JPH03285065A - 蒸発源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は真空蒸着装置に用いられる蒸発源に関するも
のであり、特に、酸化物を蒸発させるために利用される
ものである。

（従来の技術） 従来の蒸発源は第６図に示されるように上部の開口した
有底形状の容器２１内に、蒸発される多数の酸化物２２
を置き、容器２１外周に配設された高周波誘導コイル（
図示せず）によって、酸化物２２を高周波誘導加熱して
、蒸発させるものである。

（発明が解決しようとする課題） 従来の蒸発源は上記のように有底形状の容器２１内に置
かれた酸化物２２を高周波誘導加熱により蒸発させてい
るが、第７図に示されるように酸化物２２の蒸発レート
は時間の経過とともに減少していた。そのため、酸化物
２２を長時間同一蒸発レートで蒸発させることができな
ないうえ、基板（図示せず）に蒸着される薄膜の膜質を
同一にすることもできなかった。それゆえ、２０分以上
の長時間の蒸発を行うことが出来ない等の問題が起きた
。

この発明の目的は、従来の問題を解決して、長時間の蒸
発を可能にして、生産性を向上させることのできる蒸発
源を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、この発明の蒸発源は、一端
の入口と他端の出口との間の壁に蒸発口を形成し、内部
に列をなして入れられている複数の蒸発原料を上記蒸発
口より蒸発させる加熱器と、この加熱器内の上記複数の
蒸発原料を連続的または間欠的に移動させる移動自在な
押込み機構とを備えたことを特徴とするものである。

（作用） この発明においては、筒状加熱器内に列をなして入れら
れている複数の蒸発原料を蒸発口より蒸発するようにな
るが、このとき、押込み棒によって、筒状加熱器内に列
をなして入れられている複数の蒸発原料は連続的または
間欠的に移動させられるようになる。そのため、蒸発口
において蒸発原料は常に一定の条件で蒸発するようにな
り、基板（図示せず）に蒸着される薄膜の膜質を同一に
することができるようになる。そのゆえ、長時間の蒸発
が可能になる。

（実施例） 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。

第１図および第２図は第１実施例を示しており、これら
の図において、左右に配置された電極ｌは金属、セラミ
ック又は炭素系材料でできた円筒状加熱器２を水平に支
持している。円筒状加熱器２の一端の入口２ａと他端の
出口２ｂとの間の上部の壁にはスリット状の蒸発口２Ｃ
が形成されているが、入口２ａと蒸発口２ｃとの間は所
定の長さがとられ、そこで後述の蒸発原料３をストック
している。円筒状加熱器２内には昇華性のよい酸化物よ
りなる複数の蒸発原料３が列をなして入れられ、蒸発原
料３が蒸発口２ｃより蒸発されるようになっている。円
筒状加熱器２内には矢視のよう動く移動自在な押込み棒
４が円筒状加熱器２の端の入口２ａより入れられ、この
押込み棒４によって、円筒状加熱器２内の複数の蒸発原
料３が移動されるようになっている。なお、図中、５は
円筒状加熱器２の上方に配置されたマスクで、蒸着部分
を選択するものである。

このような第１実施例においては、円筒状加熱器２内に
列をなして入れられている複数の蒸発原料３は蒸発口２
ｃより蒸発するようになるが、このとき、押込み棒４が
移動すると、円筒状加熱器２内の複数の蒸発原料３は連
続的に移動するようになる。そのため、蒸発口２ｃにお
いて蒸発原料３は常に一定の条件で蒸発するようになり
、基板（図示せず）に蒸着される薄膜の膜質を同一にす
ることができるようになる。そのゆえ、長時間の蒸発が
可能になる。

次に、第３図は第２実施例を示しており、同図によれば
、円筒状加熱器２の一端の入口２ａの横側には、距離を
おいて、押込み棒４が設けられ、また、円筒状加熱器２
の一端の人口２ａと押込み棒４との間には蒸発原料３を
上昇させるための昇降自在なりフタロが設けられている
。

したがって、リフタ５で蒸発原料３を上昇させ、これを
円筒状加熱器２の一端の入口２ａと同一位置にした後、
押込み棒４を移動して、蒸発原料３を円筒状加熱器２の
一端の入口２ａに入れる。そうすると、既に円筒状加熱
器２内に入れられていた蒸発原料３は新しく入口２ａよ
りいった蒸発原料３によって移動され、蒸発口２ｃでは
新しい蒸発原料３による蒸発がなされるようになる。ま
た、既に蒸発に使用された蒸発原料３は円筒状加熱器２
の他端の出口２ｂより放出されるようになる。

なお、上記の場合、押込み棒４の移動が間欠的であるた
め、円筒状加熱器２内での蒸発原料３の移動も間欠的と
なる。

ところで、上記各実施例では、円筒状加熱器２を使用し
ているが、この代わりに、舟形加熱器または第４図に示
す形状の加熱器２であってもよい。

また、蒸発原料３は酸化物以外にも昇華性かよければ如
何なるものであってもよい。更に、円筒状加熱器２を外
部ヒータで加熱してもよい。更にそのうえ、第５図に示
すように円筒状加熱器２を幅の広いフィルム７の幅、方
向に多数配列すれば、幅の広いフィルムについても良好
な膜質の蒸着膜を形成することができる。また、円筒状
加熱器２の外周にリフレクタを配置してもよい。更に、
蒸発口２ｃの形状はスリット以外の形状をしいてもよい
。

（発明の効果） この発明は、上記のような構成をしているため、筒状加
熱器内に列をなして入れられている複数の蒸発原料を蒸
発口より蒸発するようになるが、このとき、押込み棒に
よって、筒状加熱器内に列をなして入れられている複数
の蒸発原料は連続的または間欠的に移動させられるよう
になる。そのため、蒸発口からの蒸発レートが時間の経
過とともに減少することが少なくなり、基板（図示せず
）に蒸着される薄膜の膜質を同一にすることができるよ
うになる。そのゆえ、１時間以上の長時間の蒸発が可能
になり、生産性が向上するようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例の平面図、第２図はこの
発明の第１実施例の断面図、第３図はこの発明の第２実
施例の立面図である。第４図はこの発明のその他の実施
例の斜視図、第５図はこの発明の更にその他の実施例の
平面図である。第６図は従来の蒸発源の斜視図、第７図
は従来の蒸発源を用いて酸化物を蒸発するときの蒸発レ
ートを示すグラフである。 図中、 ２　・　・ ２　ａ　・ ２　ｂ　・ ２　Ｃ・ ３　・　・ ４　・　・ 円筒状加熱器 円筒状加熱器の入口 円筒状加熱器の入口 蒸発口 蒸発原料 押込み棒

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．一端の入口と他端の出口との間の壁に蒸発口を形成
   し、内部に列をなして入れられている複数の蒸発原料を
   上記蒸発口より蒸発させる加熱器と、この加熱器内の上
   記複数の蒸発原料を連続的または間欠的に移動させる移
   動自在な押込み機構とを備えたことを特徴とする蒸発源
   。