JPH03244944A - クリーンルーム構築システム - Google Patents
クリーンルーム構築システムInfo
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
及び室温を有するクリーンルームを、短期間に且つ簡易
な施工によって作り出せるようにした多目的クリーンル
ームの構築システムに関する。
易な施工によって本格的なりリーンルームを実現する技
術が種々試みられており、その−例を以下に説明する。
有する天井フレームを天井裏スペースを残して張り渡し
、その小枠にファンフィルタユニット(FFU)或いは
盲板を嵌め込むことによって新天井面を完成させる0次
に、建物の下方に多孔材(例えばグレーチング材)を、
床下スペースを残して張り渡すことによって新庄面を形
成する。
空間」という)を縮方向の仕切によって複数の領域に区
分し、各領域に対応する新天井面には当該領域で必要と
される清浄度に応した数のFFUを設置することによっ
て、清浄度の異なる複数のクリーンルームを実現する。
、また床下スペースをレターンプレナムとして、更に中
層空間のうちで特に高い清浄度の必要とされない領域(
例えば「通路」等)をレターンエリアとして利用できる
ので、大規模な工事をしなくても既存の建物を簡易にク
リーンルームとして利用することができる。
速にクリーンルームに改造することができる。
経路の適宜な個所に設置した空調機を用いて行っていた
ため、以下のような問題点があった。
クリーンルーム全体を一律に冷却することになるため、
特に重点的に冷房する必要がある領域とそれほど冷却す
る必要のない領域とがある場合に、それぞれの冷房負荷
に応したきめの細かい室温の設定・維持が不可能となる
。
凍機、冷却塔、ポンプ等)を設置するためにはかなり広
いスペースが必要であり、このスペースを当該建物内あ
るは近隣する場所に予め確保しておく必要がある。
ン配管をする必要がある。
掛かるうえ、新たに設置スペースを確保しなければなら
ないので、クリーンルーム内のレイアウト変更に柔軟に
対処し得ない。
全体の冷却が一遍に停止してしまう。
とが可能なりリーンルーム構築システムの提供を目的と
する。
ム構築システムはその請求項1において。
面に必要数のファンフィルタユニット(FFU)を設置
し、天井裏空間をプレナムチャンバーに、床下空間をレ
ターンプレナムに構成すると共に該レターンプレナムか
らプレナムチャンバーに空気が流通するレターンエリア
を備え、該FFUの設置数または稼動数の選定により所
望の空気循環経路を形成するようにしたクリーンルーム
において、該空気の循環経路に必要数の空気冷却用熱交
換器(直膨型ドライコイルユニット)を配置すると共に
、この直膨型ドライコイルユニットに冷媒を循環供給す
るための圧縮機および凝縮器を含む室外機をクリーンル
ーム外に配置し、この直膨型ドライコイルユニットによ
ってクリーンルーム内で発生する顕熱負荷の実質上全て
を処理すると共に各ドライコイルユニットの表面温度を
ここを通過しようとする空気の露点温度より高く維持す
るよう構成した。
ルユニットを天井フレームによって格子状にモジュール
化された天井面に設置するよう構成した。
ルユニットをクリーンルーム内における製造機器等の内
部熱負荷発生帯域の該天井面と。
ルを通過した空気が該内部熱負荷発生帯域の天井面に設
置されたFFUに導かれ、後者のドライコイルユニット
を通過した空気がプレナムチャンバー内に送り込まれる
よう構成した。
ルユニットをレターンプレナムに配置するよう構成した
。
イルユニットを内部熱負荷発生帯域の床下レターンプレ
ナムへの吸込面に配置するよう構成した。
イコイルユニットを共通の冷媒配管で室外機に接続する
よう構成した。
する。
全体を示す簡略図である。
6を残して天井フレーム8が張り渡されており、新天井
10が形成されている。尚1図示は省略したが、該天井
フレーム8はアルミニウム等で形成された所定形状のバ
ーを複数本縦横に一定の間隔をおいて直交させることに
よって形成されており、その結果所定の形状寸法を有す
るモジュール化された小枠が多数形成されている。一方
圧12の付近には、床下スペース14を残して多孔材(
例えばグレーチング材)16が張り渡されており。
て5建物2の内部は、天井裏スペース6、床下スペース
14及び新天井及び新庄面によって挟まれた空間(以下
「中層空間」という)の3つの領域に区分される。そし
て9前記中層空間は主として高度の清浄度が要求される
クリーンルーム20として利用されるが、その他にも縦
方向の仕切21によって複数の領域に区分され、それら
は機械の保守点検等を行うサービス域22や通路24等
として利用される。
置されている。而して、核外調1126によって新鮮外
気を建物2内に供給すると共に、排風機28によって建
物2内の空気を外部に排出し、以て建物2内の換気を行
っている。また、核外llSmには加湿器及び除湿器が
内蔵されており、これらによってクリーンルーム内の湿
度調整を行っている。
ど塞ぐ形状寸法を有したファンフィルタユニット(FF
U)30が装着されている。FFU3Oは直方体形状を
しだケーシング内にファン32及び高性能フィルタ (
HEPAまたはULPAフィルタ)34を内蔵しており
、上部開口36から天井裏スペース6の空気をケーシン
グ内に取り入れ、下部開口から排出する過程で塵芥等を
その高性能フィルタ34によって除去し空気を清浄化す
る。尚、FFU3O自体は公知のため、これ以上の説明
は省略する。
法を有した空気冷却用熱交換器たる直膨型ドライコイル
ユニット40が装着されている。この直膨型ドライコイ
ルユニット40は、第2図に示すように、その内部には
蒸発器として機能する冷却コイル42が取り付けられた
フィンチューブ型熱交換器である。冷却コイル42には
、冷媒供給管44および膨張弁46を介して冷媒が供給
され、この冷媒は冷却コイル42内で蒸発される。その
際にユニットの下方から(すなわち室内側から)ユニ・
7ト内に流入した空気がこのユニットに接触することに
よって冷却され、天井裏スペース6内に放出される。
管44および冷媒排出管52)を介して室外機たる室外
ユニット54と連結され、冷媒回路を形成している。室
外ユニット54内には、圧縮機56.凝縮器58.ファ
ン60.アキュムレータ62及び受液器64が設置され
ている。該圧縮機60によって圧縮され高温高圧化した
ガス冷媒は、凝縮器58内を通過する際にファン60に
よる送風によって冷却され液状となる。該液冷媒は受液
器64及び冷媒供給管44を介して直膨型ドライガイル
ユニット40内に運ばれ、膨張弁46を通過し減圧され
た後に冷却コイル42内に供給される。冷却コイル42
内に導かれた冷媒は2回りの空気から熱を奪って蒸発し
ガス化する。このガス冷媒は、冷媒排出管50を経て蒸
発圧力調整弁52およびアキュムレータ62を介して圧
縮機60内に戻される。
露点温度以下にならないように制御するノステムを示し
たもので、FFtJ30の吹出側に設置された温度セン
サ53の検出信号を温度調節計55に送り、この温度t
A節計55の設定幅内に温度センサ53の検出値が収ま
るように、温度調節計が圧縮機56に0N−OFF、
またはON−アンロード、 0FF−アンロードの制
御指令を発する。これによって、クリーンルーム内は設
定温度幅内に維持される。他方。
はドライコイル(蒸発器)20での冷媒の版発圧力が所
定の圧力以下に下がらないように調節する。
節バネ57によって付勢された弁体59を有する直動型
のもので、この弁52によって圧縮機吸込側の抵抗を変
化させる。これにより圧縮機への吸込圧力は低下するも
のの暴発器での蒸発圧力は一定となるような働きをする
。冷媒としてR−22を使用した場合、この蒸発圧力調
整弁52によって茂発器の蒸発圧力を例えば約6 kg
/cm”Gより下がらないように制御することで蒸発温
度を10’Cに保つことができる。なお、膨張弁46に
は感温膨張弁を使用する。このようにして冷却コイル4
2の表面温度を空気の露点温度より高く維持する。
、これは建物の屋外でも、或いは天井裏を別途区画した
スペース等適当な空きスペースに設置してもよい、また
第2図のように1台の室外ユニット54に1台の直膨型
ドライコイルユニット40を対応させてもよいが、第5
図に示すように1台の室外ユニット54に複数台の直膨
型ドライコイルユニット40を対応させるいわゆるマル
チタイプを採用することにより、−層効率化を図ること
ができる。この場合1台の室外ユニット54内に複数の
圧縮機56および凝縮器58を内蔵させ、それぞれに複
数台の直膨型ドライコイルユニット40を対応させるこ
とによって別系統の冷媒回路を形成することもできる。
40の設置台数は、要求される空気清浄度及び冷房負荷
によって決定される。例えば、特に高い清浄度の要求さ
れるクリーンルーム20上のフレーム8には数多くのF
FU3Oを設置する。逆に空気清浄化の必要性の低い通
路24上のフレーム8にはFFU3Oを設置せず4代わ
りに直膨型トライコイルユニット40を設置する。また
、中程度の清浄度が要求され、且つ高い冷房負荷が生し
るるサービス域22上のフレーム8には、必要台数のF
FU3Oを設置し、さらに空いている小枠には直膨型ド
ライコイルユニット40を設置する。
3Oも直膨型ドライコイルユニット40も設置する必要
がない部分には、小枠と略等しい寸法形状を有する盲パ
ネルを嵌装することによって該小枠を閉塞し、清浄化さ
れていない空気がクリーンルーム20内等に侵入するこ
とを防ぐ。
稼動させることによって、天井裏スペース6内の空気が
FFU3O内に吸引され、そのフィルタ34を通過する
ことによって清浄化された空気がクリーンルーム20及
びサービス域22に吹き出され中間帯域を下鋒しながら
室内を浮遊している塵芥等を捕捉し、多孔材16で形成
された新庄面18を通過して床下スペース14に流れ込
む。床下スペース14の空気は通路24に床下側から上
昇し1通路上のフレーム8に設置された直膨型ドライコ
イルユニット40を通過する際に冷却される。この冷却
された空気は、再びFFU3O内で清浄化された後にク
リーンルーム20等に供給される。
として、また床下スペースはレターンプレナムとして、
更に通路はレターンエリアとしての役割を果たす。すな
わち、FFU3Oおよび直膨型ドライコイルユニット4
0の設置数や設置箇所を選定することによって、所望の
空気循環経路を形成することができる。
レーム8にFFU3Oと直膨型ドライコイルユニット4
0の双方を設置し、これらをダクト66等を介して連通
させる場合には、その領域のみを重点的に冷却すること
が可能となる。すなわち、FFU3Oから放出された空
気の一部は床下スペース14に到達する前に直膨型ドラ
イコイルユニット40内に吸い込まれ、そこで冷却され
た空気は天井裏スペース6全体に拡散することなく直接
にFFU3Oに戻され、再度清浄化され室内に放出され
る。
る特定領域内でローカルな冷却サイクルを形成すること
ができ、より効率的に高い冷房負荷を処理することがで
きる。これは製造機器が設置されている等の理由によっ
て特に高い冷房負荷が発生する領域を冷却する場合に存
効である。
定のFFU3Oと直膨型ドライコイルユニット40とに
天井裏側からボックス68を被せ、天井裏スペース6内
に2重のプレナムチャンバーを形成することによっても
、ダクト接続の場合と同様の効果を達成することができ
る。
ルーム構築システムの応用例を示す。
ルーム20上のフレーム8にFFU3Oのみを載置する
と共に1通路24上にはドライコイルユニット40のみ
を載置して建物2全体の冷却を行っている。
ービス域22上のフレーム8には専用のドライコイルユ
ニット40及びFFU3Oが載置されており、該ドライ
コイルユニット40とFFU3Oとはダクト66を介し
て連通されている。また、床面ば多孔材16の代わりに
通気性を有さない材料72によって構成されている。従
って、FFU3Oから放出された清浄空気は、すべて床
面で癩ね返されてドライコイルユニット40内に戻され
るので、サービス域22のみを重点的に冷却することが
できる。
てFFU3Oとドライコイルユニット40とを連通ずる
代わりに、サービス域22上のフレーム8に載置された
FFU3O及びドライコイルユニット40の上からボッ
クス68をすっぽりと被せ、天井裏スペース6内に二重
のチャンバーを形成することによって、冷却空気が他の
領域に拡散するのを防いでいる点に特色がある。
ット40を載置する代わりに1通路の床下にドライコイ
ルユニット40を設置した点で第6図と相違する。
ために、専用のドライコイルユニット40を床下に設置
した例である。この場合には2通気性を確保するために
ドライコイルユニット40の空気取入口に対応する部分
の床材が多孔材16にて形成されていることは云うまで
もない0本例の場合ドライコイルユニット40をフレー
ム8に設置する必要がないので、その分フレーム8にF
FU3Oを多く載置することができる。従って、高い冷
房負荷を有し、かつ高い空気清浄度が要求される領域に
おいて好適である。
を有するため、以下の効果を有する。
設置することによってクリーンルーム内の室温調節を行
うため、各領域における熱負荷の大きさに対応した。き
めの細かい室温調節が可能となる。
冷却された空気を直接に任意のFFUに導くことができ
るので、特に高い熱負荷の生ずる領域を他の領域から切
り離して重点的に冷却することができる。
応じた個数だけ分散して設置するので、大型の冷却機を
設置するためのまとまったスペースを確保する必要がな
い。
構成されているため、ドレン配管をする必要がない。
トに冷水を供給する必要がない。したがって、冷水を供
給するための熱源施設(冷凍機や冷却塔など)を別個に
設置する必要がなく既存の建物をより簡易迅速にクリー
ンルーム化できる。また、水配管の必要もないため、配
管事故による漏れの発生を回避できる。
の移設が容易であり、クリーンルーム内のレイアウト変
更にも柔軟に対処できる。
媒配管を介して直膨型ドライコイルユニットと連結させ
たので、圧縮機による騒音発生を防くことができる。
型ドライコイルユニットごとに独立した基本単位を構成
しているため、故障時の危険分散を図ることができる。
体構成を示す簡略図、第2図は直膨型ドライコイルユニ
ットと室外ユニットとの連結状態を示す冷媒回路図、第
3図は温度制御を説明するためのシステム構成図、第4
図は蒸発圧力調整弁の略断面図、第5図は直膨型ドライ
コイルユニ・ノドと室外ユニットとの連結状態の他の例
を示す冷媒回路図、第6図〜第9図はいずれも本発明に
係るクリーンルーム構築システムの応用例を示す説明簡
略図である。 6 ・ 8 ・ 10 ・ 14 ・ 30 ・ 40 ・ 46 ・ 52 ・ 53 ・ 54 ・ 55 ・ 符号の説明 ・天井裏スペース ・天井フレーム ・天井面 ・床下スペース ・ファンフィルタユニット(FFU) ・直膨型ドライコイルユニット ・膨張弁(感温型膨張弁) ・蒸発圧力調整弁 ・温度センサ ・室外機(室外ユニット) ・温度調節計 56 ・ ・圧縮機 58 ・ ・凝縮器
Claims (6)
- (1)天井フレームによって格子状にモジュール化され
た天井面に必要数のファンフィルタユニット(FFU)
を設置し、天井裏空間をプレナムチャンバーに、床下空
間をレターンプレナムに構成すると共に該レターンプレ
ナムからプレナムチャンバーに空気が流通するレターン
エリアを備え、該FFUの設置数または稼動数の選定に
より所望の空気循環経路を形成するようにしたクリーン
ルームにおいて、該空気の循環経路に必要数の空気冷却
用熱交換器(直膨型ドライコイルユニット)を配置する
と共に、この直膨型ドライコイルユニットに冷媒を循環
供給するための圧縮機および凝縮器を含む室外機をクリ
ーンルーム外に配置し、この直膨型ドライコイルユニッ
トによってクリーンルーム内で発生する顕熱負荷の実質
上全てを処理すると共に各ドライコイルユニットの表面
温度をここを通過しようとする空気の露点温度より高く
維持するよう構成したクリーンルーム構築システム。 - (2)前記直膨型ドライコイルユニットは、天井フレー
ムによって格子状にモジュール化された天井面に設置さ
れる請求項1に記載のクリーンルーム構築システム。 - (3)前記直膨型ドライコイルユニットは、クリーンル
ーム内における製造機器等の内部熱負荷発生帯域の該天
井面と、レターンエリアの該天井面に配置され、前者の
ドライコイルを通過した空気が該内部熱負荷発生帯域の
天井面に設置されたFFUに導かれ、後者のドライコイ
ルユニットを通過した空気がプレナムチャンバー内に送
り込まれる請求項1に記載のクリーンルーム構築システ
ム。 - (4)前記直膨型ドライコイルユニットは、レターンプ
レナムに配置される請求項1に記載のクリーンルーム構
築システム。 - (5)前記直膨型ドライコイルユニットは、内部熱負荷
発生帯域の床下レターンプレナムへの吸込面に配置され
る請求項1に記載のクリーンルーム構築システム。 - (6)前記直膨型ドライコイルユニットは、その複数個
が共通の冷媒配管で室外機に接続される請求項1に記載
のクリーンルーム構築システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2041979A JPH0723788B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | クリーンルーム構築システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2041979A JPH0723788B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | クリーンルーム構築システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03244944A true JPH03244944A (ja) | 1991-10-31 |
JPH0723788B2 JPH0723788B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=12623322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2041979A Expired - Lifetime JPH0723788B2 (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | クリーンルーム構築システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0723788B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001263747A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
EP0965799A3 (de) * | 1998-06-19 | 2003-01-15 | PCS Process Control Systems GmbH Gesellschaft für Steuerungs- und Automationstechnik | Anordnung zur Klimatisierung von Räumen oder dergleichen |
JP2017122573A (ja) * | 2017-03-02 | 2017-07-13 | 鹿島建設株式会社 | 直膨コイルを使用した空気調和機 |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP2041979A patent/JPH0723788B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0965799A3 (de) * | 1998-06-19 | 2003-01-15 | PCS Process Control Systems GmbH Gesellschaft für Steuerungs- und Automationstechnik | Anordnung zur Klimatisierung von Räumen oder dergleichen |
JP2001263747A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
JP2017122573A (ja) * | 2017-03-02 | 2017-07-13 | 鹿島建設株式会社 | 直膨コイルを使用した空気調和機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0723788B2 (ja) | 1995-03-15 |
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