JPH0365917A - Optical scanner - Google Patents
Optical scannerInfo
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、電子写真プロセスを有し高精細画像出力を要
求されるレーザービームプリンタやレーザービーム複写
機等に使用される光走査装置、すなわち半導体レーザー
などからの光束を像担持体等の上に露光走査する光走査
装置に関する。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field 1] The present invention relates to an optical scanning device used in a laser beam printer, a laser beam copying machine, etc. that has an electrophotographic process and is required to output high-definition images. The present invention relates to an optical scanning device that exposes and scans an image carrier or the like with a light beam from a semiconductor laser or the like.
［従来の技術］
従来、レーザービームプリンタやレーザービーム複写装
置内において半導体レーザー素子を用いて像担持体上に
画像を光走査して書き込む光走査装置では、半導体レー
ザーの自己発熱や外周温度変化によって半導体レーザー
の出力モードが変化してレーザービームの波長変動が起
こり、それにより被走査面である像担持体上のピント（
ビームウェストの位置）の変動や光走査光学系の倍率の
色収差による光走査方向の走査位置変動が起こるという
現象がある。これに対する対策として、半導体レーザー
素子自体を一定の温度下に配置してその５＃Ｉをコント
ロールするというものがあった。[Prior Art] Conventionally, in an optical scanning device that uses a semiconductor laser element in a laser beam printer or a laser beam copying device to optically scan and write an image on an image carrier, the self-heating of the semiconductor laser and changes in the outer circumferential temperature cause The output mode of the semiconductor laser changes and the wavelength of the laser beam changes, which causes the focus (
There is a phenomenon in which scanning position variations in the optical scanning direction occur due to variations in the position of the beam waist (beam waist position) and chromatic aberration of magnification of the optical scanning optical system. As a countermeasure against this, there has been a method of placing the semiconductor laser element itself under a constant temperature and controlling its 5#I.
例えば、半導体レーザー素・子にベルチェ素子を熱的密
着させ、加熱、冷却によりレーザー素子の温度調節を行
なったり、ヒーターを設けて外気温度より高温でレーザ
ー素子の温度調節を行なったりして、上記半導体レーザ
ー素子の出力モード変化による波長変動を原因とするピ
ントや光走査位置の変動を防止し、光走査画像の低品位
化を防いでいた。For example, by thermally adhering a Bertier element to a semiconductor laser element/device and controlling the temperature of the laser element by heating and cooling, or by providing a heater to adjust the temperature of the laser element at a higher temperature than the outside temperature, This prevents fluctuations in the focus and optical scanning position caused by wavelength fluctuations due to changes in the output mode of the semiconductor laser element, and prevents the quality of the optical scanning image from deteriorating.
また一方、半導体レーザーの発振波長に対する要求が短
波長化してきている現在においては、ゲインガイドタイ
プ（利得導波路型）の多モード発振の半導体レーザーで
あって波長バンド幅の広いもの（半値幅で２〜３ｎｍ）
を、短波長化された素子の代わりとして用いねばならな
いという状況がある。On the other hand, as the demand for oscillation wavelengths of semiconductor lasers is becoming shorter, it is necessary to use gain guide type (gain waveguide type) multimode oscillation semiconductor lasers with a wide wavelength band width (half width). 2-3 nm)
There are situations in which it is necessary to use a device in place of a device with a shorter wavelength.
［発明が解決しようとする課！］
しかし乍ら、上記一定の温度下にレーザー素子を置くと
いう従来例では、半導体レーザー素子を温度調節する為
にベルチェ素子、ヒーター、温度制御手段等を用いなけ
ればならず、光走査装置としては高価なものとなってし
まっていた。[The problem that the invention tries to solve! ] However, in the conventional example of placing the laser element at a constant temperature, it is necessary to use a Vertier element, a heater, a temperature control means, etc. to adjust the temperature of the semiconductor laser element, which makes it difficult to use as an optical scanning device. It had become expensive.
また、この従来例では、半導体レーザー素子から出射し
た光がコリメーターレンズなどの光学部材によりその強
度の何パーセントか反射され、半導体レーザー素子自身
に戻ってくる自己発振光により出力モード変化を起こす
という現象に対しては、対処困難であった、この現象に
対する対処法としては、上記コリメーターレンズなどの
光学部材の反射防止膜を多層膜で構成して反射率を極力
小さくすることで戻り光を抑えるとか、偏光素子を半導
体レーザー素子と光学部材の間の光路中に設けて光学部
材からの反射光を遮断するなどの方法があるが、いずれ
にせよ高価なものになることは避けられない。In addition, in this conventional example, some percent of the intensity of the light emitted from the semiconductor laser element is reflected by an optical member such as a collimator lens, and the self-oscillation light that returns to the semiconductor laser element itself causes an output mode change. It has been difficult to deal with this phenomenon.As a way to deal with this phenomenon, the anti-reflection coating of optical components such as the collimator lens mentioned above is made up of a multilayer film to minimize the reflectance, thereby reducing the return light. There are methods such as suppressing the amount of light reflected from the optical member, or installing a polarizing element in the optical path between the semiconductor laser element and the optical member to block the reflected light from the optical member, but in any case, it is inevitable that the product will be expensive.
更に、半導体レーザーの波長変動に対して走査像面の移
動を防止するものとして、光走査光学系全系を通して軸
上色収差を補正することも考えられるが、この方法では
像面移動を防止することは出来るが倍率の色収差の補正
が行なわれていないので、半導体レーザーの波長が周囲
温度変化によるモード跳躍によって変動すると光走査長
が変動（デイスト−ジョンの変動も同時に起こる）して
しまう為、光走査レンズの光軸から離れる程、理想的に
光照射したい位置から光照射位置がずれてしまうことに
なる。そして、極端な場合、モードホップは瞬時に起こ
る為に波長が連続的ではなく離散的に変化して、走査画
像がとぎれた状態で記録されてしまうことにもなる。Furthermore, it is possible to correct longitudinal chromatic aberration through the entire optical scanning optical system to prevent the scanning image plane from shifting due to wavelength fluctuations of the semiconductor laser; however, this method does not prevent the scanning image plane from shifting. However, the chromatic aberration of magnification is not corrected, so if the wavelength of the semiconductor laser changes due to mode jumps due to changes in ambient temperature, the optical scanning length will change (distortion changes will also occur at the same time), so the optical The further away from the optical axis of the scanning lens, the more the light irradiation position deviates from the ideal position. In extreme cases, mode hopping occurs instantaneously, so the wavelength changes not continuously but discretely, resulting in a scanned image being recorded in an interrupted state.
従って１本発明の目的は、半導体レーザーの波長変動に
よる記録画像の不連続性を除去し高品位な画像を走査記
録することが出来る光走査装置を提供することにある。Accordingly, one object of the present invention is to provide an optical scanning device that can scan and record high-quality images by eliminating discontinuities in recorded images due to wavelength fluctuations of semiconductor lasers.
［課題を解決する為の手段］
上記目的を達成する為の本発明では、レーザー発振器よ
り発振されたレーザー光を一面または多面反射鏡などの
光偏向器により偏向し被照射体または像担持体上に光走
査する光走査装置において、主走査方向（光走査方向）
の倍率色収差（横収差の一因）を、波長幅±５ｎｍに対
して、光走査ビームの走査方向のスポット径の４以内に
補正した走査光学系が用いられている。[Means for Solving the Problems] In the present invention to achieve the above object, a laser beam oscillated by a laser oscillator is deflected by an optical deflector such as a one-sided or multi-sided reflecting mirror, and is directed onto an irradiated object or an image carrier. In an optical scanning device that performs optical scanning in the main scanning direction (light scanning direction)
A scanning optical system is used in which the lateral chromatic aberration (a cause of lateral aberration) is corrected to within 4 of the spot diameter in the scanning direction of the optical scanning beam for a wavelength width of ±5 nm.
［実施例１ 第１図は本発明の光走査装置の実施例の光路図である。[Example 1 FIG. 1 is an optical path diagram of an embodiment of the optical scanning device of the present invention.
第１図には、光ビームが経時的に形成する走査面におけ
る構成と共に、これと並行して走査面に垂直な方向であ
る副走査方向（すなわち光軸に直交する２軸のうち光走
査方向に直交する方向）における構成が示されている。Figure 1 shows the configuration of the scanning plane formed by the light beam over time, as well as the sub-scanning direction, which is a direction perpendicular to the scanning plane (i.e., the optical scanning direction of the two axes orthogonal to the optical axis). The configuration is shown in a direction perpendicular to .
第１図において、画像信号に従って変調駆動される光源
である半導体レーザーダイオードｌから発振される光束
は、コリメーターレンズ３ａ、３ｂ、３ｃ３ｄによって
平行光束に変換され、絞り部材１０によってビーム外径
が決定される、そして、このビームは、シリントリカル
レンズ４ａ、４ｂで、光偏向器である回転多面鏡６の反
射面上に副走査方向にのみ集光されて線状光束となって
入射し、そこで偏向された後、光走査方向にｆ・θ特性
を持ち副走査方向に共役結像系として構成されたアナモ
フィックレンズ７ａ、７ｂ、７Ｃによって被照射体面９
に集光される。このとき、回転多面鏡６の第１図の矢印
方向への等速回転によって、被照射体面９上のこの集光
ビームは線状に光走査される。In FIG. 1, a light beam emitted from a semiconductor laser diode l, which is a light source that is modulated and driven according to an image signal, is converted into a parallel light beam by collimator lenses 3a, 3b, and 3c3d, and the outer diameter of the beam is determined by an aperture member 10. This beam is focused by the cylindrical lenses 4a and 4b only in the sub-scanning direction onto the reflecting surface of the rotating polygon mirror 6, which is an optical deflector, and becomes a linear light flux, and is incident thereon. After being deflected there, anamorphic lenses 7a, 7b, and 7C, which have f/θ characteristics in the optical scanning direction and are configured as a conjugate imaging system in the sub-scanning direction,
The light is focused on. At this time, by uniformly rotating the polygon mirror 6 in the direction of the arrow in FIG. 1, the focused beam on the surface of the irradiated object 9 is linearly scanned.
第１図の構成において、２．５．８は防塵の為のカバー
ガラスであり、アナモフィックレンズ７ａ〜７ｃは副走
査方向において回転多面１１１６の反射面と被照射体面
９上に共役点を持っている。この為、回転多面鏡６が回
転に伴って歳差運動を起こしても、また、回転多面鏡６
自体の反射面加工精度により隣接する面の傾きがあって
も、被照射体面９上では同一の走査線上を走査するよう
になっている以上に加えて本発明の実施例においては、
半導体レーザーｌの環境温度変化（自己発熱も含む）に
よってレーザー発光モードが変化し発振波長が離散的に
変動した場合でも（第５図、第７図参照）光走査の連続
性を確保する為に、また、ゲインガイド型の半導体レー
ザー等で多モード発振型である波長バンド幅の広いレー
ザー（第６図参照）を用いたときの光走査集光スポット
の色収差によるボケを解消する為に、全系において軸上
色収差は当然のこととして補正すると共に、回転多面鏡
６による光偏向によってアナモフィックレンズ７ａ〜７
ｃの倍率の色収差を、レーザー波長変動±５ｎｍにおい
て±１３μｍの光走査位置変動に抑えている。In the configuration shown in FIG. 1, reference numeral 2.5.8 is a cover glass for dustproofing, and the anamorphic lenses 7a to 7c have conjugate points on the reflective surface of the rotating polygon 1116 and the irradiated object surface 9 in the sub-scanning direction. There is. Therefore, even if the rotating polygon mirror 6 causes precession as it rotates, the rotating polygon mirror 6
Even if there is an inclination of the adjacent surface due to the precision of the reflective surface processing itself, the same scanning line is scanned on the irradiated object surface 9. In addition to the above, in the embodiment of the present invention,
To ensure continuity of optical scanning even when the laser emission mode changes due to environmental temperature changes (including self-heating) of the semiconductor laser l and the oscillation wavelength fluctuates discretely (see Figures 5 and 7). In addition, in order to eliminate the blur caused by chromatic aberration of the light scanning condensed spot when using a multi-mode oscillation type laser with a wide wavelength band width such as a gain guide type semiconductor laser (see Figure 6), In the system, axial chromatic aberration is corrected as a matter of course, and the anamorphic lenses 7a to 7 are
The chromatic aberration of the magnification of c is suppressed to a variation in the optical scanning position of ±13 μm when the laser wavelength varies by ±5 nm.
即ち、軸上色収差に関しては、波長±５ｎｍの変動に対
して±５０ｕｍ以内に補正している（第２図、第３図参
照）、この量を横収差に対応させると±２．５μｍ程度
の変動となり、換言すれば、レーザービームウェスト内
ではスポット径が変化することなく、ビームウェスト外
では、光走査のスポット径が３０μｍとすれば、レーザ
ーの波長変動±５０ｍによって最大で３０±２．５μｍ
程度のスポット径変動が起こるにすぎないことを意味す
る。That is, regarding longitudinal chromatic aberration, a fluctuation of ±5 nm in wavelength is corrected to within ±50 um (see Figures 2 and 3), and when this amount corresponds to lateral aberration, it is corrected to within ±2.5 μm. In other words, if the spot diameter does not change within the laser beam waist, but outside the beam waist, the spot diameter of optical scanning is 30 μm, the laser wavelength fluctuation of ±50 m will result in a maximum of 30 ± 2.5 μm.
This means that only a slight variation in spot diameter occurs.
また、倍率の色収差に関しては、半導体レーザーのモー
ドホップは、−数的に、波長が６７０ｎｍ程度のもので
あると、約１ｎｍ程度の波長変動を起こす為（第７図参
＠）、光走査中の任意の時刻にｌｎｍの波長変動が起こ
ったとすると、光走査位置変動は最大で約２−５ｕｍ
（４１３１５）移動する程度に補正されている（第４図
開側。Regarding chromatic aberration of magnification, the mode hop of a semiconductor laser causes a wavelength fluctuation of about 1 nm numerically when the wavelength is about 670 nm (see Figure 7 @), so during optical scanning. If a wavelength fluctuation of lnm occurs at any time in
(41315) Corrected to the extent that it moves (Figure 4 open side).
この２．５μｍ程度の移動量は、本実施例の光走査ビー
ムスポット径（ピーク光強度に対して１ ／ ｅ″にな
る強度の幅として測って）が走査方向に約３０ＬＬｍ
（副走査方向には約６５μｍ）である為、走査位置の離
散的不連続変動として走査方向のスポット径の１／１０
以下となる。この程度の変動であると。This amount of movement of about 2.5 μm means that the optical scanning beam spot diameter of this example (measured as the width of the intensity that is 1/e'' with respect to the peak light intensity) is about 30 LLm in the scanning direction.
(approximately 65 μm in the sub-scanning direction), so the discrete and discontinuous fluctuation of the scanning position is 1/10 of the spot diameter in the scanning direction.
The following is true. This is the extent of the fluctuation.
被照射体９上の記録像として人間の目では判別できない
為、画質的な劣化は認められず高品位な画像の光走査が
可能となる。Since the recorded image on the irradiated object 9 cannot be discerned by the human eye, no deterioration in image quality is observed, and high-quality images can be optically scanned.
以上のことは、波長幅±５ｎｍに対して言うなら、走査
位置の離散的不連続変動が走査方向のスポット径の尾程
度以下であればよいことになる。The above means that for a wavelength width of ±5 nm, it is sufficient that the discrete and discontinuous fluctuation of the scanning position is equal to or less than the tail of the spot diameter in the scanning direction.
一方、多モード発振レーザーを用いる場合、そのレーザ
ーのモード数によって波長バンド幅は異なるが（第６図
参照）、本実施例によれば光走査位置において光軸上の
位置と光軸から離れた位置とでのスポット径の差を削減
することが出来るので、光走査画像において光軸近傍の
解像力は良いが光走査域の端部に行くに従って解像度が
悪化すると言ったことは解消される。On the other hand, when using a multimode oscillation laser, the wavelength bandwidth differs depending on the number of modes of the laser (see Figure 6), but according to this example, the wavelength band width differs depending on the number of modes of the laser. Since the difference in spot diameter between positions can be reduced, it is possible to eliminate the problem of an optically scanned image having good resolution near the optical axis, but the resolution worsening toward the end of the optically scanning area.
以上の実施例の光学パラメータは以下の表１に詳細に記
載しである。符号１こついては第１図に示す通りである
。The optical parameters of the above examples are detailed in Table 1 below. The reference numeral 1 is as shown in FIG.
表１
実施例（第１図において） 絞りｌｏの径主走査方向１
３．２ｍｍ 副走査方向１０゜５ｍｍ 使用レーザ
ー波長６７５±５ｎｍθ＝５３“
（ｍｍ）
ｄ、 ２
２ ｌ
ｄ、 ４８．５１２
ｄ４ ２．７３
ｄｌ４．１９
ｄ、 １．５２
ｄｔＯ，６１
ｄ、３．１４
ｄ、 ２７．７１ （調！り
ｄ、。 ４
ｄ、、２５（調整）
６口 ６
ｄ＋ｘ４
ｄ、、 １０７．７ （調Ｍ）
ｄ、、 １４． ５９
ａ、、 ２９． ２８
ｄｔｙｌ。Table 1 Example (in Figure 1) Diameter of aperture lo Main scanning direction 1
3.2mm Sub-scanning direction 10°5mm Laser wavelength used: 675±5nmθ=53" (mm) d, 2 2 l d, 48.512 d4 2.73 dl4.19 d, 1.52 dtO, 61 d, 3. 14 d, 27.71 (key! d,. 4 d,, 25 (adjustment) 6 mouths 6 d+x4 d,, 107.7 (key M) d,, 14. 59 a,, 29. 28 dtyl.
Ｉａ ２
ｄｌ。 ２４．１１
ｄ２゜ ４．８３
ｄ□ ４．７２
ｄ、、 ２０．０６
ａ、、２．２８
ｄ、 １８． １３
ｄ□ ２８６．８１
２６ ２
ａ−５０
主走査方向 副走査方向
（ｍｍ） （ｍｍ）
ｒｌ ＣＸ３
Ｃ０ｒｌ Ｑ）
ＣＫ）ｒ−１６６，６７１６６，６７
ｒ、 −４４，４３８−４４，４３８ｒ修 ω
ωａ
ｒテ
ａ
９
ｌｌｌ
ｌｌ
ｒ目
ｒ目
Ｉ４
ｒ目
Ｈ
ｒｔ
１ｌｌ
ｒＩ＠
２０
ｒｇ＋
ｒ３軍
Ｉ２コ
３５、 ７５３
３９、 ９９６
−４９． ７１６
０
１５１、 ４１
３
０
０
０
０
−８０． ２９８
０
−１１３６． １５
−１０２． ９
０゜
−１４８，４１
０゜
Ｏ
ｎ＋
ｄ
１、 ５１６３３
３５、 ７５３
３９、 ９９６
−４９．７１６
０口
１５１ ４１
３８．９１２
−４２． ６４８
０
０口
０口
０
０
■
■
−９０，４７３
−２８，６８５
０
Ｏ
νｄ
６４、 ｌ
ｎ＊ １． ５ １６３３ ６４． １
ｎ、 １．７２８２５ ２８．５ｎ、
１． ６０３１ １ ６０． ７ｎｓ
１． ５１６３３ ６４． １ｎｓ ｉ、
５１６３３ ６４． １ｎｔ １．
７２８２５ ２８． ５ｎａ １．５１６
３３ ６４．１ｎｅ ｔ、６２００４
３６． ３ｎｔａ ｉ、 ６０３ １ １
６０． ７ｎ、、 １． ６２２９９
５８． ２ｎ＋＊ １． ５１６３３
６４． １光走査長は光軸中心に対し±１５０ｍ
ｍ回転多面ｗ！６はφ７３ ｍ ｍで６面体［発明の効
果１
以上説明した様に、本発明によれば、半導体レーザーを
用いた光走査光学系において、軸上の色収差はもとより
倍率の色収差が補正されることによって、半導体レーザ
ーの波長変動による走査位置の変動に起因する走査記録
画像の不連続性、または多モード発振半導４゜
体レーザーの発振波長幅に起因する光軸外の解像度劣化
が改善され、走査記録画像の品質が向上させられる。し
かも、半導体レーザーの温度制御装置などを省くことが
出来るので、低価格化をも可能としている。Ia2dl. 24.11 d2゜ 4.83 d□ 4.72 d,, 20.06 a,, 2.28 d, 18. 13 d□ 286.81 26 2 a-50 Main scanning direction Sub-scanning direction (mm) (mm) rl CX3
C0rl Q)
CK) r-166,67166,67 r, -44,438-44,438r modified ω
ωa rtea 9 lll ll rth rth I4 rth H rt 1ll rI@ 20 rg+ r3 army I2ko 35, 753 39, 996 -49. 716 0 151, 41 3 0 0 0 0 -80. 298 0 -1136. 15-102. 9 0°-148, 41 0°O n+ d 1, 51633 35, 753 39, 996 -49.716 0 mouth 151 41 38.912 -42. 648 0 0 0 0 0 ■ ■ -90,473 -28,685 0 O νd 64, l n* 1. 5 1633 64. 1
n, 1.72825 28.5n,
1. 6031 1 60. 7ns
1. 51633 64. 1ns i,
51633 64. 1nt 1.
72825 28. 5na 1.516
33 64.1net, 62004
36. 3nta i, 603 1 1
60. 7n,, 1. 62299
58. 2n+*1. 51633
64. The scanning length of one light is ±150m from the center of the optical axis.
m rotating polygon lol! 6 has a diameter of 73 mm and is a hexahedron [Effect of the Invention 1 As explained above, according to the present invention, in an optical scanning optical system using a semiconductor laser, not only axial chromatic aberration but also lateral chromatic aberration can be corrected. This improves the discontinuity of the scanned recorded image due to the variation of the scanning position due to the wavelength variation of the semiconductor laser, or the resolution deterioration off the optical axis caused by the oscillation wavelength width of the multimode oscillation semiconductor 4° body laser, The quality of the scanned recorded image is improved. Moreover, since a temperature control device for the semiconductor laser can be omitted, it is possible to reduce the cost.
第１図は本発明の実施例の構成図、第２図は実施例の走
査方向のビームウェスト像面湾曲量を示す収差図、第３
図は実施例の副走査方向のビームウェスト像面湾曲量を
示す収差図、第４図は実施例の倍率色収差を示す収差図
、第５図は単モード半導体レーザーの波長特性を示す図
、第６図は多モード半導体レーザーの波長特性を示す図
、第７図は半導体レーザーの発振波長温度依存性を示す
図である多面鏡、７ａ〜７Ｃ・・・・・アナモフィック
レンズ、９・・・・・被照ｑ（体、１０・・・ ・絞りFIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an aberration diagram showing the amount of beam waist field curvature in the scanning direction of the embodiment, and FIG.
The figures are an aberration diagram showing the amount of beam waist field curvature in the sub-scanning direction of the example, Figure 4 is an aberration diagram showing the lateral chromatic aberration of the example, Figure 5 is a diagram showing the wavelength characteristics of a single mode semiconductor laser, Figure 6 is a diagram showing the wavelength characteristics of a multimode semiconductor laser, and Figure 7 is a diagram showing the temperature dependence of the oscillation wavelength of the semiconductor laser.Polygon mirror, 7a to 7C...Anamorphic lens, 9...・Illuminated q (body, 10... ・Aperture
Claims (1)
器により偏向し被照射体上に光走査する光走査装置にお
いて、走査方向の倍率色収差を、波長幅±５ｎｍに対し
て、光走査ビームの走査方向のスポット径の１／２以下
に補正した走査光学系が用いられている光走査装置２、
前記走査光学系の軸上色収差が全系において補正されて
いる請求項１記載の光走査装置３、前記レーザー発振器
は単モード半導体レーザー素子である請求項１記載の光
走査装置。 ４、前記レーザー発振器は多モード半導体レーザー素子
である請求項１記載の光走査装置。[Claims] 1. In an optical scanning device that deflects a laser beam oscillated by a laser oscillator using an optical deflector and scans it onto an irradiated object, the chromatic aberration of magnification in the scanning direction is determined for a wavelength width of ±5 nm. , an optical scanning device 2 using a scanning optical system corrected to 1/2 or less of the spot diameter in the scanning direction of the optical scanning beam;
2. The optical scanning device according to claim 1, wherein axial chromatic aberration of the scanning optical system is corrected in the entire system, and the optical scanning device according to claim 1, wherein the laser oscillator is a single mode semiconductor laser device. 4. The optical scanning device according to claim 1, wherein the laser oscillator is a multimode semiconductor laser device.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1202386A JP2914504B2 (en) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | Optical scanning device |
| DE69014908T DE69014908T3 (en) | 1989-01-09 | 1990-01-08 | Achromatic optical laser scanning system. |
| EP90100307A EP0378149B2 (en) | 1989-01-09 | 1990-01-08 | Achromatic-type laser scanning optical system |
| US07/921,403 US5270851A (en) | 1989-01-09 | 1992-07-30 | Achromatic-type laser scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1202386A JP2914504B2 (en) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | Optical scanning device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365917A true JPH0365917A (en) | 1991-03-20 |
| JP2914504B2 JP2914504B2 (en) | 1999-07-05 |
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ID=16456635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1202386A Expired - Lifetime JP2914504B2 (en) | 1989-01-09 | 1989-08-04 | Optical scanning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914504B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764399A (en) * | 1995-07-07 | 1998-06-09 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning lens |
| US7256815B2 (en) | 2001-12-20 | 2007-08-14 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming method, image forming apparatus, optical scan device, and image forming apparatus using the same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62299927A (en) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Nikon Corp | Telecentric ftheta lens |
| JPS63249119A (en) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Asahi Optical Co Ltd | F-theta lens |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP1202386A patent/JP2914504B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62299927A (en) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | Nikon Corp | Telecentric ftheta lens |
| JPS63249119A (en) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Asahi Optical Co Ltd | F-theta lens |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764399A (en) * | 1995-07-07 | 1998-06-09 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning lens |
| US7256815B2 (en) | 2001-12-20 | 2007-08-14 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming method, image forming apparatus, optical scan device, and image forming apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2914504B2 (en) | 1999-07-05 |
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