JPH0354439A - Apparatus for inspecting surface of body - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は物体の表面のごみや傷等の欠陥を検査する物体
の表面検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an object surface inspection device for inspecting defects such as dust and scratches on the surface of an object.
物体の表面に付着したごみや傷等の欠陥を検知し、その
存在を表示する物体の表面検査装置は、例えば被検査物
体としての祇や布等の平坦で広い面を有する物体等の表
面の欠陥の検査を含めて、各分野において広く採用され
ている。かかる物体の表面検査装置の１例では、被検査
物体の表面の検査される範囲に光を適切に照射し、その
反射光をビデオカメラの如き光電変換センサで捉え、電
気信号に変換し、電子処理機によってその信号を処理し
、その中から傷等の欠陥を検出する。例えば、白である
べき紙の表面上の黒点のような異物を検出するものであ
る。An object surface inspection device that detects defects such as dust or scratches on the surface of an object and indicates their presence is a device that detects defects such as dust or scratches on the surface of an object and indicates their presence. It is widely used in various fields, including defect inspection. One example of such an object surface inspection device is to appropriately irradiate light onto the area to be inspected on the surface of the object to be inspected, capture the reflected light with a photoelectric conversion sensor such as a video camera, convert it into an electrical signal, and convert it into an electronic signal. The signal is processed by a processor and defects such as scratches are detected from the signal. For example, it detects foreign objects such as black spots on the surface of paper, which should be white.
上述の如き従来の物体の表面検査装置の一例を、第５図
を参照して説明する。An example of the conventional object surface inspection apparatus as described above will be explained with reference to FIG.
この第５図の従来例においては、ランプの如き光源（Ａ
）で照明されている被検査物体（Ｂ）を、光電変換セン
サ、例えばビデオカメラ（１）で撮像し、その映像信号
（ＳＬ）をモニタ（２）に供給し、被検査物体（Ｂ）の
像をモニタ（２）の画面上で直接監視する。In the conventional example shown in FIG. 5, a light source such as a lamp (A
) is imaged by a photoelectric conversion sensor, such as a video camera (1), and the video signal (SL) is supplied to a monitor (2) to capture the image of the object to be inspected (B). The image is monitored directly on the screen of the monitor (2).
一方、ビデオカメラ（１）よりの映像信号（Ｓｌ）を電
子処理機（３）で処理して、傷等の欠陥を検出した場合
は、欠陥信号（Ｓｄ）を出力する。ビデオカメラ（１）
が撮像している被検査物体（Ｂ）の映像を直接モニタ（
２）で見るか、又はビデオカメラ（１）の出力信号（Ｓ
１）を電子処理機（３）により電子処理して得た信号、
即ち傷等の欠陥を検出した状態の信号（Ｓｄ）をモニタ
（２）で見るかは、映像転換スイッチ（４）で選択し得
る。On the other hand, when a video signal (Sl) from a video camera (1) is processed by an electronic processor (3) and a defect such as a scratch is detected, a defect signal (Sd) is output. Video camera (1)
Directly monitor the image of the object to be inspected (B) captured by the
2) or the output signal (S) of the video camera (1).
A signal obtained by electronically processing 1) using an electronic processor (3),
That is, whether the signal (Sd) in which a defect such as a scratch is detected is to be viewed on the monitor (2) can be selected using the video conversion switch (4).
上述した電子処理機（３）については、種々の回路構成
が提案されているが、その一例を第６図を参照して説明
する。同図において、（３Ａ）はビデオカメラ（１）よ
りの映像信号（Ｓ１）を増幅する逆相型の前置増幅器と
してのオペアンプであり、（３Ｂ）はオペアンプ（３Ａ
）により増幅された映像信号（ＳＩＡ）のレベルを、ポ
テンショメータの如き闇値調節器（３Ｃ）で決る闇値（
ｔｈ）と比較するコンバレータで、映像信号（Ｓ１）の
中から欠陥部分を検出（後述）し、欠陥信号（Ｓｄ）を
出力する為のものである。尚、欠陥がない場合は、何等
信号を出力しない。又、（３Ｄ）はバッファで、コンパ
レータ（３Ｂ）の出力信号（Ｓｄ）が負荷の変動の影響
を受けないようにするためのものである。Various circuit configurations have been proposed for the above-mentioned electronic processing machine (3), one example of which will be explained with reference to FIG. 6. In the figure, (3A) is an operational amplifier as an anti-phase preamplifier that amplifies the video signal (S1) from the video camera (1), and (3B) is an operational amplifier (3A).
), the level of the video signal (SIA) amplified by the dark value (
This converter is used to detect a defective portion (described later) in the video signal (S1) and output a defective signal (Sd). Note that if there is no defect, no signal is output. Further, (3D) is a buffer for preventing the output signal (Sd) of the comparator (3B) from being affected by load fluctuations.
第７図はモニタ（２）の画面（２Ａ）を示す。この例で
は、被検査物体（Ｂ）が、例えば白色の紙で、それがビ
デオカメラ（１）で撮映され、モニタ（２）の画面（２
Ａ）上に映出されている場合である。尚、同図に於て、
（ａ）は被検査物体（Ｂ）である白色の紙上に在る欠陥
としての黒点を示す。FIG. 7 shows the screen (2A) of the monitor (2). In this example, the object to be inspected (B) is, for example, white paper, which is captured by a video camera (1) and displayed on the screen (2) of a monitor (2).
A) This is the case where it is displayed above. In addition, in the same figure,
(a) shows black dots as defects on white paper, which is the object to be inspected (B).
第８図Ａ乃至Ｃは、夫々第６図に示す電子処理機（３）
の各部の信号の波形を示す波形図である。Figures 8A to 8C are the electronic processing machines (3) shown in Figure 6, respectively.
FIG. 3 is a waveform diagram showing the waveforms of signals at various parts of the circuit.
第８図Ａはビデオカメラ（１）よりの映像信号（Ｓ１）
の１水平期間（Ｈ）の波形図で、この例は、第７図に示
す黒点（ａ）を通る１水平走査線の映像信号（Ｓｌａ）
を示す。第８図Ａに於て、白色の紙の白い部分では、映
像信号（Ｓｌａ）はハイレベル（ｈ）で示され、その欠
陥である黒点の部分（ａ）では、信号（Ｓｌａ）のレベ
ルが低いレベル＜ｉ＞に落ち込んでいる。Figure 8A is the video signal (S1) from the video camera (1)
This is a waveform diagram of one horizontal period (H) of 1 horizontal period (H), and this example shows the video signal (Sla) of one horizontal scanning line passing through the black point (a) shown in FIG.
shows. In FIG. 8A, in the white part of the white paper, the video signal (Sla) is shown at a high level (h), and in the defective black dot part (a), the level of the signal (Sla) is low. I have fallen to a low level <i>.
この第８図Ａに示す映像信号（Ｓｌａ）は、電子処理機
（３）の逆相型のオペアンプ（３Ａ）で増幅され、位相
が反転されて第８図Ｂに示す波形の信号（ＳＩＡ）とな
る。この信号（ＳＩＡ）は、コンバレーク（３Ｂ）の一
方の入力端子に供給される．このコンバレータ（３Ｂ）
で信号（Ｓｌ＾）の黒点（ａ）に相当する部分（ｄ）を
検出するため、闇値調節器（３Ｃ）を調節し、コンパレ
ータ（３Ｂ）の他方の人力端に供給される闇値（ ｔｈ
）を、第８図Ｂに示す如く上下に調節する。コンパレー
タ（３Ｂ）は、欠陥部分（ｄ）を検出した場は、第８図
Ｃに示す如く、欠陥部分（２）をデジタル欠陥信号（Ｓ
ｄ）として出力する。この欠陥を検出したことを示すデ
ジタル欠陥信号（Ｓｄ）は、バンファ（３Ｄ）を経て欠
陥の存在を示す警報回路（ＡＬ）、例えばランプ点灯回
路やブザー鳴動回路等に供給されて、欠陥の存在を告知
する。The video signal (Sla) shown in FIG. 8A is amplified by an anti-phase operational amplifier (3A) of the electronic processor (3), and its phase is inverted to produce a signal (SIA) with the waveform shown in FIG. 8B. becomes. This signal (SIA) is supplied to one input terminal of the combiner (3B). This converter (3B)
In order to detect the part (d) corresponding to the black point (a) of the signal (Sl^), the dark value adjuster (3C) is adjusted, and the dark value ( th
) are adjusted up and down as shown in FIG. 8B. When the comparator (3B) detects the defective portion (d), the defective portion (2) is converted into a digital defective signal (S) as shown in FIG. 8C.
Output as d). The digital defect signal (Sd) indicating that this defect has been detected is supplied to an alarm circuit (AL) indicating the existence of a defect, such as a lamp lighting circuit or a buzzer sounding circuit, through a banfer (3D), and is sent to an alarm circuit (AL) indicating the existence of a defect, such as a lamp lighting circuit or a buzzer sounding circuit. to announce.
この場合、検出した欠陥（ａ）としての黒点を、モニタ
（２）の画面（２Ａ）で認知するには、第５図に示した
映像転換スイッチ（４）を電子処理機（３）側へ倒して
、電子処理された後の信号、即ちコンパレータ（３Ｂ）
により白黒の２値に分割された欠陥信号（Ｓｄ）をモニ
タ（２）に供給し、その画面（２Ａ）を見ながら行なう
。In this case, in order to recognize the black spot as the detected defect (a) on the screen (2A) of the monitor (2), move the image conversion switch (4) shown in Fig. 5 to the electronic processing machine (3) side. The signal after being turned down and electronically processed, that is, the comparator (3B)
The defect signal (Sd) divided into black and white binary values is supplied to the monitor (2), and the test is performed while viewing the screen (2A).
この際、モニタ（２）の画面（２Ａ）上では、第７図に
示す如く、真白な部分に小さい黒点（ａ）が映出される
ので、検知された欠陥部分がその位置と共に認知できる
。At this time, on the screen (2A) of the monitor (2), as shown in FIG. 7, a small black dot (a) is displayed on a pure white area, so that the detected defective area can be recognized along with its position.
上述の如き従来の装置によても、勿論、電子処理機（３
）により検出された被検査物体（Ｂ）の欠陥部分（ａ）
の位置は、モニタ（２）の画面（２Ａ）上で認知し得る
ものであるが、若しその欠陥部分（傷，異物，黒点等）
が極めて小さいものであった場合は、この欠陥を検出し
たことを示す警報回路（ＡＬ）が動作したとしても、そ
の欠陥の位置をモニタ（２）の画面（２Ａ）上で目で捉
えることは大変困難である．従って、本発明は、いかに
小さな欠陥部分でも検出された場合、その位置を明確に
モニタの画面上で認知し得る物体の表面検査装置を提供
するものである。Of course, even with the conventional equipment as mentioned above, an electronic processing machine (3
) The defective part (a) of the object to be inspected (B) detected by
The position of the screen (2A) of the monitor (2) can be recognized, but if there is a defective part (scratches, foreign objects, black spots, etc.)
If the defect is extremely small, even if the alarm circuit (AL) is activated to indicate that the defect has been detected, the location of the defect cannot be visually detected on the screen (2A) of the monitor (2). It is very difficult. Accordingly, the present invention provides an object surface inspection apparatus that can clearly recognize the position of any defect, no matter how small, on a monitor screen if it is detected.
本発明による上記課題を解決する手段は、光電変換セン
サ（１）により被検査物体（Ｂ）を撮映し、それよりの
映像信号（Ｓ１）を電子処理機（３）で処理し、上記被
検査物体の表面に欠陥（ａ）が在る場合は、欠陥信号（
Ｓｄ）を発生し、該欠陥信号をモニタ（２）に供給し、
その画面上に欠陥を表示する物体の表面検査装置におい
て、上記欠陥信号を表示信号作製手段（５）に供給し、
上記欠陥信号に基づいて、その時間幅，周期及び明るさ
の少なくともその一つを調整した欠陥の表示信号（Ｓ２
）を作り該表示信号を重畳器（６）に於て上記映像信号
に重畳し、該重畳信号（Ｓ３）を上記モニタに供給する
ようになした物体の表面検査装置である。Means for solving the above problems according to the present invention is to image the object to be inspected (B) with a photoelectric conversion sensor (1), process the resulting video signal (S1) with an electronic processor (3), and If there is a defect (a) on the surface of the object, the defect signal (
Sd) and supplying the defect signal to the monitor (2);
In the surface inspection device for an object that displays defects on its screen, supplying the defect signal to a display signal generating means (5),
Based on the defect signal, a defect display signal (S2
), the display signal is superimposed on the video signal in a superimposing device (6), and the superimposed signal (S3) is supplied to the monitor.
本発明による物体の表面検査装置によれば、被検査物体
（Ｂ）の表面の欠陥を検出した場合、欠陥に続く適当な
時間幅，周期及び明るさの欠陥の表示信号（Ｓ２）を映
像信号（Ｓｔ）に重畳し、重畳信号（Ｓ３）をモニタ（
２）に供給し、その画面（２Ａ）上で、どのように小さ
な欠陥でも、目視できる周期，明るさ等で明滅表示させ
ることができる。According to the object surface inspection apparatus according to the present invention, when a defect on the surface of the object to be inspected (B) is detected, a defect display signal (S2) of an appropriate time width, period, and brightness following the defect is transmitted as a video signal. (St), and monitor the superimposed signal (S3) (
2), and on the screen (2A), no matter how small the defect, it can be displayed blinking at a visually visible period and brightness.
以下、本発明の一実施例を第１乃至第４図を参照して説
明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
第１図は本発明の一実施例の全体を示すプロ・冫ク図で
ある。同図に於て、第５図と同一符号は互に同一部分を
示すものとし、それ等の詳細説明を省略する。FIG. 1 is a schematic diagram showing an entire embodiment of the present invention. In this figure, the same reference numerals as in FIG. 5 indicate the same parts, and detailed explanation thereof will be omitted.
第１図に示す本発明の例に於て、被検査物体（Ｂ）に欠
陥のあることが電子処理機（３）により検出され、欠陥
の存在を示すデジタル信号（Ｓｄ）が出力された場合、
この信号（Ｓｄ）を、上述の如き警報回路（ＡＬ）に供
給すると共に、表示信号作製回路（５）に人力する。こ
の表示信号作製回路（５）は、欠陥信号（Ｓｄ）をもと
にして表示信号（Ｓ２）を作り、この表示信号（Ｓ２）
を重畳器（６）に加える．重畳器（６）はビデオカメラ
（１）からの映像信号（Ｓｌ）も供給されているので、
この信号（Ｓ１）に表示信号（Ｓ２）を重畳して、重畳
信号（Ｓ３）を作り、これをモニタ（２）に与える．尚
、第１図に於て、（５Ａ） ． （５Ｂ）及び（５Ｃ）
は、夫々表示信号（Ｓ２）の時間（幅），周期及び明る
さを設定する時間（幅），周期及び明るさ設定回路であ
る。In the example of the present invention shown in FIG. 1, when the electronic processor (3) detects that the object to be inspected (B) has a defect and outputs a digital signal (Sd) indicating the existence of the defect. ,
This signal (Sd) is supplied to the above-mentioned alarm circuit (AL) and is also manually input to the display signal production circuit (5). This display signal production circuit (5) produces a display signal (S2) based on the defect signal (Sd), and this display signal (S2)
is added to the superposition device (6). Since the superimposition device (6) is also supplied with the video signal (Sl) from the video camera (1),
A display signal (S2) is superimposed on this signal (S1) to create a superimposed signal (S3), which is applied to a monitor (2). In addition, in FIG. 1, (5A). (5B) and (5C)
are time (width), period, and brightness setting circuits that respectively set the time (width), period, and brightness of the display signal (S2).
従来例では、第５図に示す如く、転換スイッチ（４）に
よって映像信号（Ｓｌ）と欠陥信号（Ｓｄ）とを切換え
て、欠陥検出の確認等を行っていたが、本発明では、映
像信号（Ｓ１）に表示信号（Ｓ２）を重畳し、常時この
重畳信号（Ｓ３）をモニタ（２）に供給し、その画面（
２Ａ）に表示するので、従来の如き転換の必要はなく、
又見易いものとなる。In the conventional example, as shown in FIG. 5, the conversion switch (4) was used to switch between the video signal (Sl) and the defect signal (Sd) to confirm defect detection, etc. However, in the present invention, the video signal A display signal (S2) is superimposed on (S1), and this superimposed signal (S3) is always supplied to the monitor (2), and the screen (
2A), so there is no need for conversion as in the past.
It also becomes easier to see.
表示信号作製回路（５）の一具体例を、第２図を参照し
て説明する。A specific example of the display signal production circuit (5) will be described with reference to FIG. 2.
電子処理機（３）よりの欠陥が検出されたことを示す第
３図Ａ（第８図Ｃと同じ）に示されたデジタル欠陥信号
（Ｓｄ）が表示信号作製回路（５）の時間（幅）設定回
路（５Ａ）の単安定マルチ（５Ａ１）のＢ端子に入力さ
れると、そのＣ及びＲ端子に接続されタイミング調整用
のコンデンサ（５Ａ２）及び抵抗器（５Ａ３）により決
まる時定数で定まる特定の時間幅（τ）を持ったプレ表
示信号（ＳＡ）が、検出信号（Ｓｄ）の立上り時に同期
して単安定マルチ（５Ａ１）のＱ端子に発生する（第３
図Ｂ参照）。この時間（幅）設定回路（５Ａ）は、上述
の如く、表示信号（Ｓ２）の時間（幅）を設定するもの
で、欠陥信号（Ｓｄ）の大小（時間幅の相違）に関係な
く欠陥（ａ）をモニタ（２）の画面（２八）で目で認知
し易く、しかも、その邪魔にならない程度で、不変の時
間幅を持つ表示信号（Ｓ２）を作る為のものである。尚
、このプレ表示信号（ＳＡ）の時間幅（τ）を、コンデ
ンサ（５Ａ２）及び抵抗器（５Ａ３）を調整して、例え
ば第３図Ｂに点線で示す（τ′）の如く、広くすること
もできる。The digital defect signal (Sd) shown in FIG. 3A (same as FIG. 8C) indicating that a defect has been detected from the electronic processing machine (3) ) When input to the B terminal of the monostable multi (5A1) of the setting circuit (5A), it is connected to its C and R terminals and is determined by the time constant determined by the timing adjustment capacitor (5A2) and resistor (5A3). A pre-display signal (SA) with a specific time width (τ) is generated at the Q terminal of the monostable multi (5A1) in synchronization with the rise of the detection signal (Sd) (the third
(See Figure B). As mentioned above, this time (width) setting circuit (5A) is for setting the time (width) of the display signal (S2), and is used to detect defects regardless of the magnitude (difference in time width) of the defect signal (Sd). This is to create a display signal (S2) that is easy to visually recognize a) on the screen (28) of the monitor (2), and has a constant time width without interfering with the visual recognition. The time width (τ) of this pre-display signal (SA) can be made wider by adjusting the capacitor (5A2) and resistor (5A3), for example, as shown by the dotted line (τ') in FIG. 3B. You can also do that.
単安定マルチ（５Ａ１）よりのプレ表示信号（ＳＡ）は
、周期設定回路（５Ｂ）のアンドゲー｝ （５Ｂ１）の
一方の入力端子に入力される。アンドゲー｝ （５Ｂ１
）の他方の入力端子は、周期設定回路（５Ｂ）の自走マ
ルチ（５Ｂ２）の頁出力端子に接続されている。The pre-display signal (SA) from the monostable multi (5A1) is input to one input terminal of the AND gate (5B1) of the period setting circuit (5B). And game} (5B1
) is connected to the page output terminal of the free-running multi (5B2) of the cycle setting circuit (5B).
第４図Ａ乃至Ｃは、夫々周期設定回路（５Ｂ）の各部の
信号の波形を示す波形図である。第４図Ａは、時間幅設
定回路（５Ａ）より出力され、アンドゲート（５８１）
の一方の入力端に供給されるプレ表示信号（ＳＡ）の波
形図である。例えば第７図に示す如く、ｌ画面（ｌフレ
ーム）の走査で一本の水平走査線が欠陥である黒点（ａ
）を通過し、これを検出する場合は、一画面の走査周期
は約１７ｍｓｅｃ （１６．６＝ ・・ｏ＋ｓｅｃ）で
あるので、このプレ表示信号（ＳＡ）の周期も約ｌ７ｍ
ｓｅｃとなる。換言すれば、一画面の走査で、１個のプ
レ表示信号（ＳＡ）が出力される。このように１７ｒａ
ｓｅｃの周期のプレ表示信号（ＳＡ）によっては、モニ
タ（２）の画面（２Ａ）上で、人間の目に明滅感を殆ん
ど与えないので、このプレ表示信号（ＳＡ）が人間の目
にモニタ（２）の画面（２Ａ）上で明滅感を与えるよう
に遅い周期でプレ表示信号（ＳＡ）を断続せしめるのが
、自走マノレチ（５Ｂ２）の役目である。FIGS. 4A to 4C are waveform diagrams showing the waveforms of signals in each part of the period setting circuit (5B), respectively. A in FIG. 4 is output from the time width setting circuit (5A), and the AND gate (581)
FIG. 3 is a waveform diagram of a pre-display signal (SA) supplied to one input terminal of. For example, as shown in FIG. 7, when one screen (l frame) is scanned, one horizontal scanning line is a black spot (a
) and detect it, the scanning period of one screen is approximately 17 msec (16.6 = . . o + sec), so the period of this pre-display signal (SA) is also approximately 17 msec.
sec. In other words, one pre-display signal (SA) is output by scanning one screen. Like this 17ra
Depending on the pre-display signal (SA) with a period of sec, this pre-display signal (SA) hardly gives a flickering sensation to the human eye on the screen (2A) of the monitor (2). The role of the self-propelled manograph (5B2) is to intermittent the pre-display signal (SA) at a slow cycle so as to give a flickering sensation on the screen (2A) of the monitor (2).
以下、これを説明する。自走マルチ（５Ｂ２）の発振周
期は、そのＣ， Ｒ及びＱ端子に接続したタイもング用
コンデンサ（５Ｂ３）及び抵抗器（５Ｂ４）により自由
に設定できるので、この発振周期を画面の走査周期１７
ｍｓｅｃより遅い周期、例えば５０ｍｓｅｃ〜１００■
ｓｅｃ程度に選んでおけば、後述する如く、プレ表示信
号（ＳＡ）が、数個づつ間欠的にアンドゲート（５Ｂ１
）より出力され、画面（２Ａ）上で、人間の目に明滅感
を与え得る。即ち、第４図Ｂは、自走マルチ（５Ｂ２）
の頁出力端の出力信号（ＳＢ）の波形を示す波形図で、
この信号（ＳＲ）の周期は、上述の如く、例えば５０〜
１００ｍｓｅｃに設定されている。この信号（ＳＢ）が
、上述の如く、アンドゲート（５Ｂ１）の他方の入力端
に供給されている。従って、アンドゲート（５Ｂ１）の
出力信号（５Ｃ）は、第４図Ｃに示す如き波形となる。This will be explained below. The oscillation period of the free-running multi (5B2) can be freely set using the timing capacitor (5B3) and resistor (5B4) connected to its C, R, and Q terminals, so this oscillation period can be set according to the screen scanning period. 17
Period slower than msec, e.g. 50msec to 100■
sec, the pre-display signal (SA) is intermittently activated several times by the AND gate (5B1
) and can give a flickering sensation to the human eye on the screen (2A). That is, Fig. 4B shows the self-propelled multi (5B2)
A waveform diagram showing the waveform of the output signal (SB) at the output end of the page.
As mentioned above, the period of this signal (SR) is, for example, 50~
It is set to 100msec. This signal (SB) is supplied to the other input terminal of the AND gate (5B1) as described above. Therefore, the output signal (5C) of the AND gate (5B1) has a waveform as shown in FIG. 4C.
即ち、この信号（ＳＣ）は、プレ表示信号（ＳＡ）が、
自走マルチ（５Ｂ２）の遅い周期の信号（ＳＢ）で断続
され、数個づつのプレ表示信号（ＳＡ）が間欠的に連続
した信号となる。That is, this signal (SC) is the pre-display signal (SA).
It is intermittent with a slow cycle signal (SB) of the free-running multi signal (5B2), and several pre-display signals (SA) become an intermittently continuous signal.
このようなアンドゲート（５Ｂ１）の出力信号（ＳＣ）
は、そのレベルを調整する回路、即ちモニタ（２）の画
面（２Ａ）上において、表示信号による像の明るさをは
っきりと目に感じさせる程度に調整する明るさ設定回路
（５Ｃ）に供給される。即ち、信号（ＳＣ）は、第２図
に示す如く、そのレベルを調整する可変抵抗器（５Ｃ１
）を介して、バッファ（５Ｃ２）に供給される。この実
施例においては、表示信号作製回路（５）はＴＴＬのレ
ベルで説明してあり、ＴＴＬの出力レベルは通常５■あ
るので、モニタ（２）の画面（２＾）の輝度を制御する
電圧としては充分である。この例では、バッファ（５Ｃ
２）は通常のユニテイ・ゲイン・バッファを示し、その
増度は１である。バツファ（５Ｃ２）の出力が、最終表
示信号〈Ｓ２）となり、これが重畳器（６）へ送られ、
そこで、ビデオカメラ（１）からの映像信号（Ｓ１）に
重畳される。この場合、重畳器（６）は、矢張りユニテ
ィ・ゲイン・バソファ（６Ａ〉と混合用抵抗（６Ｂ）と
の組合せにより構成されている。The output signal (SC) of such an AND gate (5B1)
is supplied to a circuit that adjusts its level, that is, a brightness setting circuit (5C) that adjusts the brightness of the image based on the display signal on the screen (2A) of the monitor (2) to a level that is clearly perceived by the eye. Ru. That is, the signal (SC) is connected to a variable resistor (5C1) that adjusts its level as shown in FIG.
) is supplied to the buffer (5C2). In this embodiment, the display signal generation circuit (5) is explained at the TTL level, and since the TTL output level is normally 5■, the voltage that controls the brightness of the screen (2^) of the monitor (2) is That is sufficient. In this example, the buffer (5C
2) shows a normal unity gain buffer, whose increment is 1. The output of the buffer (5C2) becomes the final display signal (S2), which is sent to the superimposition device (6).
Therefore, it is superimposed on the video signal (S1) from the video camera (1). In this case, the superimposing device (6) is configured by a combination of a unity gain bathophore (6A) and a mixing resistor (6B).
かくして電子処理機（３）が映像信号（Ｓ１）の中から
黒点（ａ）等の欠陥を検出した場合、その欠陥信号（Ｓ
ｄ）に隣接して表示信号（Ｓ２）を作り、これを映像信
号（Ｓ１）に重畳してモニタ（２）の画面（２＾）上に
表示せしめる。しかし、この表示信号（Ｓ２）は、時間
幅の設定回路（５Ａ）．周期の設定回路（５Ｂ）及び明
るさの設定回路（５Ｃ）により目に認知し易いように調
節されているものである。In this way, when the electronic processor (3) detects a defect such as a black spot (a) in the video signal (S1), the defect signal (S
A display signal (S2) is generated adjacent to d), and this is superimposed on the video signal (S1) and displayed on the screen (2^) of the monitor (2). However, this display signal (S2) is generated by the time width setting circuit (5A). The period setting circuit (5B) and the brightness setting circuit (5C) are adjusted so that they are easily recognized by the eyes.
上述の如く、本発明によれば、検出された欠陥の大きさ
に関係なく、欠陥の部分に隣接して目で認知し易い欠陥
の表示を、被検査物体の通常の映像に重畳してモニタの
画面上に常時表わし、しかも映像の転換の必要がないの
で、操作上の便利さと、それにも増して欠陥を検出した
かしないかの現象を明白に捉え、加えて、その欠陥部分
の位置をも明確に示せるという大きな効果を有する。As described above, according to the present invention, regardless of the size of the detected defect, a display of the defect that is easily recognized by the eye adjacent to the defect portion is superimposed on a normal image of the object to be inspected and is monitored. Since it is always displayed on the screen and there is no need to change the image, it is convenient for operation, and in addition, it is possible to clearly see the phenomenon of whether a defect has been detected or not, and in addition, the position of the defective part can be clearly seen. It also has the great effect of clearly showing the information.
更に、本発明では、表示信号を明確に認知し易いように
、欠陥の表示信号の時間幅，それを断続する周期，そし
てその明るさの調整手段を有するもので、これにより最
適の表示信号の性質を定めて、欠陥認知の容易性を増進
するものである。Furthermore, the present invention has means for adjusting the time width of the defective display signal, its intermittent period, and its brightness so that the display signal can be clearly recognized. This is to improve the ease of defect recognition by defining the characteristics.
第１図は本発明の一例の全体を示すブロック図、第２図
はその主要部の接続図、第３図及び第４図はその説明に
供する波形図、第５図は従来例のブロック図、第６図は
その主要部の回路図、第７及び第８図はその説明に供す
る略線図である。
図に於て、（１）は光電変換センサ、（２）はモニタ、
（３）は電子処理機、（５）は表示信号作製回路、（６
）は重畳器を夫々示す。FIG. 1 is a block diagram showing the entire example of the present invention, FIG. 2 is a connection diagram of its main parts, FIGS. 3 and 4 are waveform diagrams for explaining the same, and FIG. 5 is a block diagram of a conventional example. , FIG. 6 is a circuit diagram of the main part thereof, and FIGS. 7 and 8 are schematic diagrams for explaining the same. In the figure, (1) is a photoelectric conversion sensor, (2) is a monitor,
(3) is an electronic processor, (5) is a display signal production circuit, (6
) indicate superimposed devices.
Claims (1)
りの映像信号を電子処理機で処理し、上記被検査物体の
表面に欠陥が在る場合は欠陥信号を発生し、該欠陥信号
をモニタに供給し、その画面上に欠陥を表示する物体の
表面検査装置において、 上記欠陥信号を表示信号作製手段に供給し、上記欠陥信
号に基づいてその時間幅、周期及び明るさの少くともそ
の一つを調整した欠陥の表示信号を作り、 該表示信号を重畳器に於て上記映像信号に重畳し、該重
畳信号を上記モニタに供給するようになしたことを特徴
とする物体の表面検査装置。 ２、上記表示信号作製手段は上記表示信号の時間幅を設
定する手段を有することを特徴とする上記特許請求の範
囲第１項記載の物体の表面検査装置。 ３、上記表示信号作製手段は上記表示信号の周期を設定
する手段を有することを特徴とする上記特許請求の範囲
第１項記載の物体の表面検査装置。 ４、上記表示信号作製手段は上記表示信号の明るさを設
定する手段を有することを特徴とする上記特許請求の範
囲第１項記載の物体の表面検査装置。[Claims] 1. An object to be inspected is imaged by a photoelectric conversion sensor, the resulting image signal is processed by an electronic processor, and a defect signal is generated if there is a defect on the surface of the object to be inspected. , in an object surface inspection apparatus that supplies the defect signal to a monitor and displays the defect on the screen, the defect signal is supplied to a display signal generating means, and the time width, period, and brightness are determined based on the defect signal. A defect display signal is produced by adjusting at least one of the defects, the display signal is superimposed on the video signal in a superimposing device, and the superimposed signal is supplied to the monitor. surface inspection device for objects. 2. The object surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the display signal generating means includes means for setting a time width of the display signal. 3. The object surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the display signal generating means includes means for setting a cycle of the display signal. 4. The object surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the display signal generating means includes means for setting the brightness of the display signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190857A JPH06103274B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Object surface inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190857A JPH06103274B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Object surface inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354439A true JPH0354439A (en) | 1991-03-08 |
| JPH06103274B2 JPH06103274B2 (en) | 1994-12-14 |
Family
ID=16264929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1190857A Expired - Lifetime JPH06103274B2 (en) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | Object surface inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103274B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002061342A (en) * | 2000-08-24 | 2002-02-28 | Tsutsunaka Sheet Bosui Kk | Waterproof sheet connector |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5516201A (en) * | 1978-06-19 | 1980-02-04 | Nippon Keisoku Kogyo Kk | Detector for singular point of object |
| JPS55100787A (en) * | 1979-01-25 | 1980-07-31 | Hajime Sangyo Kk | Inspection unit for body |
| JPS5673337A (en) * | 1979-11-21 | 1981-06-18 | Stanley Electric Co Ltd | Examination method for attached object or admixture of varied color tone, etc. |
| JPS63285448A (en) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Possible defect detector for structural body |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP1190857A patent/JPH06103274B2/en not_active Expired - Lifetime
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| JPS63285448A (en) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Possible defect detector for structural body |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002061342A (en) * | 2000-08-24 | 2002-02-28 | Tsutsunaka Sheet Bosui Kk | Waterproof sheet connector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06103274B2 (en) | 1994-12-14 |
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