JPH03209070A - 高圧容器用弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高圧容器用弁に間し、さらに詳細には、二重シ
ール機能を備えた高圧容器用弁に関する。

従来の技術及び発明が解決しようとする課題近年、例え
ば半導体製造プロセス等で消費される半導体製造用ガス
（以下、特殊材料ガスという〉は増加の一途をたどって
いる。ところで、この特殊ガスは多種、多様で、中には
非常に危険性の高いものもある． 通常この特殊材料ガスは高圧ガス容器内に充填されて運
搬され、ガスの使用現場で開弁されて使用される．危険
性の高いガスを安全に運搬、使用することはガス製造者
、使用者にとって最重要課題である。

高圧ガス容器には弁が取付けて使用されるのが普通であ
り、この弁は、弁室と、弁室と容器内部を連通ずる上流
側通路、弁室と容器外部とを連通ずる下流側通路、弁室
内に配置され、上流側通路の弁室への開口部に設けられ
た弁座に離着座してガスの流路を開閉する主弁を含んで
いる．そしてガス充填時にはこの容器用弁を開いて下流
側から上流側へと高圧ガスを流して充填し、充満後容器
弁を閉じ、この状態で使用現場へ運搬し、使用設備等へ
配管接続後再び容器弁を開いてガスを放出する。

ところで従来のこのような容器弁を備えた高圧ガス容器
においては、容器弁の誤操作あるいは締め付け不足、さ
らには運搬中の振動による主弁の緩み等によりガスの漏
洩が生じてしまい、このような漏洩事故を防止する方策
が施こされていない．課題を解決するための手段 本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、誤操作
あるいは主弁の締め付け不足、あるいは運搬中の振動等
による主弁のゆるみが生じても、ガスが漏洩するのを防
止できるようにした容器弁を提供することを目的とする
。

上記目的を達戊するために本発明に係る高圧容器用弁は
、弁室と該弁室と高圧容器内とを連通ずる−Ｅ流測流路
と、弁室を高圧容器の外部へ連通する下流側流路と、弁
室内に配設され、上流側流路と下流側流路との間の連通
を開閉する主弁とを含んでなり、下流側流路内に、高圧
容器の外部から弁室へのガスの流れを許し、弁室から高
圧容器の外部へのガスの流れを阻止する逆止弁を配設し
たことを特徴とする。

さらに本発明はパージ弁内蔵型の高圧容器用弁にも適用
され、該高圧容器用弁においては、上記構成に加えて、
弁室と高圧容器の外部とを連通可能な第３の流路を備え
、該第３の流路内に弁室から高圧容器の外部へのガスの
流れを阻止な第３の流れを許す逆止弁を配設する。

実施例 以下図面に基づき本発明の具体的実施例を説明する。

第１図は本発明の第１実施例を示す部分縦断面図である
。

高圧容器用弁（以下単に弁という〉１０本体２の内部に
は、弁室３と、弁室３と高圧容器（図示せず〉内部とを
連通させる上流閘流１ｉ’Ｌ４と、弁室３を容器の外部
に連通させる下流側流路５とが形成されている。

弁１は、ネジ６を用いて高圧容器に取付けられ、またネ
ジ部７にはガス充填時あるいは使用時に所定の配管が取
付けられる。

弁室３内には下面にシール部材１０を備えた主弁８が配
設され、バネ９により常時上方への付勢力を加えられて
いるが、ハンドル１１を一方向に操作することにより図
示の如くシール部材１０を上流側流路４の弁室３への開
口周辺の弁座に圧接させ、上流側と下流側の流路４、５
の弁室３を介しての連通を３１！断する。ハンドル１１
を反対方向に操作すれば主弁８はバネ９の力により上方
へ移動され、上流側と下流側の流路４、５を連通させる
。

下流側流路５の外方開口端部に弁座１２が形威され、流
路５内に収納されたボールからなる弁体１３がバネ１４
の力を受けてこの弁座１２に当接させられている。弁，
Ｉ１ｉｆｌ２、ボール１３、バネ１４は、弁室３がら外
部への流体の流れを阻止するが、反対向きの流れは可能
とする逆止弁１５を楕成する．符号１６は可溶合金１７
を備えた安全プラグである．以上の如き構成からなる弁
を取付けた加圧容器に高圧ガスを充填するに当っては、
ネジ部７に充填用配管を連結し、主弁８をハンドル１１
を操作して開くだけで良く、高圧ガスによりボール１３
はバネ１４の力に抗して移動させられ、ガスが容器内に
充填される。充填が完了すると主弁８は閉じられる。ま
た、ガスの充填が完了した時点でボールエ３はバネ１４
の力によって弁座】２に着座させられる。

したがって、ガス充填後の主弁８の締め付けが不十分で
あったり、あるいは当初は十分に締められていても運搬
中の振動の影響でゆるんでしまったり、さらには誤まっ
てハンドルが操作されて主弁８が開いてしまっても、逆
止弁１５により加圧容器内のガスの漏洩は防止される． ところで上記の如き構戒の弁１を備えた高圧容器中のガ
スの使用するために、ガス送出用配管を接続するに当っ
ては、第２図に示される如き開弁用金具２１を使用する
ことが望ましい。

金具２１は配管２２の先端に図示の如く取付けられる．
金具２１は配管２２に取付けられる取付部２３と、弁１
の弁座１２内へ挿入される挿入部２４と、それらの間の
フランジ部２５とを備え、全体を軸方向に延びる孔２６
が形成されている。取付部２３測端部は開口しているが
、挿入部端部２７は開口してはおらず、端部２７近くの
側部に開口２８が形戒され、孔２６に連通している。金
具２１は弁１のネジ部７に螺合する袋ナットによって弁
１に取付けられ、この時挿入端部２７が逆止弁１５のボ
ールｌ３に当接してバネ１４の力に抗して逆止弁１５を
開く。これによりガスは容器内から配管２２へと流れる
ことができる。勿論、使用に当っては主弁８を開くこと
は必要である。

第３図乃至５図は本発明の第２実施例を示す。

本実施例における弁４０は、第ｌ実施例における弁■と
はパージ機構を備える点で異なるが、他の楕戒について
は第１実施例の弁１と同じであるので、対応する部材に
ついては同じ番号を付してその説明は省略する。

弁４０の本体４１には、安全ブラグ１６の取付位置の反
対側にもう１つの弁室４２が形成され、パージ弁４３が
収受されている。パージ弁４３はバネ４５による付勢力
を受けているが、グランドナット４６を操作することに
よりその先端に備えたシール部材４４を、弁室４２から
弁室３に連通する流路４７の開口周囲に形成された弁座
に押圧して、流路４７を閉じることができる。通路４７
は弁室３を介して、容器（図示せず）へのガスの充填あ
るいは容器からのガス送出に使用される下流側通路４８
に連通ずる。

本体４１には、パージガスインレット４９が設けられ、
流路５１によって弁室４２に連通しているが、この流路
５１には逆止弁１５と同様の逆止弁５５が設けられてい
る。すなわちボール５３がバネ５４により付勢されて弁
座５２に当接している。したがって、逆止弁５５はパー
ジガスインレット４９がら弁室４２へのガスの流れは可
能とすると、それと反対向きの流れは阻止することとな
る。

以上の如き楕成からなるパージ機構は、高圧容器にガス
を充填するに先立ち、バージガスをインレット４９から
流入され、流路５１．弁室４２、流路４５、弁室３、下
流側流路４８へと流して排出し、弁室３等に存在する不
純ガスをパージするものである。

この際第２図に示した金具２３を用いて逆止弁１５を開
くことができる．また逆止弁４５を容易に間弁するのに
も金具２３は使用可能である。パージが終了するとパー
ジ弁４３は閉じられると共に逆止弁５５もバネ５４の力
により閉じる。この後容器へのガスの充填が行なわれる
． 以上のように槽或されたパージ機構付きの弁４０におい
て、ガス充填完了後の主弁８、バージ弁４３の締め付不
足あるいは締め付け後の振動等に起因するゆるみ、さら
には誤操作があっても、逆止弁１５及び５５によりガス
の漏洩は防止される。

発明の効果 以上の説明から明らかなように、本願発明に係る高圧容
器用弁においては、主弁の締め付け不足、榎み、あるい
は誤操作があっても、容器内のガスの漏汽は防止され、
極めて安全なものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す断面図、第２図は弁
への配管の接続状磨を示す部分断面図、 第３図は本発明の第２実施例を示す横断面図、第４図及
び第５図はそれぞれ第３図のＴＶ−ＩＶ線及び■一■線
による縦断面図である。 １、４０・・・高圧容器用弁　　３・・・弁室４・・・
上流側流路　　　　５、４８・・・下流側流路１５・・
・逆止弁　　　　　　４３・・・パージ弁５５・・・逆
止弁 （ 外４名 〉 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高圧容器に取付けられる高圧容器用弁であって、弁
   室と、該弁室と前記高圧容器内とを連通する上流側流路
   と、前記弁室を前記高圧容器の外部へ連通する下流側流
   路と、前記弁室内に配設され、前記上流側流路と下流側
   流路との間の連通を開閉する主弁とを含んでなる高圧容
   器用弁において、前記下流側流路内に、前記高圧容器の
   外部から前記弁室へのガスの流れを許し、前記弁室から
   前記高圧容器の外部へのガスの流れを阻止する逆止弁を
   配設したことを特徴とする高圧容器用弁。 ２、請求項１記載の高圧容器用弁において、さらに、前
   記弁室と前記高圧容器の外部とを連通可能な第３の流路
   を備え、該第３の流路内に前記弁室から前記高圧容器の
   外部へのガスの流れを阻止し、逆方向の流れを許す逆止
   弁を配設したことを特徴とする高圧容器用弁。