JPH03248338A - 光情報記録媒体 - Google Patents

光情報記録媒体

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Publication number
JPH03248338A
JPH03248338A JP2044106A JP4410690A JPH03248338A JP H03248338 A JPH03248338 A JP H03248338A JP 2044106 A JP2044106 A JP 2044106A JP 4410690 A JP4410690 A JP 4410690A JP H03248338 A JPH03248338 A JP H03248338A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
protective film
recording medium
optical information
information recording
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2044106A
Other languages
English (en)
Inventor
Eri Kinou
喜納 恵里
Kazuhiko Nakamura
一彦 中村
Atsushi Uetake
篤志 植竹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication of JPH03248338A publication Critical patent/JPH03248338A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光情報記録媒体に関する。
[従来の技術〕 光情報記録媒体の記録層は非常に酸化され易く、酸化を
防止すべく保護膜により保護することが行われる。その
保護膜として、従来、5iO5i02.Si3 N、な
どの誂電体が用いられてきた。これらの保護膜は、記録
層を保護すると同時に、基板に比べて高屈折率のものが
用いられることによって、カー・エンハンスメント効果
を起こし再生信号特性の向上に寄与する。また、吸収係
数の小さいものが用いられることによって再生効率を改
善することも期待される。
上記保護膜以外にも、Si−N−Zrよりなる保護膜が
用いられるが、保護特性が比較的良いとされる5i−N
−Zrにおいてもその信頼性はいまだ充分とはいえない
[発明が解決しようとする課B] 本発明の目的は、信頼性が高く、再生信号特性及び再生
効率に優れた光情報記録媒体を提供することである。
[課題を解決するための手段] 本発明の光情報記録媒体は、基体上に、保護膜で保護さ
れた記録層が形成されてなる光情報記録媒体において、
該保護膜として5i−Zr−Ge−N系の保護膜を使用
することを特徴とする。
なお、保護膜の組成は下記の組成とすることが吸収係数
をより小さくし、再生効率をより一層高める上で好まし
い。
記 ((S  i +−x  Zrx  )  +−y  
Gey  )  l−2Nx0、 1<X<0. 5 0.05<Y<0.3 0.3<Z<0.6 (基体) 本発明においては、基体の形状、材質等には特に限定さ
ず、光記録媒体の透明基体として使用されるものならば
いかなるものでもよい。例えば、ガラス基板、樹脂基板
を用いればよい。また、樹脂としては、例えば、ポリカ
ーボネイト(pc)等を用いればよい。
(記録層) 記録層としては、光情報記録媒体の記録層としての作用
を有するものであればすべて使用可能である。光磁気型
、層変化型、追記型のいずれでもよい。例えば光磁気型
の場合は、Tb−Fe−Co、Tb−Fe、Tb−Co
、Ga−Tb−Co等の非晶質膜も使用できる。
[作用] S 1−Zr−Ge−N系の保護膜は、高温高湿下での
加速劣化試験を行フても剥離やクラックか生じにくく、
光情報記録媒体の信頼性を向上させることができる。
また、S 1−Zr−Ge−N系の保護膜は、屈折率が
大きいのでカー・エンハンスメント効果によってC/N
比が高まり、また、吸収係数か小さいので再生効率が上
がる。
[実施例] 以下に実施例を比較例とともに説明する。
本例では基体としてPC基板を用い、次の様にして保護
膜、記録層を基体上に形成し、光情報記録媒体を作製し
た。
Zra。Si6゜合金上に必要に応じてZrおよびGe
チップをのせたものをターゲットとし、(Ar+Nz)
ガス雰囲気下で反応スパッタを行い、PC基板上にS 
1−Zr−Ge−N膜(保護膜)を作製した。N2分圧
は40%、膜厚は700人とした。
次に、TbFeCo焼結体をターゲットとしテA r$
囲気下でスパッタを行い、5i−Zr−Ge−N膜上に
TbFeCo膜(記録層)を800人形成した。
最後に、初めの要領で5i−Zr−Ge−N膜(保護膜
)を形成した。
一方、比較例として以下の様にして光情報記録媒体を作
製した。
まず、Zr4oSia。ターゲット上にZrチップを適
宜のせたものを用い、(Ar+N2)ガス雰囲気下(N
2分圧20%ンで反応スパッタを行い、5i−N−Zr
膜(保護@)を900人、次にTbFeCoターゲット
を用いAr雰囲気下でTbFeCo1!(記録層)を8
00人、更に前述の条件でSi−N−Zr膜(保護膜)
を900人、順次成膜した。
実施例、比較例ともに各成膜はRFスパッタで行い、導
入ガス(Ar、Ar+N2)圧は0. 7Paとした。
実施例、比較例における保護膜の組成を分析したところ
表1に示す組成を有していた。
表1 ((S  i+−x  Zrx  )  +−y  G
ey )  l−z  Nz以上のようにして作製した
2種類の光情報記録媒体を、温度80℃、相対湿度90
%の高温高湿の雰囲気中に放置後、ビット・エラー・レ
ート(BER)の経時変化を測定した。その結果を第1
図に示す。
第1図から、5i−Zr−Ge−N@を保iiaとして
使用した場合のBERの増加、すなわち、(BER(t
)/BER(0))  (BER(t)はt時間経過後
のBERを、BER(0)は初期のBERをそれぞれ示
す。)は、Si−N−Zr膜を保護膜として使用した場
合のBERの増加に比べて大幅に少ないことがわかる。
また、S 1−Zr−Ge−N膜を保護膜として使用し
た場合は、剥離・クランクについても発生率が減ってい
ることから、S 1−Zr−Ge−N膜を保護膜として
用いることによって密着力が上がり保護特性が改善され
ていることがわかる。
5i−Zr−Ge−Nをスライド・ガラス上にスパッタ
成膜し、エリプソ・メータで屈折率(n)と吸収係数(
k)を測定したところ、それぞれn=2.4.に=oで
あった。
この様に、S 1−Zr−Ge−N膜は屈折率が高く吸
収係数が小さいことから、カー・エンハンスメント効果
が大きく、信号特性の向上に寄与する。
[発明の効果] 本発明によれば、保護膜として密着力にすぐれたS 1
−Zr−Ge−N膜を用いることにより、高温高湿下で
の加速劣化試験を行っても剥離やクラックが生しにくく
なり、光情報記録媒体の信頼性を向上させることができ
た。
また、屈折率が大きいので、カー・エンハンスメント効
果によってC/N比がより高まり、吸収係数が小さいの
で再生効率が上がる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、ビット・エラー・レートの経時変化を示すグ
ラフである。 積水化学工業株式会社 代表者 廣 1) 馨

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)基体上に、保護膜で保護された記録層が形成され
    てなる光情報記録媒体において、該保護膜としてSi−
    Zr−Ge−N系の保護膜を使用することを特徴とする
    光情報記録媒体。 (2)保護膜は下記の組成を有することを特徴とする請
    求項1記載の光情報記録媒体。 {(Si_1_−_XZr_X)_1_−_YGe_Y
    }_1_−_ZN_Z0.1<X<0.5 0.05<Y<0.3 0.3<Z<0.6
JP2044106A 1990-02-23 1990-02-23 光情報記録媒体 Pending JPH03248338A (ja)

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