JPH03283490A - Paste filling device - Google Patents

Paste filling device

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Publication number
JPH03283490A
JPH03283490A JP22373290A JP22373290A JPH03283490A JP H03283490 A JPH03283490 A JP H03283490A JP 22373290 A JP22373290 A JP 22373290A JP 22373290 A JP22373290 A JP 22373290A JP H03283490 A JPH03283490 A JP H03283490A
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JP
Japan
Prior art keywords
paste
hole
green sheet
mold plate
filling device
Prior art date
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Pending
Application number
JP22373290A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuhiro Okamoto
光弘 岡本
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

PURPOSE:To enable paste of high viscosity to be quickly filled into a through- hole and a paste filling device to cope with a through-hole small in diameter or large in depth by a method wherein paste is pushed upward from below and filled into the through-hole by a pressure cylinder. CONSTITUTION:Green sheet fixing pins 26 and the like are arranged on a through-hole die plate 24, and green sheets provided with the same through-hole pattern are laminated thereon. A green sheet G is pressed down from above with an adequate pressure, and conductor paste pressed by a vertically movable pressing member such as a piston 22 or the like from below is pushed up and filled into a through-hole H. Air pushed up from below can be discharged outside by providing a ventilating sheet 27 to the uppermost layer of the green sheet. Furthermore, a die where through-hole patterns are provided to the same plane can be used as the through-hole die plate 24 so as to deal with a ceramic green sheet provided with a different through-hole pattern which is arranged on the die concerned.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、セラミックスグリーンシートに形成されたス
ルーホールへペーストを充填するペスト充填装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a paste filling device for filling paste into through holes formed in a ceramic green sheet.

(従来の技術) セラミックグリーンシートに形成されたスルーホールへ
の導体ペーストの充填には、スクリーン印刷法が一般に
用いられている。
(Prior Art) A screen printing method is generally used to fill through holes formed in a ceramic green sheet with conductive paste.

その原理は第3図に示すように、スクリーン1の上に導
体ペースト2を配置し、スキージ3にてグリーンシート
4に押しつけながら矢印A方向に移動する。
The principle is as shown in FIG. 3, a conductive paste 2 is placed on a screen 1 and moved in the direction of arrow A while being pressed against a green sheet 4 with a squeegee 3.

この時、スクリーンの開口部5よりペースト2が押し出
され、スルーホール6の中に充填される。
At this time, the paste 2 is extruded from the opening 5 of the screen and filled into the through hole 6.

スクリーンの開口部5は、あらかじめ基板上におけるス
ルーホール6の位置と対応させて形成されているもので
ある。
The openings 5 of the screen are formed in advance to correspond to the positions of the through holes 6 on the substrate.

また、第4図に示すような導体ペーストをグリーンシー
ト上から加圧して充填する装置も知られている。
Furthermore, an apparatus as shown in FIG. 4 that pressurizes and fills a green sheet with conductive paste is also known.

この装置は、キャリアテープ11の上にグリーンシート
12、メタルマスク13の順に積み重ね、その上をノズ
ル14を押しつけながら矢印B方向に移動し、矢印C方
向に加圧されたペースト15を、メタルマスク13の開
口部16よりスルーホール17の中に充填するものであ
る。
This device stacks a green sheet 12 and a metal mask 13 in this order on a carrier tape 11, moves a nozzle 14 on top of the green sheet 12 in the direction of arrow B, and applies paste 15 pressurized in the direction of arrow C to the metal mask. The through-hole 17 is filled through the opening 16 of 13.

このほか、実開昭83−201378号公報に記載され
ているようにペーストを吸引して充填する装置、または
、特開昭82−1298号公報に開示されているような
、スルーホールの下方から吸引しながらグリーンシート
上にスクリーン印刷することによりスルーホールにペー
ストを充填する方法などが知られている。
In addition, there is a device that suctions and fills the paste as described in Japanese Utility Model Application Publication No. 83-201378, or a device from below the through-hole as disclosed in Japanese Patent Application Publication No. 82-1298. A method of filling paste into through holes by screen printing on a green sheet while suctioning is known.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上述したようなペースト充填装置では、
以下に述べるような多くの問題点が存在する。
(Problem to be solved by the invention) However, in the paste filling device as described above,
There are many problems as described below.

まず、第3図に示したスクリーン印刷法の場合、1)無
吸引では充填圧力が弱く、厚いグリーンシートでは、1
回の印刷で完全に充填できない。
First, in the case of the screen printing method shown in Figure 3, 1) the filling pressure is weak when there is no suction;
Cannot be completely filled with one printing.

2)スクリーンメツシュをペーストが通るので、実用土
スクリーンの開口部が直径200μm以下になると、開
口径がメツシュの単位格子の大きさに近くなり、ペース
トの出かたが不均一となる。
2) Since the paste passes through the screen mesh, if the openings of the practical soil screen have a diameter of 200 μm or less, the opening diameter will be close to the size of the unit cell of the mesh, and the paste will come out unevenly.

従って、高密度スルーホールパターンでは充填が困難で
ある。
Therefore, high-density through-hole patterns are difficult to fill.

3)目詰まり防止のため、あまり高粘度のペーストを使
用することができない。一般にペーストの粘度が小さい
程、乾燥後の収縮が大きいので、生じた隙間を埋めるた
めの補完工程が必要になる。
3) To prevent clogging, a paste with a very high viscosity cannot be used. Generally, the lower the viscosity of the paste, the greater the shrinkage after drying, so a complementary process is required to fill in the gaps that arise.

4)吸引を併用すると空気も同時に吸いこみやすく、そ
の結果スルーホール内に空洞が発生しやすい。
4) When suction is used in combination, air is also easily sucked in at the same time, and as a result, cavities are likely to occur within the through hole.

5)1回のスクリーン印刷工程で、グリーンシート1枚
しか充填できない。
5) Only one green sheet can be filled in one screen printing process.

また、第4図に示したメタルマスクによるグリーンシー
ト上から加圧して充填する場合、1)ペーストの充填に
よって、スルーホール内の空間から排除される気体の逃
げる場所が明確でなく、気孔率の小さいグリーンシート
や、スルーホールの軸方向高さが大きいグリーンシート
では、気泡が残留する恐れがある。
In addition, when filling by applying pressure from above the green sheet using the metal mask shown in Fig. 4, 1) The place where the gas removed from the space in the through hole escapes due to filling with paste is not clear, and the porosity is If the green sheet is small or the through hole has a large height in the axial direction, there is a risk that air bubbles may remain.

2)ノズルの口径が大きくなると、印刷終了後にグリー
ンシートからノズルを外す際、ノズルからペーストが落
下する。逆に、口径を小さくするとグリーンシート面を
掃引するのに時間を要する。
2) If the diameter of the nozzle becomes large, paste will fall from the nozzle when the nozzle is removed from the green sheet after printing is completed. Conversely, if the aperture is made smaller, it will take more time to sweep the green sheet surface.

3)メタルマスクは1回使用する毎に洗浄しなくてはな
らない。そうしないと余分なペーストがグリーンシート
に付着して精度の低下を招く。
3) Metal masks must be cleaned after each use. Otherwise, excess paste will adhere to the green sheet and reduce accuracy.

さらに、上記以外のペーストを吸引する方法では、ペー
ストの供給方法が明確でなく、スルーホール内に空洞が
発生するおそれが大きい。
Furthermore, in methods of sucking paste other than those described above, the method of supplying the paste is not clear, and there is a strong possibility that cavities will be generated in the through holes.

このように、様々な問題があり、スルーホールの微細化
に対応でき、かつ確実、容易にペーストを充填する方法
が要求されている。
As described above, there are various problems, and there is a need for a method that can cope with the miniaturization of through holes and that can reliably and easily fill paste.

本発明はこのような課題を解決するためになされたもの
で、スルーホールのサイズにかがわらず、導体ペースト
を高精度、高密度に充填することができ、かつその充填
作業を容易に能率良く行うことのできるペースト充填装
置を提供することを目的とする。
The present invention was made to solve these problems, and it makes it possible to fill conductor paste with high precision and high density regardless of the size of the through hole, and to make the filling process easy and efficient. The purpose of the present invention is to provide a paste filling device that can perform the following steps.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明のペースト充填装置は、導体ペーストを収容する
ペースト収容容器と、このペースト収容容器上に配置さ
れたスルーホール金型板と、このスルーホール金型板上
に配置されるセラミックスグリーンシートを上方から加
圧可能に押圧するグリーンシート押え手段と、前記導体
ペーストを、前記スルーホール金型板の下方から前記セ
ラミックスグリーンシートに向けて上方向に加圧する上
下可動のペースト加圧手段とを有するペースト充填装置
において、上記スルーホール金型板は、この金型板上に
配置される異なるスルーホールパターンを有する異種の
セラミックスグリーンシートに対応可能に、複数のスル
ーホールパターンが同一面に形成されていることを特徴
としている。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) A paste filling device of the present invention includes a paste storage container that stores conductive paste, a through-hole mold plate disposed on the paste storage container, and a through-hole mold plate disposed on the paste storage container. a green sheet pressing means that presses the ceramic green sheet placed on the hole mold plate from above; In a paste filling device having a vertically movable paste pressurizing means for pressurizing the paste, the through-hole mold plate can accommodate different types of ceramic green sheets having different through-hole patterns placed on the mold plate. , a plurality of through-hole patterns are formed on the same surface.

また、本発明のペースト充填装置における第2の発明は
、導体ペーストを収容するペースト収容容器と、このペ
ースト収容容器上に配置されたスルーホール金型板と、
このスルーホール金型板上に配置されるセラミックスグ
リーンシートを上方から加圧可能に押圧するグリーンシ
ート押え手段と、前記導体ペーストを、前記スルーホー
ル金型板の下方から前記セラミックスグリーンシートに
向けて上方向に加圧する上下可動のペースト加圧手段と
を有するペースト充填装置において、前記スルーホール
金型板は、この金型板上に配置される径の異なるスルー
ホールを同一面上に有するセラミックスグリーンシート
に対応可能に、前記金型板の厚さ方向において径もしく
は長さが変化する開口部が形成されていることを特徴と
している。
Further, a second aspect of the paste filling device of the present invention is a paste storage container that stores a conductive paste, a through-hole mold plate disposed on the paste storage container,
A green sheet pressing means presses the ceramic green sheet placed on the through-hole mold plate from above, and the conductive paste is directed toward the ceramic green sheet from below the through-hole mold plate. In a paste filling device having a vertically movable paste pressurizing means for pressurizing upward, the through-hole mold plate is made of ceramic green having through-holes with different diameters arranged on the same plane on the mold plate. The mold plate is characterized in that an opening whose diameter or length changes in the thickness direction of the mold plate is formed to accommodate the sheet.

本発明において、スルーホール金型板は、この上に所定
の位置に配置されるセラミックスグリーンシートのスル
ーホールと同一位置に、ペースト吐出用の開口部を有す
る平板状かつ表面が平滑な金型板である。
In the present invention, the through-hole mold plate is a flat mold plate with a smooth surface that has an opening for discharging paste at the same position as the through-hole of the ceramic green sheet placed at a predetermined position thereon. It is.

このスルーホール金型板には、グリーンシート固定用の
ピン等が配設されており、1枚だけでなく、同一スルー
ホールパターンを有する複数枚のグリーンシートを積層
配置することができる。
This through-hole mold plate is provided with pins and the like for fixing the green sheets, and it is possible to stack not only one green sheet but also a plurality of green sheets having the same through-hole pattern.

グリーンシートは上方向から適切な圧力で押えられ、下
方向からはピストン等による上下可動の加圧部材で加圧
された導体ペーストが押し上げられてスルーホール内に
充填される。
The green sheet is pressed down with appropriate pressure from above, and the conductive paste pressurized from below by a vertically movable pressure member such as a piston is pushed up and filled into the through holes.

この下方向からの加圧で圧縮された空気は、グリーンシ
ートの最上層に、たとえば通気用のシトを配置すること
によってグリーンシート外部に逃がすことができる。
The air compressed by this downward pressure can be released to the outside of the green sheet by arranging, for example, a ventilation sheet on the top layer of the green sheet.

さらに、本発明におけるスルーホール金型板として、こ
の金型板上に配置される異なるスルーホールパターンを
有する異種のセラミックスグリーンシートに対応可能に
、複数のスルーホールパターンを同一面に形成した金型
を用いることができる。
Furthermore, as a through-hole mold plate in the present invention, a mold having a plurality of through-hole patterns formed on the same surface can be used to accommodate different types of ceramic green sheets having different through-hole patterns arranged on this mold plate. can be used.

この場合、スルーホール金型板と接するすぐ上には、充
填しようとしているグリーンシートのスルーホールパタ
ーンを有するダミーシートを載置し、これを事実上の金
型板とする。
In this case, a dummy sheet having the through-hole pattern of the green sheet to be filled is placed immediately above the through-hole mold plate, and this serves as a de facto mold plate.

スルーホール金型板の他のパターン開口部から吐出する
不要なペーストは、ダミーシートによって遮断され、所
望のスルーホールのみにペーストが充填される。
Unnecessary paste discharged from other pattern openings of the through-hole mold plate is blocked by the dummy sheet, and only desired through-holes are filled with paste.

また、本発明のペースト充填装置に使用する導体ペース
トは高密度、高粘度のペーストが好ましく、室温におけ
る粘度が50X10’センチポアズ以上のものが好まし
い。
Further, the conductive paste used in the paste filling device of the present invention is preferably a high-density, high-viscosity paste, and preferably has a viscosity of 50×10' centipoise or more at room temperature.

50X10’センチポアズ以上の高粘度ペーストを用い
ることによって、ペースト充填後の乾燥収縮量を低減し
、作業効率を向上させることができる。
By using a paste with a high viscosity of 50 x 10' centipoise or more, the amount of drying shrinkage after filling the paste can be reduced and work efficiency can be improved.

なお、あまり粘度が高すぎると充填が困難となり目詰ま
りを生じさせるため、粘度は150X 10’センチポ
アズ以下の範囲が好ましい。
Note that if the viscosity is too high, filling becomes difficult and clogging occurs, so the viscosity is preferably in the range of 150 x 10' centipoise or less.

非常に微細かつ狭ピッチのスルーホールの場合は、スル
ーホール金型板の開口径をスルーホール径より大きくし
てスルーホールの位置の誤差を吸収し、最下層及び最上
層にはダミーシートを配置してペーストのにじみを遮断
することにより、確実に精度良く、スルーホール内にペ
ーストを充填することができる。
In the case of very fine and narrow pitch through holes, the opening diameter of the through hole mold plate is made larger than the through hole diameter to absorb the error in the through hole position, and dummy sheets are placed on the bottom and top layers. By blocking the paste from bleeding, it is possible to reliably and accurately fill the paste into the through-hole.

(作 用) 本発明のペースト充填装置は、セラミックス基板の下方
から上方に向けて、ペースト収容容器中のペーストを加
圧し、スルーホール内にペーストを押し上げるように充
填している。
(Function) The paste filling device of the present invention pressurizes the paste in the paste container from the bottom to the top of the ceramic substrate, and fills the through hole so as to push the paste up.

このため、ペーストの圧力および加圧時間をコントロー
ルすることにより、ペースト充填量の制御が容易となり
、ペーストを無駄なく確実にスルーホール内に充填する
ことができる。
Therefore, by controlling the paste pressure and pressurization time, the amount of paste filled can be easily controlled, and the paste can be reliably filled into the through-hole without wasting it.

ペースト充填によって排除される気体は最上層グリーン
シートの上に圧接する通気シートを介して逃がされ、ス
ルーホール内における気泡の残留や目詰まりが防止され
る。
The gas removed by filling the paste is released through a ventilation sheet that is pressed onto the uppermost green sheet, thereby preventing air bubbles from remaining in the through-holes and clogging.

さらに、本発明のように、スルーホールの下方から上方
向へ押し上げてペーストを充填する場合、ペーストを加
圧しなければペーストはタンク中に静置したままでどこ
にも流出しない。
Furthermore, when filling the through hole with paste by pushing upward from the bottom as in the present invention, unless the paste is pressurized, the paste will remain stationary in the tank and will not flow out anywhere.

従って、充填後の処理が容易で、上方向からの充填の場
合によく問題となるペーストの漏れがなく作業性が向上
し、スルーホール金型板に複数のパターンの開口部を形
成することが可能となる。
Therefore, post-filling processing is easy, there is no paste leakage, which is often a problem when filling from above, and workability is improved, and multiple patterns of openings can be formed on the through-hole mold plate. It becomes possible.

すなわち、異種のグリーンシートに一つの金型で対応す
ることができ、金型交換を省くことによるコストダウン
、多品種少量生産における効率向上を図ることができる
That is, different types of green sheets can be handled with a single mold, and costs can be reduced by eliminating mold replacement, and efficiency can be improved in high-mix, low-volume production.

(実施例) 次に、本発明の実施例について図面を用いて説明する。(Example) Next, embodiments of the present invention will be described using the drawings.

実施例1 第1図は、本発明の一実施例のペースト充填装置を示す
断面図である。
Embodiment 1 FIG. 1 is a sectional view showing a paste filling device according to an embodiment of the present invention.

同図において、シリンダ形状のペーストタンク21はそ
の底面部が加圧ピストン22により密封保持され、ベー
ストタンク21の外側周囲は定盤23によって固定され
ている。
In the figure, a cylindrical paste tank 21 has its bottom portion sealed and held by a pressurizing piston 22, and the outer periphery of the base tank 21 is fixed by a surface plate 23.

ベーストタンク21の上面にはスルーホール金型板24
が配置され、固定ボルト25で両者が固定されている。
A through-hole mold plate 24 is provided on the top surface of the base tank 21.
are arranged, and both are fixed with fixing bolts 25.

スルーホール金型板24には位置決めピン26が固定さ
れており、このピンに従ってグリーンシートが配置され
るようになっている。
A positioning pin 26 is fixed to the through-hole mold plate 24, and the green sheet is arranged according to this pin.

また、スルーホール金型板24は異種のスルホールパタ
ーンに対応する開口部24 a、 24 bが形成され
ており、この実施例では開口部24aに対応するスルー
ホールパターンを利用する。
Further, the through-hole mold plate 24 is formed with openings 24a and 24b corresponding to different types of through-hole patterns, and in this embodiment, the through-hole pattern corresponding to the opening 24a is used.

この場合、スルーホール金型板24と接して、開口部2
4aに対応するスルーホールパターンのみを有するダミ
ーシー)DSを載置し、ダミーシトDS上に厚さ0.4
關の窒化アルミニウムグリーンシートGを5枚積み重ね
、最上層には通気シート27として通気性及びペースト
吸収性に優れる目の細かいセルロース系のシートを配置
した。
In this case, the opening 2 is in contact with the through-hole mold plate 24.
A dummy sheet (DS) having only a through-hole pattern corresponding to 4a is placed, and a thickness of 0.4 is placed on the dummy sheet DS.
Five aluminum nitride green sheets G were stacked, and a fine cellulose sheet with excellent air permeability and paste absorbency was arranged as the ventilation sheet 27 on the top layer.

通気シート27の上にはシート押え板28が配置され、
シート押え板28には位置決めピン26を逃がすピン穴
29が形成されている。
A sheet pressing plate 28 is arranged on the ventilation sheet 27,
A pin hole 29 is formed in the sheet holding plate 28 to allow the positioning pin 26 to escape.

さらに、シート押え板28は上部油圧シリンダ30に、
加圧ピストン22は下部油圧シリンダ31にそれぞれ接
続され、所定の圧力がグリーンシートGに対して上下方
向から加えられるようになっている。
Furthermore, the seat press plate 28 is attached to the upper hydraulic cylinder 30.
The pressure pistons 22 are connected to lower hydraulic cylinders 31, respectively, so that a predetermined pressure is applied to the green sheet G from above and below.

これら油圧シリンダ30および31は油圧ポンプ32に
接続され、コントローラ33によって制御される加圧時
間やタイミングに従って作動する電磁弁34の開開によ
って加圧条件がコントロールされている。
These hydraulic cylinders 30 and 31 are connected to a hydraulic pump 32, and pressurization conditions are controlled by opening and opening of a solenoid valve 34 that operates according to pressurization time and timing controlled by a controller 33.

このようなペースト充填装置では、導体ペーストPとし
て、高粘度ペーストが使用され、ここでは室温における
粘度を80x 104センチポアズに調製したタングス
テンペーストを使用した。
In such a paste filling device, a high viscosity paste is used as the conductor paste P, and here, a tungsten paste whose viscosity at room temperature was adjusted to 80×10 4 centipoise was used.

窒化アルミニウムグリーンシートGに、このタングステ
ンペーストを充填する際には、まず上部油圧シリンダー
30により、シート押え板28をグリーンシートG上で
1平方センチメートルあたり 3〜20kgの圧力で押
しつけ、次に、下部油圧シリンダー31によって上側と
同じ圧力でペーストPを矢印U方向に加圧しつつグリー
ンシートG中のスルーホールHに下側から押し上げるよ
うにして充填した。
When filling the aluminum nitride green sheet G with this tungsten paste, first the upper hydraulic cylinder 30 presses the sheet pressing plate 28 onto the green sheet G with a pressure of 3 to 20 kg per square centimeter, and then the lower hydraulic cylinder The paste P was pressed in the direction of the arrow U by the cylinder 31 at the same pressure as above, and was filled into the through holes H in the green sheet G by pushing it up from below.

なお、ペーストPが最上層のシートまで到達しない場合
は、直ちに油圧ポンプ32を再起動して追加充填するこ
とができるため、加圧時間は最初短目に設定して徐々に
増やし、グリーンシートの枚数に合せて最適条件を決定
すればよい。
Note that if the paste P does not reach the topmost sheet, the hydraulic pump 32 can be restarted immediately for additional filling. Therefore, the pressurization time is initially set short and gradually increased, until the green sheet is covered. Optimum conditions may be determined depending on the number of sheets.

ペースト充填終了後は、加圧ピストン22の加圧を止め
、グリーンシート上に配置されたシート押え板28を上
昇させてグリーンシートGを1枚ずつていねいにはがし
、乾燥させた。
After filling the paste, the pressurization of the pressurizing piston 22 was stopped, the sheet pressing plate 28 placed on the green sheet was raised, and the green sheets G were carefully peeled off one by one and dried.

次いで新たに別のグリーンシートにペーストを充填する
場合は、スルーホール金型板24表面を紙ワイパーなど
で清拭後、上記手順を繰り返した。
Next, when filling another green sheet with the paste, the above procedure was repeated after wiping the surface of the through-hole mold plate 24 with a paper wiper or the like.

最終的に、このペースト充填装置の使用が終了した後は
、スルーホール金型板24を外し、代わりに密閉蓋を取
り付けて保管する。
Finally, after the use of this paste filling device is completed, the through-hole mold plate 24 is removed and a sealing lid is attached in its place for storage.

この実施例によれば、異種のスルーホールパターンを同
一面に形成した金型板を使用することによって、多品種
生産に対応することが可能となった。
According to this embodiment, by using a mold plate in which different types of through-hole patterns are formed on the same surface, it is possible to cope with the production of a wide variety of products.

実施例2 第2図は本発明の他の実施例のペースト充填装置の要部
を示す図であり、図示しない他の部分は実施例1と同様
である。
Embodiment 2 FIG. 2 is a diagram showing the main parts of a paste filling apparatus according to another embodiment of the present invention, and other parts not shown are the same as those in the first embodiment.

同図において、51はペーストタンクであり、ペースト
タンク51の上面にはスルーホール金型板52が配置さ
れ、続いて所定枚数のグリーンシート53が積層されて
いる。さらにグリーンシート53の最上層には通気シー
ト54が配置されている。
In the figure, 51 is a paste tank, and a through-hole mold plate 52 is arranged on the upper surface of the paste tank 51, and a predetermined number of green sheets 53 are subsequently laminated. Further, a ventilation sheet 54 is arranged on the top layer of the green sheet 53.

この実施例におけるグリーンシート53は径の異なるス
ルーホールを有しており、大径スルーホール55a(直
径0.35ma+)と、小径スルー * −ル55b(
直径0.20av)とが同一シートに形成されている。
The green sheet 53 in this embodiment has through holes with different diameters, including a large diameter through hole 55a (diameter 0.35 ma+) and a small diameter through hole 55b (diameter 0.35 ma+).
diameter 0.20 av) are formed on the same sheet.

そして、厚さ15mmのスルーホール金型板52には、
グリーンシート53の有するスルーホールの径に対応し
た異なる形状の開口部56.57が形成されている。こ
れら開口部56.57はそれぞれのスルーホール径に対
応したもので、グリーンシート側に位置するノズル部5
6aおよび57b1そしてこれに続くノズル部よりも太
い径の胴体部56bおよび57bとからなっている。
And, in the through-hole mold plate 52 with a thickness of 15 mm,
Openings 56 and 57 of different shapes corresponding to the diameters of the through holes of the green sheet 53 are formed. These openings 56 and 57 correspond to the respective through hole diameters, and the nozzle portion 5 located on the green sheet side
6a and 57b1, and the following body parts 56b and 57b having a larger diameter than the nozzle part.

このような2段型の開口部は、たとえば、金型板の上下
両方向から所定径のドリルで孔あけを行うことにより形
成することができる。
Such a two-stage opening can be formed, for example, by drilling holes with a drill of a predetermined diameter from both the top and bottom of the mold plate.

大径スルーホール55aでは、口径が広いため抵抗が小
さく、ペーストの充填が速やかである。
The large-diameter through-hole 55a has a wide diameter, so the resistance is low and the paste can be filled quickly.

一方、小径スルーホール55bでは口径が小さいことか
ら抵抗が大きく、ペーストの充填速度は低下する。
On the other hand, since the small diameter through hole 55b has a small diameter, the resistance is large and the filling speed of the paste is reduced.

したかって、大径スルーホール55aに対応した開口部
56は、ノズル部56aの径を大径スルーホール55a
の径よりも小さい0.30+amに細く絞って設定して
いる。
Therefore, the opening 56 corresponding to the large diameter through hole 55a has a diameter of the nozzle portion 56a that corresponds to the large diameter through hole 55a.
It is narrowly set to 0.30+am, which is smaller than the diameter of .

これとは逆に、小径スルーホール55bに対応した開口
部57は、ノズル部57aの径を小径スルーホール55
bの径よりも大きい0.40mmに広げて設定している
On the contrary, the opening 57 corresponding to the small diameter through hole 55b has a diameter of the nozzle part 57a that corresponds to the small diameter through hole 55b.
The diameter is set to 0.40 mm, which is larger than the diameter of b.

これらノズル部56 a s 57 aの長さは1.5
■とし、残りの胴体部56b、57bの長さは13.5
mmとされている。
The length of these nozzle parts 56 a s 57 a is 1.5
■, and the length of the remaining body parts 56b and 57b is 13.5
It is said to be mm.

このような金型板を使用することによって、ペーストが
径の異なるスルーホールを通過して通気シート54に到
達するまでに要する時間が同程度になるよう調整される
By using such a mold plate, the time required for the paste to pass through through holes of different diameters and reach the ventilation sheet 54 can be adjusted to be approximately the same.

したがって、スルーホールの径の違いによるペーストの
充填不足、あるいは充填過多によるにじみなどが防止さ
れ、−工程で良好なペースト充填を行うことができた。
Therefore, problems such as insufficient filling of paste due to differences in the diameter of the through-holes or bleeding due to overfilling were prevented, and it was possible to perform good paste filling in the -step.

さらに、ペーストの充填完了時間を調整する方法として
、ノズル部の長さを変化させてもよい。
Furthermore, the length of the nozzle portion may be changed as a method of adjusting the time to complete filling of the paste.

つまり、大径スルーホールに対応する開口部のノズル部
は長さを長く設定し、逆に小径スルーホールに対応する
開口部のノズル部は短く設定するのである。
In other words, the nozzle portion of the opening corresponding to the large-diameter through-hole is set long, and conversely, the nozzle portion of the opening corresponding to the small-diameter through-hole is set short.

このようなノズル部の長さの差異によってもグリーンシ
ートの最上層までの到達時間を調整することができる。
The time required for the green sheet to reach the top layer can also be adjusted by such a difference in the length of the nozzle portion.

なお、本発明はセラミックスの種類、装填するペースト
の種類によって何ら限定されるものではなく、種々のセ
ラミックスに対して適した導体ペーストを所定粘度に調
製して使用することにより作業性良く、高精度でペース
トをセラミックス基板のスルーホールに充填することが
できる。
Note that the present invention is not limited in any way by the type of ceramics or the type of paste to be loaded. By using a conductive paste suitable for various ceramics and prepared with a predetermined viscosity, it is possible to achieve good workability and high precision. The paste can be filled into the through holes of the ceramic substrate.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、加圧シリンダに
よるスルーホールの下方から上方に向けて押し上げると
いう独特の方法によりペースト・を充填しているため、
速やかに高粘度ペーストを充填することができ、小径ま
たはホール深さの長いスル一ホールにも対応できる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the paste is filled using a unique method of pushing up the through hole from the bottom to the top using a pressure cylinder.
High viscosity paste can be quickly filled, and it can also be used for through-holes with small diameters or long holes.

また、異種のスルーホールパターンを同一面に形成した
金型板を使用することによって、多品種生産に対応する
ことができる。
Furthermore, by using a mold plate in which different types of through-hole patterns are formed on the same surface, it is possible to support multi-product production.

さらに、金型板のノズル部の径もしくは長さを、対応す
るスルーホール径に対して変化させることにより、径の
異なるスルーホールを同一面上に有するグリーンシート
に対しても、−工程で良好にペーストを充填することが
できる。
Furthermore, by changing the diameter or length of the nozzle part of the mold plate with respect to the corresponding through-hole diameter, it is possible to improve the process even for green sheets that have through-holes with different diameters on the same surface. can be filled with paste.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例のペースト充填装置を示す断
面図、第2図は本発明の他の実施例のペースト充填装置
の要部を示す図、第3図はスクリーン印刷を説明するた
めの図、第4図はメタルマスクを用いたペースト充填装
置を説明するだめの図である。 21・・・ペーストタンク、22・・・加圧ピストン、
23・・・定盤、24・・・スルーホール金型板、25
・・・固定ボルト、26・・・位置決めピン、27・・
・通気シート、28・・・シート押え板、29・・・ビ
ン穴、30・・・上部油圧シリンダ、31・・・下部油
圧シリンダ、32・・・油圧ポンプ、33・・・コント
ローラ、34・・・電磁弁、DS・・・ダミーシート、
G・・・グリーンシート、H・・・スルーホール、P・
・・導体ペースト。 51・・・ベーストタンク、52・・・スルーホール金
型板、53・・・グリーンシート、54・・・通気シー
ト、55a・・・大径スルーホール、 55b・・・小径スルーホール、56.57・・・開口
部、56a%57a−・・ノズル部、56b、57b・
・・胴体部。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a paste filling device according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing main parts of a paste filling device according to another embodiment of the present invention, and FIG. 3 explains screen printing. FIG. 4 is a diagram for explaining a paste filling apparatus using a metal mask. 21...Paste tank, 22...Pressure piston,
23... Surface plate, 24... Through-hole mold plate, 25
...Fixing bolt, 26...Positioning pin, 27...
- Ventilation sheet, 28... Seat holding plate, 29... Bottle hole, 30... Upper hydraulic cylinder, 31... Lower hydraulic cylinder, 32... Hydraulic pump, 33... Controller, 34... ...Solenoid valve, DS...Dummy seat,
G...Green sheet, H...Through hole, P.
...Conductor paste. 51... Base tank, 52... Through hole mold plate, 53... Green sheet, 54... Ventilation sheet, 55a... Large diameter through hole, 55b... Small diameter through hole, 56. 57... Opening section, 56a% 57a-... Nozzle section, 56b, 57b.
...Body part.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)導体ペーストを収容するペースト収容容器と、 このペースト収容容器上に配置されたスルーホール金型
板と、 このスルーホール金型板上に配置されるセラミックスグ
リーンシートを上方から加圧可能に押圧するグリーンシ
ート押え手段と、 前記導体ペーストを、前記スルーホール金型板の下方か
ら前記セラミックスグリーンシートに向けて上方向に加
圧する上下可動のペースト加圧手段とを有するペースト
充填装置において、 前記スルーホール金型板は、この金型板上に配置される
異なるスルーホールパターンを有する異種のセラミック
スグリーンシートに対応可能に、複数のスルーホールパ
ターンが同一面に形成されていることを特徴とするペー
スト充填装置。
(1) A paste storage container that stores conductive paste, a through-hole mold plate placed on this paste storage container, and a ceramic green sheet placed on this through-hole mold plate can be pressurized from above. In the paste filling device, the paste filling device includes: a green sheet pressing means for pressing; and a vertically movable paste pressing means for pressing the conductive paste upwardly from below the through-hole mold plate toward the ceramic green sheet; The through-hole mold plate is characterized in that a plurality of through-hole patterns are formed on the same surface so that it can accommodate different types of ceramic green sheets having different through-hole patterns arranged on the mold plate. Paste filling equipment.
(2)導体ペーストを収容するペースト収容容器と、 このペースト収容容器上に配置されたスルーホール金型
板と、 このスルーホール金型板上に配置されるセラミックスグ
リーンシートを上方から加圧可能に押圧するグリーンシ
ート押え手段と、 前記導体ペーストを、前記スルーホール金型板の下方か
ら前記セラミックスグリーンシートに向けて上方向に加
圧する上下可動のペースト加圧手段とを有するペースト
充填装置において、 前記スルーホール金型板は、この金型板上に配置される
径の異なるスルーホールを同一面上に有するセラミック
スグリーンシートに対応可能に、前記金型板の厚さ方向
において径もしくは長さが変化する開口部が形成されて
いることを特徴とするペースト充填装置。
(2) A paste storage container that stores conductive paste, a through-hole mold plate placed on this paste storage container, and a ceramic green sheet placed on this through-hole mold plate can be pressurized from above. In the paste filling device, the paste filling device includes: a green sheet pressing means for pressing; and a vertically movable paste pressing means for pressing the conductive paste upwardly from below the through-hole mold plate toward the ceramic green sheet; The through-hole mold plate has a diameter or length that changes in the thickness direction of the mold plate so that it can be used with a ceramic green sheet that has through holes with different diameters on the same surface. A paste filling device characterized by having an opening formed therein.
JP22373290A 1990-02-20 1990-08-24 Paste filling device Pending JPH03283490A (en)

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JP2-40178 1990-02-20

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JP (1) JPH03283490A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4242843B4 (en) * 1991-12-18 2005-09-08 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo Method for producing electronic components composed of several ceramic layers

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4242843B4 (en) * 1991-12-18 2005-09-08 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo Method for producing electronic components composed of several ceramic layers

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