JPH03289208A - Piezoelectric vibrator - Google Patents
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
監墓圭二剋里透旦
本発明は圧電振動子、より詳細には圧電基板と該圧電基
板の表面及び裏面に対向して形成された振動電極とを備
えた圧電振動子に関する。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a piezoelectric vibrator, more specifically, a piezoelectric vibrator comprising a piezoelectric substrate and vibrating electrodes formed opposite to the front and back surfaces of the piezoelectric substrate. Concerning children.
灸朱生技量
従来のこの種の厚み縦振動を利用した圧電振動子は、例
えば、特開昭５８−１３８１１５号公報等に開示されて
いる。A conventional piezoelectric vibrator using thickness longitudinal vibration of this type is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 138115/1983.
これら一般的な厚み縦振動を利用した圧電振動子の外観
を第１図に示す。図中４０は厚み縦振動を利用した圧電
振動子であり、１１は圧電振動子４０の外装としての熱
硬化性樹脂であり、１２は圧電振動子４０内部に形成さ
れた電極に電圧を印加するためのリード端子である。Figure 1 shows the appearance of these general piezoelectric vibrators that utilize longitudinal thickness vibration. In the figure, 40 is a piezoelectric vibrator that utilizes thickness longitudinal vibration, 11 is a thermosetting resin as the exterior of the piezoelectric vibrator 40, and 12 is a voltage applied to an electrode formed inside the piezoelectric vibrator 40. This is a lead terminal for.
第５図に示したように、圧電振動子４０内部の圧電基板
４３には、表裏側主面にそれぞれ対向して振動電極１５
が形成されており、圧電基板４３は全面にわたって分極
されている。そして、圧電基板４３及び振動電極１５の
近傍には、振動のための空洞部１８が形成され、これら
、圧電基板４３、振動電極１５及び空洞部１８が熱硬化
性樹脂１１によってモールドされている。As shown in FIG. 5, the piezoelectric substrate 43 inside the piezoelectric vibrator 40 has vibrating electrodes 15 facing each other on the front and back main surfaces.
is formed, and the piezoelectric substrate 43 is polarized over the entire surface. A cavity 18 for vibration is formed near the piezoelectric substrate 43 and the vibrating electrode 15, and the piezoelectric substrate 43, the vibrating electrode 15, and the cavity 18 are molded with the thermosetting resin 11.
ここで、これら一般の圧電振動子４０の製造工程を第６
図に基づいて説明する。Here, the manufacturing process of these general piezoelectric vibrators 40 will be explained in the sixth section.
This will be explained based on the diagram.
４３は圧電基板であり、この圧電基板４３を所定の厚み
に研削した後、圧電基板４３の表裏側主面にそれぞれ電
極材料１４．１４を蒸着形成する（ａ）。43 is a piezoelectric substrate, and after grinding this piezoelectric substrate 43 to a predetermined thickness, electrode materials 14 and 14 are deposited on the front and back main surfaces of the piezoelectric substrate 43, respectively (a).
次に、表裏側主面に形成された電極材料１４、１４間に
所定の直流電圧を印加して圧電基板４３に分極処理を施
す。Next, a predetermined DC voltage is applied between the electrode materials 14 formed on the front and back main surfaces to polarize the piezoelectric substrate 43.
さらに、第６図（ｄｌ）に示すような振動電極１５と同
一形状のエツチングレジスト１９を、分極処理を行なっ
た圧電基板４３の表裏両型面に、スクリーン印刷機等を
用いてそれぞれ塗布する（ｂ）。Furthermore, an etching resist 19 having the same shape as the vibrating electrode 15 as shown in FIG. b).
その後、エツチングを行ないエツチングレジスト１９．
１９が塗布されていない電極材料１４部分を表裏両型面
ともそれぞれ除去し、さらにエツチングレジスト１９を
除去して振動電極１５−・・を形成する（ｃ）。After that, etching is performed to form an etching resist 19.
The portions of the electrode material 14 to which 19 is not applied are removed from both the front and back mold surfaces, and the etching resist 19 is further removed to form the vibrating electrodes 15-- (c).
この圧電基板４３を表裏一対の振動電極１５を単位とし
てカットすることにより、１個の圧電振動素子４７が得
られる（ｄ）。By cutting this piezoelectric substrate 43 using a pair of front and back vibrating electrodes 15 as a unit, one piezoelectric vibrating element 47 is obtained (d).
このカットされた圧電基板における表裏一対の振動電極
１５．１５にリード端子１２．１２をそれぞれ半田付は
等によって接着し１．振動用の空洞部１８を設けて熱硬
化性樹脂１１でモールドすると第１図及び第５図に示し
たような圧電振動子４０が得られる。1. Lead terminals 12 and 12 are bonded to the pair of front and back vibrating electrodes 15 and 15 of the cut piezoelectric substrate by soldering or the like. By providing a cavity 18 for vibration and molding with thermosetting resin 11, a piezoelectric vibrator 40 as shown in FIGS. 1 and 5 is obtained.
日が ゛しよ と る
ところが上記従来の圧電振動子４０においては、その製
造方法において、圧電基板の分極工程が第６図（ａ）に
示したように圧電基板１３の表裏それぞれの全面に塗布
された電極材料１４゜１４によって行なわれており、１
個の圧電振動素子４７を得るために圧電基板４３をカッ
トした場合、このカットされた圧電基板４３は、全面に
わたって分極されている。However, in the conventional piezoelectric vibrator 40 described above, in its manufacturing method, the polarization process of the piezoelectric substrate is performed by coating the entire surface of the front and back surfaces of the piezoelectric substrate 13, as shown in FIG. 6(a). This is done using the electrode material 14°14.
When the piezoelectric substrate 43 is cut to obtain the piezoelectric vibrating elements 47, the cut piezoelectric substrate 43 is polarized over its entire surface.
このような従来の方法により製造された圧電振動子４０
は、第７図に示したように、共振点と***振点との間に
リップルと呼ばれるインピーダンス曲線上の乱れを生し
る頻度が高かった。この原因としては、圧電基板４３全
体が分極されているため、この圧電基板４３の周囲に固
着され、全体を覆っている熱硬化性樹脂１１等のモール
ドや振動電極１５に半田付は等によって接着されたリー
ド端子１２等によって、圧電基板４３の振動に外部から
の影響が誘引されること、あるいは、これらの熱硬化性
樹脂１１及びリード端子１２自体の固有振動等が圧電基
板４３の振動に重なったり、制限を与えること等が考え
られる。Piezoelectric vibrator 40 manufactured by such a conventional method
As shown in FIG. 7, disturbances called ripples on the impedance curve frequently occur between the resonance point and the anti-resonance point. The reason for this is that the entire piezoelectric substrate 43 is polarized, so it is fixed to the periphery of the piezoelectric substrate 43 and is bonded to the mold of thermosetting resin 11 or the like that covers the whole, or to the vibrating electrode 15 by soldering or the like. The vibrations of the piezoelectric substrate 43 may be influenced by external influences due to the lead terminals 12 and the like, or the natural vibrations of the thermosetting resin 11 and the lead terminals 12 themselves overlap with the vibrations of the piezoelectric substrate 43. It is conceivable to impose restrictions or restrictions.
このため、第８図に示す一般的な発振回路であるコルピ
ッツ形発振回路に、上記した製造方法によって作成した
圧電振動子４０を用いると、発振周波数が所望の周波数
とならない、あるいは、発振周波数が一定せず不安定に
なる等、製品の信頼性に問題が生しるといった課題があ
った。Therefore, if the piezoelectric vibrator 40 manufactured by the above manufacturing method is used in a Colpitts type oscillation circuit, which is a general oscillation circuit shown in FIG. There were issues with product reliability, such as inconsistency and instability.
ここで第８図における３０は反転増幅器、３１は帰還抵
抗、３２は負荷容量である。Here, 30 in FIG. 8 is an inverting amplifier, 31 is a feedback resistor, and 32 is a load capacitance.
本発明は上記した課題に鑑み発明されたものであって、
所望の発振周波数を確実に発信することができ、かつ、
発振周波数の安定した信頼性の高い圧電振動子を供給す
ることを目的としている。The present invention was invented in view of the above-mentioned problems, and
A desired oscillation frequency can be reliably transmitted, and
The aim is to provide a highly reliable piezoelectric vibrator with a stable oscillation frequency.
課題を解決するための Ｆ
上記した目的を達成するために１本発明に係る圧電振動
子は、圧電基板と該圧電基板の表面及び裏面に対向して
形成された振動電極とを備えた圧電振動子に８いて、前
記振動電極形成領域から所定距離だけ離れた前記圧電基
板のリング形状部分において分極構造が消滅しているこ
とを特徴としでいる。F To achieve the above objects, a piezoelectric vibrator according to the present invention includes a piezoelectric substrate and vibrating electrodes formed opposite to the front and back surfaces of the piezoelectric substrate. 8, the polarization structure disappears in a ring-shaped portion of the piezoelectric substrate that is a predetermined distance away from the vibrating electrode forming region.
住里
上記した構成によれば、圧電基板と該圧電基板の表面及
び裏面に対向して形成された振動電極とを備えた圧電振
動子において、表裏主面に、対向した振動電極形成領域
から所定距離だけ離れた前記圧電基板のリング形状部分
において、分極構造が消滅している。すなわち、１個の
圧電振動子を構成する圧電基板の中に分極された領域と
分極が消滅した領域とが存在し、この分極が消滅した領
域は、振動電極から所定の距離だけ離れたリング形状の
みであることにより、前記振動電極間に所定の電圧を印
加した場合、圧電基板上の振動を誘発する領＠（リング
状の内側の分極領域）が前記振動電極よりち少し大きい
ため、振動を阻害すると考えられる、分極が消滅した領
域は前記振動電極間には存在しない。According to the configuration described above, in a piezoelectric vibrator including a piezoelectric substrate and vibrating electrodes formed opposite to the front and back surfaces of the piezoelectric substrate, a predetermined portion is formed on the front and back main surfaces from the opposing vibrating electrode forming regions. In the ring-shaped portion of the piezoelectric substrate separated by a distance, the polarization structure disappears. That is, a piezoelectric substrate that constitutes one piezoelectric vibrator has a polarized region and a region where the polarization has disappeared, and this region where the polarization has disappeared has a ring shape that is a predetermined distance away from the vibrating electrode. Therefore, when a predetermined voltage is applied between the vibrating electrodes, the vibration-inducing region on the piezoelectric substrate (the polarized region inside the ring shape) is slightly larger than the vibrating electrodes. There is no region between the vibrating electrodes in which polarization has disappeared, which is considered to be a hindrance.
さらに従来の圧電振動子のように、振動は分極された圧
電基板全体で起こるのではなく、圧電基板の分極が消滅
したリング形状内の分極された領域のみで起こることと
なり、従って、リード端子の接合部及び熱硬化性樹脂等
で表面が覆われた部分は、振動を誘発する領域から分離
される結果となり、リード端子を介して侵入する外部の
影響や熱硬化性樹脂等の振動への関わり等、前記振動を
不安定にする要因が除去されていると考えられる。この
ため、リップルと呼ばれるインピーダンスの乱れが生じ
る事がなくなり、圧電振動子を用いて所望の発振周波を
確実に発振させることができるようになる。Furthermore, as in conventional piezoelectric vibrators, vibration does not occur throughout the polarized piezoelectric substrate, but only in the polarized region within the ring shape where the polarization of the piezoelectric substrate disappears, and therefore the vibration of the lead terminal Joints and areas whose surfaces are covered with thermosetting resin, etc., are isolated from the vibration-inducing area, and external influences entering through the lead terminals and the thermosetting resin, etc., are not affected by vibrations. It is considered that the factors that make the vibration unstable have been removed. Therefore, disturbances in impedance called ripples do not occur, and it becomes possible to reliably oscillate a desired oscillation frequency using the piezoelectric vibrator.
丈施男 以下本発明に係る実施例を図面に基づいて説明する。Joshio Embodiments according to the present invention will be described below based on the drawings.
なお、本実施例における圧電振動子の外観と従来の圧電
振動子の外観とは同一であるため、外観図（第１図）は
共用する。また、従来例と同一機能を有する構成部品に
は、同一何畳を付すこととする。Note that since the external appearance of the piezoelectric vibrator in this embodiment is the same as that of a conventional piezoelectric vibrator, the external view (FIG. 1) is shared. Furthermore, components having the same functions as those of the conventional example will be labeled with the same number.
第１図及び第２図において、１０は圧電振動子であり、
この圧電振動子１０は圧電基板１３にリード端子１２が
接続され、これら圧電基板１３とリード端子１２の上か
ら外装としての熱硬化性樹脂１１がモールドされて形成
されている。In FIGS. 1 and 2, 10 is a piezoelectric vibrator,
This piezoelectric vibrator 10 is formed by connecting lead terminals 12 to a piezoelectric substrate 13, and molding a thermosetting resin 11 as an exterior over these piezoelectric substrate 13 and lead terminals 12.
圧電基板１３部分は、圧電基板１３及びこの圧電基板１
３の表裏両面にそれぞれ対向して配設された振動電極１
５とから形成されており、圧電基板１３は分極された領
域１６と分極が消滅した領域１７とから構成されている
。圧電基板１３及び振動電極１５の近傍には振動のため
の空洞部１８が形成されており、これら圧電基板１３及
び振動電極１５は空洞部１８を有する熱硬化性樹脂１１
によってモールドされている。The piezoelectric substrate 13 portion includes the piezoelectric substrate 13 and the piezoelectric substrate 1
Vibrating electrodes 1 arranged facing each other on both the front and back sides of 3.
5, and the piezoelectric substrate 13 is composed of a polarized region 16 and a non-polarized region 17. A cavity 18 for vibration is formed near the piezoelectric substrate 13 and the vibrating electrode 15, and the piezoelectric substrate 13 and the vibrating electrode 15 are made of thermosetting resin 11 having the cavity 18.
It is molded by.
次に、この圧電振動子１０の製造方法を第３図に基づい
て説明する。Next, a method for manufacturing this piezoelectric vibrator 10 will be explained based on FIG. 3.
まず、圧電基板１３を所定の厚みに研削し、この圧電基
板１３の表裏側主面に電極材料１４を蒸着させて分極用
電極とする。そして、表裏側主面に形成された分極用電
極に所定の直流電圧を印加して分極処理を施す（ａ）。First, the piezoelectric substrate 13 is ground to a predetermined thickness, and the electrode material 14 is deposited on the front and back main surfaces of the piezoelectric substrate 13 to form polarization electrodes. Then, a predetermined DC voltage is applied to the polarization electrodes formed on the front and back main surfaces to perform polarization treatment (a).
その後、振動電極１５を形成するためのエツチングレジ
スト１９を表裏側主面にそれぞれスクリーン印刷機等を
用いて塗布する（ｂ）。Thereafter, an etching resist 19 for forming the vibrating electrode 15 is applied to the front and back main surfaces using a screen printer or the like (b).
次に、表裏両面のエツチングレジスト１９で覆われた部
分以外の電極材料１４をエツチングなどによって除去し
、さらにエツチングレジスト１９を除去して振動電極１
５を形成する（ｃ）。Next, the electrode material 14 other than the portion covered with the etching resist 19 on both the front and back sides is removed by etching or the like, and the etching resist 19 is further removed to form the vibrating electrode 1.
Form 5 (c).
振動電極１５を中心として、振動電極１５から所定の距
離だけ離れたリング形状領域１７にレーザー光を照射し
、リング形状の領域１７のみが圧電基板１３のキューリ
ー点（この温度以上になると分極が消滅する）以上の温
度になるようにして、リング形状の領域１７の分極を消
滅させる（ｄ）。このレーザー光は、圧電基板１３の表
裏の片面から、あるいは表裏両面から照射する方法があ
るが適宜選択する。A laser beam is irradiated onto a ring-shaped region 17 located a predetermined distance away from the vibrating electrode 15 with the vibrating electrode 15 as the center, and only the ring-shaped region 17 reaches the Curie point of the piezoelectric substrate 13 (when the temperature exceeds this temperature, polarization disappears). ) to eliminate the polarization of the ring-shaped region 17 (d). There are methods for irradiating this laser light from one side of the front and back sides of the piezoelectric substrate 13, or from both sides of the piezoelectric substrate 13, and this method is selected as appropriate.
さらに、圧電基板１３を表裏＝対の振動電極１５を単位
としてカットすることにより、圧電振動素子２３が得ら
れる（ｅ）、ここで、２ｏはリード端子１２を接続する
ための接続電極、２１は振動電極１５と接続電極２０を
接続するための引き出し電極である。Furthermore, the piezoelectric vibrating element 23 is obtained by cutting the piezoelectric substrate 13 in units of the front and back pairs of vibrating electrodes 15 (e), where 2o is a connecting electrode for connecting the lead terminal 12, and 21 is a connecting electrode for connecting the lead terminal 12. This is an extraction electrode for connecting the vibration electrode 15 and the connection electrode 20.
接続電極２０にそれぞれリード端子１２を半田付は等に
よって固着し、振動電極１５部分における振動を確保す
るため、空洞部１８を形成するためのペーストを塗布し
た後、熱硬化性樹脂１１でモールドすると第１図に示し
たような、圧電振動子１０が得られる。すなわち、カッ
トされた１個の圧電振動子１０となる圧電基板１３にお
いて、表裏一対の振動電極１５が対向して配設され重な
り合っており、これらの振動電極１５を中心として、振
動電極１５から所定の距離だけ離れたレザー光を押射さ
れたリング形状の領域１７が形成され、かつこのリング
形状の領域１７ては、分極が消滅している。Each lead terminal 12 is fixed to the connection electrode 20 by soldering or the like, and in order to ensure vibration in the vibrating electrode 15 portion, a paste for forming a cavity 18 is applied, and then molded with thermosetting resin 11. A piezoelectric vibrator 10 as shown in FIG. 1 is obtained. That is, in the piezoelectric substrate 13 that is cut into one piezoelectric vibrator 10, a pair of front and back vibrating electrodes 15 are arranged facing each other and overlapping each other, and a predetermined distance from the vibrating electrode 15 is centered around these vibrating electrodes 15. A ring-shaped region 17 is formed by the laser beam at a distance of , and polarization has disappeared in this ring-shaped region 17.
本実施例において、リング形状の分極が消滅した領域１
７の内径と振動電極１５の直径との比を横軸に、縦軸に
リップルなしの割合（○−０）及び従来品とのインピー
タンス曲線での山と谷との比ＣＰ／Ｖｌの比較（・→）
を表示したグラフを第４図に示す。In this example, region 1 where the ring-shaped polarization disappeared
The horizontal axis is the ratio between the inner diameter of No. 7 and the diameter of the vibrating electrode 15, and the vertical axis is the ratio of no ripple (○-0) and the comparison of the peak-to-valley ratio CP/Vl in the impedance curve with the conventional product. （・→）
A graph showing this is shown in Figure 4.
また、Ｐ／Ｖは第７図における共振点でのインピーダン
スをＲｏ、***振点でのインピーダンスをＲＡとした場
合に次式（１）で算出される値である。Further, P/V is a value calculated by the following equation (1), where Ro is the impedance at the resonance point in FIG. 7, and RA is the impedance at the anti-resonance point.
Ｐ／ Ｖ ＝ ２０ｊＯｇ＋ａ （ＲＡ／ ＲＤ） −
−−（１）一般に圧電振動子をコルピッツ形発振回路に
組み込んだ場合、リップルがあると発振周波数が不安定
になり、Ｐ／Ｖは発振出力の大きさと正の相関があるこ
とが知られている。P/V = 20jOg+a (RA/RD) -
--(1) It is generally known that when a piezoelectric vibrator is incorporated into a Colpitts-type oscillation circuit, the oscillation frequency becomes unstable if there is ripple, and P/V has a positive correlation with the magnitude of the oscillation output. There is.
第４図から、リップルなしの割合はリング形状の分極が
消滅した領域１７の内径が振動電極１５に比して大きく
なると減少しているのが判る。From FIG. 4, it can be seen that the ratio of no ripples decreases as the inner diameter of the ring-shaped region 17 where polarization disappears becomes larger than that of the vibrating electrode 15.
従って、本実施例のように、圧電基板１３上に振動電極
１５形成領域から所定距離だけ離れて、リング形状に分
極が消滅した領域１７が形成され、周囲に熱硬化性樹脂
１１を固着してモールドされれば、振動電極１５部分で
の１．振動電極１５自体の不規＠Ｕな振動の発生が抑え
られるとともに、熱硬化性樹脂１１やリード端子１２等
の固有振動が振動電極１５部分の振動に侵入し、重なり
合ったり、制限を与えるようなこともなくなると考えら
れる。そして、横軸における１、２５〜１．５０の値の
範囲、つまり、リング形状の分極が消滅した領域１７の
内径と振動電極１５の直径との比が、１．２５〜１．５
０の範囲では第７図に示したような共振点と***振点と
の間でのリップルと呼ばれるインピーダンス曲線上の乱
れがなくなる。Therefore, as in this embodiment, a ring-shaped region 17 in which polarization disappears is formed at a predetermined distance from the region where the vibrating electrode 15 is formed on the piezoelectric substrate 13, and the thermosetting resin 11 is fixed around the region 17. If molded, 1. at the vibrating electrode 15 portion. The generation of irregular vibrations of the vibrating electrode 15 itself is suppressed, and the natural vibrations of the thermosetting resin 11, lead terminals 12, etc. intrude into the vibration of the vibrating electrode 15, causing them to overlap and limit the vibration. It is thought that this will no longer be the case. Then, the value range of 1.25 to 1.50 on the horizontal axis, that is, the ratio of the inner diameter of the ring-shaped region 17 where polarization has disappeared and the diameter of the vibrating electrode 15 is 1.25 to 1.5.
In the range of 0, there is no disturbance on the impedance curve called ripple between the resonance point and the anti-resonance point as shown in FIG.
及咀旦里速
以上の説明により明らかなように、本発明に係る圧電振
動子は、表裏に対向した振動電極形成領域から所定距離
だけ離れた前記圧電基板のリング形状部分において分極
構造が消滅している。すなわち、１個の圧電振動子を構
成する圧電基板の中に分極された領域と分極が消滅した
領域とが存在し、この分極が消滅した領域は、振動電極
から所定の距離だけ離れたリング状のみであり、他の部
分は分極されている領域となっているため、振動電極間
に所定の電圧を印加した場合、振動は振動電極付近のみ
で起こり、このため端子の接合部及び熱硬化性樹脂等で
表面が覆われた部分は、振動を誘発する領域から公社さ
れる結果となり、リード端子を介して侵入する外部の影
響や熱硬化性樹脂等の振動への関わり等、前記振動を不
安定にする要因が排除されると考えられる。従って、振
動エネルギーの有害な分散もなくなり、インピーダンス
曲線上に乱れを生ずることがなくなり、良好な安定した
電気的特性を有する圧電振動子が得られる。さらに従来
例と製造工程を比較してち、レーザー光の照射工程の増
加に留めることができ、かつ発振回路に組み込んで使用
する場合に、所望の発振周波数が確実に得られ、製品の
信頼性を向上させることができる。As is clear from the above explanation, in the piezoelectric vibrator according to the present invention, the polarization structure disappears in the ring-shaped portion of the piezoelectric substrate that is a predetermined distance away from the vibrating electrode forming regions facing each other on the front and back sides. ing. In other words, there are polarized regions and non-polarized regions in the piezoelectric substrate constituting one piezoelectric vibrator, and the polarized regions are arranged in a ring shape a predetermined distance away from the vibrating electrode. The other parts are polarized regions, so when a predetermined voltage is applied between the vibrating electrodes, vibration occurs only near the vibrating electrodes, and this causes the terminal joints and thermosetting Parts whose surfaces are covered with resin, etc., are removed from areas that induce vibrations, and external influences that enter through lead terminals and the involvement of thermosetting resins, etc., in vibrations can prevent vibrations from occurring. It is thought that the stabilizing factors are eliminated. Therefore, there is no harmful dispersion of vibration energy, no disturbance occurs on the impedance curve, and a piezoelectric vibrator having good and stable electrical characteristics can be obtained. Furthermore, after comparing the manufacturing process with the conventional example, we found that the number of laser beam irradiation steps can be kept to a minimum, and when used in an oscillation circuit, the desired oscillation frequency can be reliably obtained, and the reliability of the product has been improved. can be improved.
第１図は本発明及び従来例に係る圧電振動子の外観を示
す正面図、第２図は本発明に係る圧電振動子の第１図に
おけるｘ−Ｘ線断面図、第３図（ａ）〜（ｅ）は本実施
例に係る圧電振動子の製作過程を示す斜視図、（ａ、）
は（ａ）におけるｘ−Ｘ線断面図、（ｃｌ）は（ｃ）に
おける表裏面の振動電極のみを示した平面図、（ｅ、）
は（ｅ）における拡大平面図、第４図は本発明に係る圧
電基板と従来例に係る圧電振動子の電気的特性を比較し
たグラフ、第５図は従来例に係る圧電振動子の第１図に
おけるＸ−Ｘ線断面図、第６図（ａ）〜（ｄ）は従来例
の圧電振動子の製作過程を示す斜視図、（ａ８）は（ａ
）におけるＸ−Ｘ線断面図、（ｄｌ）は（ｄ）における
拡大平面図、第７図は従来の圧電振動子の周波数とイン
ピーダンス曲線図、第８図は一般の発振回路であるコル
ピッツ形発振回路の回路図である。
１０・・・圧電振動子
１３・・・圧電基板
１５・・・振動電極FIG. 1 is a front view showing the external appearance of a piezoelectric vibrator according to the present invention and a conventional example, FIG. 2 is a sectional view taken along the line x-X in FIG. 1 of the piezoelectric vibrator according to the present invention, and FIG. 3(a) - (e) are perspective views showing the manufacturing process of the piezoelectric vibrator according to this example, (a,)
is an x-X sectional view in (a), (cl) is a plan view showing only the vibrating electrodes on the front and back surfaces in (c), (e,)
is an enlarged plan view in (e), FIG. 4 is a graph comparing the electrical characteristics of a piezoelectric substrate according to the present invention and a piezoelectric vibrator according to a conventional example, and FIG. 5 is a graph showing the first piezoelectric vibrator according to a conventional example. 6(a) to 6(d) are perspective views showing the manufacturing process of a conventional piezoelectric vibrator, and (a8) is a cross-sectional view taken along the line X-X in the figure.
), (dl) is an enlarged plan view of (d), Fig. 7 is a frequency and impedance curve diagram of a conventional piezoelectric vibrator, and Fig. 8 is a Colpitts type oscillation, which is a general oscillation circuit. It is a circuit diagram of a circuit. 10... Piezoelectric vibrator 13... Piezoelectric substrate 15... Vibrating electrode
Claims (1)
形成された振動電極とを備えた圧電振動子において、前
記振動電極形成領域から所定距離だけ離れた前記圧電基
板のリング形状部分において分極構造が消滅しているこ
とを特徴とする圧電振動子。(1) In a piezoelectric vibrator equipped with a piezoelectric substrate and vibrating electrodes formed opposite to the front and back surfaces of the piezoelectric substrate, in a ring-shaped portion of the piezoelectric substrate that is a predetermined distance away from the vibrating electrode forming area. A piezoelectric vibrator characterized by the disappearance of a polarized structure.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9091990A JPH03289208A (en) | 1990-04-04 | 1990-04-04 | Piezoelectric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9091990A JPH03289208A (en) | 1990-04-04 | 1990-04-04 | Piezoelectric vibrator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03289208A true JPH03289208A (en) | 1991-12-19 |
Family
ID=14011836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9091990A Pending JPH03289208A (en) | 1990-04-04 | 1990-04-04 | Piezoelectric vibrator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03289208A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997002596A1 (en) * | 1995-06-30 | 1997-01-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic component and method of production thereof |
-
1990
- 1990-04-04 JP JP9091990A patent/JPH03289208A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997002596A1 (en) * | 1995-06-30 | 1997-01-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic component and method of production thereof |
| US6262513B1 (en) | 1995-06-30 | 2001-07-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic component and method of production thereof |
| US6628043B2 (en) | 1995-06-30 | 2003-09-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic component and method of production thereof |
| US6754950B2 (en) | 1995-06-30 | 2004-06-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electronic component and method of production thereof |
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