JPH03248342A - 光ディスク基板の製造方法 - Google Patents
光ディスク基板の製造方法Info
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- JPH03248342A JPH03248342A JP2046121A JP4612190A JPH03248342A JP H03248342 A JPH03248342 A JP H03248342A JP 2046121 A JP2046121 A JP 2046121A JP 4612190 A JP4612190 A JP 4612190A JP H03248342 A JPH03248342 A JP H03248342A
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ディスク基板とその製造方法、特に、情報
の読みだし専用であるビデオディスク。
の読みだし専用であるビデオディスク。
CDやCD−ROM、情報の追記可能な追記型光ディス
ク、情報の書換え可能な書換え可能型光ディスクなどの
光ディスク基板とその製造方法に関する。
ク、情報の書換え可能な書換え可能型光ディスクなどの
光ディスク基板とその製造方法に関する。
従来の光ディスク基板は、第6図に示すような工程で製
造されている。
造されている。
以下、順を追って説明する。
囚 ガラス円盤製作工程では、カラス円盤1の表面を研
磨し、洗浄を行う。
磨し、洗浄を行う。
(B) ホトレジスト塗布工程では、表面研磨し、洗
浄されたガラス円盤1の表面にホトレジスト13を塗布
し、これを乾燥する。
浄されたガラス円盤1の表面にホトレジスト13を塗布
し、これを乾燥する。
レーザ光による記録工程では、記録すべき情報をレーザ
光4の強度変調によりガラス円盤1に塗布されたホトレ
ジス)13に照射し、露光(C) を行う。
光4の強度変調によりガラス円盤1に塗布されたホトレ
ジス)13に照射し、露光(C) を行う。
(D) 現像工程では、ホトレジスト13の現像を行
う。露光されていない部分のホトレジス)13は現像処
理で反応せず、レーザ光4により露光された部分のホト
レジスト13は現像処理で反応してピット14ができる
。このようにしてできたガラス円盤をガラス原盤という
。
う。露光されていない部分のホトレジス)13は現像処
理で反応せず、レーザ光4により露光された部分のホト
レジスト13は現像処理で反応してピット14ができる
。このようにしてできたガラス円盤をガラス原盤という
。
(E) メッキ工程では、ガラス原盤にメッキを行う
。
。
このメッキをした金属を剥すと、ガラス原盤のピット等
の凹凸が反転して転写されている。これをスタンバ15
という。
の凹凸が反転して転写されている。これをスタンバ15
という。
(F) 成形工程では、前述のスタンバ15を用いて
、ポリカーボネート等のプラスチック材料を射出成形等
の技術で転写し、あるいはフォトポリマー(2P)法等
で転写して光ディスク基板16の成形をする。このとき
、スタンバ15の凹凸は反転して転写されるので、最終
的に成形される光ディスク基板16の凹凸は、ガラス原
盤と一致する。
、ポリカーボネート等のプラスチック材料を射出成形等
の技術で転写し、あるいはフォトポリマー(2P)法等
で転写して光ディスク基板16の成形をする。このとき
、スタンバ15の凹凸は反転して転写されるので、最終
的に成形される光ディスク基板16の凹凸は、ガラス原
盤と一致する。
以上のように製作される光ディスク基板16には、そ九
ぞれの光ティスフの用途に応じて反射膜、保護膜、記録
膜等が成膜される。
ぞれの光ティスフの用途に応じて反射膜、保護膜、記録
膜等が成膜される。
第9図は、従来の光ディスク基板16を用いて光磁気テ
ィスフとしたときの一例であり、トラッキングサーボを
動作させるための溝19.トラッキングやセクターのア
ドレス等の情報を記録してし・るピット17(基板のへ
こみのこと)が形成された光ディスク基板16上に、中
間膜8.磁性記録膜9.保護膜10が構成される。この
ような従来の光ディスク基板16は、ピッ)17や溝1
9はほぼ緩やかな曲面で形成されているが、ピット17
の底部に鋭角部分18を有している。この光ディスク基
板17の鋭角部分18は、光ディスク基板16上に成膜
される中間膜8.記録膜9.保護膜10にも影響を与え
、急峻な断差を形成する。
ィスフとしたときの一例であり、トラッキングサーボを
動作させるための溝19.トラッキングやセクターのア
ドレス等の情報を記録してし・るピット17(基板のへ
こみのこと)が形成された光ディスク基板16上に、中
間膜8.磁性記録膜9.保護膜10が構成される。この
ような従来の光ディスク基板16は、ピッ)17や溝1
9はほぼ緩やかな曲面で形成されているが、ピット17
の底部に鋭角部分18を有している。この光ディスク基
板17の鋭角部分18は、光ディスク基板16上に成膜
される中間膜8.記録膜9.保護膜10にも影響を与え
、急峻な断差を形成する。
光ディスクでは、媒体に断差を生ずるような欠陥やゴミ
があるとその部分から記録膜や保護膜の剥離や腐食が起
こりやすい傾向があり、上記鋭角部分18も剥離や腐食
を起こしやすくなる傾向を持つ。
があるとその部分から記録膜や保護膜の剥離や腐食が起
こりやすい傾向があり、上記鋭角部分18も剥離や腐食
を起こしやすくなる傾向を持つ。
光ディスク基板16にこのような鋭角部分18が存在す
る理由は、以下の製造方法によるためである。
る理由は、以下の製造方法によるためである。
前述したように、従来の光ディスク基板製造工程は、第
6図に示す工程で作られる。第7図は、第6図(C)の
拡大図であるが、ガラス円盤l上にホトレジスト11が
塗布されて構成されたガラス原盤上に、レーザ光4を照
射して記録が行われる。
6図に示す工程で作られる。第7図は、第6図(C)の
拡大図であるが、ガラス円盤l上にホトレジスト11が
塗布されて構成されたガラス原盤上に、レーザ光4を照
射して記録が行われる。
このガラス原盤を現像処理すると第8図のようになる。
ピット14はガラス円盤1が露出するため、鋭角部分が
発生する。このガラス原盤から、第6図の(E)メッキ
工程、(F)成形工程を経て光ディスク基板を作成する
と、第9図に示すようなピット17の底部に鋭角部分1
8が発生する。
発生する。このガラス原盤から、第6図の(E)メッキ
工程、(F)成形工程を経て光ディスク基板を作成する
と、第9図に示すようなピット17の底部に鋭角部分1
8が発生する。
第6図の(C)レーザ光による記録工程で、ガラス円盤
1が露出しないように弱いレーザ光を照射して現像処理
すると、ピットのエツジがなだらかになりすぎるために
、再生信号強度が取れず、また情報の記録密度も低下す
る。したがって、ピットエツジをなだらかにすることが
出来ない。
1が露出しないように弱いレーザ光を照射して現像処理
すると、ピットのエツジがなだらかになりすぎるために
、再生信号強度が取れず、また情報の記録密度も低下す
る。したがって、ピットエツジをなだらかにすることが
出来ない。
以上から、従来の光ディスク基板製造方法では、ピット
部に鋭角部分を作らずに光ディスク基板を作成すること
ができなかった。
部に鋭角部分を作らずに光ディスク基板を作成すること
ができなかった。
しかしながら、このような従来の光ディスク基板および
その製造方法は、記録膜や保護膜の剥離や腐食が起りや
すく長期信頼性に欠けるという欠点がある。
その製造方法は、記録膜や保護膜の剥離や腐食が起りや
すく長期信頼性に欠けるという欠点がある。
(1)本発明の光ディスク基板は、情報をピットの有無
で記録してある光ディスク基板において、ピットの底部
が鋭角を有せずに曲面で形成されて構成される。
で記録してある光ディスク基板において、ピットの底部
が鋭角を有せずに曲面で形成されて構成される。
(2)本発明の光ディスク基板製造方法は、情報をピッ
トの有無で記録してある光ディスク基板の製造方法にお
いて、ガラス円盤製作工程、ホトレジスト塗布工程、レ
ーザ光による記録工程。
トの有無で記録してある光ディスク基板の製造方法にお
いて、ガラス円盤製作工程、ホトレジスト塗布工程、レ
ーザ光による記録工程。
現像工程2メッキ工程および成形工程からなり、前記ホ
トレジスト塗布工程において感度特性の異なる2種類以
上のホトレジストを使用して構成される。
トレジスト塗布工程において感度特性の異なる2種類以
上のホトレジストを使用して構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す製造工程図である。
第1図に示す光ディスク基板製造方法は、従来の光ディ
スク基板製造工程とはホトレジスト塗布工程が異なり、
第1ホトレジスト塗布工程B1と第2ホトレジスト塗布
工程B2の2段階の工程からなる。
スク基板製造工程とはホトレジスト塗布工程が異なり、
第1ホトレジスト塗布工程B1と第2ホトレジスト塗布
工程B2の2段階の工程からなる。
第2図は、第1ホトレジスト塗布工程B1と第2ホトレ
ジスト塗布工程B2を終了した後のガラス原盤に、レー
ザ光4を照射して露光する図である。ガラス原盤上には
、第1ホトレジスト層2と第2ホトレジスト層3が積層
されている。この第1ホトレジスト層2と第2ホトレジ
スト層3の感度特性を第3図に示す。これにレーザビー
ム4を照射して露光するが、このとき、レーザビーム4
の露光パワーは、現像処理後に第4図に示すようにピッ
ト5でカラス基板1が露出しない露光パワーを用いる。
ジスト塗布工程B2を終了した後のガラス原盤に、レー
ザ光4を照射して露光する図である。ガラス原盤上には
、第1ホトレジスト層2と第2ホトレジスト層3が積層
されている。この第1ホトレジスト層2と第2ホトレジ
スト層3の感度特性を第3図に示す。これにレーザビー
ム4を照射して露光するが、このとき、レーザビーム4
の露光パワーは、現像処理後に第4図に示すようにピッ
ト5でカラス基板1が露出しない露光パワーを用いる。
これにより、ピット底部は鋭角を有せずに、緩やかな曲
面で構成される。このとき、第2ホトレジスト膜3の露
光感度は、第1ホトレジスト膜2の露光感度よりも高い
ので、ピットのエツジは急峻にすることができるため、
従来例とは異なって、充分な再生信号強度を得ることが
てき、また情報の記録密度を低下することもない。
面で構成される。このとき、第2ホトレジスト膜3の露
光感度は、第1ホトレジスト膜2の露光感度よりも高い
ので、ピットのエツジは急峻にすることができるため、
従来例とは異なって、充分な再生信号強度を得ることが
てき、また情報の記録密度を低下することもない。
第4図に示したガラス原盤から第1図に示すメッキ工程
Eと成形工程Fを経て、本発明による鋭角を有せずに曲
面でへこんでいるピットの光ディスク基板が作成できる
。
Eと成形工程Fを経て、本発明による鋭角を有せずに曲
面でへこんでいるピットの光ディスク基板が作成できる
。
この発明による光ティスフ基板を使用して、光磁気ディ
スクとしたときの実施例の断面図を第5図に示す。
スクとしたときの実施例の断面図を第5図に示す。
第5図の本発明による光ティスフ基板7にはトラッキン
グサーボを動作させるための溝12.トラックやセクタ
ーのアドレス等の情報を記録しているピット11が形成
され、その上に中間膜8゜磁性記録膜9.保護膜lOが
構成される。このとき基板のピット11には第9図に示
したような鋭角部分18がないため、記録膜や保護膜の
剥離や腐食は起こらなくなる。
グサーボを動作させるための溝12.トラックやセクタ
ーのアドレス等の情報を記録しているピット11が形成
され、その上に中間膜8゜磁性記録膜9.保護膜lOが
構成される。このとき基板のピット11には第9図に示
したような鋭角部分18がないため、記録膜や保護膜の
剥離や腐食は起こらなくなる。
本発明の光ディスク基板とその製造方法は、ビット底部
の鋭角部のない基板の提供が可能になるため、記録膜や
保護膜の剥離や腐食が起こらなくなり、長期信頼性を向
上できるという効果がある。
の鋭角部のない基板の提供が可能になるため、記録膜や
保護膜の剥離や腐食が起こらなくなり、長期信頼性を向
上できるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す製造工程図、第2図は
第1図に示す記録工程におけるガラス原盤およびレーザ
照射状態を示す断面図、第3図は第2図に示す各レジス
ト膜の感度特性図、第4図は第1図に示す現像工程後の
ガラス原盤の断面図、第5図は第1図に示す製造工程を
経て製造された光ティスフ基板を用いて製作された光磁
気ディスクの断面図、第6図は従来の一例を示す製造工
程図、第7図は第6図に示す記録工程におけるガラス原
盤およびレーザ照射状態を示す断面図、第8図は第6図
に示す現像工程後のガラス原盤の断面図、第9図は第6
図に示す製造工程を経て製造された光ティスフ基板を用
いて製作された光磁気ディスクの断面図である。 G、Gl・・・・・ガラス原盤、1・・・・ガラス円盤
、2・・・・・・第1ホトレジスト層、3・・・・・・
第2ホトレジスト層、4・・・・・・レーザ光、5,1
1,14.17・・・・・ピット、6.15・・・・・
・スタンバ、7.16・・・・・・光ディスク基板、8
・・・・・・中間膜、9・・・・・・磁性記録膜、lO
・・・・・・保護膜、12.19・・・・・・溝、13
・・・・・ホトレジスト、18・・・・・・鋭角部分、
A・・・・カラス円盤製造工程、B1・・・・・第1ホ
トレジスト塗布工程、B2・・・・・・第2ホトレジス
ト塗布工程、B・・・・・ホトレジスト塗布工程、C・
・・・−記録工程、D・・・・・現像工程、E・・・・
・・メッキ工程、F・・・・・・成形工程、 1・・・・・・残膜厚、■・・・・・・露光量。
第1図に示す記録工程におけるガラス原盤およびレーザ
照射状態を示す断面図、第3図は第2図に示す各レジス
ト膜の感度特性図、第4図は第1図に示す現像工程後の
ガラス原盤の断面図、第5図は第1図に示す製造工程を
経て製造された光ティスフ基板を用いて製作された光磁
気ディスクの断面図、第6図は従来の一例を示す製造工
程図、第7図は第6図に示す記録工程におけるガラス原
盤およびレーザ照射状態を示す断面図、第8図は第6図
に示す現像工程後のガラス原盤の断面図、第9図は第6
図に示す製造工程を経て製造された光ティスフ基板を用
いて製作された光磁気ディスクの断面図である。 G、Gl・・・・・ガラス原盤、1・・・・ガラス円盤
、2・・・・・・第1ホトレジスト層、3・・・・・・
第2ホトレジスト層、4・・・・・・レーザ光、5,1
1,14.17・・・・・ピット、6.15・・・・・
・スタンバ、7.16・・・・・・光ディスク基板、8
・・・・・・中間膜、9・・・・・・磁性記録膜、lO
・・・・・・保護膜、12.19・・・・・・溝、13
・・・・・ホトレジスト、18・・・・・・鋭角部分、
A・・・・カラス円盤製造工程、B1・・・・・第1ホ
トレジスト塗布工程、B2・・・・・・第2ホトレジス
ト塗布工程、B・・・・・ホトレジスト塗布工程、C・
・・・−記録工程、D・・・・・現像工程、E・・・・
・・メッキ工程、F・・・・・・成形工程、 1・・・・・・残膜厚、■・・・・・・露光量。
Claims (2)
- (1)情報をピットの有無で記録してある光ディスク基
板において、ピットの底部が鋭角を有せずに曲面で形成
されていることを特徴とする光ディスク基板。 - (2)ガラス円盤を製作するガラス円盤製作工程と、感
度特性の異なる2種類以上のホトレジストを使用するホ
トレジスト塗布工程と、レーザ光による記憶を行なう記
録工程と、前記記録の現像を行なう現像工程と、前記ガ
ラス円盤上に現像により現われた記録にメッキを施すメ
ッキ工程と、前記メッキにより形成されたスタンパによ
り光ディスクを成形する成形工程とを含むことを特徴と
する光ディスク基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2046121A JP2689672B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 光ディスク基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2046121A JP2689672B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 光ディスク基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03248342A true JPH03248342A (ja) | 1991-11-06 |
JP2689672B2 JP2689672B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=12738161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2046121A Expired - Fee Related JP2689672B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 光ディスク基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2689672B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1021760C2 (nl) * | 2002-10-28 | 2004-05-03 | Otb Groep B V | Moederplaat voor het fabriceren van een stempelplaat alsmede een stempelplaat en opslagmedium en een werkwijze voor het fabriceren van de moederplaat, stempelplaat en opslagmedium. |
US8040764B2 (en) * | 2008-05-30 | 2011-10-18 | Sony Corporation | Optical disc apparatus and correction servo control signal generation method |
US8274875B2 (en) | 2008-05-26 | 2012-09-25 | Sony Corporation | Optical disc device and focus control method |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS5495391A (en) * | 1978-01-13 | 1979-07-27 | Fujikura Ltd | Method of manufacturing overhead cable clad with pipe |
JPS5862451U (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-27 | ティーディーケイ株式会社 | 光記録媒体 |
JPS61153850A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光デイスク用原盤およびその製造方法 |
JPH0229955A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-31 | Nec Corp | 光ディスク製造方法 |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP2046121A patent/JP2689672B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2004038714A1 (en) * | 2002-10-28 | 2004-05-06 | Singulus Mastering B.V. | Master plate for fabricating a stamper plate, stamper plate, storage medium, and method for fabricating the master plate, stamper plate and storage medium |
US8274875B2 (en) | 2008-05-26 | 2012-09-25 | Sony Corporation | Optical disc device and focus control method |
US8040764B2 (en) * | 2008-05-30 | 2011-10-18 | Sony Corporation | Optical disc apparatus and correction servo control signal generation method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2689672B2 (ja) | 1997-12-10 |
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