JPH03293807A - 圧電素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、圧電基板に振動電極を設けてなるユニット
に周波数調整用被膜を形成してその周波数を調整し、こ
れをカットして圧電素子を切り出す圧電素子の製造方法
に関する。

［従来の技術］ 例えば、第４図に示すように、圧電基板２２の両面に振
動電極２３ａ、２３ｂを形成してなる圧電素子２１を製
造するための従来の方法としては、ユニットに周波数調
整用被膜を形成して周波数の調整を行った後、このユニ
ットをカットして圧電素子を切り出す方法がある。この
方法においては、第５図に示すように、圧電基板２２の
両面に振動電極２３ａ、２３ｂを形成してユニット３１
を作成した後、ユニット３１の周波数を測定する。それ
から、ユニット３１の長手方向に沿って、電極２３ａ、
２３ｂの重なり部分（ｌｉｔ動部）２４に、周波数調整
用被膜としてレジストインク２５を一定の厚みで塗布し
、ユニット３１の周波数を降下させて所定の周波数に調
整する。その後、このユニット３１をカットすることに
より圧電素子２１（第４図）を切り出している。

〔発明が解決しようとする課題］ しかし、上記従来の製造方法においては、通常、表面研
磨工程におけるラップ精度のばらつきから、ユニット３
１の厚みは一定ではなく、第６図に示すように、ユニッ
ト３１の中央部では厚みが大きく、端部（周辺部）に向
かって厚みが小さくなっている。この中央部と端部では
、その厚みに通常的０．１〜１．０μｍ程度の差がある
。

ところで、周波数と振動部２４の厚みとの間には、 ｆＸｔ＝Ｃ（一定） （ただし、　ｆ：周波数、　ｔ：素子の厚み、Ｃ：周波
数定数） という関係がある。したがって、第７図および第８図に
示すように、ユニット３１の振動部２４にレジストイン
ク２５を一定の厚みで塗布することにより素子（振動部
２４）の厚みを大きくして周波数の調整を行っても、ユ
ニット３１の厚みのばらつきの影響は除去されず、圧電
素子２１を切り出すユニット３１の位置により、切り出
された圧電素子２１の発振周波数にばらつきが生じると
いう問題点がある。

この発明は、上記の間組点を解決するものであり、ひと
つのユニットから周波数の集中度の高い複数の圧電素子
を得ることができる圧電素子の製造方法を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記問題点を解決するために、この発明にかかる圧電素
子の製造方法は、 圧電基板の表面に電極を形成してなるユニットに周波数
調整用被膜を形成して周波数の調整を行った後、前記ユ
ニットをカットして圧電素子を切り出す圧電素子の製造
方法であって、 前記周波数調整用被膜をスクリーン印刷によって形成す
るとともに、 前記スクリーン印刷において、ユニットの中央部に対応
する部分からユニットの端部に対応する部分仲向かつて
メツシュの粗さを密から粗に変化させた印刷パターンを
用いて印刷を行い、ユニットの中央部には薄く、端部に
は厚く周波数調整用被膜を形成することを特徴とする。

し作用］ この発明の圧電素子の製造方法にお０ては、メツシュの
粗さを、ユニットの中央部に対応する部分では密に、ユ
ニットの端部に対応する部分で番よ粗になるように所定
のＷｌ調で変化させた印刷ノくターンを用いてスクリー
ン印刷がおこなわれ、ユニットの中央部には薄く、端部
には厚く周波数調整用被膜が形成され、ユニット全体の
厚みのばらつきが修正され、一つのユニットから周波数
の集中度の高い複数の圧電素子を得ることができる。

［実施例］ 以下、この発明の実施例を図に基づいて説明する。第１
図はこの発明の圧電素子の製造方法を説明する図であり
、ユニットに周波数調整用被膜を形成した状態を示す斜
視図、第２図は第１図のユニットを矢印Ａの方向から見
た状態を示す図である。これらの図に示すように、圧電
基板２の両面に振動電極３ａ、３ｂを形成して作成した
ユニ・ｙト１１の両面の、振動ｔ＆３ａ、３ｂの相対向
する部分〈振動部）４には周波数調整用のレジストイン
ク（周波数調整用被膜）５が塗布されている。

このレジストインク５は、ユニット１１の中央部に対応
する部分では密に、ユニット１１の端部に対応する部分
では粗になるように所定の階調で変化させた印刷パター
ン（マスク）を用いてスクリーン印刷を行うことにより
塗布する。すなわち、上述のようにメツシュの粗さを調
整した印刷パターン（図示せず）をユニット１１上に置
き、該印刷パターン上にレジストインクを供給して、ユ
ニット１１両面の振動部Ｔ＃１３ａ、３ｂの対向する部
分４を覆うように塗布する。このとき、印刷パターンの
中央部はメツシュが密でレジストインクの通過量が少な
いなめ、ユニット１１の中央部には薄くレジストインク
が塗布され、印刷パターンの端部はメツシュが粗くレジ
ストインクの通過量が多いため、ユニット１１の端部に
は厚くレジストインク（周波数調整用被膜）が塗布され
る。その結果、第２図に示すように、ユニット１１全体
を通して振動部４の厚みのばらつきが修正され、ユニッ
ト１１をカプトすることにより、周波数の集中度の高い
複数の圧電素子が得られる。なお得られる圧電素子は第
４図に示す圧電素子２１と同機の構成を有する。

なお、上記実施例で用いた印刷パターンのメツシュの、
中央部から端部に向かって密から粗に変化するパターン
には、例えば、第３図（ａ）に示すような直線状、第３
図（ｂ）に示すような双曲線状、および第３図（ｃ）に
示すような階段状などのパターンが考えられるが、メツ
シュの粗さのパターンはこれらに特に限定されるもので
はなく、中央部から端部に向かって密から粗になってい
る種々のパターンを用いることができる。

また、上記実施例では周波数調整用被膜を形成する材料
として、レジストインクを用いているが、その材料は、
特に限定されるものではなく、スクリーン印刷を行うこ
とが可能な種々の材料を用いることができる。

［発明の効果］ 以上のように、この発明の圧電素子の製造方法は、メツ
シュの粗さが、中央部から端部に向かつて密から粗にな
っている印刷パターンを用いてユニットに周波数調整用
被膜を形成するように構成しているので、ユニットの中
央部には薄く、端部には厚く周波数調整用被膜が形成さ
れ、ユニット全体の厚みのばらつきが修正される。した
がって、ラップ作業の精度を特に高く保持することなく
、ひとつのユニットから、周波数の集中度の高い複数個
の圧電素子を切り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例にかかるユニットを示す斜
視図、第２図は第１図のユニットを矢印Ａの方向から見
た状態を示す図、第３図（ａ）。 （ｂ）、（Ｃ）はこの発明の実施例にかかる製造方法に
おいて用いられる印刷パターンの粗密の状態を示すグラ
フ、第４図は従来の圧電素子の製造方法により製造され
た圧電素子を示すｆ４＃１図、第５図はその圧電素子を
切り出すユニットを示す斜視図、第６図は第５図のユニ
ットを矢印Ｂの方向から見た状態を示す図、第７図は第
６図のユニットに周波数調整用被膜を形成した状態を示
す図、第８図は第７図の■−■線による断面図である。 ２・・・・・・圧電基板 ３ａ、３ｂ・・・・・・振動電極 ４・・・・・・振動部 ５・・・・・・周波数ｌ！整整波被 膜１・・・・・・ユニブト

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板の表面に電極を形成してなるユニットに
   周波数調整用被膜を形成して周波数の調整を行った後、
   前記ユニットをカットして圧電素子を切り出す圧電素子
   の製造方法において、 前記周波数調整用被膜をスクリーン印刷によつて形成す
   るとともに、 前記スクリーン印刷において、前記ユニットの中央部に
   対応する部分からユニットの端部に対応する部分に向か
   ってメッシュの粗さを密から粗に変化させた印刷パター
   ンを用いて印刷を行い、前記ユニットの中央部には薄く
   、端部には厚く周波数調整用被膜を形成すること を特徴とする圧電素子の製造方法。