JPH03269842A - 光ディスク基板の評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、一般的な成形条件（特に射出成形）のもとに
底形された光ディスクの残留応力及び情報ピットの転写
性を評価するための装置に関する。

〔従来の技術〕

従来における光ディスクの一般的な成形条件（特に射出
成形）においては、底形されるディスクの残留応力と情
報ピットの転写性には密接な関係があり、好適な成形条
件を確立するには少なくともこの両条件を満たすことが
要求される。ところが、一般的には残留応力つまりディ
スク基板の複屈折を低く押さえた場合には、ピットの転
写性が悪化し、一方転写性のみに着目してこれを向上さ
せる場合、逆にディスク基板の残留応力が増加する傾向
にある。従って、ディスクの底形が好ましい条件下で行
われているか否かの判断は、この両者を評価する必要が
ある。

この為、従来からディスク基板の残留応力を評価するた
めの複屈折測定装置と情報ピットの転写性を簡易的に評
価するための一次回折光強度測定装置とがあり、これら
の装置により個々に評価が行われている。

第４図は複屈折測定装置の光学系の一例を示している。

図において、１は検査レーザー光、２は検査レーザー光
ｌを２方向へ分岐するハーフ・ミラー、３は該分岐光の
一方を受光する光源光量モニター用受光センサ（以後、
光源センサと称す）、４は他方の分岐光を受光しＰ成分
のみの直接偏光を通す偏光板、５は偏光板４からの直線
偏光を円偏光とし、被検査ディスク６に入射する４分の
１波長板、７は被検査ディスク６を直進した光の円偏光
を直線偏光とする４分の１波長板、８は４分の１波長板
７の通過光より複屈折成分を通過させる偏光板、９は偏
光板８の通過光たる複屈折成分光を受光する複屈折成分
光受光用センサ（以後、複屈折センサと称す）、１０．
１０’は被検査ディスク６上のピットの存在により生し
、分岐される回折光である。なお、ｈは複屈折成分光量
、Ｉｔ，１３’は一次回折光量を表わす。

以上の構成において、その動作を説明する。検査レーザ
ー光１は、ハーフ・ミラー２、偏光板４及び４分の１波
長板５を通過して円偏光となり被検査ディスク６に入射
する。被検査ディスク６に複屈折が存在する場合は、被
検査ディスク６を通過した光は４分の１波長板７を透過
したのち偏光板８を通過し、複屈折センサ９にて捕捉さ
れる。

即ち、被検査ディスク６の複屈折によって偏光状態が変
化した検査レーザー光１の複屈折成分のみが捕捉される
。一方、複屈折が存在しない場合は、検査レーザー光１
は偏光板８を通過することができず、従って複屈折セン
サ９には到達しない。

今、検査光線光量をＩｓとすると、被検査ディスク６の
複屈折最大光路差Δは次式であらわすことができる。

但し、λ：光源の波長 ここで、ハーフ・主うー２において分岐され光源センサ
３により受光された光量を１０、また偏光板８を通過し
ない非複屈折或分の光量を■２とすれば、検査レーザー
光ｌの光路上の主たる減衰である被検査ディスク６の光
線透過率に起因する光量の減衰を考慮した場合の■３は
、減衰率をαとすると、 Ｉｓ　＝＝＝Ｉｔ　＋　Ｉｚ　＝αＩ０で示される。但
し、ｒ２は偏光板８で遮光されるため実際の捕捉は不可
能である。

更に、被検査ディスク６を通過する検査レーザ−光１は
ビットの存在の影響により回折光１０゜１０′を生し分
岐されるため、この回折光の光量和をＩ６とすると、（
１）式の実際の演算は、■、＝α■。−Ｉ６を代入する
ことにより行うことができる。従って、従来の方法にお
いて厳密な測定を行うためには、上記した被検査ディス
ク６の光線透過率（光量減衰率α）及び回折光の光量和
（■、）を知り得たのち（１）式より複屈折を求めなけ
ればならない。

また、第５図は一次回折光強度測定装置の光学系の一例
を示す。図において、１１は被検査ディスク６に入射す
る検査レーザー光、１２は被検査ディスク６を通過後直
進する０次回行光（直進光）１３．１３’は情報ビット
のトラック・ピッチ等により、Ｏ次回行光１２の両端に
回折角θをもって生ずる一次回折光、１４はＯ次回行光
１２を受光する０次回行光受光用センサ（以後、０次セ
ンサと称す）、１５は一次回折光１３を受光する一次回
折光１３用センサ（以後、−族センサと称す）を示す。

上記において、一次回行光強度りは、０次回行光１２と
一次回折光１３の強度比を求めることで評価される。今
、−族センサ１５で捕捉される光量をＩ３．０次センサ
１４で捕捉される光量をＩ４とすると、一次回行光強度
りを次式で求まる。

■。

Ｄ＝ ４ ここで、仮に前記した複屈折と一次回折光強度の測定を
同一の検査光軸で行うために、第４図に一次回折光１３
を捕捉するためのセンサで付加した場合には、０次回行
光が受光センサ９で捕捉できるのは前記の如く複屈折成
分のみであり、一次回行光は捕捉できてもＯ次回行光の
正しい捕捉は不可能である。

次に、上記光学系により捕捉された複屈折成分光及び光
源光量より複屈折を測定する具体的な信号処理回路を第
６図に、また０次回行光１２及び一次回行光１３より一
次回折光強度を測定する信号処理回路を第７図にそれぞ
れ示す。

第６図において、複屈折センサ９により捕捉された複屈
折成分光は、電流−電圧変換器３１ａにより電圧に変換
され、前置増幅器３２ａにて増幅したのち、バンド・バ
ス・フィルタ３３ａとＡＣ−ＤＣコンバータ３４ａによ
り、光チョッパーにより光変調された交流信号である測
定信号より外来光によるノイズ成分除去を行い、直流信
号に変換する。直流変換後、増幅器３５ａにて必要なレ
ベルまで増幅したのち、Ａ／Ｄコンバータ３６ａにてデ
ィジタル信号に変換し、複屈折成分信号ＳとしてＣＰＵ
から構成される外部演算装置３７に入力される。一方、
光源センサ３にて捕捉された光源光量は複屈折成分光と
同様の信号処理を施され、光源光量信号Ｓ０として外部
演算袋Ｗ３７に人力される。

また、第７図において、−族センサ１５及び０次センサ
１４により捕捉された一次回折光及び０次回行光も上記
信号処理回路と同様なる構成にて処理され、一次回行光
強度Ｓ３及びＯ次回行光信号Ｓ４として外部演算装置３
７に人力される。

上記それぞれの入力信号により、外部演算装置３７は以
下の演算を行い、複屈折及び一次回行光強度の測定を行
っている。

但し、Ｓｏには前記した減衰率αによる補正を施す。

〔発明が解決しようとする課題］ 従来の装置は以上の如く、複屈折及び一次回行光強度の
測定を別々の装置を使用して項目別に評価してきたが、
再装置ともオフ・ラインでの解析を主目的とするもので
あり、ディスク基板を光電的に測定し、そのデータを外
部演算装置にて処理し求めなければならなかった。

このため、成形現場での複屈折及び一次回行光強度の迅
速な評価ができず、成形条件の見落し等が生しるため、
トラブル発生時の現場における対応が遅れるという問題
点があった。

本発明は、上記のような従来装置の問題点を除去するた
めに威されたもので、その目的とするところは、ディス
ク戒形現場において、複屈折及び一次回指光強度を簡便
に、かつ迅速に測定することができ、好適な成形条件の
確認と維持が行える評価装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記した目的を達成するために、本発明の光ディスク基
板の評価装置は、光源から出射したビーム光よりＰ成分
のみの直線偏光を通過させる偏光ビーム・スプリッタと
、該直線偏光を円偏光とする４分の１波長板と、該円偏
光を被検査ディスクに照射し、該被検査ディスクより得
られる一次回折光を捕捉する受光用センサと、該被検査
ディスクを直進した光を直線偏光とする４分の１波長板
と、該４分の１波長板の出力光を複屈折成分光と非複屈
折戒分光に分岐する偏光ビーム・スプリッタと、一方の
分岐光たる複屈折成分光を捕捉する受光用センサと、他
方の分岐光たる非複屈折戒分光を捕捉する受光用センサ
とを設けた構成とし、更には光学系により捕捉された複
屈折成分光、非複屈折戒分光及び一次回行光の出力信号
のそれぞれに対し、電流を電圧に変換する電流−電圧変
換器と、該電流−電圧変換器の出力を増幅する前置増幅
器と、該増幅信号よりノイズを除去するバンド・パス・
フィルタと、該バンド・パス・フィルタの出力を直流に
変換するＡＣ−ＤＣコンバータとを備え、前記複屈折成
分光、非複屈折威分光及び一次回行光それぞれの前記Ａ
Ｃ−ＤＣコンバータの出力において、複屈折成分光出力
と非複屈折戒分光出力とを加算する加算器と、該複屈折
成分光出力と一次回折光出力とを信号選択制御クロック
により選択し切換えて出力するアナログ信号選択器と、
前記加算器出力及び前記アナログ信号選択器出力を入力
とし、該加算器出力に対する前記複屈折成分光出力の比
Ａ又は前記一次回折光出力の比Ｂを求めるレシオ・メト
リック変換機能を有するＡ／Ｄコンバータと、該Ａ／Ｄ
コンバータ出力を前記信号選択制御クロックにより選択
し、前記出力比Ａ及びＢの信号をそれぞれ保持するラッ
チ回路Ａ及びＢと、予め記憶された所定の換算表に基き
、前記ラッチ回路への出力信号に対する値を選択して出
力する記憶手段とを設けた構成よりなることを特徴とす
る。

〔作　用〕

本発明の光ディスク基板の評価装置は、複屈折及び一次
回指光強度の測定を同一の検査光軸で行うための光学系
と、これにより得られたセンサ信号の処理系とにより構
成される。

光学系において、検査レーザー光より出射する光は偏光
ビーム・スプリッタ及び４分の１波長板により円偏光と
なり被検査ディスクに入射される。

該被検査ディスクを透過後、直進光は４分の１波長板に
て直線偏光となり、もう一つの偏光ビーム・スプリッタ
により複屈折成分光と非複屈折戒分光とに分岐され、各
々受光用センサにより捕捉される。一方、被検査ディス
クを透過後生じた一次回折光も他の受光用センサにて捕
捉される。これらの各受光用センサにより捕捉された光
量から、複屈折及び一次回指光強度の測定が行われる。

次に、上記受光用センサにより得られた各光量信号は、
それぞれ電流−電圧変換器、前置増幅器、バンド・パス
・フィルタ及びＡＣ−ＤＣコンバータにて信号処理され
、直流信号に変換される。次に、直流電圧化された複屈
折成分信号と非複屈折戒分信号の加算が行われ、複屈折
及び一次回指光強度を求めるときのヘースになる成分が
得られる。

このベース成分をレシオ・メトリック変換機能付Ａ／Ｄ
コンバータ（以後、Ａ／Ｄコンバータと称す）の基準電
圧入力端子に入力し、一方アナログ信号入力端子には、
複屈折成分信号と一次回折光信号とをアナログ信号選択
器にて信号選択制御クロックにより交互に切換えて入力
することにより、ｉＡ／Ｄコンバータの出力端子には、
ベース成分により複屈折成分信号または一次回折光信号
を除算した値が得られる。

そして、該Ａ／Ｄコンバータの各出力をラッチ回路にて
前記信号選択制御クロックに同期させて保持させること
により、一次回指光強度は直接求めることができ、一方
接屈折は該Ａ／Ｄコンパー夕の出力値と正しい値との換
算表を記憶しているＲＯＭ　（リード・オンリー・メモ
リ）から、測定結果であるＡ／Ｄコンバータの出力値に
対する値を呼び出すことにより正しい値を得ることがで
きる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図〜第３図に基づいて説明
する。なお、上記従来例と同一部分には同一符号を付し
て詳細な説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。

第１図において、従来と異なる点は従来例の偏光板４，
８の替りに一対の偏光ビーム・スプリッタ１６．１７を
設けることにより、複屈折成分光と非複屈折成分光とを
捕捉可能となし、非複屈折成分光を捕捉する受光用セン
サ１Ｂ及び一次回行光を捕捉する受光用センサ１５とを
設けた点である。

図において、複屈折センサ９で捕捉される光量をＩｔ、
非複屈折成分光受光用センサ（以後、非複屈折センサと
称す）１８で受光される光量を１２とすると、Ｉ２は従
来の光学系においては偏光板８によって遮光され捕捉で
きなかった光量である。即ち、偏光ビーム・スプリッタ
１７を用いることにより複屈折成分光及び非複屈折成分
光も捕捉可能となるため、複屈折最大光路差Δは次の式
％式％ この方法を従来例と比較すると、Ｉ＋＋Ｉｚの値を（１
）式で示した検査光線光量■、とすることができるため
、以下の利点が生ずる。

■　被検査ディスクの光線透過率αを考慮する必要がな
い。

■　Ｉｔ　　、Ｌは直進光（０次回指光）をその複屈折
の成分て分岐した光量であり、ｈ十Ｉ２を検査光線光量
、Ｌを複屈折成分光量として扱えば、従来例の如く回折
光の光量和Ｉ４を考慮する必要がない。

即ち、Ｉ、、１．を捕捉することにより、被検査ディス
クの光線透過率及び回折光の影響を受けることなく、複
屈折の正確な測定が可能となる。

又、一次センサ１５で捕捉される光量Ｉ３により、一次
回折光強度は次式で求めることができる。

３ Ｄ＝ １１＋Ｉ２ ここで、Ｉ、　＋１２は被検査ディスクを直進した光を
その偏光状態に応してＩ、、Ｉ２という二つの成分に分
岐した光の和であり、この和がＯ次回指光に相当するこ
とは言うまでもない。

従来例において、一次センサ１５を付加しただけでは好
適な０次回指光の捕捉は不可能であることは前述したが
、第１図のように偏光ビーム・スプリッタ１７を用いて
１１及びＩ２の両方を捕捉し、その和を０次回指光の光
量とすることで、複屈折測定用光学系の一部を共用した
同一の検査光軸により一次回折光強度の測定も可能とな
り、更に光学素子の一部共用が可能となるため構成も簡
素となる。

更に、第２図において、前記光学系にて捕捉ささた信号
の処理回路を示す、光学系により得られた複屈折成分光
、非複屈折成分光及び一次回行光のそれぞれの交流信号
たる測定信号を直流信号に変換する点は従来と同しであ
る。図において、３８はＡＣ−ＤＣコンバータ３４ａ、
３４ｂの出力を加算する加算器、３９はＡＣ−ＤＣコン
バータ３４ｂ、３４ｃの出力を端子Ａに供給される信号
選択制御クロックに同期して交互に出力するアナログ信
号選択器、４０は加算器３８の出力を基準電圧入力端子
Ｂに、アナログ信号選択器３９の出力をアナログ信号入
力端子Ｃに人力することにより、除算を行いつつディジ
タル信号に変換する機能を有するレシオ・メトリック変
換機能付Ａ／Ｄコンバータ、４１ａ、４１ｂはＡ／Ｄコ
ンバータ４０の出力を前記信号選択制御クロックに同期
してラッチするラッチ回路、４２はラッチ回路４１ｂの
ラッチ動作を前記信号選択制御クロックに同期させるた
めの反転器、４３はラッチ回路４１ｂの出力により、あ
らかじめメモリされた換算表に基づき、その出力値に応
じた値を出力するＲＯＭ、４４はラッチ回路４１ａの出
力を表示する表示器、４５はＲＯＭ４３よりデータとし
て読み出された出力を表示する表示器である。なお、図
中の破線内部分が本発明における演算部である。

今、ＡＣ−ＤＣコンバータ３４ａ、３４ｂ、３４ｃの出
力をそれぞれ非複屈折威分信号（以後、Ｓｈと称す）、
複屈折成分信号（以後、Ｓ、と称する）及び一次回行光
強度（以後、Ｓ７と称する）とすれば、複屈折最大光路
差Δ及び一次回行光強度りは次の式で求められることが
判る。

さて、加算器３８においてＳ、とＳ、の値を加算し、Ａ
／Ｄコンバータ４０の基準電圧入力端子Ｂに入力する。

一方、アナログ信号選択器３９に入力されたＳ、及びＳ
７は、信号選択制御クロックにより交互に切換えられて
Ａ／Ｄコンバータ４０のアナログ信号入力端子Ｃに人力
される。ところで、Ａ／Ｄコンバータ４０は除算機能を
有しているため、例えばアナログ信号選択器３９の出力
がＳｓの場合は、Ａ／Ｄコンバータ４０のディジタル出
力はｓｓ　／　（５５＋３６　）であり、Ｓ７の場合は
Ｓ？　／　（ｓｓ　＋Ｓｈ）となる。

そして、それぞれの出力値は、信号選択制御クロック及
び反転器４２による反転クロックを用いてラッチ回路４
１ａ、４１ｂに保持され、ラッチ回路４１ａに保持信号
は表示器４４に一次回折光強度値として表示される。一
方、ラッチ回路４１ｂの保持信号はＲＯＭ４３のアドレ
ス信号となりＲＯＭ４３の出力が複屈折値として表示器
４５に表示される。この場合、（２）式において複屈折
値ΔはＳｓ　／　（Ｓ５　＋３６　）の関数であり、こ
のＳ。

／　（Ｓ、　＋Ｓ＆　）の値によってΔは一義的に定ま
る。従って、このＳｓ　／　（Ｓ５　＋３６　）とΔの
関係を予めＲＯＭ４３に記憶させ、このＳｓ／（Ｓ、　
＋５６　）の値をＲＯＭ４３のアドレス入力に入力して
対応するΔをＲＯＭ４３から読み出せば良く、（２）式
のような複雑な演算を行わずに簡便に複屈折値Δを求め
ることができる。

又、上記ラッチ回路４１ａ、４１ｂのデータ保持はアナ
ログ信号選択器３９の信号選択と同期して交互に行われ
るため、１個のＡ／Ｄコンバータ４０で時分割して信号
変換を行うことにより、Ｓｓ　／　（ｓｓ　＋Ｓ＆　）
及びＳ７　／　（ｓｓ　＋３６　）　（７）値はそれぞ
れラッチ回路４１ｂ、４１ａに正しく保持される。

以上の動作を交互に繰り返すことにより、複屈折値及び
一次回行光強度の更新データをそれぞれの表示器４５．
４４に表示することが可能となる。

なお、Ａ／Ｄコンバータ４０以後の信号線におけるｎは
使用するＡ／Ｄコンバータのビット分解能ｎ（例えば、
８ビツトであればｎ＝８）に起因する信号線の数を表わ
す。

また、第３図は本発明による光学系全体のブロック図を
示し、第１図と異なる点は、スピンドル１９によりスピ
ンドル・モータ２０による回転駆動力を被検査ディスク
６に伝達し、更に回転円板等の光チゴッパ２１により光
源レーザー２２からの光に対し光変調を行っていること
である。

また、第３図において２点鎖線で示す如く、スピンドル
・モータ２０を支持台２３に取付けると共に、この支持
台２３にスクリュシャフト２４を螺合し、かつ、このス
クリュシャフト２４を２本の支柱２５で支持すると共に
送りモータ２６を回転させることにより、支持台２３を
図面において左右方向に移動させるようにしても良い。

この場合において、被検査ディスク６を半径方向に水平
移動させることにより、任意な半径位置での点測定ある
いはその位置でスピンドル９を回転させて同一円周上で
の測定をｔテうことかできる。また、被検査ディスク６
の半径方向の送りピンチとスピンドル９の１回転を同期
させて測定することにより、被検査ディスク６の全周を
スパイラル状に検査することもできるものである。

〔発明の効果〕

以上説明するように、光学系においては、従来使用され
ていた偏光板の替りに一対の偏光ビーム・スプリッタを
設け、複屈折成分光と非複屈折或分光を捕捉でき、かつ
複屈折測定用光学系の一部を共用した同一の検査光軸で
一次回折光も捕捉できるように槽底したため、複屈折及
び一次回行光強度の測定が同時に行えるようになった。

また、信号処理系においては、演算の前処理であるＡ／
Ｄ変換のためのＡ／Ｄコンバータに一部演算機能（レシ
オ・メトリック変換）を持たせ、更に２種類の演算処理
を一組の処理回路にて時分割して行うように槽底したた
め、処理部が簡素化され、演算処理方法も簡略化された
。

以上の効果として、ディスク戒形現場において残留応力
やピット転写性といった重要条件の゛評価が的確かつ簡
便に行えるため、好適な成形条件の確認及び維持が容易
となる。しかも、装置が小型化ならびに製作コストの低
減化も図ることができる。

また、ディスクを半径方向に移動可能なように構成すれ
ば、任意の半径位置での点測定あるいはディスクを半径
方向に移動することにより同一円周上での測定も行え、
しかも、ディスクの半径方向の送りピッチとスピンドル
の１回転を同期させて測定することにより、被検査ディ
スクの全周をスパイラル状に検査することもできる等の
効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の評価装置による複屈折及び一次回行光
強度の測定用光学系を示す図、第２図は本発明の評価装
置による複屈折及び一次回行光強度の測定用信号処理回
路のブロック図、 第３図は本発明の評価装置による光学系全体ブロック図
、 第４図は従来装置による複屈折測定用光学系を示す図、 第５図は従来装置による一次回折光強度測定用光学系を
示す図、 第６図は従来装置による複屈折測定用信号処理回路のブ
ロック図、 第７図は従来装置による一次回折光強度測定用信号処理
回路のブロック図である。 ｌ・・・検査レーザー光、５，７・・・４分の１波長板
、６・・・被検査ディスク、９・・・複屈折成分光受光
用センサ、１５・・・一次回行光受光用センサ、１６，
１７・・・偏光ビーム・スプリッタ、１８・・・被複屈
折成分光受光用センサ、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ・・・
電流−電圧変換器、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ・・・前置
増幅器、３３ａ　、３３ｂ、３３ｃ・・・バンド・バス
・フィルタ、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ＝−ＡＣ−ＤＣコ
ンバータ、３８・・・加算器、３９・・・アナログ信号
選択器、４０・・・レシオ・メトリック変換機能付Ａ／
Ｄコンバータ、４１　ａ　、　４　ｌ　ｂ−・・ラッチ
回路、４３・・・ＲＯＭ、４４．４５・・・表示器。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源から出射したビーム光よりＰ成分のみの直線
   偏光を通過させる偏光ビーム・スプリッタと、該直線偏
   光を円偏光とする４分の１波長板と、該円偏光を被検査
   ディスクに照射し、該被検査ディスクより得られる一次
   回折光を捕捉する受光用センサと、該被検査ディスクを
   直進した光を直線偏光とする４分の１波長板と、該４分
   の１波長板の出力光を複屈折成分光と非複屈折成分光に
   分岐する偏光ビーム・スプリッタと、一方の分岐光たる
   複屈折成分光を捕捉する受光用センサと、他方の分岐光
   たる非複屈折成分光を捕捉する受光用センサとを備え、
   複屈折及び一次回折光強度の測定を同一の検査光軸を用
   いて行うことを特徴とする光ディスク基板の評価装置。
2. （２）請求項１記載の光ディスク基板の評価装置により
   捕捉された複屈折成分光、非複屈折成分光及び一次回折
   光の出力信号のそれぞれに対し、電流を電圧に変換する
   電流−電圧変換器と、該電流−電圧変換器の出力を増幅
   する前置増幅器と、該増幅信号よりノイズを除去するバ
   ンド・パス・フィルタと、該バンド・パス・フィルタの
   出力を直流に変換するＡＣ−ＤＣコンバータとを備え、
   前記複屈折成分光、非複屈折成分光及び一次回折光それ
   ぞれの前記ＡＣ−ＤＣコンバータの出力において、複屈
   折成分光出力と非複屈折成分光出力とを加算する加算器
   と、該複屈折成分光出力と一次回折光出力とを信号選択
   制御クロックにより選択し切換えて出力するアナログ信
   号選択器と、前記加算器出力及び前記アナログ信号選択
   器出力を入力とし、該加算器出力に対する前記複屈折成
   分光出力の比Ａ又は前記一次回折光出力の比Ｂを求める
   レシオ・メトリック変換機能を有するＡ／Ｄコンバータ
   と、該Ａ／Ｄコンバータ出力を前記信号選択制御クロッ
   クにより選択し、前記出力比Ａ及びＢの信号をそれぞれ
   保持するラッチ回路Ａ及びＢと、予め記憶された所定の
   換算表に基き、前記ラッチ回路Ａの出力信号に対する値
   を選択して出力する記憶手段とを備えることにより、複
   屈折及び一次回折光強度の同時測定を行うことを特徴と
   する光ディスク基板の評価装置。
3. （３）前記被検査ディスクを回転するためのスピンドル
   を半径方向に対して移動可能に構成したことを特徴とす
   る前記請求項１記載の光ディスク基板の評価装置。