JPH03291396A - Ni―Fe合金によるめっき方法 - Google Patents
Ni―Fe合金によるめっき方法Info
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- JPH03291396A JPH03291396A JP9289890A JP9289890A JPH03291396A JP H03291396 A JPH03291396 A JP H03291396A JP 9289890 A JP9289890 A JP 9289890A JP 9289890 A JP9289890 A JP 9289890A JP H03291396 A JPH03291396 A JP H03291396A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 title abstract description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 37
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 38
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 abstract description 9
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
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- 229910018499 Ni—F Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ll上旦且里旦■
本発明はNi−Fe合金によるめっき方法、より詳細に
は磁性膜として機能するNi−Fe合金めつき方法に関
する。
は磁性膜として機能するNi−Fe合金めつき方法に関
する。
来の ・″とその課
従来、この種のNi−Fe合金めっき方法は1例えば磁
気記録ヘッド等のような対象物上に均一な成分比を有す
るNi−Fe合金めっき膜を形成するために用いられて
いた。
気記録ヘッド等のような対象物上に均一な成分比を有す
るNi−Fe合金めっき膜を形成するために用いられて
いた。
一般に、磁性薄膜として利用されているNi−Fe合金
めっき膜は、その合金組成の違いによって、磁気特性が
大きく左右される。Ni−Fe合金めっき膜の合金組成
を左右する要因としては、めっき方法、めっき浴及びめ
っき条件等が考えられる。例えば、定電流によるめっき
やめっき電流をパルス化して行なうパルスめっき等の電
気めっきにおいて、同じめっき浴を用いても定電流によ
るめっきとパルスめっきとでは、めっき膜の特性が変わ
ることが知られている。そして、このようにNi −F
e合金めっき膜の合金組成を左右する要因の中で、特に
影響が大きいものがめつき電流密度である。
めっき膜は、その合金組成の違いによって、磁気特性が
大きく左右される。Ni−Fe合金めっき膜の合金組成
を左右する要因としては、めっき方法、めっき浴及びめ
っき条件等が考えられる。例えば、定電流によるめっき
やめっき電流をパルス化して行なうパルスめっき等の電
気めっきにおいて、同じめっき浴を用いても定電流によ
るめっきとパルスめっきとでは、めっき膜の特性が変わ
ることが知られている。そして、このようにNi −F
e合金めっき膜の合金組成を左右する要因の中で、特に
影響が大きいものがめつき電流密度である。
第9図は、Ni −Fe合金によるめっきを施した被め
っき体及びめっき膜の断面を示したものである。図中2
0は電気めっきにより形成されたNi −Fe合金めっ
き膜であり、このNi−Fe合金めっき膜20が施され
た被めっき体21は平坦部A、傾斜部B、平坦部Cとい
う段差のある面を有している。
っき体及びめっき膜の断面を示したものである。図中2
0は電気めっきにより形成されたNi −Fe合金めっ
き膜であり、このNi−Fe合金めっき膜20が施され
た被めっき体21は平坦部A、傾斜部B、平坦部Cとい
う段差のある面を有している。
第10図はめっき電流密度とNi−Fe合金めっき膜中
におけるFeの重量組成との関係を示すFe重量組成−
電流密度曲線である。
におけるFeの重量組成との関係を示すFe重量組成−
電流密度曲線である。
この図で示されるように、めっき電流密度を上げると、
Ni−Fe合金めっき膜中のFe重量組成は上昇し、あ
るめっき電流密度1)0でFe重量組成は極大値Fe+
oとなる。
Ni−Fe合金めっき膜中のFe重量組成は上昇し、あ
るめっき電流密度1)0でFe重量組成は極大値Fe+
oとなる。
段差のある面を持つ被めっき体21にNi−Fe合金め
っきを施した場合、傾斜部BにおいてNi−Fe合金組
成にずれが生じてしまい、このことが特に微細パターン
を有する素子では磁気特性劣下の大きな原因となる。均
一な磁気特性を有するNi−Fe合金めっきによる磁性
薄膜を得るためには、めっき電流密度の変動を小さくし
て合金組成のばらつきを小さくすればよいことから、従
来は、めっき電流密度の変動に対するFe重量組成の変
動が最も少ない点、すなわち、Fe重量組成の極大値近
傍におけるめっき電流密度(第10図においては1、。
っきを施した場合、傾斜部BにおいてNi−Fe合金組
成にずれが生じてしまい、このことが特に微細パターン
を有する素子では磁気特性劣下の大きな原因となる。均
一な磁気特性を有するNi−Fe合金めっきによる磁性
薄膜を得るためには、めっき電流密度の変動を小さくし
て合金組成のばらつきを小さくすればよいことから、従
来は、めっき電流密度の変動に対するFe重量組成の変
動が最も少ない点、すなわち、Fe重量組成の極大値近
傍におけるめっき電流密度(第10図においては1、。
)を選択して電気めっきを行なっていた(特開昭55−
82793号公報)、シかしこの方法では、第9図に示
したような、段差のある面を有した被めっき体21に電
気めっきを行なう場合、傾斜部Bの影響によりめっき電
流密度は第10図及び第1)図に示したように、平坦部
A、Cでは工、。となり、傾斜部BではI ++どなっ
て、傾斜部Bのめっき電流密度が平坦部A、Cのめっき
電流密度に比べ、小さくなる。つまり、平坦部A、Cと
傾斜部Bとのめっき電流密度の差Δ工によって、Fe重
量組成は平坦部A、CではFe+。となり、傾斜部Cで
はFe++となって、前記両者の間でFe重量組成にΔ
Fe、、のずれが生じてしまう。そこで、平坦部A、C
と傾斜部BとのFe重量組成のずれを少なくするために
、第12及び第13図に示したように、平坦部A、Cに
おけるめっき電流密度を、Fe重量組成の極大値を与え
る電流密度(第10図中I+a)より大きな電流密度I
rsとし、傾斜部Bにおけるめっき電流密度を、△工
だけずれた、Fe重量組成の極大値を与える電流密度よ
り小さな値I +4として電気めっきを行なう方法が提
案されている(特開平1−180994号公報)。
82793号公報)、シかしこの方法では、第9図に示
したような、段差のある面を有した被めっき体21に電
気めっきを行なう場合、傾斜部Bの影響によりめっき電
流密度は第10図及び第1)図に示したように、平坦部
A、Cでは工、。となり、傾斜部BではI ++どなっ
て、傾斜部Bのめっき電流密度が平坦部A、Cのめっき
電流密度に比べ、小さくなる。つまり、平坦部A、Cと
傾斜部Bとのめっき電流密度の差Δ工によって、Fe重
量組成は平坦部A、CではFe+。となり、傾斜部Cで
はFe++となって、前記両者の間でFe重量組成にΔ
Fe、、のずれが生じてしまう。そこで、平坦部A、C
と傾斜部BとのFe重量組成のずれを少なくするために
、第12及び第13図に示したように、平坦部A、Cに
おけるめっき電流密度を、Fe重量組成の極大値を与え
る電流密度(第10図中I+a)より大きな電流密度I
rsとし、傾斜部Bにおけるめっき電流密度を、△工
だけずれた、Fe重量組成の極大値を与える電流密度よ
り小さな値I +4として電気めっきを行なう方法が提
案されている(特開平1−180994号公報)。
日が ′しようとする課
上記した従来のNi−Fe合金によるめっき方法では、
第12図に示したように、平坦部A、Cと傾斜部Bにお
いて、めっき電流密度は、略同程度のFe+4を得るこ
とが可能であるけれども、平坦部AあるいはCから傾斜
部Bへの遷移領域において第12図に示した電流密度の
ビークFe、、が表れ、傾斜部BのFe重量組成に、局
部的ではあるがΔFe+sのずれを生じ、いずれにして
も平坦部A、Cと傾斜部Bとの間でFe重量組成のずれ
は免れ得ないという課題があった。
第12図に示したように、平坦部A、Cと傾斜部Bにお
いて、めっき電流密度は、略同程度のFe+4を得るこ
とが可能であるけれども、平坦部AあるいはCから傾斜
部Bへの遷移領域において第12図に示した電流密度の
ビークFe、、が表れ、傾斜部BのFe重量組成に、局
部的ではあるがΔFe+sのずれを生じ、いずれにして
も平坦部A、Cと傾斜部Bとの間でFe重量組成のずれ
は免れ得ないという課題があった。
本発明は上記した課題に鑑みなされたものであって、段
差のある面を有した被めっき体に対して、平坦部と傾斜
部とにおけるNi−Fe合金の微視的な組成変動のない
、均一なNi−Fe合金めっき膜を形成するためのNi
−Fe合金のめっき方法を提供することを目的としてい
る。
差のある面を有した被めっき体に対して、平坦部と傾斜
部とにおけるNi−Fe合金の微視的な組成変動のない
、均一なNi−Fe合金めっき膜を形成するためのNi
−Fe合金のめっき方法を提供することを目的としてい
る。
課 を解ゞ るための 1″7
上記した目的を達成するために本発明に係るNi −F
e合金のめっき方法は、段差のある面を有した被めっき
体において、平坦部における電流密度を、Fe重量組成
−電流密度曲線におけるFe重量組成の極大値を与える
電流密度と、該電流密度よりも大きな電流密度との間で
連続的に変化させながらめっきを行なうことを特徴とし
ている。
e合金のめっき方法は、段差のある面を有した被めっき
体において、平坦部における電流密度を、Fe重量組成
−電流密度曲線におけるFe重量組成の極大値を与える
電流密度と、該電流密度よりも大きな電流密度との間で
連続的に変化させながらめっきを行なうことを特徴とし
ている。
■
第3図は、第9図に示すような段差のある面を有した被
めっき体に、電気めっきによりNi−Fe合金めっき膜
を形成する場合のFe重量組成−電流密度曲線を示して
いる。
めっき体に、電気めっきによりNi−Fe合金めっき膜
を形成する場合のFe重量組成−電流密度曲線を示して
いる。
図中■4はFe重量組成が極大値となるめっき電流密度
であり、このめっき電流密度■4を用いて平坦部A、C
の電気めっきを行なった場合、第4図に示すようにNi
−Fe合金めっき膜中におけるFe重量組成は、傾斜部
Bの方がFesとなり平坦部A、Cの方のFe4 と比
較して小さくなる。
であり、このめっき電流密度■4を用いて平坦部A、C
の電気めっきを行なった場合、第4図に示すようにNi
−Fe合金めっき膜中におけるFe重量組成は、傾斜部
Bの方がFesとなり平坦部A、Cの方のFe4 と比
較して小さくなる。
一方、めっき電流密度を前記■4よりも、平坦部A、C
と傾斜部Bの電流密度の差、61以上大きな+6として
電気めっきを行なうと、第5図に示すようにNi−Fe
合金めっき膜中におけるFe重量組成は、傾斜部Bの方
がFeeとなり、平坦部A、Cの方のFesと比較して
大きくなる。すなわち、平坦部A、Cのめっき電流密度
をFe重量組成の極大値を与える電流密度I4に設定し
た時と該電流密度よりも大きな電流密度I6に設定した
時とでは、Ni−Fe合金めっき膜中におけるFe重量
組成が平坦部A、Cと傾斜部Bとで逆転する。
と傾斜部Bの電流密度の差、61以上大きな+6として
電気めっきを行なうと、第5図に示すようにNi−Fe
合金めっき膜中におけるFe重量組成は、傾斜部Bの方
がFeeとなり、平坦部A、Cの方のFesと比較して
大きくなる。すなわち、平坦部A、Cのめっき電流密度
をFe重量組成の極大値を与える電流密度I4に設定し
た時と該電流密度よりも大きな電流密度I6に設定した
時とでは、Ni−Fe合金めっき膜中におけるFe重量
組成が平坦部A、Cと傾斜部Bとで逆転する。
従って、平坦部A、Cのめっき電流密度を14から1.
まで連続的に変化させてめっきを行うことにより、めっ
き電流密度の変化毎に平坦部A、Cと傾斜部BとでNi
−Fe合金めっき膜中におけるFe重量組成の変化が起
こり、めっき膜全体としてはNi−Fe合金めっき膜中
におけるNi−Fe合金組成に差がなくなり、その均質
化が図られる6!鳳」 第2図は本実施例に係るNi−Fe合金のめつき方法で
用いられるめっき装置を模式的に示した構成図である。
まで連続的に変化させてめっきを行うことにより、めっ
き電流密度の変化毎に平坦部A、Cと傾斜部BとでNi
−Fe合金めっき膜中におけるFe重量組成の変化が起
こり、めっき膜全体としてはNi−Fe合金めっき膜中
におけるNi−Fe合金組成に差がなくなり、その均質
化が図られる6!鳳」 第2図は本実施例に係るNi−Fe合金のめつき方法で
用いられるめっき装置を模式的に示した構成図である。
図中1)はめっき浴10中に載置された段差のある面を
有した被めっき体で、この被めっき体1)は、電源15
の陰極側と接続されている。また、めっき浴10中には
被めっき体1)と対向して、電源15の陽極側と接続さ
れた電極13が設けられており、各電極1).13は、
電流密度を連続的に変化させるための関数発生器14を
介して、電源15と接続されている。
有した被めっき体で、この被めっき体1)は、電源15
の陰極側と接続されている。また、めっき浴10中には
被めっき体1)と対向して、電源15の陽極側と接続さ
れた電極13が設けられており、各電極1).13は、
電流密度を連続的に変化させるための関数発生器14を
介して、電源15と接続されている。
以下、本発明の実施例に係るめっき方法を図面に基づい
て説明する。
て説明する。
第9図に示したような、段差のある面を有した被めっき
体21にめっきを施す方法において。
体21にめっきを施す方法において。
Ni−Fe合金めっき膜20中におけるNi−Fe合金
組成の差をなくし、その均質化を図るために、電流密度
を連続的に変化させる。
組成の差をなくし、その均質化を図るために、電流密度
を連続的に変化させる。
すなわち、第3図において、平坦部A、Cの連続的に変
化させる電流密度の範囲ΔI°を、前記電流密度の差Δ
工よりも大きくとり、Fe重量組成の極大値となる電流
密度■4と電流密度I6との間で電流密度を変化させて
めっきを行なう。このように、Fe重量組成の極大値と
なる電流密度I4と、この工、より平坦部A、Cと傾斜
部Bとの電流密度の差である△Iよりも大きな電流密度
16との間を連続的に変化するように設定すると、めっ
き膜20中のFe重量組成は平坦部A、C及び傾斜部B
の両者ともFe<とFeeとの間で連続的に変化し、す
なわち、第4図及び第5図に示した状態の間を連続的に
変化し、合金めっきM2Oの平坦部A、Cと傾斜部Bの
組成変化の大きさが等しくなり、形成されためっき膜2
0全体の合金組成は均一となる。
化させる電流密度の範囲ΔI°を、前記電流密度の差Δ
工よりも大きくとり、Fe重量組成の極大値となる電流
密度■4と電流密度I6との間で電流密度を変化させて
めっきを行なう。このように、Fe重量組成の極大値と
なる電流密度I4と、この工、より平坦部A、Cと傾斜
部Bとの電流密度の差である△Iよりも大きな電流密度
16との間を連続的に変化するように設定すると、めっ
き膜20中のFe重量組成は平坦部A、C及び傾斜部B
の両者ともFe<とFeeとの間で連続的に変化し、す
なわち、第4図及び第5図に示した状態の間を連続的に
変化し、合金めっきM2Oの平坦部A、Cと傾斜部Bの
組成変化の大きさが等しくなり、形成されためっき膜2
0全体の合金組成は均一となる。
この際、第6図〜第8図に示したように、連続的に変化
させる電流密度は、直線的な三角波、正弦波あるいは台
形波で変化させても変わらない効果を得ることができる
。さらに、連続的に変化させる電流の周波数を、数m5
ec〜数10 secの範囲で変化させても変わらない
効果を得ることができる。特に段差が100μm以下の
場合は本方法による均一化の効果は大きい。
させる電流密度は、直線的な三角波、正弦波あるいは台
形波で変化させても変わらない効果を得ることができる
。さらに、連続的に変化させる電流の周波数を、数m5
ec〜数10 secの範囲で変化させても変わらない
効果を得ることができる。特に段差が100μm以下の
場合は本方法による均一化の効果は大きい。
また、第1図に示したように、Δ■=Δ■° となるよ
うに設定してめっきを行なうと、第4図及び第5図にお
けるFe4とFesとが等しくなり、また、Fe3とF
e6とが等しくなり、より一層その組成が均一化された
めっき膜20を得ることができる。
うに設定してめっきを行なうと、第4図及び第5図にお
けるFe4とFesとが等しくなり、また、Fe3とF
e6とが等しくなり、より一層その組成が均一化された
めっき膜20を得ることができる。
光渥坏と伽里
以上の説明により明らかなように、本発明に係るNi−
Fe合金によるめっき方法にあっては、段差のある面を
有した被めっき体にめっきを施す場合、平坦部における
電流密度を、Fe重量組成−電流密度曲線におけるFe
重量組成の極大値を与える電流密度と、該電流密度より
も大きな電流密度との間で連続的に変化させながらめっ
きを行なうことにより、平坦部と傾斜部との合金組成が
均一となり、磁気特性の均一なNi−Fe合金めっき膜
を得ることができる。
Fe合金によるめっき方法にあっては、段差のある面を
有した被めっき体にめっきを施す場合、平坦部における
電流密度を、Fe重量組成−電流密度曲線におけるFe
重量組成の極大値を与える電流密度と、該電流密度より
も大きな電流密度との間で連続的に変化させながらめっ
きを行なうことにより、平坦部と傾斜部との合金組成が
均一となり、磁気特性の均一なNi−Fe合金めっき膜
を得ることができる。
第1図は本発明に係るNi −Fe合金めっき方法にお
いて連続的に変化させる電流密度を平坦部と傾斜部との
電流密度の差に等しく設定した時のFe重量組成−電流
密度曲線、第2図は本発明の実施例に係るめっき方法を
実施する際に用いるめっき装置を示す概略構成図、第3
図は平坦部の電流密度なFe重量組成の極大値となる電
流密度と極大値より大きな電流密度との間で変化させて
めっきを施す様子を説明するFe重量組成−電流密度曲
線、第4図は平坦部の電流密度をFe重量組成の極大値
が得られる電流密度に設定してめっき膜を形成したとき
の被めっき体及びめっき膜の断面図、第5図は平坦部の
電流密度なFe重量組成の極大値が得られる電流密度よ
り大きな電流密度に設定してめっき膜を形成したときの
被めっき体及びめっき膜の断面図、第6図〜第8図は連
続的に変化させる電流密度−時間曲線、第9図はNi−
Fe合金めっきを施した段差のある面を有する被めっき
体及びめっき膜の断面図、第10図は平坦部におけるめ
っき電流密度をFe重量組成の極大値に設定してめっき
を施す場合を示すFe重量組成−電流密度曲線、第1)
図は第10図に示した条件でめっき膜を施したときの被
めっき体及びめっき膜の断面図、第12図は平坦部にお
けるめっき電流密度をFe重量組成の極大値より大きな
電流密度に設定してめっきを施す場合を示すFe重量組
成−電流密度曲線。 第13図は第12図に示した条件でめっき膜を施したと
きの被めっき体及びめっき膜の断面図である。 20・・・めっき膜 21・・・被めっき体 特 許 出 願 人 :住友金属工業株式会社代 理
人 :弁理士 井内龍ニ 第1図 第2図 第6図 第8図 第9図 第7図 斡 ↓N +#贋中/Fet量知り吹゛(0ム) 第10図 第12図 (mA/Crrl’ J 第1,1 図
いて連続的に変化させる電流密度を平坦部と傾斜部との
電流密度の差に等しく設定した時のFe重量組成−電流
密度曲線、第2図は本発明の実施例に係るめっき方法を
実施する際に用いるめっき装置を示す概略構成図、第3
図は平坦部の電流密度なFe重量組成の極大値となる電
流密度と極大値より大きな電流密度との間で変化させて
めっきを施す様子を説明するFe重量組成−電流密度曲
線、第4図は平坦部の電流密度をFe重量組成の極大値
が得られる電流密度に設定してめっき膜を形成したとき
の被めっき体及びめっき膜の断面図、第5図は平坦部の
電流密度なFe重量組成の極大値が得られる電流密度よ
り大きな電流密度に設定してめっき膜を形成したときの
被めっき体及びめっき膜の断面図、第6図〜第8図は連
続的に変化させる電流密度−時間曲線、第9図はNi−
Fe合金めっきを施した段差のある面を有する被めっき
体及びめっき膜の断面図、第10図は平坦部におけるめ
っき電流密度をFe重量組成の極大値に設定してめっき
を施す場合を示すFe重量組成−電流密度曲線、第1)
図は第10図に示した条件でめっき膜を施したときの被
めっき体及びめっき膜の断面図、第12図は平坦部にお
けるめっき電流密度をFe重量組成の極大値より大きな
電流密度に設定してめっきを施す場合を示すFe重量組
成−電流密度曲線。 第13図は第12図に示した条件でめっき膜を施したと
きの被めっき体及びめっき膜の断面図である。 20・・・めっき膜 21・・・被めっき体 特 許 出 願 人 :住友金属工業株式会社代 理
人 :弁理士 井内龍ニ 第1図 第2図 第6図 第8図 第9図 第7図 斡 ↓N +#贋中/Fet量知り吹゛(0ム) 第10図 第12図 (mA/Crrl’ J 第1,1 図
Claims (1)
- (1)段差のある面を有した被めっき体にNi−Fe合
金によるめっきを行なうめっき方法において、平坦部に
おける電流密度を、Fe重量組成−電流密度曲線におけ
るFe重量組成の極大値を与える電流密度と、該電流密
度よりも大きな電流密度との間で連続的に変化させなが
らめっきを行なうことを特徴とするNi−Fe合金によ
るめっき方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9289890A JPH03291396A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | Ni―Fe合金によるめっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9289890A JPH03291396A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | Ni―Fe合金によるめっき方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03291396A true JPH03291396A (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=14067286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9289890A Pending JPH03291396A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | Ni―Fe合金によるめっき方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03291396A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7986296B2 (en) | 2004-05-24 | 2011-07-26 | Au Optronics Corporation | Liquid crystal display and its driving method |
CN102995083A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-03-27 | 北京大学 | 一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法 |
CN103537877A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-01-29 | 江苏三科安全科技有限公司 | 阻隔防爆铝合金的金属电附着工艺 |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP9289890A patent/JPH03291396A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7986296B2 (en) | 2004-05-24 | 2011-07-26 | Au Optronics Corporation | Liquid crystal display and its driving method |
CN102995083A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-03-27 | 北京大学 | 一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法 |
CN103537877A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-01-29 | 江苏三科安全科技有限公司 | 阻隔防爆铝合金的金属电附着工艺 |
WO2015062163A1 (zh) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 丁佐军 | 阻隔防爆铝合金的金属电附着工艺 |
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