JPH03269364A - Acceleration sensor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To suppress the influence of external noise and to simplify assembling work by insulating piezo-electric elements and a circuit substrate from a base by means of a sub-base and using a metallic case for shielding the elements and substrate and an external case molded unitedly with a wiring connector. CONSTITUTION:The acceleration sensor is constituted so that both the positive and negative electrodes of respective piezo-electric ceramic elements 2, 3 are elecrically insulated from the base 11 by the sub-base 7 obtained by glass- hemetically fixing a diaphragm 1 on the base 11 without using resin, the whole surfaces of the elements 2, 3 and the circuit substrate part 15 are covered with the metallic case 23 to shield external noise such as electromagnetic waves, the metallic case 23 is assembled on the external case 25 molded unitedly with the wiring connector 21 and a fixing part 24, and a fixing blacket 31 is molded unitedly with the external case 25. Since the connection of the sensor to the body part of an object to be connected is completed only by connecting the connector 21 of the object to the connector 21 of the sensor, assembling work at the time of using the sensor can be extremely simplified.

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、内燃機関を備えた自動車等の走行加速度を測
定または検出するための加速度センサに関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to an acceleration sensor for measuring or detecting the running acceleration of an automobile or the like equipped with an internal combustion engine.

（従来の技術） 第５図ないし第１５則は、従来の加速度センサの構成を
示している。これらの図において、Ｌｏｔは基台であり
、その表面中央部に位置決め穴１０２を有する環状突起
１０３が形成されている。１０４は振動板であり、その
中央部が基台１０１の環状突起１０３に溶接等の手段に
より固定されている。１０５は振動板１０４の上面に固
定されたセンサ出力用の圧電セラミック素子である。圧
電セラミック素子１０５は、第１Ｏ図に示すように、中
心部に丸穴１０６を有するドーナツ状に形成され、表面
がセンサ出力用のプラス電極１０７と圧電素子蘭動用の
プラス電極１０８とに環状に２分割されている。(Prior Art) Figures 5 to 15 show the configuration of a conventional acceleration sensor. In these figures, Lot is a base, and an annular protrusion 103 having a positioning hole 102 is formed in the center of the surface thereof. 104 is a diaphragm, the center of which is fixed to the annular projection 103 of the base 101 by means such as welding. 105 is a piezoelectric ceramic element for sensor output fixed to the upper surface of the diaphragm 104. As shown in FIG. 1O, the piezoelectric ceramic element 105 is formed into a donut shape with a round hole 106 in the center, and its surface is annularly formed into a positive electrode 107 for sensor output and a positive electrode 108 for piezoelectric element translation. It is divided into two parts.

圧電セラミック素子１０５は、その裏面全体のマイナス
電極１０９が、振動板１０４の中央部に形成された環状
ビード１１０の外周に丸穴１０６を嵌め込んだ状態で、
振動板１０４の表面に導通接着されている。The piezoelectric ceramic element 105 has a negative electrode 109 on its entire back surface fitted into a round hole 106 around the outer periphery of an annular bead 110 formed in the center of the diaphragm 104.
It is conductively bonded to the surface of the diaphragm 104.

１１１は焦電キャンセル用の圧電セラミック素子であり
、第１１図に示すように、圧電セラミック素子１．０５
のプラス電極１０７と同じ面積で、同様に中心部に丸穴
１１２を有しており、表面のプラス電極１１３と、裏面
のマイナス電極１１４とを有している。圧電セラミック
素子１　］、　１は、表面のプラス電極１１３側を振動
板１０４の裏面に、その中央部に形成された環状ビード
１１５の外周に丸穴１１２を嵌め込んだ状態で導通接着
されている。111 is a piezoelectric ceramic element for pyroelectric cancellation, and as shown in FIG.
It has the same area as the positive electrode 107, similarly has a round hole 112 in the center, and has a positive electrode 113 on the front surface and a negative electrode 114 on the back surface. Piezoelectric ceramic element 1 ], 1 is electrically bonded with the positive electrode 113 side on the back side of the diaphragm 104 with a round hole 112 fitted in the outer periphery of an annular bead 115 formed in the center thereof. .

振動板１０４は、第１２図および第１３図に示すように
、金属円板に中心部に基台１０１の位置決め穴１０２と
同径の位置決め穴１１６を有し、その回りに同心円状に
環状ビード１１０および１１５が、それぞれ表面および
裏面に径を順次大きくして形成されている。As shown in FIGS. 12 and 13, the diaphragm 104 has a metal disc with a positioning hole 116 having the same diameter as the positioning hole 102 of the base 101 in the center, and an annular bead formed concentrically around the positioning hole 116. 110 and 115 are formed on the front and back surfaces, respectively, with diameters increasing sequentially.

振動板１０４は、第１４図および第１５図に示すように
、その周縁に」二向きのフランジ１１７を形成して加速
度センサの出力アップを図るようにしてもよい。As shown in FIGS. 14 and 15, the diaphragm 104 may have a bidirectional flange 117 formed on its periphery to increase the output of the acceleration sensor.

圧電セラミック素子１０５のプラス電極１０７と圧電セ
ラミック素子１１１のマイナス電極１１４は、それぞれ
リードフレーム１１８．１１９に半田１２０．１２１に
より接続され、絶縁埋込みリードピン１２２および回路
基板１２３を介してセンサ出力用リードピン１２４へと
接続されている。これは、周囲温度の影響を受けて焦電
現象によってセンサ出力用圧電セラミック素子１０５の
プラス電極１０７に発生した電荷をキャンセルする役目
を果たすものである。The positive electrode 107 of the piezoelectric ceramic element 105 and the negative electrode 114 of the piezoelectric ceramic element 111 are connected to lead frames 118 and 119 by solder 120 and 121, respectively, and are connected to the sensor output lead pin 124 via an insulated embedded lead pin 122 and a circuit board 123. connected to. This serves to cancel the charge generated in the positive electrode 107 of the sensor output piezoelectric ceramic element 105 due to the pyroelectric phenomenon under the influence of the ambient temperature.

１２５は圧電セラミック素子駆動用のリードピンであり
、リードフレーム１２６を介して圧電セラミック素子１
０５のプラス電極１０８に半田１２７により接続されて
いる。１２８は回路基板１２３の電源供給用リードピン
であり、１２９はグランド用リードピンであり、それぞ
れ回路基板１２３に接続されている。125 is a lead pin for driving the piezoelectric ceramic element, which connects the piezoelectric ceramic element 1 via the lead frame 126.
It is connected to the positive electrode 108 of 05 by solder 127. 128 is a power supply lead pin of the circuit board 123, and 129 is a ground lead pin, each of which is connected to the circuit board 123.

１３０、１３１は回路基板１２３を支持するための絶縁
埋込みリードピンである。回路基板１２３には、インピ
ーダンス変換回路や出力増幅回路、濾波回路等が設けら
れている。130 and 131 are insulated embedded lead pins for supporting the circuit board 123. The circuit board 123 is provided with an impedance conversion circuit, an output amplification circuit, a filter circuit, and the like.

リードピンのうち１２２．１２４．１２５．１２８．１
３０゜１３１は、基台１０１に封着ガラス１３２等の手
段により絶縁ハーメチック固定され、グランド用リード
ピン１２９だけがロウ付は等の手段により導通接続され
ている。１３３は基台１０１の位置決め穴１０２を封着
するための封着ガラスである。電源の供給は、電源供給
用リードピン１２８およびグランド用リードピン１２９
を通じて行われる。122.124.125.128.1 of lead pins
30.degree. 131 is insulated and hermetically fixed to the base 101 by means such as a sealing glass 132, and only the grounding lead pin 129 is electrically connected by means such as brazing. 133 is a sealing glass for sealing the positioning hole 102 of the base 101. Power is supplied through a power supply lead pin 128 and a ground lead pin 129.
It is done through.

１３４はキャップであり、その周縁のフランジ１３５が
基台１０１に全周にわたって抵抗溶接または冷間圧接等
の手段によって固定されている。これにより、圧電セラ
ミック素子１０５．１１１および回路基板１２３を内蔵
する空間部１３６が密閉されている。Reference numeral 134 designates a cap, and a flange 135 at the periphery of the cap is fixed to the base 101 over its entire circumference by means such as resistance welding or cold welding. Thereby, the space 136 containing the piezoelectric ceramic elements 105, 111 and the circuit board 123 is sealed.

このような構成からなる加速度センサは、基台Ｌｏｔに
形成された取付穴１３７を介してボルト１３８およびワ
ッシャ１３９により自動車の車体等に取り付けて使用さ
れる。The acceleration sensor having such a configuration is used by being attached to the body of an automobile or the like using bolts 138 and washers 139 through attachment holes 137 formed in the base lot.

次に上記従来例の動作について説明する。自動車等の走
行により発生した加速度は、基台１０１を介して振動板
１０４に伝えられ、振動板１０４に撓みを与える。振動
板１０４の撓みは、圧電セラミック素子１０５および１
１１に引張力と圧縮力とを交互に与えるため、圧電セラ
ミック素子１０５および１１１に電荷が発生する。この
電荷は、回路基板１２３のインピーダンス変換回路で電
圧に変換され、必要な帯域および最適な出力レベルにな
るように濾波回路および増幅回路を通って出力され、セ
ンサ出力が得られる。Next, the operation of the above conventional example will be explained. Acceleration generated by running a car or the like is transmitted to the diaphragm 104 via the base 101, giving the diaphragm 104 a deflection. The deflection of the diaphragm 104 causes the piezoelectric ceramic elements 105 and 1
Since tensile force and compressive force are applied alternately to piezoelectric ceramic elements 105 and 111, charges are generated in piezoelectric ceramic elements 105 and 111. This charge is converted into a voltage by an impedance conversion circuit on the circuit board 123, and is outputted through a filtering circuit and an amplification circuit so as to have a necessary band and optimum output level, and a sensor output is obtained.

また、圧電セラミックは、温度変化に対しても４− 同様に電荷を発生する焦電現象を有するので、これを減
少するために、この加速度センサは圧電セラミック素子
１０５および１１１を互いに逆極性同士で接続してあり
、発生電荷がキャンセルされるようになっている。Furthermore, since piezoelectric ceramics have a pyroelectric phenomenon that similarly generates electric charge in response to temperature changes, in order to reduce this phenomenon, this acceleration sensor uses piezoelectric ceramic elements 105 and 111 with opposite polarity to each other. It is connected so that the generated charge is canceled.

また、自動車等に使用される加速度センサは、特しこ高
い精度および品質が要求されるので、確実に動作するか
どうかをコントローラ側でチエツクできるように、圧電
セラミック素子１０５のプラス電極がセンサ出力用の電
極１０７と素子駆動用の電極１０８とに２分割されてお
り、コントローラ側の発信回路から駆動用電極に適当な
信号を入力することにより、センサ出力用電極１０７に
それに対応した駆動出力が現われ、センサの故障診断が
できるようになっている。Furthermore, since acceleration sensors used in automobiles and the like require particularly high precision and quality, the positive electrode of the piezoelectric ceramic element 105 is used as the sensor output so that the controller can check whether the sensor is working reliably. The sensor output electrode 107 is divided into two parts: an electrode 107 for driving the sensor, and an electrode 108 for driving the element.By inputting an appropriate signal from the transmitting circuit on the controller side to the driving electrode, the corresponding driving output can be sent to the sensor output electrode 107. The sensor appears and can be used to diagnose sensor failures.

このように上記従来の加速度センサでも、自動車等にお
ける加速度の測定または検出を行うことができる。In this way, the conventional acceleration sensor described above can also measure or detect acceleration in automobiles and the like.

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来の加速度センサでは。(Problem to be solved by the invention) However, with the above-mentioned conventional acceleration sensor.

圧電セラミック素子１０５．１１．１のそれぞれ一方の
電極１０９．１１３が基台１０１に導出されているため
、基台１０１やキャップ１３４を介して、ノイズを拾い
やすいという欠点があった。また、従来の加速度センサ
を車体に取り付けた場合、車体自体が拾ったノイズもセ
ンサ特性に影響を及ぼしやすいという欠点があった。Since each of the electrodes 109 and 113 of the piezoelectric ceramic element 105.11.1 is led out to the base 101, there is a drawback that noise is easily picked up through the base 101 and the cap 134. Furthermore, when a conventional acceleration sensor is attached to a vehicle body, there is a drawback that noise picked up by the vehicle body itself tends to affect the sensor characteristics.

また、組み付は作業上において、各リードピン１２４、
１２５．１２８．１２９のそれぞれにハーネスを接続し
なければならず、組み付は作業が非常に面倒になるとい
う問題があった。Also, during assembly, each lead pin 124,
125, 128, and 129, and the assembly work becomes very troublesome.

本発明は、このような従来の欠点を解決するものであり
、外部ノイズの影響を受けにくい加速度センサを提供す
ると共に、加速度センサとしての品質を低下させること
なく、使用に当たっての組み付は作業が非常に簡単な加
速度センサを提供することを目的とする。The present invention solves these conventional drawbacks, and provides an acceleration sensor that is less susceptible to external noise, and also requires less work to assemble during use without degrading the quality of the acceleration sensor. The purpose is to provide a very simple acceleration sensor.

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するため、圧電セラミック素
子の正、食面電極を基台から電気的に樹脂を介すること
なく絶縁するというバランスタイプの構造とすると共に
、圧電セラミック素子と回路基板部とを金属ケースで全
面覆うことによって電磁波などの外部ノイズをシールド
する構成とし、さらに、配線用コネクタと固定部とを一
体成形して成る外部ケースに組み付け、かつ外部ケース
に取付用のブラケットを一体成形した構造としたもので
ある。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention has a balanced type structure in which the positive and eclipsed electrodes of the piezoelectric ceramic element are electrically insulated from the base without intervening resin. In addition, the piezoelectric ceramic element and the circuit board part are entirely covered with a metal case to shield external noise such as electromagnetic waves, and the wiring connector and the fixing part are assembled into an integrally molded external case, and It has a structure in which a mounting bracket is integrally molded into the external case.

（作　用） 本発明によれば、加速度感知部である圧電セラミック素
子の正、食面電極が、基台からガラスハーメチックによ
って絶縁されているバランスタイプ構造のため車の振動
を樹脂によって緩衝されることなく振動板に伝えること
ができ、且つ全面金属シールド構造としているため、外
部ノイズの影響を受けにくいという効果を有すると共に
、コネクタ一体構造としているために、相手方のコネク
タを装着するだけで加速度センサ本体部との接続が完了
するので、使用に当たっての組み付は作業が極めて簡単
になる。さらに、外部ケースに一体７− 成形された取付用の固定ブラケットを挿入するだけで車
輌への組み付けが完了するので、車輌への取り付けが極
めて簡単になる。(Function) According to the present invention, the positive and eclipsed electrodes of the piezoelectric ceramic element, which is the acceleration sensing section, have a balanced type structure in which they are insulated from the base by a glass hermetic, so that the vibrations of the car are buffered by the resin. The acceleration sensor can be transmitted to the diaphragm without any interference, and the full metal shield structure makes it less susceptible to external noise.The integrated connector structure also allows the acceleration sensor to be connected by simply attaching the mating connector. Since the connection with the main body is completed, assembly for use is extremely easy. Furthermore, since assembly to the vehicle is completed by simply inserting the integrally molded fixing bracket into the external case, the attachment to the vehicle is extremely simple.

（実施例） 第↓図は本発明の一実施例を示す加速度センサで第２図
の■−■線に沿う断面図、第２図は同加速度センサで第
１図の１−１線に沿う断面図、第３図は同加速度センサ
で第１図のｎ−ｎ線に沿う断面図、第４図（イ）、（ロ
）は振動板の平面図及び断面図である。(Example) Figure ↓ is a sectional view of an acceleration sensor showing an embodiment of the present invention, taken along line ■-■ in Figure 2, Figure 2 is a cross-sectional view of the same acceleration sensor, taken along line 1-1 in Figure 1. 3 is a sectional view of the same acceleration sensor taken along line nn in FIG. 1, and FIGS. 4(a) and 4(b) are a plan view and a sectional view of the diaphragm.

これらの図に示す加速度センサのうち振動板１に成形さ
れている電圧セラミック素子２および３の位置決め用環
状突起４，５およびセンタ六６については従来例と同じ
ため説明を省酩する。Of the acceleration sensors shown in these figures, the positioning annular protrusions 4, 5 and center 66 of the voltage ceramic elements 2 and 3 molded on the diaphragm 1 are the same as in the conventional example, so a description thereof will be omitted.

第１図ないし第４図において、７はサブ基台であり、そ
の表面のほぼ中央部に環状突起８を有する。サブ基台７
は、ターミナル９，１０と共に基台１１に一体成形され
ている。ｌはサブ基台７の環状突起８に固定された振動
板であり、その表面に、センサ出力用の圧電セラミック
素子２が固定され、８− その裏面に焦電キャンセル用の圧電セラミック素子３が
固定されている。圧電セラミック素子２はその裏面のマ
イナス電極が振動板１の表面に導通接着され、圧電セラ
ミック素子３は、その表面のプラス電極が振動板１の裏
面に導通接着されている。圧電セラミック素子２のセン
サ出力用プラス電極１２と圧電セラミック３のマイナス
電極は、それぞれリードフレーム１３．１４および回路
基板１５を介してセンサ出力用ターミナル１６へと接続
されている。１７．１８はそれぞれリードフレーム１３
．１４と圧電セラミック素子２および３との半田付は部
を示す。１９は回路基板１５の電源供給用ターミナル、
２０はグランド用ターミナルであり、それぞれ回路基板
１５に接続されている。ターミナル１６．１９．２０は
、いずれもコネクタ２１に一体成形されている。In FIGS. 1 to 4, 7 is a sub-base, which has an annular protrusion 8 approximately at the center of its surface. Sub base 7
is integrally molded on the base 11 together with the terminals 9 and 10. 1 is a diaphragm fixed to an annular protrusion 8 of the sub-base 7. A piezoelectric ceramic element 2 for sensor output is fixed to the surface of the diaphragm 8, and a piezoelectric ceramic element 3 for pyroelectric cancellation is fixed to the back surface of the diaphragm 8. Fixed. The negative electrode on the back surface of the piezoelectric ceramic element 2 is electrically bonded to the surface of the diaphragm 1, and the positive electrode on the surface of the piezoelectric ceramic element 3 is electrically bonded to the back surface of the diaphragm 1. The sensor output positive electrode 12 of the piezoelectric ceramic element 2 and the negative electrode of the piezoelectric ceramic 3 are connected to a sensor output terminal 16 via a lead frame 13.14 and a circuit board 15, respectively. 17 and 18 are lead frames 13 respectively
．． 14 and the piezoelectric ceramic elements 2 and 3 are shown in FIG. 19 is a power supply terminal for the circuit board 15;
Reference numeral 20 denotes ground terminals, each of which is connected to the circuit board 15. Terminals 16, 19, and 20 are all integrally molded with connector 21.

２２は回路基板１５を支持するためのピンである。２３
は金属シールドケースであり、コネクタ２１および固定
部２４と一体成形された外部ケース２５および基台１１
と溶接などによって固定されている。２６は金属シール
ドケース２３に溶接部２７でリング溶接され、外部ケー
ス２５と３２部で溶接固定された上部ケースである。２
８は振動板ｌから切起しで形成された端子であり、半田
付は部２９などの手段によって、リードフレーム３０に
接続されている。22 is a pin for supporting the circuit board 15. 23
is a metal shield case, which includes an external case 25 and a base 11 that are integrally molded with the connector 21 and the fixing part 24.
and fixed by welding etc. Reference numeral 26 designates an upper case that is ring-welded to the metal shield case 23 at a welding portion 27 and fixed to the outer case 25 by welding at a portion 32. 2
8 is a terminal formed by cutting and bending from the diaphragm l, and is connected to the lead frame 30 by soldering means such as a part 29.

以上の構成から成る加速度センサは、ブラシノ１〜３１
が固定部２４に圧入固定され、ブラケット３１を介して
車体に装着されることになる。The acceleration sensor with the above configuration is Brasino 1 to 31.
is press-fitted into the fixing portion 24 and attached to the vehicle body via the bracket 31.

上記実施例における加速度センサ本体部の動作について
は、従来のものと同じである。すなわち、自動車等の走
行により発生した加速度は、外部ケース２５．基台１１
およびサブ基台７を介して振動板１に伝えられ、振動板
１に撓みを与える。振動板１の撓みは、圧電セラミック
素子２および３に引張力と圧縮力とを交互に与えるため
、圧電セラミック素子２および３に電荷が発生する。こ
の電荷は、回路基板１５のインピーダンス変換回路で電
圧に変換され、必要な帯域および最適な出力レベルにな
るように濾波回路および増幅回路を通って出力され、セ
ンサ出力が得られる。The operation of the acceleration sensor main body in the above embodiment is the same as that of the conventional one. That is, the acceleration generated by the running of a car or the like is caused by the external case 25. Base 11
and is transmitted to the diaphragm 1 via the sub-base 7, giving the diaphragm 1 a deflection. Since the deflection of the diaphragm 1 alternately applies tensile force and compressive force to the piezoelectric ceramic elements 2 and 3, charges are generated in the piezoelectric ceramic elements 2 and 3. This charge is converted into a voltage by the impedance conversion circuit of the circuit board 15, and is outputted through a filtering circuit and an amplification circuit so as to have a necessary band and an optimum output level, and a sensor output is obtained.

（発明の効果） 本発明は上記実施例から明らかなように、圧電セラミッ
ク素子の正、食面電極を基台から電気的に絶縁するとい
うバランス構造としていることおよび、圧電セラミック
素子と回路基板部とを金属ケースでシールドしているこ
とのために、センサ特性が外部ノイズの影響を受けにく
くなり、特性の安定した極めて信頼性の高い加速度セン
サを提供できるものである。しかも、振動板をガラスハ
ーメチックにより固定されたサブ基台によって基台から
絶縁しているので、樹脂を介在させたものに比べて、樹
脂により緩衝されることなく振動板に伝えることができ
る。(Effects of the Invention) As is clear from the above embodiments, the present invention has a balanced structure in which the positive and eclipsed electrodes of the piezoelectric ceramic element are electrically insulated from the base, and the piezoelectric ceramic element and circuit board portion Since the sensor is shielded with a metal case, the sensor characteristics are less affected by external noise, and an extremely reliable acceleration sensor with stable characteristics can be provided. Moreover, since the diaphragm is insulated from the base by the sub-base fixed by glass hermetic material, the vibration can be transmitted to the diaphragm without being buffered by the resin, compared to a case where resin is interposed.

また、加速度センサにコネクタを一体化したので、組み
付は作業時には、このコネクタに対になった相手側のコ
ネクタを差し込むだけで接続ができ、組み付は作業が極
めて簡単になる。Furthermore, since the connector is integrated with the acceleration sensor, during assembly, the connection can be made by simply inserting the mating connector into this connector, making the assembly extremely easy.

さらに、センサの車輌への組み付けがセンサ固定部にブ
ラケットを挿入するだけで完了するので、極めて簡単に
なり、その実用上の効果は大である。Furthermore, since the sensor can be assembled into the vehicle simply by inserting the bracket into the sensor fixing part, it is extremely simple and has great practical effects.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

１− 第１図は本発明の一実施例における加速度センサの■−
■線に沿う断面図、第２図は同センサの１−１線に沿う
断面図、第３図は同センサの■■線に沿う断面図、第４
図（イ）は同センサの振動板の平面図、（ロ）は断面図
、第５図は従来の加速度センサの平面断面図、第６図は
第５図のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図、第７図は第５図の
■−■線に沿う断面図、第８図は同センサにおける主要
部の平面図、第９図は同センサにおける主要部の正面断
面図、第１０図は同センサにおけるセンサ出力用圧電セ
ラミック素子の平面図、第１１図は同センサにおける焦
電キャンセル用圧電セラミック素子の平面図、第１２図
は同センサにおける振動板の平面図、第１３図は第１２
図に示す振動板の断面図、第１４図は同センサにおける
振動板の別の例を示す平面図、第１５図は第１４図に示
す振動板の断面図である。 １　・・・振動板、　２，３　・・・電圧セラミック素
子、　４，５　・・・位置決め用環状突起、６　・・・
センタ穴、　７・・・サブ基台、　８・・・環状突起、
　９．ｌＯ・・・ターミナル、１２− １１・・・基台、■２・・・センサ出力用プラス電極、
１３．１４．３０　　・・　リードフレーム。 １５・・・回路基板、１６・・・センサ出力用ターミナ
ル、１７．１８．２９・・・半田付は部、１９・・・電
源供給用ターミナル、２０・・・グランド用ターミナル
、２１・・・コネクタ、２２・・・　ピン、２３・・・
金属シールドケース、２４・・・固定部、２５・・・外
部ケース、２６・・・上部ケース、２７・・・溶接部、
２８・・・端子、３■・・・ブラケット。1- Fig. 1 shows the acceleration sensor according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view of the same sensor along line 1-1, Figure 3 is a cross-sectional view of the same sensor along line ■■, Figure 4 is a cross-sectional view of the same sensor along line
Figure (A) is a plan view of the diaphragm of the same sensor, (B) is a cross-sectional view, Figure 5 is a plane cross-sectional view of a conventional acceleration sensor, and Figure 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in Figure 5. , Fig. 7 is a sectional view taken along line ■-■ in Fig. 5, Fig. 8 is a plan view of the main parts of the sensor, Fig. 9 is a front sectional view of the main parts of the sensor, and Fig. 10 is the same. 11 is a plan view of a piezoelectric ceramic element for sensor output in the sensor, FIG. 12 is a plan view of a diaphragm in the sensor, and FIG. 13 is a plan view of a piezoelectric ceramic element for pyroelectric cancellation in the sensor.
FIG. 14 is a plan view showing another example of the diaphragm in the same sensor, and FIG. 15 is a sectional view of the diaphragm shown in FIG. 14. 1... Vibration plate, 2, 3... Voltage ceramic element, 4, 5... Annular projection for positioning, 6...
Center hole, 7... Sub base, 8... Annular projection,
9. lO...terminal, 12- 11...base, ■2...positive electrode for sensor output,
13.14.30... Lead frame. 15... Circuit board, 16... Terminal for sensor output, 17.18.29... Soldering part, 19... Terminal for power supply, 20... Terminal for ground, 21... Connector, 22... Pin, 23...
Metal shield case, 24... Fixed part, 25... External case, 26... Upper case, 27... Welded part,
28...terminal, 3■...bracket.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）加速センサにおいて、振動板を基台にガラスハー
メチックして固定されたサブ基台によって基台から絶縁
し、且つ圧電素子、回路基板をシールドする金属ケース
と配線コネクタを一体化した外部ケースを使用すること
を特徴とする加速度センサ。(1) In an acceleration sensor, the diaphragm is insulated from the base by a sub-base fixed to the base by glass hermetically, and the external case integrates the metal case and wiring connector to shield the piezoelectric element and circuit board. An acceleration sensor characterized by using. （２）外部ケースに取付用のブラケットを一体成形して
なることを特徴とする請求項（１）記載の加速度センサ
。(2) The acceleration sensor according to claim (1), characterized in that a mounting bracket is integrally molded on the external case.