JPH0355542U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0355542U
JPH0355542U JP1990104102U JP10410290U JPH0355542U JP H0355542 U JPH0355542 U JP H0355542U JP 1990104102 U JP1990104102 U JP 1990104102U JP 10410290 U JP10410290 U JP 10410290U JP H0355542 U JPH0355542 U JP H0355542U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
capacitive manometer
manometer
capacitive
model registration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1990104102U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JPH0355542U publication Critical patent/JPH0355542U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G01L27/005—Apparatus for calibrating pressure sensors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図は、本考案の望ましい実施例構成のブロツク
ダイヤグラムである。 １４……３分岐バルブ、１５……インレツト導
管、１６……アウトレツト導管、１７，１８……
バルブ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 第１の真空度まで測定可能な容量性マノメー
    ターのゼロドリフト修正のための装置において、
    少なくとも前記第１の真空度以下の大きさである
    第２の真空度まで引き下げることのできるポンプ
    装置と、前記ポンプ装置が少なくとも容量性マノ
    メーターの読取可能な圧力よりも小さな量の程度
    の圧力である時、容量性マノメーターを前記ポン
    プ装置に接続する第１装置と、容量性マノメータ
    ーが前記ポンプ装置に接続された時に修正要素（
    コレクシヨンフアクター）として容量性マノメー
    ターの読取値を記録するために容量性マノメータ
    ーに接続される第２装置と、容量性マノメーター
    および前記第２装置に接続されて、容量性マノメ
    ーターの引き続く読取値に前記修正要素を適用さ
    せるための第３装置とを、結合した形式で有して
    成る容量性マノメーターの自動ゼロ調整装置。 ２ 前記ポンプ装置が拡散（デイフユージヨン）
    ポンプであるような、実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の装置。 ３ 前記ポンプ装置がイオンポンプであるような
    、実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置。 ４ 前記ポンプ装置がターボ分子ポンプであるよ
    うな、実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置
    。 ５ 前記ポンプ装置が吸収ポンプであるような、
    実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置。 ６ 前記拡散ポンプに接続され、前記拡散ポンプ
    が効果的に動作する圧力にまで前記拡散ポンプを
    吸引する機械式ポンプ装置をさらに有するような
    、実用新案登録請求の範囲第２項記載の装置。 ７ 前記イオンポンプに接続され、前記イオンポ
    ンプが効果的に動作する圧力にまで前記イオンポ
    ンプを吸引する機械式ポンプ装置をさらに有する
    ような、実用新案登録請求の範囲第３項記載の装
    置。 ８ 前記ポンプ装置に接続され、前記ポンプ装置
    が容量性マノメーターの接続に十分な程度に前も
    つて動作状態となつていることを検知するための
    センサー装置をさらに有するような、実用新案登
    録請求の範囲第６項または第７項記載の装置。 ９ その圧力が容量性マノメーターによつてモニ
    ター（監視）されているチヤンバーを含む処理モ
    ジユールと、前記修正要素が記録された後に容量
    性マノメーターを前記処理モジユールに接続する
    前記第１装置とをさらに有するような、実用新案
    登録請求の範囲第８項記載の装置。 １０ 前記第３装置に接続され、容量性マノメー
    ターによつて読取られた修正された圧力を表示す
    るための表示装置をさらに有するような、実用新
    案登録請求の範囲第９項記載の装置。 １１ 容量性マノメーターに接続され、これによ
    り得られる各修正要素を記録するための恒久（不
    揮発性）蓄積装置をさらに有するような、実用新
    案登録請求の範囲第１０項記載の装置。 １２ 前記第１装置に接続された制御装置と、前
    記制御装置に接続されたコンピユーター装置とを
    さらに有し、前記コンピユーター装置は前記第３
    装置を含み、また前記センサー装置からの入力を
    受けて、前記ポンプ装置が動作状態にあることを
    前記センサー装置が検知した時に、容量性マノメ
    ーターを前記ポンプ装置に接続するよう前記第１
    装置を動作させるような、実用新案登録請求の範
    囲第１１項記載の装置。
JP1990104102U 1980-11-03 1990-10-04 Pending JPH0355542U (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/203,735 US4383431A (en) 1980-11-03 1980-11-03 Auto-zero system for pressure transducers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0355542U true JPH0355542U (ja) 1991-05-29

Family

ID=22755112

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56173125A Pending JPS57108631A (en) 1980-11-03 1981-10-30 Automatic zero adjustor for capacitive manometer
JP1990104102U Pending JPH0355542U (ja) 1980-11-03 1990-10-04

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56173125A Pending JPS57108631A (en) 1980-11-03 1981-10-30 Automatic zero adjustor for capacitive manometer

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4383431A (ja)
EP (1) EP0051289B1 (ja)
JP (2) JPS57108631A (ja)
CA (1) CA1156487A (ja)
DE (1) DE3174333D1 (ja)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59100917U (ja) * 1982-12-24 1984-07-07 日産自動車株式会社 内燃機関の排気微粒子処理装置
JPS59206648A (ja) * 1983-01-26 1984-11-22 Nissan Motor Co Ltd 内燃機関の燃焼室内圧力を検出するセンサの較正方法
DE3416744C3 (de) * 1984-05-07 1999-07-15 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Betreiben eines Druckreglers einer Fahrzeugbremsanlage
US4672974A (en) * 1985-06-14 1987-06-16 Lee Arnold St J Method and apparatus for "zeroing" and calibrating a catheter-tip gauge-pressure transducer
US4754651A (en) * 1986-04-18 1988-07-05 Shortridge Instruments, Inc. Differential pressure apparatus for measuring flow and velocity
US4817022A (en) * 1986-07-30 1989-03-28 Barber-Colman Company Method and apparatus for automatic offset compensation in parameter-sensing transducer systems
JPH0364653A (ja) * 1989-07-31 1991-03-20 Japan Electron Control Syst Co Ltd 内燃機関の筒内圧力検出装置
JP2951718B2 (ja) * 1990-11-28 1999-09-20 東京エレクトロン株式会社 圧力ゲージ出力の零点調整装置
US5114664A (en) * 1991-05-06 1992-05-19 General Electric Company Method for in situ evaluation of capacitive type pressure transducers in a nuclear power plant
JPH0513544A (ja) * 1991-06-28 1993-01-22 Kawasaki Steel Corp 真空チヤンバを有する半導体製造装置
US6662634B2 (en) * 1994-06-15 2003-12-16 Martin Lehmann Method for testing containers, use of the method, and a testing device
DE10003906A1 (de) * 2000-01-29 2001-08-09 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Kalibrieren eines Drucksensors
DE10053667A1 (de) 2000-10-28 2002-05-08 Schenck Process Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Hysteresekorrektur von Meßwerten bei Aufnehmern mit Dehnungsmeßstreifen
US6964187B2 (en) * 2001-03-20 2005-11-15 Mykrolis Corporation Vacuum sensor
DE10137871C1 (de) * 2001-08-02 2003-03-06 Siemens Ag Verfahren zur Kalibrierung eines Drucksensors
US6910381B2 (en) * 2002-05-31 2005-06-28 Mykrolis Corporation System and method of operation of an embedded system for a digital capacitance diaphragm gauge
CZ299329B6 (cs) 2003-08-26 2008-06-18 Pliva-Lachema A.S. Zpusob výroby 7-ethyl-10-[ 4-(1-piperidino)-1-piperidino]karbonyloxykamptothecinu
CZ299593B6 (cs) 2003-12-16 2008-09-10 Pliva-Lachema A. S. Zpusob výroby 7-ethyl-10-hydroxykamptothecinu
US7706995B2 (en) * 2007-04-16 2010-04-27 Mks Instr Inc Capacitance manometers and methods relating to auto-drift correction
US8521462B2 (en) * 2009-12-23 2013-08-27 Biosense Webster (Israel), Ltd. Calibration system for a pressure-sensitive catheter
US8374819B2 (en) * 2009-12-23 2013-02-12 Biosense Webster (Israel), Ltd. Actuator-based calibration system for a pressure-sensitive catheter
CN102980715B (zh) * 2012-11-16 2015-12-30 上海朝辉压力仪器有限公司 电容式压力变送器及压力传感***
US9546925B2 (en) 2014-12-05 2017-01-17 Nxp Usa, Inc. Packaged sensor with integrated offset calibration
CN112324749B (zh) * 2020-11-02 2021-11-23 北京科技大学 一种伺服阀零漂的确定及补偿方法
CN113820069B (zh) * 2021-11-25 2022-03-11 北京晨晶电子有限公司 电容式真空规稳定性测试辅助装置及测试方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5445107A (en) * 1977-09-16 1979-04-10 Funai Electric Co Automatic regenerative changeeover mechanism

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB855570A (en) * 1957-05-13 1960-12-07 Ludvik Kuhn Improvements in pressure indicating devices
US4051712A (en) * 1976-08-20 1977-10-04 National Semiconductor Corporation Pressure transducer auto reference
JPS54151078A (en) * 1978-05-19 1979-11-27 Toshiba Corp Automatic calibrating device of pressure

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5445107A (en) * 1977-09-16 1979-04-10 Funai Electric Co Automatic regenerative changeeover mechanism

Also Published As

Publication number Publication date
DE3174333D1 (en) 1986-05-15
CA1156487A (en) 1983-11-08
EP0051289B1 (en) 1986-04-09
US4383431A (en) 1983-05-17
EP0051289A1 (en) 1982-05-12
JPS57108631A (en) 1982-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0355542U (ja)
CN212482561U (zh) 一种环境空气检测装置
JPS6318834U (ja)
JPS60175896U (ja) 自動運転ポンプ装置
JPH10213533A (ja) 粒子濃度計測装置
SU1616598A1 (ru) Устройство дл измерени параметров кровотока
JPS58114043U (ja) 半導体製造用真空装置の低圧力制御装置
JPS5820139U (ja) 冷房機用性能チエツク装置
JPH03117754U (ja)
CN112067192A (zh) 一种用于差压变送器的检测装置
SU1062379A1 (ru) Устройство дл контрол качества опрессовки колонны обсадных труб
JPS5819244U (ja) リ−ク試験装置
JPH0634657Y2 (ja) 液中の気泡量測定装置
JPS616758U (ja) 水素検出器
JPS6441688U (ja)
JPS6025917U (ja) ガス供給量測定装置
JPS6189133U (ja)
JPS62132452U (ja)
JPS60108938U (ja) 空気調和機
JPS5861213U (ja) 電子血圧計
JPS61166176U (ja)
JPS59104046U (ja) リ−クテスト装置
JPS5846140U (ja) ナトリウム中水漏洩検出器のバリアブルバルブ駆動装置
JPS6371044U (ja)
JPS6231794U (ja)