to space-related equipment, high-speed rotating equipment, etc., and relates to a control circuit for a magnetic bearing that magnetically supports a rotating body in a non-contact manner. .

「従来の技術」 磁気軸受は、磁気吸引力や反発力を利用して、回転体を
非接触で回転自在に支持するもので、低摩擦、低振動、
低騒音等の特徴があり、また超高速回転や、真空中での
使用が可能であるため、人工衛星の姿勢制御用リアクシ
ョンホイールや、真空槽内の気体を排出する真空ポンプ
などに使用されている。
"Conventional technology" Magnetic bearings use magnetic attraction and repulsion to support rotating bodies in a non-contact manner, allowing them to rotate freely, with low friction, low vibration, and
It has features such as low noise, can rotate at ultra-high speed, and can be used in a vacuum, so it is used in reaction wheels for attitude control of artificial satellites and vacuum pumps to exhaust gas from vacuum chambers. There is.

第3図は、この種の磁気軸受の一部の構造を示す斜視図
である。この図において、1は回転自在なシャフト、2
はシャフト1の一端部の外周に固着された円筒状のロー
タであり、軟鉄積層板によって構成されている。M、−
M、はロータ2の外周面と空隙を隔てて対向する4個の
電磁石であり、図に示すX軸方向に配置された電磁石M
、とM、が互いに対をなし、また、X軸と直交するX軸
方向に配置された電磁石M3とM、が互いに対をなして
ステータの内周部に強固に固定されている。S、−S。
FIG. 3 is a perspective view showing the structure of a part of this type of magnetic bearing. In this figure, 1 is a rotatable shaft, 2
is a cylindrical rotor fixed to the outer periphery of one end of the shaft 1, and is made of laminated soft iron plates. M,-
M, are four electromagnets facing the outer circumferential surface of the rotor 2 across a gap, and the electromagnets M are arranged in the X-axis direction shown in the figure.
, and M form a pair, and electromagnets M3 and M, which are arranged in the X-axis direction perpendicular to the X-axis, form a pair and are firmly fixed to the inner circumference of the stator. S, -S.

はシャフトIの外周面と空隙を隔てて対向し、シャフト
!、および、これに伴うロータ2のラジアル方向(径方
向)の変位を検出する変位センサ(例えば、渦電流式の
非接触変位センサ)であり、電磁石M、〜M4と同様の
位置関係でステータの内周部に固定されている。
is opposed to the outer peripheral surface of shaft I across a gap, and shaft! , and a displacement sensor (for example, an eddy current non-contact displacement sensor) that detects the displacement of the rotor 2 in the radial direction. Fixed to the inner circumference.

そして、互いに対をなす電磁石M、とM、の各コイルC
1とC1に各々励磁電流を供給し、ロータ2ヲx軸の正
もしくは負の方向へ吸引すると共に、電磁石M3とM4
の各コイルC3と04に各々励磁電流を供給し、ロータ
2をy軸の正もしくは負の方向へ吸引することによって
、ロータ2を平衡位置に保持し、非接触浮上させるよう
になっている。
Each coil C of the electromagnets M and M, which form a pair with each other,
1 and C1 respectively to attract the rotor 2 in the positive or negative direction of the x-axis, and the electromagnets M3 and M4
By supplying an excitation current to each of the coils C3 and C04 and attracting the rotor 2 in the positive or negative direction of the y-axis, the rotor 2 is held in an equilibrium position and floated in a non-contact manner.

さらに、図示は省略するが、第3図と同様のラジアル方
向の磁気軸受が、シャフト1の他端部に設けられ、また
シャフトIの中央部にスラスト方向(X軸方向)の磁気
軸受が設けられ、合計5軸の磁気吸引力が制御されて、
シャフトl全体が非接触で回転自在に支持される。
Furthermore, although not shown, a radial magnetic bearing similar to that shown in FIG. 3 is provided at the other end of the shaft 1, and a thrust direction (X-axis direction) magnetic bearing is provided at the center of the shaft I. The magnetic attraction force of a total of 5 axes is controlled,
The entire shaft l is rotatably supported without contact.

ここで、第4図を参照し、上述した磁気軸受の制御回路
について、特に、X軸方向の磁気吸引力を制御する制御
回路の構成について説明する。この図において、5は変
位センサS、とS、の出力信号の差に基づいて、ロータ
2のX軸方向に関する平衡位置からの変位量を検出し、
この変位量に応じた力指令信号Sfを出力する力指令信
号発生器であり、出力された力指令信号Sfは加算点I
Oを介して電流指令信号発生器6へ供給される。この電
流指令信号発生器6は、供給された力指令信号Sfに基
づいて、電磁石M、とM、の各コイルCとCtに各々供
給すべき励磁電流の値を決定し、これらの値に対応した
電流指令信号SiaおよびSibを電流制御回路7aお
よび7bに各々供給する。電流制御回路7aおよび7b
は、電流指令信号SiaおよびSibに基づいて、電磁
石M1およびM、の各コイルCIおよびC3に各々供給
する励磁電流1aおよびIbを制御するものであり、電
流検出器8aおよび8bで検出された信号が各々フィー
ドバックされて、励磁電流1aおよびrbの補償がなさ
れるようになっている。
Here, with reference to FIG. 4, a description will be given of the control circuit for the magnetic bearing described above, particularly the configuration of the control circuit that controls the magnetic attraction force in the X-axis direction. In this figure, 5 detects the amount of displacement of the rotor 2 from the equilibrium position in the X-axis direction based on the difference between the output signals of displacement sensors S and S,
This is a force command signal generator that outputs a force command signal Sf according to the amount of displacement, and the output force command signal Sf is at the addition point I
It is supplied to the current command signal generator 6 via O. This current command signal generator 6 determines the values of excitation currents to be supplied to the coils C and Ct of the electromagnets M and M, respectively, based on the supplied force command signal Sf, and generates signals corresponding to these values. The current command signals Sia and Sib are supplied to current control circuits 7a and 7b, respectively. Current control circuits 7a and 7b
control the excitation currents 1a and Ib supplied to the coils CI and C3 of the electromagnets M1 and M, respectively, based on the current command signals Sia and Sib, and the signals detected by the current detectors 8a and 8b are fed back to compensate for the excitation currents 1a and rb.

そして、例えば、ロータ2が平衡位置からX軸の負の方
向へ変位すると、その変位量に応じて力指令信号Sfが
変化し、これにより電流制御回路7aおよび7bからコ
イルCIおよびC3に各々供給される励磁電流1aおよ
びIbが変化して、ロータ2にX軸の正の方向への磁気
吸引力Fが作用し、この結果、ロータ2が平衡位置に引
き戻される。
For example, when the rotor 2 is displaced from the equilibrium position in the negative direction of the The excitation currents 1a and Ib change, and a magnetic attraction force F acts on the rotor 2 in the positive direction of the X-axis, and as a result, the rotor 2 is pulled back to the equilibrium position.

また、9は変位センサS1とS、の出力信号に基づいて
、磁気吸引力Fによる不平衡剛性を打ち消すために必要
な補償量Scを出力する不平衡剛性補償器であり、この
不平衡剛性補償器9から出力された補償量Scは、加算
点IOにおいて力指令信号Srに加算される。
Further, 9 is an unbalanced stiffness compensator that outputs a compensation amount Sc necessary for canceling the unbalanced stiffness caused by the magnetic attraction force F based on the output signals of the displacement sensors S1 and S, and this unbalanced stiffness compensation The compensation amount Sc output from the device 9 is added to the force command signal Sr at the addition point IO.

ここで、不平衡剛性について説明する。ロータ2と電磁
石M、、M、が第2図(ロ)に示すような位置関係にお
いて、電磁石M、とM、の各コイルO1とC1に同じ値
の励磁電流を供給し、ロータ2をX軸の正および負の方
向へ吸引した場合、ロータ2に作用する磁気吸引力Fは
第2図(ハ)に曲線Aで示すように変化する。すなわち
、ロータ2が平衡位置(x=O)で静止している場合に
おいては、ロータ2に作用する磁気吸引力F=Oである
が、この状態からロータ2が少しでもX軸の正もしくは
負の方向へ移動すると、電磁石M、もしくはMlによる
磁気吸引力Fが強まり、ロータ2はX軸の正もしくは負
の方向へ急激に移動し始める。このように、ロータ2が
平衡位置からずれたときに、そのずれを助長する方向に
働く現象が不平衡剛性と呼ばれる。そして、変位センサ
S1とS、で得られた位置情報に基づく位置制御ループ
のみでは、上述した不平衡剛性に有効に対処することが
できず、このため不平衡剛性補償が必要となる。この場
合、不平衡剛性を打ち消すためには、第2図(ハ)に示
すように、変位X=+XI〜−x+(磁気吸引力F=+
F、〜−p+)の範囲内において、曲線AとX軸に関し
て略対称な直線Bに対応する補償値Scを力指令信号S
rに加算すればよい。
Here, unbalanced stiffness will be explained. When the rotor 2 and the electromagnets M, , M are in a positional relationship as shown in FIG. When attracted in the positive and negative directions of the axis, the magnetic attraction force F acting on the rotor 2 changes as shown by curve A in FIG. 2(c). In other words, when the rotor 2 is stationary at the equilibrium position (x=O), the magnetic attraction force F=O acts on the rotor 2, but from this state the rotor 2 moves even slightly toward the positive or negative X axis. When the rotor 2 moves in the direction, the magnetic attraction force F by the electromagnet M or Ml becomes stronger, and the rotor 2 starts to rapidly move in the positive or negative direction of the X axis. In this way, when the rotor 2 deviates from the equilibrium position, a phenomenon that acts in a direction that promotes the deviation is called unbalanced stiffness. Further, the position control loop based on the position information obtained by the displacement sensors S1 and S cannot effectively deal with the above-mentioned unbalanced stiffness, and therefore unbalanced stiffness compensation is required. In this case, in order to cancel the unbalanced stiffness, the displacement X = +XI ~ -x+ (magnetic attraction force F = +
F, ~-p+), the force command signal S
Just add it to r.

「発明が解決しようとする課題」 ところで、上述した磁気軸受の制御回路において不平衡
剛性補償を行う場合、変位センサS1およびS、のオフ
セットやゲインが完全に調整されていなければならない
。しかしながら、実際には、このような調整は極めて困
難であり、オフセットやゲイン誤差は少なからず存在す
る。このような誤差か存在すると、不平衡剛性補償器9
は、例えば、第2図(ハ)に示す直線B′に基づいて補
償値Scを出力することになり、これにより、同図に矢
印で示すように変位量X、において十分な補償量が得ら
れず、この結果、不平衡剛性を有効に打ち消すことがで
きない場合があった。
"Problems to be Solved by the Invention" By the way, when performing unbalanced stiffness compensation in the control circuit of the magnetic bearing described above, the offset and gain of the displacement sensors S1 and S must be completely adjusted. However, in reality, such adjustment is extremely difficult, and there are considerable offset and gain errors. If such an error exists, the unbalanced stiffness compensator 9
For example, the compensation value Sc is output based on the straight line B' shown in FIG. As a result, it may not be possible to effectively cancel the unbalanced stiffness.

この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、変位
センサのオフセット調整やゲイン調整が多少不完全であ
った場合においても、不平衡剛性補償を有効に行うこと
ができる磁気軸受の制御回路を提供することを目的とし
ている。
This invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and provides a control circuit for a magnetic bearing that can effectively compensate for unbalanced stiffness even if offset adjustment or gain adjustment of a displacement sensor is somewhat incomplete. is intended to provide.

「課題を解決するための手段」 この発明は、ロータを互いに逆方向に吸引する複数対の
電磁石と、前記ロータの前記各電磁石の吸引方向への変
位を検出する複数対の変位センサと、前記各変位センサ
の出力に基づいて、前記ロータの平衡位置からの変位量
に応じた力指令信号を出力する力指令信号発生手段と、
匍記力指令信号に基づいて前記各コイルに供給する励磁
電流を制御する電流制御手段と、前記各変位センサの出
力に基づいて磁気吸引力による不平衡剛性を打ち消すた
めに必要な補償量を出力し、該補償量を前記力指令信号
に加算する不平衡剛性補償手段とを具備し、前記不平衡
剛性補償手段は、実際に発生している不平衡剛性量より
も常に大きな補償量を出力すると共に、該補償量の直流
成分を除去して前記力指令信号に加算することを特徴と
している。
"Means for Solving the Problems" The present invention includes: a plurality of pairs of electromagnets that attract a rotor in opposite directions; a plurality of pairs of displacement sensors that detect displacement of the rotor in the attracting direction of each of the electromagnets; Force command signal generating means for outputting a force command signal according to the amount of displacement of the rotor from the equilibrium position based on the output of each displacement sensor;
Current control means for controlling the excitation current supplied to each of the coils based on the force command signal, and outputting a compensation amount necessary for canceling the unbalanced stiffness due to the magnetic attraction force based on the output of each of the displacement sensors. and unbalanced stiffness compensating means for adding the compensation amount to the force command signal, the unbalanced stiffness compensating means always outputting a compensation amount larger than the unbalanced stiffness amount actually occurring. At the same time, the DC component of the compensation amount is removed and added to the force command signal.

「作用」 上記の構成によれば、不平衡剛性補償手段が実際に発生
している不平衡剛性量よりも常に大きな補償量を出力す
るので、変位センサのオフセット調整やゲイン調整が多
少不完全であった場合においてら、常に十分な補償量が
得られ、また、補償量の直流成分が除去されて力指令信
号に加算されるので、ロータの変動成分に関してのみ不
平衡剛性補償が行なわれ、変位センサのオフセットの影
響を受けることはない。
"Operation" According to the above configuration, the unbalanced stiffness compensation means always outputs a larger compensation amount than the unbalanced stiffness amount that actually occurs, so the offset adjustment and gain adjustment of the displacement sensor may be somewhat incomplete. Even if there is a problem, a sufficient compensation amount is always obtained, and the DC component of the compensation amount is removed and added to the force command signal, so unbalanced stiffness compensation is performed only for the rotor fluctuation component, and the displacement It is not affected by sensor offset.

「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の詳細な説明する。"Example" Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図はこの発明の一実施例の構成を示す図である。こ
の図において、11は変位センサSlとS、の出力信号
に基づいて、磁気吸引力Fによる不平衡剛性を打ち消す
ために必要な補償jlsc、を出力する不平衡剛性補償
器であり、この不平衡剛性補償器IIから出力された補
償11sc、は、直流分除去回路+2によって直流成分
が除去され、変動成分(リップル成分)のみが加算点1
0へ供給され、この加算点10において力指令信号S「
に加算される。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention. In this figure, numeral 11 is an unbalanced stiffness compensator that outputs compensation jlsc, which is necessary to cancel the unbalanced stiffness caused by the magnetic attraction force F, based on the output signals of the displacement sensors Sl and S. The DC component of the compensation 11sc output from the stiffness compensator II is removed by the DC component removal circuit +2, and only the fluctuation component (ripple component) is added to the addition point 1.
0, and at this addition point 10 the force command signal S'
will be added to.

ここで、不平衡剛性補償器11は、第2図(イ)に示す
ように、ロータ2の変位x= + XI〜−Xlと変化
するのに応じて、磁気吸引力P=−1,5F。
Here, the unbalanced stiffness compensator 11, as shown in FIG. .

〜+1.5F、と変化する直線B1に対応する補償ff
1sc、を出力する。この直線B1の傾きは、第2図(
ハ)に示す曲線AとX軸に関して略対称な直線Bの傾き
の1.5倍となっており、これにより、不平衡剛性補償
器11は、変位X−+ X、〜−X1の範囲内において
、実際に発生している不平衡剛性量よりも常に大きな補
償量Sc+を出力するようになっている。
Compensation ff corresponding to straight line B1 changing from ~+1.5F
Outputs 1sc. The slope of this straight line B1 is shown in Figure 2 (
The slope is 1.5 times the slope of the straight line B, which is approximately symmetrical with respect to the curve A and the In this case, a compensation amount Sc+ that is always larger than the unbalanced stiffness amount that actually occurs is output.

このような構成とすることにより、例えば、変位センナ
S、およびStのオフセット調整やゲイン調整が多少不
完全で、不平衡剛性補償器11が第2図(イ)に示す直
線81′ に対応する補償値Sc。
With such a configuration, for example, the offset adjustment and gain adjustment of the displacement sensors S and St are somewhat incomplete, and the unbalanced stiffness compensator 11 corresponds to the straight line 81' shown in FIG. 2(A). Compensation value Sc.

を出力した場合、同図に矢印で示すように、変位量に1
においても十分な補償量が得られ、この結果、ロータ1
が平衡位置から変位した場合に、不平衡剛性を有効に打
ち消すことができる。また、直流分除去回路12によっ
て補償fisc+の直流成分が除去された後、加算点I
Oにおいて力指令信号Srに加算されるので、ロータ1
の変動成分に関してのみ不平衡剛性補償が行なわれ、変
位センサS1およびS、のオフセットの影響を受けるこ
とはない。そして、ロータlが平衡位置に引き戻された
後は、変位センサS1およびS、の位置情報に基づく位
置制御ループによって平衡位置に保持される。
When outputting , as shown by the arrow in the same figure,
As a result, a sufficient amount of compensation can be obtained even when the rotor 1
is displaced from the equilibrium position, the unbalanced stiffness can be effectively canceled out. Further, after the DC component of the compensation fisc+ is removed by the DC component removal circuit 12, the addition point I
Since it is added to the force command signal Sr at O, the rotor 1
Unbalanced stiffness compensation is performed only with respect to the fluctuation component of , and is not affected by the offsets of displacement sensors S1 and S. After the rotor l is pulled back to the equilibrium position, it is maintained at the equilibrium position by a position control loop based on position information from the displacement sensors S1 and S.

「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、不平衡剛性補
償手段によって実際に発生している不平衡剛性量よりも
常に大きな補償器が出力されるようにしたので、変位セ
ンサのオフセット調整やゲイン調整が多少不完全であっ
た場合においても、常に十分な補償量が得られ、この結
果、不平衡剛性を有効に打ち消すことができ、また、補
償量の直流成分が除去されて力指令信号に加算されるよ
うにしたので、ロータの変動成分に関してのみ不平衡剛
性補償が行なわれ、これにより変位センサのオフセット
の影響を受けることがないという効果が得られる。
"Effects of the Invention" As explained above, according to the present invention, the unbalanced stiffness compensator always outputs a larger amount of unbalanced stiffness than the amount of unbalanced stiffness actually generated. Even if the offset adjustment or gain adjustment of the Since it is configured such that the unbalanced stiffness compensation is performed only for the fluctuation component of the rotor, it is possible to obtain the effect that it is not affected by the offset of the displacement sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第2図(イ)は同実施例におけるロータの変位と不平衡
剛性補償量との関係を示すグラフ、第2図(ロ)は同グ
ラフに対応するロータと電磁石の位置関係を示す図、第
2図(ハ)は従来の磁気軸受の制御回路におけるロータ
の変位と不平衡剛性補償量との関係を示す図、第3図は
磁気軸受の一部の構造を示す斜視図、第4図は従来の磁
気軸受の制御回路の構成を示すブロック図である。 M、、M、・・・・・電磁石、C,、C,・・コイル、
S 、、S 、・・・・変位センサ、2  ロータ、5
・・・力指令発生器(力指令発生手段)、6 ・・・電
流指令信号発生器、 7 a、 7 b・・・・電流制御回路(6と7 a、
 7 bが電流制御手段)、!0・・・・・加算点、!
■・・・・不平衡剛性補償器、12・・・・直流分除去
回路、 (10〜12が不平衡剛性補償手段)。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention.
FIG. 2(A) is a graph showing the relationship between rotor displacement and unbalanced stiffness compensation amount in the same example, FIG. 2(B) is a graph showing the positional relationship between the rotor and electromagnets corresponding to the same graph, Figure 2 (c) is a diagram showing the relationship between rotor displacement and unbalance stiffness compensation amount in a conventional magnetic bearing control circuit, Figure 3 is a perspective view showing the structure of a part of the magnetic bearing, and Figure 4 is FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a conventional magnetic bearing control circuit. M,,M,... Electromagnet, C,,C,... Coil,
S,,S,...Displacement sensor, 2 Rotor, 5
... Force command generator (force command generation means), 6 ... Current command signal generator, 7 a, 7 b ... Current control circuit (6 and 7 a,
7 b is the current control means),! 0...Additional points!
■...Unbalanced stiffness compensator, 12...DC component removal circuit, (10 to 12 are unbalanced stiffness compensators).

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ロータを互いに逆方向に吸引する複数対の電磁石と、前
記ロータの前記各電磁石の吸引方向への変位を検出する
複数対の変位センサと、前記各変位センサの出力に基づ
いて、前記ロータの平衡位置からの変位量に応じた力指
令信号を出力する力指令信号発生手段と、前記力指令信
号に基づいて前記各コイルに供給する励磁電流を制御す
る電流制御手段と、前記各変位センサの出力に基づいて
磁気吸引力による不平衡剛性を打ち消すために必要な補
償量を出力し、該補償量を前記力指令信号に加算する不
平衡剛性補償手段とを具備し、前記不平衡剛性補償手段
は、実際に発生している不平衡剛性量よりも常に大きな
補償量を出力すると共に、該補償量の直流成分を除去し
て前記力指令信号に加算することを特徴とする磁気軸受
の制御回路。
a plurality of pairs of electromagnets that attract the rotor in opposite directions; a plurality of pairs of displacement sensors that detect displacement of the rotor in the attraction direction of each of the electromagnets; and a balance of the rotor based on the output of each of the displacement sensors. a force command signal generation means for outputting a force command signal according to the amount of displacement from the position; a current control means for controlling the excitation current supplied to each of the coils based on the force command signal; and an output of each of the displacement sensors. unbalanced stiffness compensating means for outputting a compensation amount necessary for canceling unbalanced stiffness due to magnetic attraction force based on and adding the compensation amount to the force command signal, the unbalanced stiffness compensating means A control circuit for a magnetic bearing, characterized in that it always outputs a compensation amount larger than the unbalanced stiffness amount that actually occurs, and also removes a DC component of the compensation amount and adds it to the force command signal.
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