JPH03505130A - 粒子寸法分析方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 1.サンプル領域に浮遊した粒子の寸法を測定するために、入射軸線に沿って導 かれる光ビームでサンプルを照射するための照射手段とサンプルにより散乱され る光の強度を測定するための複数の光検出器とを備えた装置において、 入射軸線に関して小角度にわたり散乱された光を集めかつそれで第1の組の複数 の光検出器を照射するため少なくとも第1のフーリエレンズを備えた第1の集光 手段と、 入射軸線に関して大きな角度にわたり散乱された光を集めかつそれで第2の組の 複数の光検出器を照射するため少なくとも第2のフーリエレンズを備えた第2の 集光手段とを備えたことを特長とする粒子寸法測定装置。
- 2.前記第1のフーリエレンズは第1の光学的屈折力により特長づけられ且つ 前記第2のフーリエレンズは第1の光学的屈折力よりも大きな第2の光学的屈折 力により特長づけられたことを特長とする請求項1に記載の装置。
- 3.前記第1の集光手段および前記第2の集光手段は、入射軸線に関してある匹 敵し得る角度区分にわたり散乱された光を集合的にかつ同時に集めることを特長 とする訴求項2に記載の装置。
- 4.入射軸線に関して小角度にわたり散乱された光を検出するために、選択され た面積を有する第1の組の個別の光検出器セクタを有し、当該第1の組のそれぞ れのセクタは対応する測定角度周囲のある角度範囲にわたり散乱された光を検出 するよう配列され、当該第1の組の連続したセクタのそれぞれの面積は増大する 測定角度の関数として指数関数的に増加した第1の光検出手段と、入射軸線に関 して大きな角度にわたり散乱された光を検出するために、第2の組の個別の光検 出器セクタを有し、当該第2の組のそれぞれのセクタは対応する測定角度周囲の ある角度範囲にわたり散乱された光を検出するよう配列され、当該第2の組の連 続したセクタのそれぞれの面積は増大する測定角度の関数として直線的に増加し た第2の光検出手段とを備えたことを特長とする請求項1に記載の装置。
- 5.前記第1の組の第1セクタが、散乱光の重複した角度範囲を測定するために 、基準軸線に接近してかつ基準軸線の周囲に準対称的に配置され、 前記第1の組の第2セクタが、散乱光の一致ないし合同範囲を測定するために、 鏡の周囲に対称配置されていることを特長とする請求項4に記載の装置。
- 6.選択される角度よりも大きな角度で散乱された光を検出するために、寸法が 増加するセクタのうちの最も外側のセクタから延長する寸法が等しいセクタの組 を含む第3の光検出手段を備えたことを特長とする請求項5に記載の装置。
- 7.サンプル領域に浮遊する粒子の寸法を測定する方法において、 入射軸線に沿って導かれる光ビームでサンプルを照射し、 複数の光検出器を構成して、サンプルにより散乱された光の強度を測定し、 少なくとも第1のフーリエレンズを構成して、入射軸線に関して小角度にわたり 散乱された光を集めて、それで前記光検出器の第1の組を照射し、 少なくとも第2のフーリエレンズを構成して、入射軸線に関して大きな角度にわ たり散乱された光を集めて、それで前記光検出器の第2の組を照射する諸段階か ら構成される粒子寸法測定方法。
- 8.少なくとも第1のフーリエレンズを構成する前記段階は、前記第1のフーリ エレンズが第1の光学的屈折力を持つよう構成する段階を含み、 少なくとも第2のフーリエレンズを構成する前記段階は、前記第2のフーリエレ ンズが前記第1の光学的屈折力よりも大きな第2の光学的屈折力を持つよう構成 する段階を含む請求項7に記載の方法。
- 9.前記第1のフーリエレンズおよび前記第2のフーリエレンズが、入射軸線に 関して匹敵し得る毎度区分にわたり散乱された光を集合的にかつ同時に集めるよ う位置決めする段階を備えた請求項8に記載の方法。
- 10.複数の光検出器を構成する前記段階は、入射軸線に関して小角度にわたり 散乱された光を検出するように、選択される面積を有する第1の組の個別の光検 出セクタを構成する段階と、 入射軸線に関して大きな角度にわたり散乱された光を検出するように、第2の組 の個別の光検出セクタを構成する段階とを含み、 前記第1の組の構成は、 対応する測定角度の周囲の或る角度範囲にわたり散乱された光を検出するよう、 前記第1の組のそれぞれのセクタを配列し、且つ 増大する測定角度の関数として指数関数的に増加するよう前記第1の組の連続し たセクタのそれぞれの面積を選択することを含み、 前記第2の組の構成は、 対応する測定角度の周囲の或る角度範囲にわたり散乱された光を検出するよう、 前記第2の組のそれぞれのセクタを配列し、且つ 増大する測定角度の関数として直線的に増加するよう前記第1の組の連続したセ クタのそれぞれの面積を選択することを含む請求項7に記載の方法。
- 11.散乱光の重複した角度範囲を測定するように、前記第1の組の第1セクタ を、基準軸線に接近してかつ基準軸線の周囲に準対称的に位置決めし、 散乱光の一致ないし合同範囲を測定するように、前記第1の組の第2セクタを鏡 の周囲に対称的に位置決めする諸段階を備えた請求項10に記載の方法。
- 12.寸法が増大するセクタにより包摂される最外角度から延長するように寸法 が等しい光検出セクタの組を位置決めし、当該最外角度よりも大きい角度で散乱 される光を検出するようにする段階を備えた請求項11に記載の方法。
- 13.前記第1の集光手段は、選択される光学パラメータの第1の値を有する光 を集めるための選択手段を備え、前記第2の集光手段は、選択される光学パラメ ータの第2の値を有する光を集めるための選択手段を備えたことを特長とする請 求項1に記載の装置。
- 14.前記の選択される光学パラメータは波長であり、前記選択手段は波長選択 形光学フィルターを備えることを特長とする請求項1に記載の装置。
- 15.前記フーリエレンズのうち少なくとも一つは、サンプル領域の方へ配向さ れた実質的に平らな面を有する案質的に平凸のレンズであり、当該実質的に平凸 のレンズは、球面収差および非点収差のいずれもができるだけ最小とされるよう 、サンプル領域から十分に遠方に離間されたことを特長とする請求項1に記載の 装置。
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