JPH03278488A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH03278488A JPH03278488A JP7666690A JP7666690A JPH03278488A JP H03278488 A JPH03278488 A JP H03278488A JP 7666690 A JP7666690 A JP 7666690A JP 7666690 A JP7666690 A JP 7666690A JP H03278488 A JPH03278488 A JP H03278488A
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- JP
- Japan
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- gas laser
- holes
- laser medium
- shock wave
- main discharge
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 10
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- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は横励起方式のガスレーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
一般にこの種の装置は第３図に示すように構成されてい
る。すなわち、（１）はガスレーザ媒質を所定の圧力で
封入したレーザ管、（２）および（３）は主放電電極、
（４）は予備電離電極としての上部電極体、（５）は上
部電極体（４）に接続されたピーキングコンデンサ、（
６）は同じく予備電離電極としての下部電極体、（７）
は上記主放電電極および予備電離電極にそれぞれ所定の
電圧を所定のタイミングで印加する電源、（８）は上記
ガスレーザ媒質をレーザ管（１）内で循環して主放電空
間（９）に送風する送風機、（１０）は熱交換器、（ｌ
ｌａ） 、 （ｌｌｂ）は上記循環の上流側になる送風
機（８）と主放電空間（９）との間に設けられた一方の
整流体、（１２ａ）、（１２ｂ）は上記循環の下流側に
なる主放電空間（９）と熱交換器（ｌＯ）との間に設け
られた他方の整流体である。上記構成において、高圧電
源（７）が動作すると、上部、下部電極体（４） 、
（６）でスパーク放電が起き、この放電により主放電電
極（２）、（３）間に電子が供給され、予備電離が行わ
れる。主放電電極（２）、（３）間の電圧が高くなると
、この電子が種火となり、主放電である均一なグロー放
電が点弧する。
る。すなわち、（１）はガスレーザ媒質を所定の圧力で
封入したレーザ管、（２）および（３）は主放電電極、
（４）は予備電離電極としての上部電極体、（５）は上
部電極体（４）に接続されたピーキングコンデンサ、（
６）は同じく予備電離電極としての下部電極体、（７）
は上記主放電電極および予備電離電極にそれぞれ所定の
電圧を所定のタイミングで印加する電源、（８）は上記
ガスレーザ媒質をレーザ管（１）内で循環して主放電空
間（９）に送風する送風機、（１０）は熱交換器、（ｌ
ｌａ） 、 （ｌｌｂ）は上記循環の上流側になる送風
機（８）と主放電空間（９）との間に設けられた一方の
整流体、（１２ａ）、（１２ｂ）は上記循環の下流側に
なる主放電空間（９）と熱交換器（ｌＯ）との間に設け
られた他方の整流体である。上記構成において、高圧電
源（７）が動作すると、上部、下部電極体（４） 、
（６）でスパーク放電が起き、この放電により主放電電
極（２）、（３）間に電子が供給され、予備電離が行わ
れる。主放電電極（２）、（３）間の電圧が高くなると
、この電子が種火となり、主放電である均一なグロー放
電が点弧する。
（発明が解決しようとする課題）
上記主放電時には瞬時に多量の電気エネルギーが主放電
電極（２）、（３）間に注入されるため、ガスの急激加
熱による衝撃波が発生する。この衝撃波は通常ｉｍｓ程
度の時間が経過すると急激に減少するため、１ｋＨｚよ
り低い繰返しではレーザ出力を低下させなかった。しか
しながら、それ以上の繰返しではレーザ管（１）の内壁
、整流体（ｌｌａ）、（ｌｌｂ）、（１２ａ）、（１２
ｂ）などで反射し、主放電部に戻り、ガスレーザ媒質の
密度揺らぎを発生させた。
電極（２）、（３）間に注入されるため、ガスの急激加
熱による衝撃波が発生する。この衝撃波は通常ｉｍｓ程
度の時間が経過すると急激に減少するため、１ｋＨｚよ
り低い繰返しではレーザ出力を低下させなかった。しか
しながら、それ以上の繰返しではレーザ管（１）の内壁
、整流体（ｌｌａ）、（ｌｌｂ）、（１２ａ）、（１２
ｂ）などで反射し、主放電部に戻り、ガスレーザ媒質の
密度揺らぎを発生させた。
主放電空間（９）のインピーダンスはガス密度で決定さ
れるため、密度揺らぎは主放電の空間的ばらつき、さら
にはアーク放電を発生させ、レーザ光は励起されなくな
ってしまった。 本発明はこのような事情に鑑みてなさ
れたもので、衝撃波の影響を弱め、安定した高繰返し発
振ができるガスレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
れるため、密度揺らぎは主放電の空間的ばらつき、さら
にはアーク放電を発生させ、レーザ光は励起されなくな
ってしまった。 本発明はこのような事情に鑑みてなさ
れたもので、衝撃波の影響を弱め、安定した高繰返し発
振ができるガスレーザ発振装置を提供することを目的と
する。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
ガスレーザ媒質を所定の圧力で封入したレーザ管と、こ
のレーザ管内に主放電空間を形成して設けられた主放電
電極と、上記ガスレーザ媒質を上記主放電空間に送風す
る送風手段と、上記送風されたガスレーザ媒質を整流す
る整流体を備えたガスレーザ発振装置において、上記整
流体は上記ガスレーザ媒質の流れに沿う部分に複数の貫
通穴が複数形成されているもので、主放電時に発生した
衝撃波は貫通穴でその波面が乱され減衰する。
のレーザ管内に主放電空間を形成して設けられた主放電
電極と、上記ガスレーザ媒質を上記主放電空間に送風す
る送風手段と、上記送風されたガスレーザ媒質を整流す
る整流体を備えたガスレーザ発振装置において、上記整
流体は上記ガスレーザ媒質の流れに沿う部分に複数の貫
通穴が複数形成されているもので、主放電時に発生した
衝撃波は貫通穴でその波面が乱され減衰する。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明の第１の実施例で、（２Ｄａ） 、 （
２ｏｂ）はたとえばガスレーザ媒質のレーザ管内での循
環における上流側に設けられた金属板からなる整流体で
、はぼ全体に複数の小円形の穴からなる貫通穴（２１）
が形成されている。これら貫通穴（２１）間の間隔は等
間隔または不等間隔どちらで形成してもよい。これら貫
通穴（２１）は上記循環における下流側に設けられる整
流体（図示せず）にほぼ同様に形成される。上記貫通穴
（２１）の形成で、ガスレーザ媒質の流速は５％程度低
下するが、主放電時に発生した衝撃波は各貫通穴（２１
）の部分でその波面が乱され、５００μｓ程度で急速に
減衰する。
２ｏｂ）はたとえばガスレーザ媒質のレーザ管内での循
環における上流側に設けられた金属板からなる整流体で
、はぼ全体に複数の小円形の穴からなる貫通穴（２１）
が形成されている。これら貫通穴（２１）間の間隔は等
間隔または不等間隔どちらで形成してもよい。これら貫
通穴（２１）は上記循環における下流側に設けられる整
流体（図示せず）にほぼ同様に形成される。上記貫通穴
（２１）の形成で、ガスレーザ媒質の流速は５％程度低
下するが、主放電時に発生した衝撃波は各貫通穴（２１
）の部分でその波面が乱され、５００μｓ程度で急速に
減衰する。
第２図は本発明の第２の実施例で、円形の不貫通穴（２
２）を複数個形成した整流体（２３）を示す。この実施
例では上記第１の実施例のように、貫通穴（２１）から
ガスレーザ媒質が漏れることがなくなり、その分、主放
電空間（９）へのガスレーザ媒質の供給量の減りかたは
少ない。
２）を複数個形成した整流体（２３）を示す。この実施
例では上記第１の実施例のように、貫通穴（２１）から
ガスレーザ媒質が漏れることがなくなり、その分、主放
電空間（９）へのガスレーザ媒質の供給量の減りかたは
少ない。
［発明の効果］
本発明によって、衝撃波が急激に減少し、繰返し数をほ
ぼ２倍程度向上することができた。
ぼ２倍程度向上することができた。
第１図は本発明の第１の実施例を示す部分斜視図、第２
図は本発明の第２の実施例を示す部分斜視図、第３図は
従来例を示す断面図である。 （２０ａ）、（２０ｂ）、（２３）・・・整流体（２１
）・ ・貫通穴
図は本発明の第２の実施例を示す部分斜視図、第３図は
従来例を示す断面図である。 （２０ａ）、（２０ｂ）、（２３）・・・整流体（２１
）・ ・貫通穴
Claims (1)
- ガスレーザ媒質を所定の圧力で封入したレーザ管と、こ
のレーザ管内に主放電空間を形成して設けられた主放電
電極と、上記ガスレーザ媒質を上記主放電空間に送風す
る送風手段と、上記送風されたガスレーザ媒質を整流す
る整流体を備えたガスレーザ発振装置において、上記整
流体は上記ガスレーザ媒質の流れに沿う部分に複数の貫
通穴が形成されていることを特徴とするガスレーザ発振
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7666690A JPH03278488A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7666690A JPH03278488A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03278488A true JPH03278488A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13611738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7666690A Pending JPH03278488A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03278488A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6495797B2 (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-17 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
| US7215695B2 (en) | 2004-10-13 | 2007-05-08 | Gigaphoton | Discharge excitation type pulse laser apparatus |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP7666690A patent/JPH03278488A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6495797B2 (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-17 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
| US7215695B2 (en) | 2004-10-13 | 2007-05-08 | Gigaphoton | Discharge excitation type pulse laser apparatus |
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