JPH03239321A - 縦型cvd・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 - Google Patents
縦型cvd・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置Info
- Publication number
- JPH03239321A JPH03239321A JP2035770A JP3577090A JPH03239321A JP H03239321 A JPH03239321 A JP H03239321A JP 2035770 A JP2035770 A JP 2035770A JP 3577090 A JP3577090 A JP 3577090A JP H03239321 A JPH03239321 A JP H03239321A
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- Japan
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- port
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- actuator
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は縦型CVD・拡散装置のポート傾斜を検知しポ
ート姿勢を正しい垂直姿勢に修正する方法及び装置に関
する。
ート姿勢を正しい垂直姿勢に修正する方法及び装置に関
する。
第2図は従来方法及び装置の一例の構成を示す説明図で
ある。第2図中6はポート上下機構、1はこのポート上
下機構6に上下動可能に設けたポー 1−支持機構、2
はこのポート支持機構1上に支持した石英ポート、7は
移載機」二下機構、8はこの移載機上下機構7に上下動
可能に設けたウェーハ移載機、9はこのウェーハ移載機
8に取付けられたウェーハである。
ある。第2図中6はポート上下機構、1はこのポート上
下機構6に上下動可能に設けたポー 1−支持機構、2
はこのポート支持機構1上に支持した石英ポート、7は
移載機」二下機構、8はこの移載機上下機構7に上下動
可能に設けたウェーハ移載機、9はこのウェーハ移載機
8に取付けられたウェーハである。
従来方法はウェーハ9をウェーハ移載機8によりボー1
−2に移載する前に、予しめポート2の最上段と最下段
の位置にウェーハ9を手でテスト移載してポート2の傾
斜の有無を確かめ、ポート2が傾斜している時はポート
支持機構1の手操作でポート2の傾斜を修正している。
−2に移載する前に、予しめポート2の最上段と最下段
の位置にウェーハ9を手でテスト移載してポート2の傾
斜の有無を確かめ、ポート2が傾斜している時はポート
支持機構1の手操作でポート2の傾斜を修正している。
上記の従来方法にあっては、ポート2の脱着の都度、ポ
ート2の傾斜の有無を確かめる必要があり、ポート2が
傾斜している時はポート2の姿勢を垂直姿勢になるよう
に手で修正していた。そのため、ポート2の姿勢修正に
時間がかかり、不便であった。
ート2の傾斜の有無を確かめる必要があり、ポート2が
傾斜している時はポート2の姿勢を垂直姿勢になるよう
に手で修正していた。そのため、ポート2の姿勢修正に
時間がかかり、不便であった。
本発明方法は上記の課題を解決するため第1図(al、
’、 (bl示のようにポート支持機構1にポート2を
支持した縦型CVD・拡散装置において、ポート2に対
して設けた前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4によ
りポート2の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ3,4
より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポート支持
機構1に設けられた傾斜調整用アクチュエータ5に入力
し、このアクチュエータ5を作動させてポート2の前後
、左右方向の傾斜を修正する構成とする。
’、 (bl示のようにポート支持機構1にポート2を
支持した縦型CVD・拡散装置において、ポート2に対
して設けた前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4によ
りポート2の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ3,4
より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポート支持
機構1に設けられた傾斜調整用アクチュエータ5に入力
し、このアクチュエータ5を作動させてポート2の前後
、左右方向の傾斜を修正する構成とする。
本発明装置は同し課題を解決するため第1図fal(b
l示のようにポート支持機構(1)にホー1− (21
を支持した縦型CVD・拡散装置において、ポート(2
)に前後、左右方向の傾斜検知センサf3) 、 (4
)を対向配設し、かつポート支持m措11)に傾斜調整
用アクチュエータ(5)を設け、この7クチユエータ(
5)に上記前後、左右方01]の傾斜検知センサf3+
、 fi+の出力を接続せしめてなる構成としたもの
である。
l示のようにポート支持機構(1)にホー1− (21
を支持した縦型CVD・拡散装置において、ポート(2
)に前後、左右方向の傾斜検知センサf3) 、 (4
)を対向配設し、かつポート支持m措11)に傾斜調整
用アクチュエータ(5)を設け、この7クチユエータ(
5)に上記前後、左右方01]の傾斜検知センサf3+
、 fi+の出力を接続せしめてなる構成としたもの
である。
ポート2が傾斜していると、ボー1−2の傾斜がこれに
対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4に
より自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜
調整用アクチュエータ5に入力されてこのアクチュエー
タ5が作動せしめられ、ポート2の傾斜が自動的に修正
されてポート2の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにか
つ速やかに修正されることになる。
対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4に
より自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜
調整用アクチュエータ5に入力されてこのアクチュエー
タ5が作動せしめられ、ポート2の傾斜が自動的に修正
されてポート2の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにか
つ速やかに修正されることになる。
以下図面により本発明の詳細な説明する。
第1図(a) 、 (b)はそれぞれ本発明方法及び装
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図で、1はポ
ート支持機構、2はこのポート支持機構1上に支持した
石英ポート、3,4はそれぞれこのポート2の上、下部
に対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサである
。前後、左右方向の傾斜検知センサ3.4としては例え
ば反則式センサを用いることができる。
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図で、1はポ
ート支持機構、2はこのポート支持機構1上に支持した
石英ポート、3,4はそれぞれこのポート2の上、下部
に対向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサである
。前後、左右方向の傾斜検知センサ3.4としては例え
ば反則式センサを用いることができる。
ポート支持機構1にはポート2の下側の位置決めビン1
0が設けられており、このビン10によってポート支持
機構1上のポート2の位置が決定される。ポート支持機
構1には傾斜調整用アクチュエータ5が設けられており
、前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4の出力がこの
傾斜調整用アクチュエータ5に接続されている。
0が設けられており、このビン10によってポート支持
機構1上のポート2の位置が決定される。ポート支持機
構1には傾斜調整用アクチュエータ5が設けられており
、前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4の出力がこの
傾斜調整用アクチュエータ5に接続されている。
このような構成においてポート2が傾斜していないとき
は、例えば下方の左右方向の傾斜検知センサ4の出力を
基準にして上方の前後方向の傾斜検知センサ4の出力が
等しくなり、このとき、ポート2は傾斜しておらず、垂
直姿勢になっている。
は、例えば下方の左右方向の傾斜検知センサ4の出力を
基準にして上方の前後方向の傾斜検知センサ4の出力が
等しくなり、このとき、ポート2は傾斜しておらず、垂
直姿勢になっている。
ポート2が傾斜していると、ポート2の傾斜がこれに対
向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4によ
り自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜調
整用アクチュエータ5に入力されてこのアクチュエータ
5が作動せしめられ、ポート2の傾斜が自動的に修正さ
れてポート2の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにかつ
速やかに/Ik正されることになる。
向配置した前後、左右方向の傾斜検知センサ3,4によ
り自動的に検知され、この検出された傾斜信号が傾斜調
整用アクチュエータ5に入力されてこのアクチュエータ
5が作動せしめられ、ポート2の傾斜が自動的に修正さ
れてポート2の姿勢が垂直姿勢に確実にスムーズにかつ
速やかに/Ik正されることになる。
この場合、下方の検知センサ4の出力を基準にして上方
の検知センサ3の出力が同じになるように傾斜調整用ア
クチュエータ5が作動せしめられるものである。
の検知センサ3の出力が同じになるように傾斜調整用ア
クチュエータ5が作動せしめられるものである。
上述のように本発明によれば、ポート支持機構1にポー
ト2を支持した縦型CVD・拡散装置において、ポート
2に対して設けた前後1左右方向の傾斜検知センサ3,
4によりポート2の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ
3,4より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポー
ト支持機構1に設けられた傾斜調整用アクチュエータ5
に入力し、このアクチュエータ5を作動させてポート2
の前後、左右方向の傾斜を修正する構成とするポート姿
勢修正方法及び装置であるため、ポート2の傾斜を自動
的に修正でき、ポート2の姿勢を垂直姿勢に確実にスム
ーズにかつ速やかに修正することができる。そのためポ
ート2の脱着の都度、ポート2の傾斜の有無を確める必
要がなく、手による修正を不要にでき、時間の節約を図
ることができる。また再現性良くウェーハ移載が可能に
なるなどの効果を奏する。
ト2を支持した縦型CVD・拡散装置において、ポート
2に対して設けた前後1左右方向の傾斜検知センサ3,
4によりポート2の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ
3,4より出力する前後、左右方向の傾斜信号を、ポー
ト支持機構1に設けられた傾斜調整用アクチュエータ5
に入力し、このアクチュエータ5を作動させてポート2
の前後、左右方向の傾斜を修正する構成とするポート姿
勢修正方法及び装置であるため、ポート2の傾斜を自動
的に修正でき、ポート2の姿勢を垂直姿勢に確実にスム
ーズにかつ速やかに修正することができる。そのためポ
ート2の脱着の都度、ポート2の傾斜の有無を確める必
要がなく、手による修正を不要にでき、時間の節約を図
ることができる。また再現性良くウェーハ移載が可能に
なるなどの効果を奏する。
第1図(al 、 (blはそれぞれ本発明方法及び装
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図、第2図は
従来方法及び装置の一例の構成を示す説明図である。 1・・・・・・ポート支持機構、2・・・・・・(石英
)ポート、3・・・・・・前後方向の傾斜検知センサ、
4・・・・・・左右方向の傾斜検知センサ、5・・・・
・・傾斜調整用アクチュ7 特開平3 239321(4)
置の一実施例の構成を示す正面図及び平面図、第2図は
従来方法及び装置の一例の構成を示す説明図である。 1・・・・・・ポート支持機構、2・・・・・・(石英
)ポート、3・・・・・・前後方向の傾斜検知センサ、
4・・・・・・左右方向の傾斜検知センサ、5・・・・
・・傾斜調整用アクチュ7 特開平3 239321(4)
Claims (2)
- (1)ポート支持機構(1)にポート(2)を支持した
縦型CVD・拡散装置において、ポート(2)に対して
設けた前後、左右方向の傾斜検知センサ(3、4)によ
りポート(2)の傾斜を検知し、この傾斜検知センサ(
3)、(4)より出力する前後、左右方向の傾斜信号を
、ポート支持機構(1)に設けられた傾斜調整用アクチ
ュエータ(5)に入力し、このアクチュエータ(5)を
作動させてポート(2)の前後、左右方向の傾斜を修正
する構成とした縦型CVD・拡散装置のポート姿勢修正
方法。 - (2)ポート支持機構(1)にポート(2)を支持した
縦型CVD・拡散装置において、ポート(2)に前後、
左右方向の傾斜検知センサ(3)、(4)を対向配設し
、かつポート支持機構(1)に傾斜調整用アクチュエー
タ(5)を設け、このアクチュエータ(5)に上記前後
、左右方向の傾斜検知センサ(3)、(4)の出力を接
続せしめてなる縦型CVD・拡散装置のポート姿勢修正
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2035770A JPH03239321A (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 縦型cvd・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2035770A JPH03239321A (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 縦型cvd・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03239321A true JPH03239321A (ja) | 1991-10-24 |
Family
ID=12451107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2035770A Pending JPH03239321A (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 | 縦型cvd・拡散装置のボート姿勢修正方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03239321A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP2035770A patent/JPH03239321A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
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