JPH0351517A - 高速用軸受及びそれを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 - Google Patents
高速用軸受及びそれを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置Info
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- JPH0351517A JPH0351517A JP1188447A JP18844789A JPH0351517A JP H0351517 A JPH0351517 A JP H0351517A JP 1188447 A JP1188447 A JP 1188447A JP 18844789 A JP18844789 A JP 18844789A JP H0351517 A JPH0351517 A JP H0351517A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターボブロア、ターボ分子ポンプ及び工作機械
の主軸等に用いられる高速用軸受に関し、特に軸受の潤
滑性を改善し、軸受の長寿命化を実現させ、信頼性、保
守性を改良した高速用軸受及びこれを用いたレーザ用タ
ーボブロア及びレーザ発振装置に関する。
の主軸等に用いられる高速用軸受に関し、特に軸受の潤
滑性を改善し、軸受の長寿命化を実現させ、信頼性、保
守性を改良した高速用軸受及びこれを用いたレーザ用タ
ーボブロア及びレーザ発振装置に関する。
最近の炭酸（Ｃ０２）ガスレーザ発振装置は高出力が得
られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料等
の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に広
く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ （
数値制御装置〉と結合したＣＮＣレーザ加工機として、
複雉な形状を高速かつ高精度で切断する分野において急
速に発展しつつある。
られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料等
の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に広
く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ （
数値制御装置〉と結合したＣＮＣレーザ加工機として、
複雉な形状を高速かつ高精度で切断する分野において急
速に発展しつつある。
以下図面を用いて従来の炭酸（Ｃ○２）ガスレーザ発振
装置を説明する。
装置を説明する。
第５図は従来技術による炭酸（Ｃ○２）ガスレーザ発振
装置の全体構成を示す図である。放電管３１の両端には
出力結合鏡３２と全反射鏡３３とからなる光共振器が設
置されている。
装置の全体構成を示す図である。放電管３１の両端には
出力結合鏡３２と全反射鏡３３とからなる光共振器が設
置されている。
放電管３１の外周上には金属電極３４及び３５が取り付
けられている。金属電極３４は接地され、金属電極３５
は高周波電源３６に接続されている。
けられている。金属電極３４は接地され、金属電極３５
は高周波電源３６に接続されている。
金属電極３４及び３５の間には高周波電源３６から高周
波電圧が印加される。これによって、放電管３１内に高
周波グロー放電が発生し、レーザ励起が行われる。
波電圧が印加される。これによって、放電管３１内に高
周波グロー放電が発生し、レーザ励起が行われる。
放電管３１内のレーザビーム光軸を４３で、また出力結
合鏡３２から外部に取り出されるレーザビーム光軸を４
４でそれぞれ示す。
合鏡３２から外部に取り出されるレーザビーム光軸を４
４でそれぞれ示す。
このようなガスレーザ発振装置を起動する時にはまず最
初に真空ポンプ４２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでバルブ４１が開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ４０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンプ４２による排気とバ
ルブ４１による補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
初に真空ポンプ４２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでバルブ４１が開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ４０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンプ４２による排気とバ
ルブ４１による補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
さらに第５図では送風機３９によってレーザガスを装置
内で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある
。炭酸（Ｃ○２）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔのー（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る。
内で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある
。炭酸（Ｃ○２）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔのー（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る。
本装置ではレーザガスは約１００ｍ／ｓｅｃの流速で放
電管３１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器３８
に導かれる。冷却器３８は主として放電による加熱エネ
ルギーをレーザガスから除去する。そして、送風機３９
は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザ
ガスは冷却器３７を介して放電管３１に導かれる。これ
は、送風機３９で発生した圧縮熱を放電管３１に再度導
かれる前に冷却器３７で除去するためである。これらの
冷却器３７及び３８は周知であるので詳細な説明は省略
する。
電管３１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器３８
に導かれる。冷却器３８は主として放電による加熱エネ
ルギーをレーザガスから除去する。そして、送風機３９
は冷却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザ
ガスは冷却器３７を介して放電管３１に導かれる。これ
は、送風機３９で発生した圧縮熱を放電管３１に再度導
かれる前に冷却器３７で除去するためである。これらの
冷却器３７及び３８は周知であるので詳細な説明は省略
する。
第６図に送風機３９として採用されるターボブロアの構
造を示す。ターボ翼１とシャフト２とは機械的に結合さ
れている。シャフト２にはロータ３が取り付けられてお
り、ロータ３とステータ４とで高周波モータを構成して
いる。ターボ翼１はこの高周波モータによって、回転数
約１０万ＰＰＭの高速で回転される。そのため低速回転
のルーツブロアに比較して回転数に逆比例して体積が小
さくなっている。
造を示す。ターボ翼１とシャフト２とは機械的に結合さ
れている。シャフト２にはロータ３が取り付けられてお
り、ロータ３とステータ４とで高周波モータを構成して
いる。ターボ翼１はこの高周波モータによって、回転数
約１０万ＰＰＭの高速で回転される。そのため低速回転
のルーツブロアに比較して回転数に逆比例して体積が小
さくなっている。
さらに、シャフト２の支持にころがり軸受５及び６が使
用されている。通常、グリース潤滑の高速限界は軸受５
及び６の内径とＤｍ−Ｎ値とできまる。Ｄｍは軸受の内
径と外径との平均値であり、Ｎは回転数である。このＤ
ｍ−Ｎ値は軸受内径が小さい方が高速回転には有利であ
る。例えば、内径６ｍｍの軸受ではＤｍ−Ｎ値は１７０
万Ｃｍｍ・ｒｐｍ）であり、内径８ｍｍでは１５０万〔
ｍｍ−ｒ ｐｍ：ｌ 、内径１０ｍｍでは１４０万〔ｍ
ｍ・ｒｐｍ］である。
用されている。通常、グリース潤滑の高速限界は軸受５
及び６の内径とＤｍ−Ｎ値とできまる。Ｄｍは軸受の内
径と外径との平均値であり、Ｎは回転数である。このＤ
ｍ−Ｎ値は軸受内径が小さい方が高速回転には有利であ
る。例えば、内径６ｍｍの軸受ではＤｍ−Ｎ値は１７０
万Ｃｍｍ・ｒｐｍ）であり、内径８ｍｍでは１５０万〔
ｍｍ−ｒ ｐｍ：ｌ 、内径１０ｍｍでは１４０万〔ｍ
ｍ・ｒｐｍ］である。
また、回転部のアンバランスによる遠心力や自重等の荷
重が軸受に作用しているので、剛性面からあまり小さな
軸受を使用することはできない。
重が軸受に作用しているので、剛性面からあまり小さな
軸受を使用することはできない。
従って、現在では軸受内径８ｍｍのものを使用している
。
。
ころがり軸受５及び６の潤滑には光学部品の汚染を防止
するために、オイルを定期的に軸受に供給するオイル供
給ユニット９が使用されている。
するために、オイルを定期的に軸受に供給するオイル供
給ユニット９が使用されている。
第６図においては供給ユニット９はオイルを導管１０を
介してターボブロア内部にオイルを供給する。ターボブ
ロア内部では通路１１及び１２を介してころがり軸受５
及び６の内部にオイルが供給される。軸受５及び６を通
過したオイルは導管１３を介して再び供給ユニット９に
戻される。
介してターボブロア内部にオイルを供給する。ターボブ
ロア内部では通路１１及び１２を介してころがり軸受５
及び６の内部にオイルが供給される。軸受５及び６を通
過したオイルは導管１３を介して再び供給ユニット９に
戻される。
供給ユニット９は図示していないが、オイルを送出する
ポンプと、オイルを貯蔵するタンクと、オイル内のゴミ
を取り除くフィルター等で構成されている。
ポンプと、オイルを貯蔵するタンクと、オイル内のゴミ
を取り除くフィルター等で構成されている。
このような構成によって、レーザガスは矢印８のように
冷却器３８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７のようにレーザ用ターボブロアから冷却器３７へ吐出
される。
冷却器３８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７のようにレーザ用ターボブロアから冷却器３７へ吐出
される。
上述のようなレーザ用ターボブロアはもちろん、ターボ
分子ポンプ及び工作機械の主軸等においても、高性能化
、高効率化の要求から高速回転の軸受が必要である。航
空機用のジェットエンジンではＤ−Ｎ値３００万のもの
が実用化されている。
分子ポンプ及び工作機械の主軸等においても、高性能化
、高効率化の要求から高速回転の軸受が必要である。航
空機用のジェットエンジンではＤ−Ｎ値３００万のもの
が実用化されている。
Ｄ−Ｎ値とは、軸受の内径Ｄ （ｍｍ）ｘ回転数Ｎ（ｒ
ｐｍ）である。このＤ−Ｎ値は軸受の周速に比例する量
であり、また実験では軸受の発熱に比例することも分か
っている。軸受の内径Ｄの代わりに、軸受の内径と外径
との平均値Ｄｍを用い、Ｄｍ−Ｎ値として表すこともあ
る。Ｄｍ−Ｎ値はＤ−Ｎ値の約１．４倍の値である。
ｐｍ）である。このＤ−Ｎ値は軸受の周速に比例する量
であり、また実験では軸受の発熱に比例することも分か
っている。軸受の内径Ｄの代わりに、軸受の内径と外径
との平均値Ｄｍを用い、Ｄｍ−Ｎ値として表すこともあ
る。Ｄｍ−Ｎ値はＤ−Ｎ値の約１．４倍の値である。
このような軸受の潤滑には、オイルやグリース等が使用
されるが、特に高速になると第６図のレーザ用ターボブ
ロアのようにオイルをポンプで循環するオイル強制潤滑
やオイルを霧化してエアで送るオイルミスト潤滑又はエ
アーオイル潤滑等が使用される。
されるが、特に高速になると第６図のレーザ用ターボブ
ロアのようにオイルをポンプで循環するオイル強制潤滑
やオイルを霧化してエアで送るオイルミスト潤滑又はエ
アーオイル潤滑等が使用される。
第６図に示した従来のレーザ用ターボブロアのように高
速回転（例えばＤｍ−Ｎ値８０万以上）のものにおいて
は、供給ユニット９から送出されたオイルはその送出圧
力によって軸受５及び６の内部に流入しようとする。し
かし、軸受５及び６の内輪、保持器及び転動体の高速回
転に伴う遠心力によってオイルがはじきとばされ、安定
した供給ができない。そのために、潤滑不足による焼き
付けが生じたりする。
速回転（例えばＤｍ−Ｎ値８０万以上）のものにおいて
は、供給ユニット９から送出されたオイルはその送出圧
力によって軸受５及び６の内部に流入しようとする。し
かし、軸受５及び６の内輪、保持器及び転動体の高速回
転に伴う遠心力によってオイルがはじきとばされ、安定
した供給ができない。そのために、潤滑不足による焼き
付けが生じたりする。
逆に送出圧力を上げ過ぎ必要以上にオイルを供給すると
、オイル摩擦による温度上昇やモータのｑ 負荷増大が生じる。また、オイルの供給が安定しないた
めに、余分なオイルがレーザガスの送風系に進入し、レ
ーザガスを汚染させてしまうといった問題もある。
、オイル摩擦による温度上昇やモータのｑ 負荷増大が生じる。また、オイルの供給が安定しないた
めに、余分なオイルがレーザガスの送風系に進入し、レ
ーザガスを汚染させてしまうといった問題もある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、安
定してオイルを供給することのできる高速用軸受及びそ
れを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置を
提供することを目的とする。
定してオイルを供給することのできる高速用軸受及びそ
れを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置を
提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、内輪と外輪とで
構成される転道輪と、前記内輪と外輪とに挟まれて前記
転道輪上を回転する球形又はコロ形の転動体と、前記転
動体を保持する保持器とからなる高速用軸受において、
前記保持器が前記内輪及び外輪の端面から突出している
ことを特徴とする高速用軸受が、提供される。
構成される転道輪と、前記内輪と外輪とに挟まれて前記
転道輪上を回転する球形又はコロ形の転動体と、前記転
動体を保持する保持器とからなる高速用軸受において、
前記保持器が前記内輪及び外輪の端面から突出している
ことを特徴とする高速用軸受が、提供される。
また、本発明では、先端にターボ翼を有するシャフトと
、前記シャフトを支持する一対の軸受と、前記シャフト
を回転させるためのモータとから構１０ 戊されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記一対の軸
受を前記高速用軸受で構成し、前記保持器の内側からオ
イルを供給するように構成したことを特徴とするレーザ
用ターボブロアが、提供される。
、前記シャフトを支持する一対の軸受と、前記シャフト
を回転させるためのモータとから構１０ 戊されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記一対の軸
受を前記高速用軸受で構成し、前記保持器の内側からオ
イルを供給するように構成したことを特徴とするレーザ
用ターボブロアが、提供される。
さらに、本発明では、上記レーザ用ターボブロアを用い
たレーザ発振装置が、提供される。
たレーザ発振装置が、提供される。
通常、軸受は転道輪と転動体と保持器とからなり、保持
器は転動体の位置を保持するものであり、転道輪でその
全体を覆われている。本発明では、この保持器を転道輸
を構成する内輪及び外輪の端面から突出させた。この突
出した部分にオイルを供給することによって、オイルは
保持器を伝わり、伝導体及び転道輪内部に供給される。
器は転動体の位置を保持するものであり、転道輪でその
全体を覆われている。本発明では、この保持器を転道輸
を構成する内輪及び外輪の端面から突出させた。この突
出した部分にオイルを供給することによって、オイルは
保持器を伝わり、伝導体及び転道輪内部に供給される。
従って、高速回転時においても遠心力等の影響を受ける
ことなく安定してオイルを供給することができる。また
、このような高速用軸受をターボブロアに使用すること
によって、Ｄ−Ｎ値は大きくなり、高速１ １ 限界が上昇し、ターボブロアを長時間運転することが可
能となる。
ことなく安定してオイルを供給することができる。また
、このような高速用軸受をターボブロアに使用すること
によって、Ｄ−Ｎ値は大きくなり、高速１ １ 限界が上昇し、ターボブロアを長時間運転することが可
能となる。
さらに、このようなターボブロアを用いてレーザ発振装
置を構戒することによって、レーザガス汚染による出力
低下等のないレーザ発振装置を提供することができる。
置を構戒することによって、レーザガス汚染による出力
低下等のないレーザ発振装置を提供することができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
′ｉ４１図は本発明のレーザ用ターボブロアの第１の実
施例を示す図である。第６図と同一の構成要素には同一
の符合が付してあるので、その説明は省略する。ここで
、ターボ翼１は遠心翼を示しているが斜流翼であっても
軸流翼であってもよい。
施例を示す図である。第６図と同一の構成要素には同一
の符合が付してあるので、その説明は省略する。ここで
、ターボ翼１は遠心翼を示しているが斜流翼であっても
軸流翼であってもよい。
本実施例が従来のものと本質的に異なる部分は、軸受５
及び６の保持器が内輪及び外輪の端面から突出し、その
突出した保持器の内側からオイルが供給されている点で
ある。即ち、軸受５の保持器はオイル吸入口方向く図面
上の右側〉に突出し、１ ２ 軸受６の保持器も同様にオイル吸入口方向（図面上の左
側）に突出している。
及び６の保持器が内輪及び外輪の端面から突出し、その
突出した保持器の内側からオイルが供給されている点で
ある。即ち、軸受５の保持器はオイル吸入口方向く図面
上の右側〉に突出し、１ ２ 軸受６の保持器も同様にオイル吸入口方向（図面上の左
側）に突出している。
第２図は本発明の高速用軸受の一実施例を示す図である
。本図では高速用軸受の構造を″第工図のオイル吸入口
付近の詳細と共に示す。軸受５は外輪５ａ、内輪５ｂ、
転動体５ｃ及び保持器５ｄで構成される。外輪５ａと内
輪５ｂとで転道輪を構成する。転動体５ｃは外輪５ａと
内輪５ｂとに挟まれて転道輸上を回転する。転動体５ｃ
は球形又はコロ形である。保持器５ｄは転動体５ｃを保
持する。本実施例の高速軸受では、保持器５ｄが外輪５
ａ及び内輪５ｂの左側端面から突出している。
。本図では高速用軸受の構造を″第工図のオイル吸入口
付近の詳細と共に示す。軸受５は外輪５ａ、内輪５ｂ、
転動体５ｃ及び保持器５ｄで構成される。外輪５ａと内
輪５ｂとで転道輪を構成する。転動体５ｃは外輪５ａと
内輪５ｂとに挟まれて転道輸上を回転する。転動体５ｃ
は球形又はコロ形である。保持器５ｄは転動体５ｃを保
持する。本実施例の高速軸受では、保持器５ｄが外輪５
ａ及び内輪５ｂの左側端面から突出している。
オイル吸入口１４は、保持器５ｄの突出部の内側に設け
られる。従って、オイルは通路１１を通っでオイル吸入
口工４から矢印１５の方向に吐出し、保持器５ｄの内面
に沿って軸受５の内部を移動し、転動体５Ｃ及び転道輪
に到達する。さらに、不要なオイルは保持器５ｄの内面
に沿って移動し、矢印１６の方向から排出される。
られる。従って、オイルは通路１１を通っでオイル吸入
口工４から矢印１５の方向に吐出し、保持器５ｄの内面
に沿って軸受５の内部を移動し、転動体５Ｃ及び転道輪
に到達する。さらに、不要なオイルは保持器５ｄの内面
に沿って移動し、矢印１６の方向から排出される。
第３図は本発明の高速用軸受の他の実施例を示１３
す図である。本実施例では保持器５ｅの形状に特徴があ
る。即ち、保持器５ｅが突出した部分から転動体５ｃに
向かってテーパ状になっている。これによって、吸入口
１４から矢印ｌ５の方向に吐出したオイルは、軸受５の
回転遠心力によってテーパ状の傾斜面に沿って容易に転
動体５Ｃの方向に移動し、さらに矢印ｌ６の方向から排
出される。
る。即ち、保持器５ｅが突出した部分から転動体５ｃに
向かってテーパ状になっている。これによって、吸入口
１４から矢印ｌ５の方向に吐出したオイルは、軸受５の
回転遠心力によってテーパ状の傾斜面に沿って容易に転
動体５Ｃの方向に移動し、さらに矢印ｌ６の方向から排
出される。
第４図は本発明のレーザ用ターボブロアの第２の実施例
の構成を示す図である。本実施例はレーザ用ターボブロ
アの軸受５及び６の周囲にオイルフィルムダンパーを取
り付け、軸受の振動を吸収したものである。オイルフィ
ルムダンパーはスリーブ２４と、Ｏリング２２及び２３
と、ハウジングとス′リーブ２４との間に充填されたオ
イルとによって構成される。ころがり軸受５及び６の内
輪はシャフト２に固定され、外輪はスリーブ２４に固定
されている。ハウジングとスリーブ２４との間には１０
〜１００μｍのすきまが設けられ、そこにグリース又は
オイルが充填される。○リング２２及び２３はすきまに
充填されたグリース又は１４ オイルとレーザガスとを遮断するためのものである。こ
のような構成にすることによって、ターボ翼ｌ及びシャ
フト２が高速で回転したときの振動はオイルフィルムダ
ンパーの流体力学的な減衰効果によって減衰する。
の構成を示す図である。本実施例はレーザ用ターボブロ
アの軸受５及び６の周囲にオイルフィルムダンパーを取
り付け、軸受の振動を吸収したものである。オイルフィ
ルムダンパーはスリーブ２４と、Ｏリング２２及び２３
と、ハウジングとス′リーブ２４との間に充填されたオ
イルとによって構成される。ころがり軸受５及び６の内
輪はシャフト２に固定され、外輪はスリーブ２４に固定
されている。ハウジングとスリーブ２４との間には１０
〜１００μｍのすきまが設けられ、そこにグリース又は
オイルが充填される。○リング２２及び２３はすきまに
充填されたグリース又は１４ オイルとレーザガスとを遮断するためのものである。こ
のような構成にすることによって、ターボ翼ｌ及びシャ
フト２が高速で回転したときの振動はオイルフィルムダ
ンパーの流体力学的な減衰効果によって減衰する。
以上の実施例ではころがり軸受について説明したが、ア
ンギュラ玉軸受、円筒コロ玉軸受又は円錐コロ玉軸受で
もよい。さらに、軸受の材料として窒化ケイ素等のセラ
ミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。このセ
ラミック軸受は高価であるため、その構成要素の一部分
、例えば、転動体のみにセラミックを用いた場合でもそ
の効果は大きい。
ンギュラ玉軸受、円筒コロ玉軸受又は円錐コロ玉軸受で
もよい。さらに、軸受の材料として窒化ケイ素等のセラ
ミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。このセ
ラミック軸受は高価であるため、その構成要素の一部分
、例えば、転動体のみにセラミックを用いた場合でもそ
の効果は大きい。
また、オイル供給ユニット９にポンプを使用したが、タ
ーボブロアやターボ分子ポンプを垂直に立てて、シャフ
トの中心軸に円錐形の穴を形或して、シャフトの遠心力
によってオイルを汲み上げ、軸受に振り掛ける方式でも
よい。
ーボブロアやターボ分子ポンプを垂直に立てて、シャフ
トの中心軸に円錐形の穴を形或して、シャフトの遠心力
によってオイルを汲み上げ、軸受に振り掛ける方式でも
よい。
さらに、保持器の材質としては、高速回転で使用する点
及び潤滑性、重量等から判断して、自己１ ５ 潤滑性が高く、軽量のナイロンを使用することが望まし
い。この他にも自己潤滑性の高い銅合金や加工の容易な
フェノール樹脂等が適している。
及び潤滑性、重量等から判断して、自己１ ５ 潤滑性が高く、軽量のナイロンを使用することが望まし
い。この他にも自己潤滑性の高い銅合金や加工の容易な
フェノール樹脂等が適している。
以上説明したように本発明によれば、軸受内部に安定し
てオイルを供給することができ、潤滑不良がなくなり、
軸受の寿命が向上し、ターボブロアを長時間運転するこ
とが可能となる。
てオイルを供給することができ、潤滑不良がなくなり、
軸受の寿命が向上し、ターボブロアを長時間運転するこ
とが可能となる。
第■図は本発明のレーザ用ターボブロアの第１の実施例
を示す図、 第２図は本発明の高速用軸受の一実施例を示す図、 第３図は本発明の高速用軸受の他の実施例を示す図、 第４図は本発明のレーザ用ターボブロアの第２の実施例
を示す図、 第５図は従来の炭酸（Ｃ○２）ガスレーザ発振１ ６ 装置の全体構成を示す図、 第６図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 ２２、 １ ２、 ターボ翼 シャフト ロータ ステータ 軸受 外輪 内輪 転動体 保持器 オイル供給ユニッ １３ オイル導管 オイル供給口 ○リング スリーブ 放電管 ト １ ７ ３４、 ３７、 出力結合鏡 全反射鏡 電極 高周波電源 冷却器 送風機 ガスボンベ 真空ポンプ 共振器内レーザビーム光軸 共振器外レーザビーム光軸
を示す図、 第２図は本発明の高速用軸受の一実施例を示す図、 第３図は本発明の高速用軸受の他の実施例を示す図、 第４図は本発明のレーザ用ターボブロアの第２の実施例
を示す図、 第５図は従来の炭酸（Ｃ○２）ガスレーザ発振１ ６ 装置の全体構成を示す図、 第６図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 ２２、 １ ２、 ターボ翼 シャフト ロータ ステータ 軸受 外輪 内輪 転動体 保持器 オイル供給ユニッ １３ オイル導管 オイル供給口 ○リング スリーブ 放電管 ト １ ７ ３４、 ３７、 出力結合鏡 全反射鏡 電極 高周波電源 冷却器 送風機 ガスボンベ 真空ポンプ 共振器内レーザビーム光軸 共振器外レーザビーム光軸
Claims (8)
- （１）内輪と外輪とで構成される転道輪と、前記内輪と
外輪とに挟まれて前記転道輪上を回転する球形又はコロ
形の転動体と、前記転動体を保持する保持器とからなる
高速用軸受において、 前記保持器が前記内輪及び外輪の端面から突出している
ことを特徴とする高速用軸受。 - （２）前記保持器が前記突出した部分から前記転動体に
向かってテーパ状になっていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の高速用軸受。 - （３）前記保持器の内側のみがテーパ状になっているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の高速用軸受
。 - （４）前記軸受がアンギュラ玉軸受であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の高速用軸受。 - （５）前記軸受がセラミック軸受であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の高速用軸受。 - （６）先端にターボ翼を有するシャフトと、前記シャフ
トを支持する一対の軸受と、前記シャフトを回転させる
ためのモータとから構成されるレーザ用ターボブロアに
おいて、 前記一対の軸受を特許請求の範囲第１項記載の高速用軸
受で構成し、前記保持器の内側からオイルを供給するよ
うに構成したことを特徴とするレーザ用ターボブロア。 - （７）前記軸受にオイルフィルムダンパーを設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第６項記載のレーザ用ター
ボブロア。 - （８）気体放電によってレーザ励起をする放電管と、レ
ーザ発振を行わせる光共振器と、送風機及び冷却器によ
ってレーザガスを強制冷却させるガス循環装置とから構
成されるレーザ発振装置において、 前記送風機が特許請求の範囲第６項記載のレーザ用ター
ボブロアで構成されていることを特徴とするレーザ発振
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188447A JPH0351517A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 高速用軸受及びそれを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188447A JPH0351517A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 高速用軸受及びそれを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351517A true JPH0351517A (ja) | 1991-03-05 |
Family
ID=16223851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188447A Pending JPH0351517A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 高速用軸受及びそれを用いたレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351517A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008240728A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
| JP2009019600A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ圧縮機およびターボ冷凍機 |
| JP2009215931A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ圧縮機およびターボ冷凍機 |
| CN111852933A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-30 | 贵州永红航空机械有限责任公司 | 一种风机支撑***轴承压力平衡结构 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1188447A patent/JPH0351517A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008240728A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-09 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
| EP1972794B1 (de) | 2007-03-23 | 2018-01-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| JP2009019600A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ圧縮機およびターボ冷凍機 |
| JP2009215931A (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ圧縮機およびターボ冷凍機 |
| CN111852933A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-30 | 贵州永红航空机械有限责任公司 | 一种风机支撑***轴承压力平衡结构 |
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