JPH0390881A - 非破壊ヒステリシス試験装置 - Google Patents

非破壊ヒステリシス試験装置

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JPH0390881A
JPH0390881A JP2115705A JP11570590A JPH0390881A JP H0390881 A JPH0390881 A JP H0390881A JP 2115705 A JP2115705 A JP 2115705A JP 11570590 A JP11570590 A JP 11570590A JP H0390881 A JPH0390881 A JP H0390881A
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ダン・オー・モーリス
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    • G01R33/14Measuring or plotting hysteresis curves

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気層製品の磁気特性を試験するための装置に
関し、特に均−磁界内に製品を配置することにより製品
の両面のこれらの特性を同時に非破壊的に試験するため
の装置に関する。
(従来の技術〉 磁気層のヒステリシスループを試験する装置は既知であ
り、そのような商業的に実用化されている従来形の装置
は誘導的技術を採用し、振動サンプル磁力計又は誘導ヒ
ステリシストレーサーとして商業的に知られている。そ
のような装置は当業者には既知であり、サンプルを試験
するために大規模な電磁界を必要とする。サンプルは大
規模な電磁石のギャップ内に配置されるので、通常製品
は破壊され、それからサンプルが取られた。
磁気光学カー効果の装置が現在用られるヒステリシスル
ープ試験装置のもう一つの形態である。
この装置の一タイプは又サンプルを大規模の電磁石のギ
ャップ内に配置するために製品を破壊して、サンプルを
得る必要がある。このタイプの試験装置はDr、 Ri
chard M、 Josephs、 Dr、 Cha
rles S。
KrafftとDouglas S、 Crompto
n等により“Magneto−optic Kerr 
Effeet Hysteresis Loop Me
asuresents on Particulate
 Recording Media   (微粒子記録
媒体における磁気光学カー効果ヒステリシスループ測定
)のタイトル名で1986年9月号の■EEE TRA
NSACTON ON M^GNETICS、VOL、
 M^G22、No、5の682−684頁に報告され
ている。この関連において、そのギャップ長さは7.6
センチメードルで説明されており、それは製品から採取
されるサンプルの大きさを限定する。このように、この
装置はギャップ空間あるいは深ギャップの外部で磁気記
録ディスクなどの大きな製品を非破壊的に試験すること
が通常出来ない。
ヒステリシス曲線を測定するもう一つの磁気光学カー効
果の方法が米国特許番号No、4,818,761で説
明されている。この装置は小ギャップを有する電磁リン
グマグネットを使用する。試験される製品のために磁界
を生成する方法を提供するのだが、その磁束線は、それ
がギャップから離れて進むと均一性が無くなるので、リ
ングマグネットにより形成される磁界は非常に非線形と
なる。その結果、測定は通常リングマグネット内のギャ
ップに非常に近接して、正確に配置された位置で行なわ
れる。
周辺磁束の極度の非線形性のために、測定点における磁
界が高精度で校正できない、磁気記録技術の進歩は重度
な磁化フィールドを使用するための測定装置を必要とす
るより高い保磁力を生む、均一で高強度の磁界で採用さ
れる主平面に関わらずに校正可能かつ反復可能で非破壊
なヒステリシスループ試験装置を提供することが非常に
望ましい。
測定点が配置される大きな範囲を提供し、そして試験さ
れる製品の両面を最適に同時測定することを可能にする
装置で製品を試験することが出来ることが望ましい。
(発明の概要〉 本発明によれば、同一磁極極性の極片ペアーが提供され
、それぞれが均一磁束密度の領域を有する高磁界強度を
発生するために対向して配置された面を有する。サンプ
ルは極片面のギャップに配置されるので、磁束線は試験
される磁気層を十分に、且つ均一に飽和させる( 5a
turateさせる〉。
大抵の製品は基板の両面上に磁気媒体を有しているので
、この装置はサンプルの両面を飽和させる均一な磁界を
提供することが出来る。
好適な形態において、偏光ビームは試験されるどちらか
の飽和表面上に照射され、入射及び反射ビームがギャッ
プ内で磁界線の方向と平行となる面を形成する。この偏
光ビームが均−磁界内で飽和される製品の表面と接触す
る時、偏光ビームの偏光面は、カー効果によりサンプル
の磁気特性に比例する角度で回転される0分析手段がレ
ーザービームの反射通路内に配置され、試験される製品
の磁気特性により引き起こされるビームのカー回転の機
能として、受信機へ反射ビームを伝送させる。受信機手
段は偏光面の回転角を製品のスポットの磁気特性を提供
するために使用される電気信号に変換する。
交替的電磁システムがこの均一磁界を発生ずるために採
用され、その中で、サンプルが試験される。この構成に
おいて、それぞれがNff!、S極を、そしてその間に
ギャップを有する二つのリングマグネットが整列されて
いるので、−リングマグネットのN極は第二のリングマ
グネットのN極に対向し、そして第一リングマグネット
のS極は第二リングマグネットのS極に対向している。
第一リングマグネットのギャップは第二リングマグネッ
トのギャップに近接しており、そしてリングマグネット
の極片は同一平面上にある。各リングマグネットにより
発生された磁束線は二つのマグネット間に均一の磁界を
形成するように組み合わされている。この磁界はサンプ
ルの両面を飽和するのに適しているので、いずれの面の
磁気特性も同時に十分に試験される。
第1図は引用される前記IEEE紙で説明された穿孔技
術の破壊サンプル試験装置10の略図を示す、大きな電
磁石の大極片11.12が約3インチ離れて配置されて
いるので、その間の深ギャップフィールド内に試験され
るサンプル13を配置するための十分な空間が提供され
る。ホール効果磁界プローブ14も又深ギャップフィー
ルド内に配置される0巻き線15は磁極片11.12上
に提供され、ギャップ内に磁界を発生する。fH光レー
ザービームはレーザー16により提供され、入射ビーム
19を提供するために、反射表面17.18に方向付け
られ、深いギャップ内の磁界方向と共通となる方向に方
向付けられる。そのレーザービーム21は表面22.2
3からファラデーロテータ24上に反射される。そのフ
ァラデーロテータは、変調装置26の入力に送られる時
、回転される偏光面を有するビーム25を発生する。レ
ーザービーム25はファラデー変調装置26により変調
される偏光のその面を有するので、同期的に検出可能な
偏光方向を変動する時間でレーザー信号を生成する。変
調装置26からの信号27はさらにアナライザー28、
スパイクフィルター2つにより処理され、そして検出装
置31で検出され、ライン32上でAC信号を生成し、
そしてそれは同期復調装置33によりDC信号に変換さ
れ、ライン35を介してオシロ、スコープまたは記録手
段の垂直軸に送られる。ライン36上のホール効果プロ
ーブ14からの出力はガウスメーター37に送られ、ラ
イン38上にフィールド信号を生成し、記録装置又はオ
シロスコープ34の水平軸に送られる。信号発生装置3
9は同期復調装置33とAC増幅器41に入力基準信号
を提供する。
ライン42上の増幅されたAC信号はファラデー変調装
置26を駆動する。
第1図に示された先行技術の装置は2000エルステツ
ド迄の磁界強度を使用して説明されているが、約100
アンペアの電流が複数の巻き線15に流されると、約1
0000エルステツドにまで駆動されることが可能であ
る。
第2図は引用される米国特許番号4,816,761に
記載の薄膜を磁気光学的に測定するもう一つの先行技術
の方法を示す。第2図は多くの巻き数44(通常的20
00>を有する電磁リングマグネット43の側面図を示
す。リングマグネット43は長さ1/8インチ、深さ約
1/16インチ程度の非常に小さいギャップ45で提供
されているので、深ギャップとして知られるギャップ深
さ45内に15000エルステツド迄の磁界強度で磁界
50aを形成することが出来る。しかしながら、近接外
部ギャップ内の磁界50bはより小さく(1/10イン
チから1/3インチ)なり、非常に高い非線形磁界強度
を有する。レーザー及び検出装置支持チューブ46はリ
ングマグネット43の壁を通じて挿入されているのが示
されており、マグネットの中心線と角度θをなして形成
する入射ビーム47と反射ビーム48を生成する装置の
支持を提供する。
第2図において、試験される製品49は複数の層を含み
、その中でコバルトニッケルの磁気層がリングマグネッ
トの表面上に下向きに配置されるので、ギャップ45の
中心線、及゛び深ギャップフィールドに近接する外部ギ
ャップフィールド内に試験されるスポットを配置するこ
とが出来る。外部ギャップフィールドは非均−であるの
で、それは測定される製品上に非均−な磁気的且つ電気
的力を発生させる。レーザーや検出装置に関するフィル
ムの位置は重要であるので、これらの力は測定をより困
難にする。さらに、磁界の非均一性(磁界はリングマグ
ネット表面からの距離の二乗で低下する)及び小さいギ
ャップのため、測定位置において、即ち、レーザーが製
品表面に衝突するところ、の磁界を正確に校正するのは
非常に困難である。大抵の通常製品では、磁気フィルム
はアルミニラム合金基板の両面上に配置されており、製
品を移動させずに両面を測定することが望ましい。
先行技術の設計でこれを実行するのは容易ではない、つ
まり、非均−磁界は異なった強度の磁界を深ギャップと
反対の基板面の磁界よりも約3から10倍強い深ギャッ
プの隣の基板面の磁界でもって基板のそれぞれの面に適
用するからである。
第3図において、この図は本発明の好適形態のギャップ
部分の拡大図である。磁束&152(コイル63.65
で発生されf、z )は磁極片51a。
51bのそれぞれの面から発する。磁束線は同一磁極極
性を有する極から発するので、磁束線は互いに反発し合
い、磁極片5ia、51bの面に平行な通路に沿って偏
向される。その磁界は高強度となり、そして磁極周囲の
近辺で非常に均一となる。サンプル57の薄膜磁気層5
6は均一磁界の領域内の磁極片間に配置される。磁気薄
膜の各表面で発生される磁界は均等で均一となる。
偏光されたレーザービーム54はレーザー61により薄
膜磁気層56の下あるいは上(あるいは両方)のいずれ
かに照射される。そのビームは何か適切な手段、例えば
外部偏光フィルターを使用することによるなど、で偏光
可能であり、あるいはレーザーが内部的に偏光を完了し
てもよい、製品57の薄膜磁気層56から反射されたビ
ーム59は検出装置53に送られる。検出装置53は周
辺光からの干渉を低減するために帯域干渉フィルターを
備えていても良い。磁気Ni56は磁極片51a、51
bから発する磁界を受ける。偏光ビームは表面57の試
験されるスポット58における磁気強度の変化に比例し
て角度的に回転せられる偏光面を有し、それにより磁気
光学カー効果を示す、支持表面99により支持される製
品57の表面との接触後、反射ビーム59は開口部62
を通過し、ビームがカー回転の機能として検出装置53
に伝送されるアナライザー55に向かって送られる。追
加的レーザー検出装置の配置が他の表面を試験するため
に示されている。
コンピューター用の、ハードディスクの製造において、
そのようなディスクはアルミニューム基板のそれぞれの
面のコバルトニッケル、ニッケルりん光層を使用するこ
とで知られている。そのようなハードディスクは、試験
される製品を破壊、あるいは製造ラインを妨害しないで
製造製品の品質をモニターするために製造ラインから取
り出され、正確に校正された均一磁界でディスクの両面
を同時に試験され、所定時間内に製造ラインに戻される
。磁界は薄膜磁気層により経験され、且つアルミニュー
ム基板はサンプルの両面において対称的で、均一である
ので、先行技術により生成される非均−磁気的、電気的
力は本発明で経験されない。
第4図は電磁石66周りを包むコイル63.65、及び
磁極片51a、51bの対向して配置された二つの面か
ら生成する磁束線52を示す装置の側面図である。
第5A図は巻き線71と磁束線75で示された長方形磁
極片74aの平面図である。試験されるスポット58が
示されている。第5B図と第5C図は、磁束線75を生
成する巻き&!71と73をそれぞれ有する対向、して
配置された磁極片74aと74bの面の側面図と端面図
である。試験されるスポット58が示されている。この
図から明らかなように、試験されるスポット58はギャ
ップ内の均一磁界で完全に包含される。
第6図は円形磁極片面77の平面図と磁界磁束線72の
方向を示す。この図から、入射ビーム54と反射ビーム
59が縦方向のカー効果を決定するための磁界の方向と
平行となる面を形成するように、レーザー61がサンプ
ル上のスポット58への入射ビーム54の方向付けを可
能にするということが容易に理解される。この配置はレ
ーザー61、アナライザー55、そして検出装置53に
より示されている。交換的レーザー61′アナライザー
55′、そして検出装置53′の配置が形成可能で、横
方向のカー効果を測定する。
これはスポット58上に入射ビーム54′を収束するこ
とにより完遂され、入射ビーム54′と反射ビーム59
′が磁界の方向と垂直となる面を形成する。
第7A図は全システムの略ブロック図を示す。
入射レーザービーム54と反射レーザービーム59は磁
極片51aと51b内の開口部62を通過する。レーザ
ー61と検出装置53の両方はビームの動きを防ぐため
に適切に支持されている。
入射ビームの偏光面は試験(磁気光学カー効果)される
サンプルの磁気特性に比例して角度的に回転せられる0
反射ビームはカー回転の機能としてビームを伝送するア
ナライザー55を通過するので、それは検出装置により
受信される。検出装置は角度回転を偏光ビームから電気
信号に変換する。
検出装置はこの電気信号を通路90に沿ってX−Yデー
タ補足手段92に供給する。X−Y補足手段への他の入
力は通路93に沿ってホールプローブ94により供給さ
れる。この装置からの出力は通路86に沿ってコンピュ
ーターデイスプレー91に送られ、そこでサンプルの磁
気特性が表示される1巻き線58は通路81に沿ってD
C電源80により印加される。
第7B図はサンプル56の平面図及びレーザー61、ア
ナライザー55、そして検出装置53の可能な構成を伴
う円形磁極片88を示す、試験されるサンプル上のスポ
ット58と共に、磁界87の方向が示されている。ディ
スクの一面上での試験は、非線形磁界が採用されるので
先行技術で生成された磁力及び電気的力の低減のために
改良される。この構成において、入射ビーム54はスポ
ット58に衝突し、反射ビーム59は縦方向カー効果を
示すアナライザー55に入る。第8図は試験されるサン
プルが包含される均一磁界を発生するための交替的構成
を示す、それぞれがN及びS極磁極片(91a、92a
、91b、92b)を有する第一及び第二リングマグネ
ット90a、9゜bは、磁極片が同一平面上にあるよう
に配置されている。第一及び第二巻き線93.95はそ
れらを通じて流れる電流を有し、二つのマグネットによ
り形成される面と直角をなす面に横たわるマグネット間
に均一磁界94を発生させる。測定されるサンプル67
は均−磁界内に包含され、そして支持体96により支持
される。同レーザー61、アナライザー55、及び検出
装置53手段が開口部99を通過する入射54及び反射
59偏光ビームを発生させるために使用され、且つサン
プルの磁気特性を決定するために使用される。
本発明の一つの長所は、サンプルの両表面がサンプルを
包含する均一磁界を発生することにより同時に且つ十分
に試験することが可能であることである。当業者には明
白であるように、スポットはギャップ(即ち、磁極片に
より定義される面間〉及び磁束線が磁極片と平行となる
領域内に配置されるべきである。この領域において磁界
は均一であるので、そこは表面のスポットを磁界の範囲
内に垂直に配置することが出来るほど大きい広さを有す
る。これは製品の両面の同時試験を速やかに且つ非破壊
的に行なうことが可能となる。さらに、磁界は、それが
比較的大きな領域にわたって均一であるので容易に校正
される。
【図面の簡単な説明】
第1図はサンプルを破壊的に試験するための先行Ni術
の磁気を堂り一軸思詰看の鯰閉第2図は試験されるサン
プルからの入射及び反射レーザービームの通路を示すも
う一つの先行技術の磁気光学カー効実装置の略図、 第3図は非破壊手段により試験するために対向的に配置
された面を有し、本発明に従って作成された同磁極の極
片ペアーを有する磁気光学カー効実装置の簡略図であり
、試験されるサンプルがらの入射及び反射レーザービー
ムの通路配置を示す、第4図は電磁石及びその巻き線を
示す全電磁構造の側面図、 第5(A)図は電磁石の長方形の極片の横断面図、 第5(B)図は発生磁界の磁束線を示す電磁磁極片の側
面図、 第5(C〉図は電磁磁極片の端面図、 第6図は、横方向カー効果を測定できる破線で示された
もう一つの考えられるレーザー検出装置の配置と共に、
磁界方向、レーザー手段配置及び製品上の試験されるス
ポットを示す交替的、円形謝t&碌/7′1飲卑而団 第7(A)図は本発明でヒステリシスループ測定を実行
するための受信機手段の略ブロック図を含む側面図、 第7(B)図はレーザー及び検出装置の可能配置とサン
プル製品を含む平面図、 第8図は均一磁界を発生するための異なった方法を示す
本発明の交替的形態である。 10先行技術破壊サンプル試験装置、11.12大磁極
片、13サンプル、14ホール効果磁界プローブ、15
巻き線、16レーザー 17.18反射表面、19入射
ビーム、2ル−ザービーム、22.23表面、24フア
ラデーロテータ、25レーザービーム、26フアラデー
変調装置、27信号、28アナライザー、29スパイク
フイルター、31検出装置、32ライン、33同期復調
装置、34オシロスコープまたは記録手段、35.36
ライン、37ガウスメータ、38ライン、39信号発生
装置、41AC増幅器、42ライン、43リングマグネ
ツト、44巻き線、45小ギヤツプ、46レーザー及び
検出装置支持チューブ、47入射ビーム、48反射ビー
ム、49被試験製品、50a、50b磁界、51a、5
1b磁極片、52磁束線、53検出装置、54偏光レー
ザービーム、55アナライザー、56薄膜磁気層、57
サンプル、58被試験スポツト、59反射ビーム、6ル
−ザー 62rtMロ部、63.65コイル、71.7
3巻き線、72磁界磁束線、74a長方形磁極片、75
磁束線、77円形磁極片面、80DC電源、81通路、
87磁界、88円形磁極片、90通路、90a、90b
第一、第二リングマグネット、91コンピユータデイス
プレー、92X−Yデータ補足手段、91a、92a、
91b、92bN極、S極磁極片、93通路、94ホー
ルプローブ、96支持体、9つ支持表面(外4名) 図面の浄書(内容に変更なし) 手 続 補 正 書 平成 2年 7月/2日 1、事件の表示 平成 2年特許願第115705号 2゜ 発明の名称 磁気フィルムのヒステリシスループを測定する装置イン
コーホレーテッド 4゜ 代 理 人 住 所 東京都千代田区大手町二丁目2番1号 新大手町ビル206区 5゜ 補正の対象

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 製品表面上の磁気層を非破壊ヒステリシス試験する
    ための装置において、 それぞれが対向的に配置され、その間にギャップを有す
    る同一磁極極性の磁極片ペアーを有し、磁極片の面と十
    分に平行となって走るギャップ内の磁束線を有する均一
    な磁束密度の領域を生成し、その磁束通路は前記製品の
    表面上の薄膜磁気層スポットを飽和させるのに十分な高
    磁界強度を有する電磁手段、 ギャップに近接して製品上の前記スポットを位置決めす
    るための支持手段、 製品上の前記スポット上に高偏光レーザービームを方向
    付けるためのレーザー手段、 スポットから反射されたビームを受信し、その機能とし
    て製品の磁気特性を決定するための受信手段を有するこ
    とを特徴とする製品表面上の磁気層を非破壊ヒステリシ
    ス試験するための装置。 2 前記製品の反対面における第二スポットを同時に、
    且つ十分に試験するための第二レーザー及び検出装置手
    段を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。 3 前記電磁手段が、前記磁極片面で終結する第一と第
    二アーム部から成る本体を有する電磁石、そして 電磁石の第一と第二アーム周りを包み込む第一及び第二
    コイルとを有することを特徴とする請求項1に記載の装
    置。 4 電流が一磁極片の面に対して直角に延長する磁界を
    生成する方向に第一コイルの巻き線を通じて通電され、
    且つ電流が他の磁極片の面に対して直角に延長する磁界
    を生成する方向に第二コイルの巻き線を通じて通電され
    、これにより、両磁極片は同一磁極極性を有し、それに
    よりギャップ全体に均一な磁界を十分に生成することを
    特徴とする請求項3に記載の装置。 5 各磁極片から発する前記磁界が同一強度のものであ
    り、且つ磁極片の面に対して平行となる面の磁束線を発
    生することを特徴とする請求項3に記載の装置。 6 さらに電磁石の本体を通じて延長するアクセス開口
    部を有し、これにより製品への、又は製品からの前記レ
    ーザービームの通路を提供することを特徴とする請求項
    1に記載の装置。 7 前記アクセス開口部が少なくとも入射ビーム用の一
    つと反射ビーム用の一つとの複数の独立開口部を含むこ
    とを特徴とする請求項6に記載の装置。 8 前記支持手段はギャップ間の磁極片の面に平行に延
    びて、試験される製品がその上に置かれる支持表面を含
    むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 9 前記レーザー手段は偏光面を有する入射及び反射レ
    ーザービームを作成し、前記ビームは製品表面により定
    義される面と十分直角をなす入射面を形成することを特
    徴とする請求項1に記載の装置。 10 試験される製品上のスポットが磁極片の二面間に
    配置されることを特徴とする請求項1に記載の装置。 11 前記均一磁界が製品の磁気特性に比例して偏光の
    偏光面を回転させることを特徴とする請求項9に記載の
    装置。 12 前記受信手段が、反射ビームを受信する検出手段
    、 カー回転の機能として反射ビームを伝送するアナライザ
    ー手段、 入射及び反射レーザービームを正確に方向付ける安定手
    段、 ギャップに近接して配置されたホールプローブ、ギャッ
    プ内の磁界強度の機能として製品の磁気特性を決定する
    X−Yデータ補足手段、そして前記磁気特性を表示する
    コンピュータデイスプレーを有することを特徴とする請
    求項1に記載の装置。 13 前記アナライザー手段がカー回転の機能として反
    射ビームを伝送し、これにより検出手段によりそれが検
    出可能であることを特徴とする請求項12に記載の装置
    。 14 前記検出手段は偏光ビームを受信し、それを電気
    的信号に変換することを特徴とする請求項12に記載の
    装置。 15 前記ホールプローブはギャップ内の磁界の測定量
    を生成し、その測定値をX−Yデータ補足手段に供給す
    ることを特徴とする請求項12に記載の装置。 16 前記X−Yデータ補足手段はギャップ内の磁界の
    測定値と検出手段から受信された電気的信号を比較し、
    製品のヒステリシスループ特性を決定することを特徴と
    する請求項12に記載の装置。 17 前記コンピュータデイスプレー手段はX−Yデー
    タ補足手段からヒステリシスループ特性を得て、それを
    読み取り可能な出力形式で表示することを特徴とする請
    求項12に記載の装置。 18 前記電磁手段は、それぞれがN極、S極、及びそ
    の間のギャップを有する二つのリングマグネットから構
    成され、そのリングマグネットは、一リングマグネット
    のN極が第二リングマグネットのN極に対向し、且つ第
    一リングマグネットのS極が第二リングマグネットのS
    極に対向するように配置されていることを特徴とする請
    求項1に記載の装置。 19 前記の二つのリングマグネットは、第一リングマ
    グネットのギャップが第二リングマグネットのギャップ
    に近接して位置し、且つリングマグネットの極面が同一
    平面上にあるように配置されていることを特徴とする請
    求項18に記載の装置。
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