JPH0346250A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造におけるウェハ搬送装置に関するも
のである。

〔従来の技術ｊ ベルヌーイ効果を用いたウェハ非接触式搬送装置は、第
２図に示すように、配管２を通って窒素ガスを搬送装置
に吹込み、細孔吹き出し口３よりウェハ４との間に吹き
出すことにより、搬送装置とウェハとの間に生じるベル
ヌーイ効果によって、ウェハ４を搬送装置ｌから０．２
　ｍ　ｍ程度の一宝の套５　ｔｉｌｔ　＋、′７北培真
中で（♀ち、ウェハ４ｚ欄横オろ装置である。

この搬送装置工ではベルヌーイ効果により発生する圧力
降下現象のため、窒素ガス中に含まれる水分がウェハ４
面上に結露し易い。従来これを防ぐため、窒素ガス中に
含まれる水分が０．５ｐｐｍ以下である高純度乾燥窒素
ガスを用いていた。

また、窒素ガスをウェハに直接吹きつけるので、窒素ガ
ス中に含まれる微小な塵がウェハに付着し易く、これを
防ぐため、第３図に示すように、従来高純度窒素ガス源
からウェハ搬送装置へ接続される窒素ガス配管２の途中
にフィルタ１２を設けていた。

このような搬送装置では、高純度窒素ガスは乾燥してい
るため、ウェハ４が搬送中に静電気を帯びてしまい、窒
素ガス中に含まれた塵や、雰囲気中のほこりを吸着し、
ウェハ４を汚染してしまうといった問題があった。

〔発明が解決しようとする課題］ 本発明は以上の従来の問題を解決し、ウェハが庫やＬ子
、’ｒｌ＊ｌ１ｌＢ葺１かシ＼上う１７１、　ウェハノ
ア１；：　ｔｔｈを防止しようとするものである。この
ようなウェハの汚染は、静電気によるものであるから、
静電気を除去放電させることが肝要となる。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記課題を解決するために創案されたものであ
って、搬送装置に送る窒素ガスの配管の途中に、窒素ガ
スをイオン化する装置を介装したことを特徴とする。イ
オン化装置としては放射性アイソトープを用いた装置、
コロナ放電装置、Ｘ線を用いた装置などを用いることが
できる。

〔作用１ 高純度ガス源からウェハ搬送装置へ結合された窒素ガス
配管の途中に、ガスイオン化装置を介装することにより
、搬送装置からウェハヘイオン化された窒素ガスが吹き
つけられ、ウェハに蓄えられた静電気を除去することが
できる。

これによりウェハに静電気力で付着していた塵やほこり
がイオン化された窒素ガスにて吹き飛ばされる。また、
ウェハが静電気を帯びなくなるので、新たに塵が付着す
ることもなくなる。

［実施例］ 第１図にウェハ搬送装置１の窒素ガス導入配管２にイオ
ン化装置１１を設置した実施例を示す。

このウェハ搬送装置およびイオン化装置の仕様は次の通
りである。

ウェハ搬送装置の大きさ：１５０ｍｍφ中ウェハ用 窒素つス導入量：５００ｃｃ／ｍｉｎ イオン化装置： 型式：コロナ放電装置 イオン化率＝３０％ 上記実施例のウェハ搬送装置を用いて１５０ｍｍφのウ
ェハ４を搬送し、そのウェハ４上に付着した塵の数をレ
ーザーパーティクルカウンタで計測した。実施例の計測
結果を、イオン化装置を作動させない時の比較例と共に
、第１表に示した。第１表に示す通り塵の数は大きく減
少していた。

〔発明の効果１ 本発明によりベルヌーイ効果を用いたウェハ搬送装置に
てウェハに付着する塵の数を著しく減少させることが可
能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例のフローシート、第２図はベル
ヌーイ効果を用いたウェハ搬送装置の一部断面側面図、
第３図は従来のフローシートである。 ｌ・・・ウェハ搬送装置　　２・・・ガス導入配管３・
・・吹き出し口　　　　４・・・ウェハ１１・・・イオ
ン化装置　　１２・・・フィルタ出 願 人 代 理 人 川崎製鉄株式会社 男

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １流動窒素ガスによるベルヌーイ効果を用いたウェハ非
   接触式搬送装置において、窒素ガス導入配管途中に窒素
   ガスイオン化装置を介装したことを特徴とするウェハ搬
   送装置。