JPH0351237A - 静電吸着装置 - Google Patents
静電吸着装置Info
- Publication number
- JPH0351237A JPH0351237A JP18598089A JP18598089A JPH0351237A JP H0351237 A JPH0351237 A JP H0351237A JP 18598089 A JP18598089 A JP 18598089A JP 18598089 A JP18598089 A JP 18598089A JP H0351237 A JPH0351237 A JP H0351237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- polarity
- adsorption
- electrostatic
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 60
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Handling Of Cut Paper (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、静電吸着装置に関する。
(従来の技術)
静電吸着装置は、絶縁体層の上面に配置され、導電材料
で作られた一対の櫛歯状電極と、その上に配置された吸
着層と、上記一対の電極間に直流電圧を印加する電源と
を備えてなるものであり、上記電極への電圧の印加時に
発生する静電界により、上記吸着層の表面上に、紙、プ
ラスチックフィルム等の被着体を吸着保持するものであ
る。なお、上記一対の櫛歯状電極は、互いに噛み合わさ
れた状態で配置されている。
で作られた一対の櫛歯状電極と、その上に配置された吸
着層と、上記一対の電極間に直流電圧を印加する電源と
を備えてなるものであり、上記電極への電圧の印加時に
発生する静電界により、上記吸着層の表面上に、紙、プ
ラスチックフィルム等の被着体を吸着保持するものであ
る。なお、上記一対の櫛歯状電極は、互いに噛み合わさ
れた状態で配置されている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記したような静電吸着装置において、
上記吸着層として、特に10′3オ一ダーΩcm以上の
電気抵抗率を有するプラスチック材料を用いた場合には
、電圧の印加開始後一定の時間が経過すると、その吸着
力が徐々に低下して、吸着装五の作用を果たせなくなっ
てしまうという問題がある。
上記吸着層として、特に10′3オ一ダーΩcm以上の
電気抵抗率を有するプラスチック材料を用いた場合には
、電圧の印加開始後一定の時間が経過すると、その吸着
力が徐々に低下して、吸着装五の作用を果たせなくなっ
てしまうという問題がある。
そこで、本発明は、吸着層として、たとえ10′3オ一
ダーΩcm以上の電気抵抗率を有するプラスチック材料
を用いたとしても、吸着力を維持することのできる静電
吸着装置を提供することを目的とするものである。
ダーΩcm以上の電気抵抗率を有するプラスチック材料
を用いたとしても、吸着力を維持することのできる静電
吸着装置を提供することを目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明は、絶縁体層の上面に配置され、導電材料で作ら
れた一対の櫛歯状電極と、その上に配置された吸着層と
、前記電極間に直流電圧を印加する電源とを備えた静電
吸着装置において、上記電源が、上記一対の櫛歯状電極
へ印加する電圧の極性を所定時間毎に反転する極性反転
機能を備えていることを特徴とするものである。
れた一対の櫛歯状電極と、その上に配置された吸着層と
、前記電極間に直流電圧を印加する電源とを備えた静電
吸着装置において、上記電源が、上記一対の櫛歯状電極
へ印加する電圧の極性を所定時間毎に反転する極性反転
機能を備えていることを特徴とするものである。
(発明の作用・効果)
本発明の静電吸着装置においては、上記電圧極性反転(
以下、パルス反転電圧と称することもある)機能を備え
た電源によって、上記一対の櫛歯状電極に、所定時間毎
に極性が反転する電圧を印加して、静電界を発生させ、
この静電界による静電吸着力で被着体を吸着保持する。
以下、パルス反転電圧と称することもある)機能を備え
た電源によって、上記一対の櫛歯状電極に、所定時間毎
に極性が反転する電圧を印加して、静電界を発生させ、
この静電界による静電吸着力で被着体を吸着保持する。
この吸着製保持力は、上記の電圧の極性の反転により、
時間とともに増大されるか、少なくとも維持される。こ
のような作用・効果は、電気抵抗率が10”オーダー0
cm以上のプラスチック材料で吸着層を形成した場合に
顕著に発現する。電気抵抗率が108オーダー乃至10
12オーダーΩcmのプラスチック材料で吸着層を形成
した場合、電圧の極性を反転させなくても十分な吸着保
持力があるが、電圧の極性の反転印加により、吸着保持
力を、直流電圧印加時よりも更に増加させることができ
る。
時間とともに増大されるか、少なくとも維持される。こ
のような作用・効果は、電気抵抗率が10”オーダー0
cm以上のプラスチック材料で吸着層を形成した場合に
顕著に発現する。電気抵抗率が108オーダー乃至10
12オーダーΩcmのプラスチック材料で吸着層を形成
した場合、電圧の極性を反転させなくても十分な吸着保
持力があるが、電圧の極性の反転印加により、吸着保持
力を、直流電圧印加時よりも更に増加させることができ
る。
すなわち、本発明によれば、従来の直流形静電吸着装置
と同じ電圧印加時に比べて保持力が増大するので、同一
レベルの保持力を得ようとする場合には、パルス反転電
圧の印加電圧を下げることができる。
と同じ電圧印加時に比べて保持力が増大するので、同一
レベルの保持力を得ようとする場合には、パルス反転電
圧の印加電圧を下げることができる。
また、本発明の静電吸着装置においては、従来、吸着層
の材料としては不適当であった、1013オーダーΩc
m以上の電気抵抗率を有するものも使用可能となり、特
に、1016および10′?Ωcm程度の電気抵抗率を
有するポリエステルフィルムあるいはソートをも、吸着
層材料として用いることが可詣となる。
の材料としては不適当であった、1013オーダーΩc
m以上の電気抵抗率を有するものも使用可能となり、特
に、1016および10′?Ωcm程度の電気抵抗率を
有するポリエステルフィルムあるいはソートをも、吸着
層材料として用いることが可詣となる。
なお、特公昭47−39392号公報においても、静電
吸着装置において、吸着力を増強するため、電極間に印
加した電圧の極性を反転することが開示されているが、
この公告特許公報に開示された静電吸着装置における印
加電圧の極性の反転は、電圧印加当初に一時的に行われ
るのみであり、吸着作用中に所定時間毎に印加電圧の極
性の反転を繰り返し行う本発明とは思想を全く異にする
ものである。また、吸着保持装置に交流を印加する形式
のものとも全く相違するものである。
吸着装置において、吸着力を増強するため、電極間に印
加した電圧の極性を反転することが開示されているが、
この公告特許公報に開示された静電吸着装置における印
加電圧の極性の反転は、電圧印加当初に一時的に行われ
るのみであり、吸着作用中に所定時間毎に印加電圧の極
性の反転を繰り返し行う本発明とは思想を全く異にする
ものである。また、吸着保持装置に交流を印加する形式
のものとも全く相違するものである。
(実施例)
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ましい実施例
による静電吸着装置について説明する。
による静電吸着装置について説明する。
第1図は、本発明の実施例による静電吸着装置の平面図
であり、第2図は、第1図の線A−Aに沿う断面図であ
る。
であり、第2図は、第1図の線A−Aに沿う断面図であ
る。
静電吸着装置は、静電吸着板1および電源装置10を備
えている。上記静電吸着板1は、絶縁支持層2、この絶
縁支持層2上に配置された一対の櫛歯状電極3.4、お
よびこれらの上に配置された吸着層5を有している。上
記絶縁支持層2、電極3.4および吸着層5は、例えば
両面接着シート6により互いに接合され、一体止されて
、静電吸着板1を構成している。
えている。上記静電吸着板1は、絶縁支持層2、この絶
縁支持層2上に配置された一対の櫛歯状電極3.4、お
よびこれらの上に配置された吸着層5を有している。上
記絶縁支持層2、電極3.4および吸着層5は、例えば
両面接着シート6により互いに接合され、一体止されて
、静電吸着板1を構成している。
上記電極3.4は、導電性のインクを用い絶縁支持層2
の上面あるいは吸着層5の下面°に直接電極パターン状
に印刷したものであってもよいし、または銅箔等の金属
を電極パターン状に形成したものを、上記絶縁支持層2
上に接着剤により接着したものであってもよい。
の上面あるいは吸着層5の下面°に直接電極パターン状
に印刷したものであってもよいし、または銅箔等の金属
を電極パターン状に形成したものを、上記絶縁支持層2
上に接着剤により接着したものであってもよい。
上記吸着層5は、主にプラスチックで形成され、その電
気抵抗率が10Bオ一ダーΩcm乃至102オーダーΩ
cm程度の半導電性のものから、電気抵抗率が10′3
オ一ダーΩcm以上の高電気抵抗率のものまで使用可能
である。この電気抵抗率は、JIS K 6911
に準じ、静電吸着装置の作動電圧と同一の測定電圧の下
で測定されたものとする。また、上記吸着層の厚さは、
0.02mmから2.5mm、好ましくは0.05mm
から2.Qmmの範囲に設定する。
気抵抗率が10Bオ一ダーΩcm乃至102オーダーΩ
cm程度の半導電性のものから、電気抵抗率が10′3
オ一ダーΩcm以上の高電気抵抗率のものまで使用可能
である。この電気抵抗率は、JIS K 6911
に準じ、静電吸着装置の作動電圧と同一の測定電圧の下
で測定されたものとする。また、上記吸着層の厚さは、
0.02mmから2.5mm、好ましくは0.05mm
から2.Qmmの範囲に設定する。
上記電源装置10は、発生電圧が100OV乃至500
OV程度の直流電源11、および上記電極3.4に印加
する電圧の極性を所定時間毎に自動的に反転させる極性
反転回路12を備えている。
OV程度の直流電源11、および上記電極3.4に印加
する電圧の極性を所定時間毎に自動的に反転させる極性
反転回路12を備えている。
この極性反転回路12は、上記の所定時間を計測するた
めのタイマや時定数回路等の計時装置13を備えており
、この計時装置13によって計時される所定時間毎に、
リレー等で構成される切り換え]1?を作動させて、上
記電極3.4に印加する電圧の極性を所定時間毎に自動
的に反転させるものである。上記所定時間は、数秒から
数十分の単位で設定される。この時間は、吸着層を10
13オーダーΩcm以上の高電気抵抗率のプラスチック
で形成した場合に吸着力が減衰するが、その吸着保持力
が吸着装置として満足である値以下になる前である必要
がある。
めのタイマや時定数回路等の計時装置13を備えており
、この計時装置13によって計時される所定時間毎に、
リレー等で構成される切り換え]1?を作動させて、上
記電極3.4に印加する電圧の極性を所定時間毎に自動
的に反転させるものである。上記所定時間は、数秒から
数十分の単位で設定される。この時間は、吸着層を10
13オーダーΩcm以上の高電気抵抗率のプラスチック
で形成した場合に吸着力が減衰するが、その吸着保持力
が吸着装置として満足である値以下になる前である必要
がある。
以上のような構成の静電吸着装置において、吸着層を、
誘電率6、電気抵抗率5X10”Ωcm、厚さQ、5m
mのプラスチック誘電シートで形成し、また、電極3.
4へ、直流1000Vを、10秒毎に極性を反転した状
態で印加しく実施例1)、この状態で、記録用紙に対す
る吸着力の変化を測定した。なお、吸着力は、記録用紙
(A4サイズ、重量67g/M2)を吸着させ、これを
バネ秤で水平に引っ張って、移動した時点の力を測定し
た。上記測定の結果を第1表に示した。また、同じ構造
の静電吸着装置を用い、印加電圧の極性を反転しないも
のを比較例1、印加電圧の極性を印加直後に1回のみ反
転させるものを比較例2とし、それぞれの吸着力の変化
を測定し、上記第1表に示した。
誘電率6、電気抵抗率5X10”Ωcm、厚さQ、5m
mのプラスチック誘電シートで形成し、また、電極3.
4へ、直流1000Vを、10秒毎に極性を反転した状
態で印加しく実施例1)、この状態で、記録用紙に対す
る吸着力の変化を測定した。なお、吸着力は、記録用紙
(A4サイズ、重量67g/M2)を吸着させ、これを
バネ秤で水平に引っ張って、移動した時点の力を測定し
た。上記測定の結果を第1表に示した。また、同じ構造
の静電吸着装置を用い、印加電圧の極性を反転しないも
のを比較例1、印加電圧の極性を印加直後に1回のみ反
転させるものを比較例2とし、それぞれの吸着力の変化
を測定し、上記第1表に示した。
更に、上記吸着層を、誘電率3、電気抵抗率2XIO”
Ωcm、厚さ100μmのポリエステルフィルムで形成
し、また、電極3.4へ、直流2000Vを、10秒毎
に極性を反転した状態で印加しく実施例2)、この状態
で、上記と同様にして記録用紙に対する吸着力の変化を
測定した。この測定の結果を第2表に示した。また、同
じ構造の静電吸着装置を用い、印加電圧の極性を反転し
ないものを比較例3、印加電圧の極性を印加直後に1回
のみ反転させるものを比較例4とし、それぞれの吸着力
の変化を測定し、上記第2表に示した。
Ωcm、厚さ100μmのポリエステルフィルムで形成
し、また、電極3.4へ、直流2000Vを、10秒毎
に極性を反転した状態で印加しく実施例2)、この状態
で、上記と同様にして記録用紙に対する吸着力の変化を
測定した。この測定の結果を第2表に示した。また、同
じ構造の静電吸着装置を用い、印加電圧の極性を反転し
ないものを比較例3、印加電圧の極性を印加直後に1回
のみ反転させるものを比較例4とし、それぞれの吸着力
の変化を測定し、上記第2表に示した。
(以下、余白)
第1表
60 〃
7.80
5.10
5.10
なお
上記測定は、
温度25℃、
湿度70%の
条件下で行った。
312表
1
1.70
なお、上記測定は、温度24℃、湿度70%の条件下で
行った。
行った。
以上の結果から分かるように、実施例1では、吸着力が
徐々に増大したのに対し、比較例1,2では、共に吸着
力が5kgで横這いになった。また、実施例2では、吸
着力が電圧印加後徐々に増大し、10分後からほぼ安定
したのに対し、比較例3.4では、比較例4において、
吸着力が電圧の印加直後に一時的に増大したものの、比
較例3および4共に、吸着力が時間の経過とともに織少
し、5分後にはほぼ0となってしまった。
徐々に増大したのに対し、比較例1,2では、共に吸着
力が5kgで横這いになった。また、実施例2では、吸
着力が電圧印加後徐々に増大し、10分後からほぼ安定
したのに対し、比較例3.4では、比較例4において、
吸着力が電圧の印加直後に一時的に増大したものの、比
較例3および4共に、吸着力が時間の経過とともに織少
し、5分後にはほぼ0となってしまった。
このように、本発明の静電吸着装置においては、その吸
着力が、上記の電圧の極性の反転により、時間とともに
増大されるか、少なくとも維持され、吸着層として幅の
広い材料を用いることが可能となる。
着力が、上記の電圧の極性の反転により、時間とともに
増大されるか、少なくとも維持され、吸着層として幅の
広い材料を用いることが可能となる。
第1図は、本発明の実施例による静電吸着装置の平面図
、 第2図は、第1図の線A−Aに沿う断面図である。 1 静電吸着板 2 絶縁支持層 3.4 電極 5 吸着層 電源装置 直流電源 ■ 極性反転回路 ■ 計時装置
、 第2図は、第1図の線A−Aに沿う断面図である。 1 静電吸着板 2 絶縁支持層 3.4 電極 5 吸着層 電源装置 直流電源 ■ 極性反転回路 ■ 計時装置
Claims (1)
- 絶縁体層の上面に配置され、導電材料で作られた一対の
櫛歯状電極と、その上に配置された吸着層と、前記電極
間に直流電圧を印加する電源とを備えた静電吸着装置に
おいて、前記電源が、前記一対の櫛歯状電極へ印加する
電圧の極性を所定時間毎に反転する極性反転機能を備え
ていることを特徴とする静電吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18598089A JPH0351237A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18598089A JPH0351237A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 静電吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0351237A true JPH0351237A (ja) | 1991-03-05 |
Family
ID=16180251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18598089A Pending JPH0351237A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0351237A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7008129B2 (en) * | 2004-04-14 | 2006-03-07 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Capacitive mat control |
JP2010208065A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5377489A (en) * | 1976-12-21 | 1978-07-08 | Taihei Chem | Static holder |
JPS63257481A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-25 | Abisare:Kk | 静電保持装置 |
JPS63257482A (ja) * | 1987-07-07 | 1988-10-25 | Abisare:Kk | 静電保持装置 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP18598089A patent/JPH0351237A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5377489A (en) * | 1976-12-21 | 1978-07-08 | Taihei Chem | Static holder |
JPS63257481A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-25 | Abisare:Kk | 静電保持装置 |
JPS63257482A (ja) * | 1987-07-07 | 1988-10-25 | Abisare:Kk | 静電保持装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7008129B2 (en) * | 2004-04-14 | 2006-03-07 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Capacitive mat control |
JP2010208065A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3916270A (en) | Electrostatic holddown apparatus | |
US4751609A (en) | Electrostatic holding apparatus | |
US4001102A (en) | Process for generating periodic non-uniform electric field, and for removing polarizable particulate material from fluid, using ferroelectric apparatus | |
KR940022782A (ko) | 웨이퍼 방출방법 및 장치 | |
US3930982A (en) | Ferroelectric apparatus for dielectrophoresis particle extraction | |
US5173834A (en) | Electrostatic attraction apparatus | |
JPH0351237A (ja) | 静電吸着装置 | |
EP0119706B1 (en) | Improved polarizing of material | |
JPH0671944B2 (ja) | 静電保持装置 | |
JPS5458774A (en) | Polarization of thermoplastic resin film | |
JPS63777B2 (ja) | ||
DK0571592T3 (da) | Indretning til fremstilling af ozon | |
JPH035176A (ja) | 静電吸着装置 | |
JP2004147358A (ja) | 静電吸着装置 | |
US3899697A (en) | Bistable positioner comprising a dimensionally bistable ferroelectric crystal | |
JP2542724B2 (ja) | シ―ト静電吸着方法 | |
JPS58114437A (ja) | 静電吸着方法 | |
JP3911635B2 (ja) | 板状基板の貼り合わせ方法及び板状基板の貼り合わせ装置 | |
JP2668951B2 (ja) | 帯電装置用電極素子及びその製造方法 | |
JPH04342155A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH06204579A (ja) | 圧電バイモルフ型アクチュエータ | |
JPH06155214A (ja) | 静電保持装置 | |
JPH0611996Y2 (ja) | 静電吸着装置 | |
JPH05236764A (ja) | 圧電アクチュエ−タの駆動用電源装置 | |
JPH0659288A (ja) | 光学素子の駆動方法および光学素子駆動装置 |