JPH03256577A - Wave step motor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To enable intermittent driving without requiring complex position control and to facilitate determination of stop position by setting the value of displacement, at the time when a rotor is fed intermittently through displacement of vibration mode position, smaller than 1/4 of wavelength in the moving direction of rotor. CONSTITUTION:An electric field is applied onto a piezoelectric element 2 in order to drive the piezoelectric element 2 and to resonate a stator 1. A protrusion 3a stops stably at a node in this state. When the stator 1 moves from a state where the node is shifted by a distance shorter than lambda/4, a rotor 3 moves in the direction 40a and the protrusion 3a moves to a node N and stops thereat. When the position of the node N is shifted by lambda/4, functioning force 41 to the protrusion 3a for the stator 1 functions vertically for the rotor 3 which thereby does not rotate but vibrates unstably in the vertical direction. When the position of the node N is considerably shifted from lambda/4, the rotor 3 moves in reverse direction.

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明の波動ステップモータは位置検出等によるフィー
ドバック制御なくしてステップ駆動が可能な超音波モー
タのステップ送り量に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The wave step motor of the present invention relates to the step feed amount of an ultrasonic motor that can be driven in steps without feedback control based on position detection or the like.

［従来の技術］ 従来の超音波モータは特公昭５９−３７６７２、特開昭
５９−１７８９８７の様な構成で特開昭６１−１８８１
７１．特開昭６２−５８８８６の様な構成で制御してい
た。[Prior art] Conventional ultrasonic motors have configurations such as those disclosed in Japanese Patent Publications No. 59-37672 and No. 59-178987;
71. It was controlled using a configuration similar to Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-58886.

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら従来の技術では、モータを間欠的に駆動し
、停止位置を制御するには、エンコーダ等を用い、フィ
ードバック制御する必要があって低コスト化、小型化の
妨げになっていた。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional technology, in order to drive the motor intermittently and control the stop position, it is necessary to perform feedback control using an encoder, etc., which makes it difficult to reduce cost and size. It was a hindrance.

そこで本発明の目的は、複雑な位置制御なくして間欠駆
動をし、停止位置も容易に定められる超音波モータの駆
動方法を提供するところにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for driving an ultrasonic motor that can perform intermittent driving without complicated position control and can easily determine a stop position.

［課題を解決するための手段１ 本発明の波動ステップモータは、ステータに添句した振
動子により前記ステータに１波長がえの振動モードを誘
起し、該振動モードの位置を℃ずつ変位させる事により
、ロータを！ずつ間欠送りする波動ステップモータにお
いで、前記Ｂは、波長２．に対してロータの移動方向に
ｇ　＜　？、　／　４である事を特徴とする。さらに、
ｎヶの節直径を有し、定在波の振動モードで振動する円
板状または円環状のステータの節の位置がθ°ずつ変位
し、ロータがｅｏずつ回動する波動ステップモータにお
いてθはロータの移動方向にθ°〈９０°／ｎである事
を特徴とする。[Means for Solving the Problems 1] The wave step motor of the present invention induces a vibration mode of one wavelength in the stator using a vibrator attached to the stator, and displaces the position of the vibration mode in degrees Celsius. Due to the rotor! In a wave step motor that performs intermittent feeding, the above B is a wavelength of 2. In the direction of rotor movement with respect to g < ? , /4. moreover,
In a wave step motor in which the node position of a disc-shaped or annular stator having n node diameters and vibrating in a standing wave vibration mode is displaced by θ°, and the rotor rotates by eo, θ is It is characterized by θ°<90°/n in the moving direction of the rotor.

［実　施　例］ 第３図、第４図、第５図は本発明の波動ステップモータ
のステータの動作を示す説明図であり、ステータ】に圧
電素子２を貼り付は圧電素子に電界をかけて変形させ、
超音波振動を誘起する例の一部を示している。圧電素子
２は、複数の振動要素２１．２２．２３．２４からなり
それぞれ個別に変形させ得る。第４図においては、振動
要素２１と２３は同位相の交流電圧、振動要素２２．２
４は逆位相の交流電圧を印加しており、第４図（ａ）及
び（ｂ）はそれぞれ逆位相になった場合の変形姿態を示
している。またロータ３は、ステータエの変形姿態にお
ける変曲点に対応する位置に凸部３ａを設けてあり、複
数の凸部３ａてステータと接触している。この様な構成
においてステラ１が高速で振動し、第４図（ａ）、（ｂ
）の状態を繰り返すとロータ３は作用力４を受＋ツ、ロ
ータ３を横方向に移動させる駆動力４ａが作用する。一
方、第５区（ａ）、（ｂ）に示すロータ３とステータｌ
の位置関係であると作用力４は図示の方向になり、駆動
力４ｂは第４図における駆動力と逆の方向になる。第４
図（ａ、　）および（ｂ）は振動姿態が逆位相になった
場合を図示している。[Example] Figures 3, 4, and 5 are explanatory diagrams showing the operation of the stator of the wave step motor of the present invention.A piezoelectric element 2 is attached to the stator by applying an electric field to the piezoelectric element. and transform it,
Some examples of inducing ultrasonic vibrations are shown. The piezoelectric element 2 consists of a plurality of vibrating elements 21, 22, 23, 24, each of which can be deformed individually. In FIG. 4, the vibrating elements 21 and 23 are connected to an AC voltage of the same phase, vibrating element 22.2
4, an alternating current voltage of opposite phase is applied, and FIGS. 4(a) and 4(b) respectively show the deformed state when the phase becomes opposite. Further, the rotor 3 is provided with a convex portion 3a at a position corresponding to an inflection point in the deformed state of the stator, and the plurality of convex portions 3a are in contact with the stator. In such a configuration, the Stella 1 vibrates at high speed, and as shown in Figs.
) is repeated, the rotor 3 receives an acting force 4, and a driving force 4a that moves the rotor 3 in the lateral direction acts. On the other hand, the rotor 3 and stator l shown in Section 5 (a) and (b)
If the positional relationship is , the acting force 4 will be in the direction shown, and the driving force 4b will be in the opposite direction to the driving force in FIG. Fourth
Figures (a, ) and (b) illustrate the case where the vibration state is in opposite phase.

尚本実施例においては、振動要素と凸部が４ケの場合で
説明したが何等この組み合わせに限定するものではない
。In this embodiment, the case where there are four vibrating elements and four convex portions has been described, but the combination is not limited to this.

第６図は第４図（ａ）、（ｂ）および第５図（ａ）、（
ｂ）においてステータ】がロータ３に駆動力４ａ、４ｂ
を与えている状態を示す説明図であり、ステータ１に添
付した圧電素子２に電界を与えて駆動する事によりステ
ータ１を共振させている。Ｎは振動のノードであり、え
は振動姿態の１波長であり、逆位相の場合を破線で示す
。この様な状態においてはロータ３の凸部３ａは第４図
、第５図で詳述した様にそれぞれ逆方向の駆動力４ａ、
４ｂを受けるので凸部３ａはノードの位置で安定して停
止する。Fig. 6 shows Fig. 4(a), (b) and Fig. 5(a), (
In b), the stator] applies driving forces 4a, 4b to the rotor 3.
This is an explanatory diagram showing a state in which the stator 1 is resonated by applying an electric field to the piezoelectric element 2 attached to the stator 1 and driving it. N is a vibration node, E is one wavelength of a vibration state, and the case of opposite phase is shown by a broken line. In such a state, the convex portion 3a of the rotor 3 receives driving forces 4a and 4a in opposite directions, respectively, as detailed in FIGS. 4 and 5.
4b, the convex portion 3a stably stops at the node position.

第７図（ａ、　）は第６図におけるステータのノドの位
置をずらした場合の説明図であり、ノードＮのずらし量
ρはん７４未満である。FIG. 7(a,) is an explanatory diagram when the position of the stator node in FIG. 6 is shifted, and the amount of shift of node N is less than 74.

第７図（ｂ）は第７図（ａ）の状態からステータが移動
した状態を示す説明図であり、第７図（ａ、　）におい
て作用力４０を受ける為、ロータ３は４．　Ｏａの方向
に移動し、凸部３ａがノードＮの位置に移動して停止す
る。FIG. 7(b) is an explanatory diagram showing a state in which the stator has moved from the state in FIG. 7(a). In FIG. 7(a, ), the rotor 3 receives the acting force 40. It moves in the direction of Oa, and the convex portion 3a moves to the position of node N and stops.

第８図は、第６図におけるノードＮの位置を氾＝え／４
ずらした場合の説明図であり、ステータ１に対して凸部
３ａへの作用力４１はロータ３に対して鉛直方向に働く
のでロータ３は回転せず、上下に不安定に振動する。Figure 8 shows the position of node N in Figure 6 = E/4
This is an explanatory diagram when the stator 1 is shifted, and since the acting force 41 on the convex portion 3a of the stator 1 acts in the vertical direction on the rotor 3, the rotor 3 does not rotate but vibrates vertically unstably.

第９図は、第６図におけるノードＮの位置を、ｆｆ＞７
／４の様にずらした場合を示す説明図であり、作用力４
２は図示の方向に働きロータ３はノドをずらした方向と
逆の方向に移動してしまう、 ＬＪ、上詳述した様に、ノードのずらしＩＱをρ〈λ／
４にした事により、ロータの位置を所望の位置に安定し
て移動させる事ができた。FIG. 9 shows the position of node N in FIG. 6 as ff>7
It is an explanatory diagram showing the case where it is shifted like /4, and the acting force is 4.
2 works in the direction shown, and the rotor 3 moves in the opposite direction to the direction in which the node was shifted. LJ, as detailed above, the node shift IQ is ρ〈λ/
4, the rotor position could be stably moved to the desired position.

尚、ステータの駆動のし方によっては、ノードのずらし
量を見かけ上、例えばλ／２＜ｎ＜３７、／４とする事
は可能である。しかし、その際にも２゜／２の位置に他
のノードが存在する為、実質的に０〈ρ＜ｔ／４と同等
である。Note that, depending on how the stator is driven, it is possible to make the apparent displacement amount of the nodes, for example, λ/2<n<37, /4. However, even in this case, since another node exists at the position of 2°/2, it is substantially equivalent to 0<ρ<t/4.

第１０図（ａ、　）〜（ｄ）は、前述のノードをずらす
具体的な方法を示す説明図であり、第３図における振動
要素をそれぞれ３分割した例の一部分を示している。３
は凸部３ａを有するステータであり、２は振動要素２１
ａ、２１ｂ、２１ｃ、２２ａ、　２２ｂ、　２２ｃ　、
　２３ａ、　２３ｂ、　２３Ｃ１２４ａ、２４ｂ、２４
ｃ等からなる圧電素子である。規実的には圧電素子２は
第３図の如く、ステータに添付して構成するのであるが
、ステータは略しである。また個別に振動変位し得る振
動要素を有する物であれば、圧電素子に限定するもので
はない。例えば、超ｍ歪素子や電歪素子等が利用できる
。第１０図（ａ、　）は、２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２
３ａ、２３ｂ、２３ｃを１組、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ
、２４ａ、２４ｂ、２４ｃを１組として、それぞれ逆方
向に変形する様に駆動する。したがって振動状態におい
ては、２１．　ｃと２２ａの間、２２ｃと２３ａの間、
２３ｃと２４８の間、及び両端にノードＮが形成されて
いる。したがってロータ３の凸部はノードＮに対応する
位置で安定している。図中の破線はある瞬間の振動モー
ドの形状を示している。次に第１０図（ｂ）において、
２１ｂ、２　］、　ｃ、２２ａ、２３ｂ、２３ｃ、２４
ａを１組、２２ｂ、２２ｃ、２３ａ、２４ｂ、２４ｃ、
２１ａを１組としてそれぞれ逆方向に変形する様に駆動
すると、ノードＮは、２１ａと２１ｂの間、２２ａと２
２ｂの間２３ａと２３ｂの間、２４ａと２４ｂの間に形
成される。第１０図（ａ）に比べ振動要素１ヶ分ノドＮ
の位置が右側にずれ、したがって凸部３ａが接触する位
置即ちロータ３の位置がステップ的に変化する。以下順
次第１Ｏ図（Ｃ）、第１０図（ｄ）の様に振動モードを
変化させる事によってロータはステップ的に移動する。10(a, ) to 10(d) are explanatory diagrams showing a specific method of shifting the nodes described above, and show a portion of an example in which the vibrating element in FIG. 3 is divided into three parts. 3
2 is a stator having a convex portion 3a, and 2 is a vibration element 21.
a, 21b, 21c, 22a, 22b, 22c,
23a, 23b, 23C124a, 24b, 24
It is a piezoelectric element made of c. Normally, the piezoelectric element 2 is attached to a stator as shown in FIG. 3, but the stator is omitted. Furthermore, the present invention is not limited to piezoelectric elements as long as they have vibrating elements that can be individually vibrated and displaced. For example, a super m strain element, an electrostrictive element, etc. can be used. Figure 10 (a, ) shows 21a, 21b, 21c, 2
1 set of 3a, 23b, 23c, 22a, 22b, 22c
, 24a, 24b, and 24c are set as one set and are driven so as to be deformed in opposite directions. Therefore, in the vibration state, 21. between c and 22a, between 22c and 23a,
A node N is formed between 23c and 248 and at both ends. Therefore, the convex portion of the rotor 3 is stable at the position corresponding to the node N. The broken line in the figure shows the shape of the vibration mode at a certain moment. Next, in FIG. 10(b),
21b, 2 ], c, 22a, 23b, 23c, 24
One set of a, 22b, 22c, 23a, 24b, 24c,
When a set of 21a is driven so as to be deformed in opposite directions, a node N is formed between 21a and 21b, between 22a and 2
2b, between 23a and 23b, and between 24a and 24b. Compared to Fig. 10(a), the throat N is one vibrating element.
The position of the rotor 3 shifts to the right, and therefore the position where the convex portion 3a contacts, that is, the position of the rotor 3 changes in a stepwise manner. The rotor moves in steps by sequentially changing the vibration mode as shown in FIG. 10(C) and FIG. 10(d).

第１図は本発明の波動ステップモータを回転型に構成し
た実施例を示す断面図であり、ロータ３と接する突起部
１ａを有するステータ１は地板８に固定ネジ９によって
固定され、ステータ１に添付した圧電素子２の電極パタ
ーン２ｂにリード線１０を介して電圧を印加する事によ
って振動を励起している。ロータ３に装着され回転力を
取り出す為のビニオン１１は軸部１．１　ａは受は体５
によって位置決めされており、止めネジ７によって固定
された押えばわ６によって押圧され、ステータの突起部
１ａとロータ３は摩擦力を得ている。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment in which the wave step motor of the present invention is configured as a rotary type. A stator 1 having a protrusion 1a in contact with a rotor 3 is fixed to a base plate 8 with fixing screws 9, and Vibration is excited by applying a voltage to the electrode pattern 2b of the attached piezoelectric element 2 via the lead wire 10. The pinion 11 attached to the rotor 3 and used to extract rotational force is the shaft part 1.1, and the receiver is the body 5.
The protruding portion 1a of the stator and the rotor 3 are pressed by a presser bar 6 fixed by a set screw 7, and a frictional force is exerted between the protruding portion 1a of the stator and the rotor 3.

第２図は第１図におけるロータとステータ部の上面図の
一実施例であり、ステータ１は２４ケの突起部１ａを有
し、ビニオン１１を装着したロータ３の４ケの半径方向
の凸部３ａと接している。FIG. 2 is an example of a top view of the rotor and stator parts in FIG. It is in contact with part 3a.

この際、振動のノードは２本の直交する直径（節直径）
から成っており、ロータの凸部３ａは節直径の位置で安
定している。尚本実施例においては、節直径が２本、凸
部４ケ、突起部１８２４ケの例を示したが、それらの形
状や数などは何ら限定するものではない。また波長えは
円周長に相当するが角度に換算すると節直径の数ｎに対
し３６０°／ｎに相当し、ずらし角θはθ°〈９０°／
ｎに対応する。At this time, the vibration nodes are two orthogonal diameters (nodal diameters)
The convex portion 3a of the rotor is stable at the position of the nodal diameter. In this embodiment, an example is shown in which there are two knot diameters, four protrusions, and 1824 protrusions, but the shape and number of these protrusions are not limited in any way. Also, the wavelength corresponds to the circumference length, but when converted to an angle, it corresponds to 360°/n for the number of nodal diameters, and the shift angle θ is θ°〈90°/n.
Corresponds to n.

第１１図はステータと圧電素子の関係の一例を示す説明
図であり、２４ケの突起部１ａを有するステータ１に添
付した圧電素子２は、例えば１２ケの振動要素２１ａ、
２１ｂ、２１ｃ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２３ａ、２
３ｂ、２３ｃ、２４ａ、２４ｂ、２４ｃから成っている
。これらの動作は第１０図（ａ）〜（ｄ）におけるステ
ータの動作に対応する５図示の如く、ロータの凸部３ａ
は、ステータ１と部分的に接すれば良いので、厚み方向
に形成されても半径方向に形成されてもかまわない。FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of the relationship between the stator and the piezoelectric element. The piezoelectric element 2 attached to the stator 1 having 24 protrusions 1a has, for example, 12 vibrating elements 21a,
21b, 21c, 22a, 22b, 22c, 23a, 2
It consists of 3b, 23c, 24a, 24b, and 24c. These operations correspond to the operations of the stator in FIGS. 10(a) to 10(d), as shown in FIG.
Since it is only necessary to partially contact the stator 1, it does not matter whether it is formed in the thickness direction or in the radial direction.

第１２図（ａ）〜（ｄ）は第１１図において、第１０図
の様に駆動した場合のステータの振動モトとロータの関
係を示す説明図であり、ステータ１は２本の節直径１１
ａ、ｌｌｂを有し、ロータ３の凸部３ａは節直径１１ａ
、１．１．　ｂに対応した位置で安定する。振動モード
は、ハツチングを施しである部分とそうでない部分で逆
位相になっている事を示している。第１２図（ａ）（ｂ
）、（ｃ）、　（ｄ）と変化する事により、ロタ３は、
３０°ずつステップ的に回転する。12(a) to 12(d) are explanatory diagrams showing the relationship between the vibration motor of the stator and the rotor when driven as shown in FIG. 10 in FIG. 11, and the stator 1 has two nodal diameters 11
a, llb, and the convex portion 3a of the rotor 3 has a node diameter 11a.
, 1.1. It becomes stable at the position corresponding to b. The vibration mode shows that the phase is opposite between the hatched part and the unhatched part. Figure 12(a)(b)
), (c), and (d), Rota 3 becomes
Rotate in steps of 30°.

第１３図は本発明の波動ステップモータにおいて第１２
図の例と異なるステップ角度（１５°）に構成した例を
示す説明図であり、ステータ１に添付した電圧素子２の
振動要素２ａを２４ケで構成している。ここで振動要素
２ａを１２ケずつの組にし１ケずつずらして駆動する事
によって節直径１．１　ａ、］、　１．　ｂが２本成形
され、第１３図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）で示した様に振
動モードが変化する。本実施例によれば、ステップ角度
が、圧電素子の駆動のし方によって融通性があり、詳述
した実施例に限定するものでない事は自明である。FIG. 13 shows the twelfth motor in the wave step motor of the present invention.
It is an explanatory diagram showing an example configured to have a step angle (15°) different from the example shown in the figure, and the vibration elements 2a of the voltage element 2 attached to the stator 1 are configured with 24 pieces. Here, by driving the vibrating elements 2a in groups of 12 and shifting them one by one, the node diameter is 1.1 a, ], 1. Two pieces of b are molded, and the vibration mode changes as shown in FIGS. 13(a), (b), and (c). According to this embodiment, the step angle is flexible depending on how the piezoelectric element is driven, and it is obvious that it is not limited to the detailed embodiment.

第１４図は本発明の波動ステップモータのステータの振
動モードの他の例を示す説明図であり、ステータ１に添
付した圧電素子２は２４ケの振動要素２ａから成り、隣
りあう３ケずつの振動要素１２ケを１つの組として駆動
する事によって３ケの節直径１１ａ、１１．　ｂ、ｌｌ
ｃを形成させる事ができる。また第１４図（ａ）、（ｂ
）、（ｃ）で示した様に振動要素の組を１ケずつずらし
て駆動する事により、１５°ずつのステップ駆動が実現
できる。本実施例によれば振動モードにおいても融通性
があり、節直径の本数や節円の有無など、前述の実施例
に何ら限定するものでない事は自明である。FIG. 14 is an explanatory diagram showing another example of the vibration mode of the stator of the wave step motor of the present invention. The piezoelectric element 2 attached to the stator 1 consists of 24 vibration elements 2a, and By driving 12 vibrating elements as one set, three nodal diameters 11a, 11. b,ll
It is possible to form c. Also, Fig. 14 (a), (b)
) and (c), by shifting and driving the set of vibrating elements one by one, step drive of 15 degrees can be realized. According to this embodiment, there is flexibility in the vibration mode, and it is obvious that the number of node diameters, the presence or absence of node circles, etc. are not limited to the above-mentioned embodiments.

〔発明の効果１ 以上詳述した本発明によれば振動モードの位置のずらし
量をρ〈ん／４またはθ°く９０°／ｎに設定した事に
より、所望の方向に所望のＩ安定したステ・ンプ駆動が
できる波動ステップモータが実現できた。したがって本
発明の効果は絶大である。[Effect of the invention 1] According to the present invention detailed above, by setting the amount of shift in the position of the vibration mode to ρ〈/4 or θ° to 90°/n, the desired I is stabilized in the desired direction. A wave step motor capable of step drive has been realized. Therefore, the effects of the present invention are enormous.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の波動ステップモータを回転型に構成し
た場合の実施例を示す断面図。 第２図は第１図におけるロータとステータ部の上面図。 第３図、第４図（ａ）、（ｂ）及び第５図（ａ）、（ｂ
）は本発明の波動ステップモータのステータの動作を示
す説明図。 第６図は駆動力を与えている状態を示す説明図。 第７図（ａ）はノルドの位置をずらした場合の説明図。 第７図（ｂ）はステータが移動した状態を示す説明図。 第８図はノードの位置を２．／４ずらした場合の説明図
。 第９図はノードの位置をλ／４を越えでずらした場合の
説明図。 第１０図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はノードをず
らす具体的な方法を示す説明図。 第１１図はステータと圧電素子の関係の一例を示す説明
図。 第１２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はステータの
振動モードとロータの関係を示す説明図。 第１３図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は他のステップ角度に
構成した例を示す説明図。 第１４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の波動ステッ
プモータのステータの他の振動モードの例を示す説明図
。 ３・・・・・ロータ ３ａ・・・・凸部 Ｎ　・・・　・ノード ２　】　、　２２．　２３、２４ ・・・・振動要素 ２ａ・・・・振動要素 １１ｂ、ｌｌｃ ・・・・節直径 １ａ・　・　突起部 １１ａ　、 以上FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the wave step motor of the present invention configured as a rotary type. FIG. 2 is a top view of the rotor and stator portions in FIG. 1. Figures 3, 4 (a), (b) and 5 (a), (b)
) is an explanatory diagram showing the operation of the stator of the wave step motor of the present invention. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state in which driving force is applied. FIG. 7(a) is an explanatory diagram when the position of the nord is shifted. FIG. 7(b) is an explanatory diagram showing a state in which the stator has moved. In Figure 8, the node positions are 2. An explanatory diagram when shifted by /4. FIG. 9 is an explanatory diagram when the position of the node is shifted by more than λ/4. FIGS. 10(a), (b), (c), and (d) are explanatory diagrams showing a specific method of shifting nodes. FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of the relationship between the stator and the piezoelectric element. FIGS. 12(a), (b), (c), and (d) are explanatory diagrams showing the relationship between the vibration mode of the stator and the rotor. FIGS. 13(a), 13(b), and 13(c) are explanatory diagrams showing examples of configurations with other step angles. FIGS. 14(a), 14(b), and 14(c) are explanatory diagrams showing examples of other vibration modes of the stator of the wave step motor of the present invention. 3...Rotor 3a...Protrusion N...Node 2], 22. 23, 24... Vibration element 2a... Vibration element 11b, llc... Node diameter 1a... Protrusion 11a, etc.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）ステータに添付した振動子により前記ステータに
１波長がλの定在波の振動モードを誘起し、該振動モー
ドのノードの位置をｌずつ変位させる事により、ロータ
をｌずつ間欠送りする波動ステップモータにおいて、前
記ｌは波長λに対してロータの移動方向にｌ＜λ／４で
ある事を特徴とする波動ステップモータ。(1) A vibration mode of a standing wave with one wavelength of λ is induced in the stator by a vibrator attached to the stator, and the position of the node of the vibration mode is displaced by l, thereby intermittently feeding the rotor by l. A wave step motor, characterized in that the l is l<λ/4 in the moving direction of the rotor relative to the wavelength λ. （２）ｎヶの節直径を有し、定在波の振動モードで振動
する円板状または円環状のステータの節の位置がθ°ず
つ変位し、ロータがθ°ずつ回動する波動ステップモー
タにおいて、θはロータの移動方向にθ°＜９０°／ｎ
である事を特徴とする請求項１記載の波動ステップモー
タ。(2) A wave step in which the position of the nodes of a disc-shaped or annular stator that has n node diameters and vibrates in a standing wave vibration mode is displaced by θ°, and the rotor rotates by θ°. In a motor, θ is θ°<90°/n in the direction of rotor movement.
The wave step motor according to claim 1, characterized in that: