JPH03239321A - 縦型ｃｖｄ・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 - Google Patents
縦型ｃｖｄ・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置Info
- Publication number
- JPH03239321A JPH03239321A JP2035770A JP3577090A JPH03239321A JP H03239321 A JPH03239321 A JP H03239321A JP 2035770 A JP2035770 A JP 2035770A JP 3577090 A JP3577090 A JP 3577090A JP H03239321 A JPH03239321 A JP H03239321A
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- JP
- Japan
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- port
- inclination
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- actuator
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は縦型ＣＶＤ・拡散装置のポート傾斜を検知しポ
ート姿勢を正しい垂直姿勢に修正する方法及び装置に関
する。
ート姿勢を正しい垂直姿勢に修正する方法及び装置に関
する。
第２図は従来方法及び装置の一例の構成を示す説明図で
ある。第２図中６はポート上下機構、１はこのポート上
下機構６に上下動可能に設けたポー １−支持機構、２
はこのポート支持機構１上に支持した石英ポート、７は
移載機」二下機構、８はこの移載機上下機構７に上下動
可能に設けたウェーハ移載機、９はこのウェーハ移載機
８に取付けられたウェーハである。
ある。第２図中６はポート上下機構、１はこのポート上
下機構６に上下動可能に設けたポー １−支持機構、２
はこのポート支持機構１上に支持した石英ポート、７は
移載機」二下機構、８はこの移載機上下機構７に上下動
可能に設けたウェーハ移載機、９はこのウェーハ移載機
８に取付けられたウェーハである。
従来方法はウェーハ９をウェーハ移載機８によりボー１
−２に移載する前に、予しめポート２の最上段と最下段
の位置にウェーハ９を手でテスト移載してポート２の傾
斜の有無を確かめ、ポート２が傾斜している時はポート
支持機構１の手操作でポート２の傾斜を修正している。
−２に移載する前に、予しめポート２の最上段と最下段
の位置にウェーハ９を手でテスト移載してポート２の傾
斜の有無を確かめ、ポート２が傾斜している時はポート
支持機構１の手操作でポート２の傾斜を修正している。
上記の従来方法にあっては、ポート２の脱着の都度、ポ
ート２の傾斜の有無を確かめる必要があり、ポート２が
傾斜している時はポート２の姿勢を垂直姿勢になるよう
に手で修正していた。そのため、ポート２の姿勢修正に
時間がかかり、不便であった。
ート２の傾斜の有無を確かめる必要があり、ポート２が
傾斜している時はポート２の姿勢を垂直姿勢になるよう
に手で修正していた。そのため、ポート２の姿勢修正に
時間がかかり、不便であった。
本発明方法は上記の課題を解決するため第１図（ａｌ、
’、 （ｂｌ示のようにポート支持機構１にポート２を
支持した縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート２に対
して設けた前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４によ
りポート２の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ３，４
より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポート支持
機構１に設けられた傾斜調整用アクチュエータ５に入力
し、このアクチュエータ５を作動させてポート２の前後
、左右方向の傾斜を修正する構成とする。
’、 （ｂｌ示のようにポート支持機構１にポート２を
支持した縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート２に対
して設けた前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４によ
りポート２の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ３，４
より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポート支持
機構１に設けられた傾斜調整用アクチュエータ５に入力
し、このアクチュエータ５を作動させてポート２の前後
、左右方向の傾斜を修正する構成とする。
本発明装置は同し課題を解決するため第１図ｆａｌ（ｂ
ｌ示のようにポート支持機構（１）にホー１− （２１
を支持した縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート（２
）に前後、左右方向の傾斜検知センサｆ３） 、 （４
）を対向配設し、かつポート支持ｍ措１１）に傾斜調整
用アクチュエータ（５）を設け、この７クチユエータ（
５）に上記前後、左右方０１］の傾斜検知センサｆ３＋
、 ｆｉ＋の出力を接続せしめてなる構成としたもの
である。
ｌ示のようにポート支持機構（１）にホー１− （２１
を支持した縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート（２
）に前後、左右方向の傾斜検知センサｆ３） 、 （４
）を対向配設し、かつポート支持ｍ措１１）に傾斜調整
用アクチュエータ（５）を設け、この７クチユエータ（
５）に上記前後、左右方０１］の傾斜検知センサｆ３＋
、 ｆｉ＋の出力を接続せしめてなる構成としたもの
である。
ポート２が傾斜していると、ボー１−２の傾斜がこれに
対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４に
より自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜
調整用アクチュエータ５に入力されてこのアクチュエー
タ５が作動せしめられ、ポート２の傾斜が自動的に修正
されてポート２の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにか
つ速やかに修正されることになる。
対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４に
より自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜
調整用アクチュエータ５に入力されてこのアクチュエー
タ５が作動せしめられ、ポート２の傾斜が自動的に修正
されてポート２の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにか
つ速やかに修正されることになる。
以下図面により本発明の詳細な説明する。
第１図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ本発明方法及び装
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図で、１はポ
ート支持機構、２はこのポート支持機構１上に支持した
石英ポート、３，４はそれぞれこのポート２の上、下部
に対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサである
。前後、左右方向の傾斜検知センサ３．４としては例え
ば反則式センサを用いることができる。
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図で、１はポ
ート支持機構、２はこのポート支持機構１上に支持した
石英ポート、３，４はそれぞれこのポート２の上、下部
に対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサである
。前後、左右方向の傾斜検知センサ３．４としては例え
ば反則式センサを用いることができる。
ポート支持機構１にはポート２の下側の位置決めビン１
０が設けられており、このビン１０によってポート支持
機構１上のポート２の位置が決定される。ポート支持機
構１には傾斜調整用アクチュエータ５が設けられており
、前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４の出力がこの
傾斜調整用アクチュエータ５に接続されている。
０が設けられており、このビン１０によってポート支持
機構１上のポート２の位置が決定される。ポート支持機
構１には傾斜調整用アクチュエータ５が設けられており
、前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４の出力がこの
傾斜調整用アクチュエータ５に接続されている。
このような構成においてポート２が傾斜していないとき
は、例えば下方の左右方向の傾斜検知センサ４の出力を
基準にして上方の前後方向の傾斜検知センサ４の出力が
等しくなり、このとき、ポート２は傾斜しておらず、垂
直姿勢になっている。
は、例えば下方の左右方向の傾斜検知センサ４の出力を
基準にして上方の前後方向の傾斜検知センサ４の出力が
等しくなり、このとき、ポート２は傾斜しておらず、垂
直姿勢になっている。
ポート２が傾斜していると、ポート２の傾斜がこれに対
向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４によ
り自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜調
整用アクチュエータ５に入力されてこのアクチュエータ
５が作動せしめられ、ポート２の傾斜が自動的に修正さ
れてポート２の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにかつ
速やかに／Ｉｋ正されることになる。
向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ３，４によ
り自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜調
整用アクチュエータ５に入力されてこのアクチュエータ
５が作動せしめられ、ポート２の傾斜が自動的に修正さ
れてポート２の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにかつ
速やかに／Ｉｋ正されることになる。
この場合、下方の検知センサ４の出力を基準にして上方
の検知センサ３の出力が同じになるように傾斜調整用ア
クチュエータ５が作動せしめられるものである。
の検知センサ３の出力が同じになるように傾斜調整用ア
クチュエータ５が作動せしめられるものである。
上述のように本発明によれば、ポート支持機構１にポー
ト２を支持した縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート
２に対して設けた前後１左右方向の傾斜検知センサ３，
４によりポート２の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ
３，４より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポー
ト支持機構１に設けられた傾斜調整用アクチュエータ５
に入力し、このアクチュエータ５を作動させてポート２
の前後、左右方向の傾斜を修正する構成とするポート姿
勢修正方法及び装置であるため、ポート２の傾斜を自動
的に修正でき、ポート２の姿勢を垂直姿勢に確実にスム
ーズにかつ速やかに修正することができる。そのためポ
ート２の脱着の都度、ポート２の傾斜の有無を確める必
要がなく、手による修正を不要にでき、時間の節約を図
ることができる。また再現性良くウェーハ移載が可能に
なるなどの効果を奏する。
ト２を支持した縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート
２に対して設けた前後１左右方向の傾斜検知センサ３，
４によりポート２の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ
３，４より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポー
ト支持機構１に設けられた傾斜調整用アクチュエータ５
に入力し、このアクチュエータ５を作動させてポート２
の前後、左右方向の傾斜を修正する構成とするポート姿
勢修正方法及び装置であるため、ポート２の傾斜を自動
的に修正でき、ポート２の姿勢を垂直姿勢に確実にスム
ーズにかつ速やかに修正することができる。そのためポ
ート２の脱着の都度、ポート２の傾斜の有無を確める必
要がなく、手による修正を不要にでき、時間の節約を図
ることができる。また再現性良くウェーハ移載が可能に
なるなどの効果を奏する。
第１図（ａｌ 、 （ｂｌはそれぞれ本発明方法及び装
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図、第２図は
従来方法及び装置の一例の構成を示す説明図である。 １・・・・・・ポート支持機構、２・・・・・・（石英
）ポート、３・・・・・・前後方向の傾斜検知センサ、
４・・・・・・左右方向の傾斜検知センサ、５・・・・
・・傾斜調整用アクチュ７ 特開平３ ２３９３２１（４）
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図、第２図は
従来方法及び装置の一例の構成を示す説明図である。 １・・・・・・ポート支持機構、２・・・・・・（石英
）ポート、３・・・・・・前後方向の傾斜検知センサ、
４・・・・・・左右方向の傾斜検知センサ、５・・・・
・・傾斜調整用アクチュ７ 特開平３ ２３９３２１（４）
Claims (2)
- （１）ポート支持機構（１）にポート（２）を支持した
縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート（２）に対して
設けた前後、左右方向の傾斜検知センサ（３、４）によ
りポート（２）の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ（
３）、（４）より出力する前後、左右方向の傾斜信号を
、ポート支持機構（１）に設けられた傾斜調整用アクチ
ュエータ（５）に入力し、このアクチュエータ（５）を
作動させてポート（２）の前後、左右方向の傾斜を修正
する構成とした縦型ＣＶＤ・拡散装置のポート姿勢修正
方法。 - （２）ポート支持機構（１）にポート（２）を支持した
縦型ＣＶＤ・拡散装置において、ポート（２）に前後、
左右方向の傾斜検知センサ（３）、（４）を対向配設し
、かつポート支持機構（１）に傾斜調整用アクチュエー
タ（５）を設け、このアクチュエータ（５）に上記前後
、左右方向の傾斜検知センサ（３）、（４）の出力を接
続せしめてなる縦型ＣＶＤ・拡散装置のポート姿勢修正
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2035770A JPH03239321A (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 縦型ｃｖｄ・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2035770A JPH03239321A (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 縦型ｃｖｄ・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03239321A true JPH03239321A (ja) | 1991-10-24 |
Family
ID=12451107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2035770A Pending JPH03239321A (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 縦型ｃｖｄ・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03239321A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP2035770A patent/JPH03239321A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
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